JP2011007709A - 磁気エンコーダおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 一体に成形された複列の磁気エンコーダのトラックを、トラック間の磁気干渉を生じることなく精度良く着磁でき、信号の読取り誤差を小さく抑えることができる磁気エンコーダおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気エンコーダ１において、複列の磁気エンコーダトラック２，３は、互いに一体に成形された各環状磁性体４に着磁され、かつ磁気エンコーダトラック２，３の円周方向に沿う着磁パターンが互いに異なる。磁気エンコーダトラック２，３の間に環状の磁性体からなる磁性体スペーサ６が介在し、各磁気エンコーダトラック２，３は互いに切削加工面２ｂ、３ｂで分離されている。磁性体スペーサ６における磁気エンコーダトラック２，３の被検出面２ａ，３ａと同じ方向を向く面である被検出面側端面６ａを露出させた。
【選択図】 図１

Description

この発明は、各種機器の回転検出、特に各種モータの回転制御に用いられる回転角度検出装置に適用される磁気エンコーダおよびその製造方法に関する。

磁気エンコーダとして、それぞれ単列のトラックを有する２つの磁気エンコーダを隣り合わせて並べ、異なる２つの磁気エンコーダの位相差に基づいて絶対角度を検出するものが開示されている（特許文献１）。また、多磁極着磁した磁気エンコーダを製造する方法等が開示されている（特許文献２）。
隣り合って並ぶ複列の各トラックにＮ磁極とＳ磁極とを円周方向に交互に着磁させた磁気エンコーダであって、回転位相を検出する一列のトラックと、原点位置を検出する他列のトラックとが設けられる磁気エンコーダが開示されている（特許文献３）。また位相のずれたトラックを持つ複列の磁気エンコーダが開示されている（特許文献４）。

特開２００８−２３３０６９号公報 特許第４０２４４７２号公報 特開２００７−１９８８４７号公報 特表２００２−５１２６８７号公報

特許文献１のような複列の磁気エンコーダを一体型で形成する場合、図９に示すように、隣合う列の磁気エンコーダトラック３０，３１の間に配置した磁性体スペーサ３２の上部に僅かながら磁石部分３３が被ってしまう。この被った磁石部分３３は、成型する型の寸法および芯金３４の寸法公差に依存するが、多くても１ｍｍ以下の厚みである。
着磁の際、この被った磁石部分３３が磁化されるため、各トラック３０（３１）の信号を読み取るときに、隣り合うトラック３０，３１に作用する磁気干渉が大きくなり、信号の読取り精度が悪化する。

この発明の目的は、一体に成形された複列の磁気エンコーダのトラックを、トラック間の磁気干渉を生じることなく精度良く着磁でき、信号の読取り誤差を小さく抑えることができる磁気エンコーダおよびその製造方法を提供することである。

この発明の磁気エンコーダは、複列の環状の磁気エンコーダトラックを有し、これら磁気エンコーダトラックは、互いに一体に成形された各環状磁性体に着磁され、かつ隣合う列の磁気エンコーダトラックの円周方向に沿う着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダであって、隣合う列の磁気エンコーダトラックの間に環状の磁性体からなる磁性体スペーサが介在し、各磁気エンコーダトラックは互いに切削加工面で分離され、前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面を露出させたことを特徴とする。

この構成によると、各列の磁気エンコーダトラックは、互いに一体に成形されて切削により分離されたものであるため、従来の着磁された複数の磁気エンコーダトラックを組み立てるものと異なり、組立工程時に着磁精度が悪化するという問題が生じず、精度良く着磁することができる。また、各磁気エンコーダトラックは互いに切削加工面で分離させ、隣合う列の磁気エンコーダトラック間の磁性体スペーサにおける被検出面側端面を露出させたことで、複列の磁気エンコーダトラックを物理的に離れるように分離できる。これにより、異なる着磁パターンを持った磁気エンコーダトラックにつき、互いに一体成形されたものでありながら、隣合う磁気エンコーダトラック間に作用する磁気干渉を減らすことができる。このため、磁性体スペーサの上部に磁石部分が被ったものより、信号の読取り精度を良くすることが可能となる。

前記各磁気エンコーダトラックを環状の芯金上に設けても良い。この場合、隣合う列の磁気エンコーダトラックと芯金とを、金型等により一体化できる。芯金を、例えば軸受回転輪に圧入嵌合等して容易に取り付けることも可能となる。

前記各磁気エンコーダトラックが、前記環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁されたものであっても良い。このように環状磁性体の円周方向の一部ずつ精度良く着磁できる。

前記各磁気エンコーダトラックの被検出面が、前記磁性体スペーサの前記被検出面側端面と同じ高さ位置に切削加工された切削加工面であっても良い。この切削加工を、着磁前に行う場合、切削加工後の磁気エンコーダの外径寸法が精度良く管理されるため、その後の着磁精度を高めることができる。

前記磁性体スペーサの前記被検出面側端面が、この端面に被さる環状磁性体の部分を切削により除去した切削面であっても良い。各磁気エンコーダトラックは、磁性体スペーサの前記端面に沿う部分が切削加工面となる。この場合、着磁時の磁気干渉によって信号の書き込み精度が悪化し得る部分だけを、切削により除去することができる。それ故、分離するための加工が簡単で、かつ環状磁性体の歩留りが良い。

ゴムまたはプラスチック材質から成る磁気エンコーダとしても良い。削り易さの点でゴムの方が望ましい。
前記磁気エンコーダトラックは、等ピッチの着磁パターンで磁極が交互に繰り返す回転検出用トラックを含むものとしても良い。

前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、一回転に一回または数回の繰り返しパターンを設けて、回転の基準位置を示すＺ相信号を生成するものであっても良い。
前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、前記回転検出用の等ピッチの着磁パターンとは磁極間隔が異なる等ピッチの着磁パターンで形成されるものであっても良い。
前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、前記回転検出用の等ピッチの着磁パターンと同じ磁極数で且つ位相関係がずれたパターンで形成されるものであっても良い。
このような複雑な着磁パターンであっても精度良く着磁可能となる。

この発明の磁気エンコーダの製造方法は、環状の磁性体からなる磁性体スペーサを介して隣合う複列のトラックの形成領域を持つ環状磁性体を形成する過程と、この環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁して前記各トラック形成領域を、着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダトラックとする着磁過程と、前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面に被さった環状磁性体を切削により除去して前記被検出面側端面を露出させる露出加工過程とを含むものである。

この構成によると、磁性体スペーサの被検出面側端面を露出させたことで、複列の磁気エンコーダトラックを物理的に離れるように分離できる。よって、従来の着磁された複数の磁気エンコーダトラックを組み立てるものと異なり、組立工程時に着磁精度が悪化するという問題が生じない。さらに、異なる着磁パターンを持った磁気エンコーダの着磁精度を高め、隣合う磁気エンコーダトラック間に作用する磁気干渉を減らすことができる。
前記環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁すると共に前記被検出面側端面を露出させても良い。この場合、着磁過程と露出加工過程とを同時に行うことができ、よって工程の短縮化を図ることができる。それ故、磁気エンコーダの製造コストを低減できる。

前記環状磁性体の被さり部分を切削により除去する刃物が磁性材料から成り、環状磁性体を着磁する着磁ヘッドの一部に、非磁性材料から成る部材を介して前記刃物を取り付けても良い。磁性材料から成る刃物が、非磁性材料から成る部材を介して着磁ヘッドに取り付けられているため、着磁ヘッドから他方のトラックに流れる漏れ磁束を磁気シールドすることができる。したがって、着磁ヘッドから所望のトラックに精度良く着磁することが可能となる。

前記環状磁性体を着磁する着磁ヘッドを取り付けるステージを設け、このステージに、環状磁性体の被さり部分を除去する刃物を固定しても良い。この場合、環状磁性体を回転させながら着磁すると共に、環状磁性体の被さり部分を除去することができる。したがって、周辺設備の省スペース化や工程の短縮化を図ることができる。

この発明の磁気エンコーダは、複列の環状の磁気エンコーダトラックを有し、これら磁気エンコーダトラックは、互いに一体に成形された各環状磁性体に着磁され、かつ隣合う列の磁気エンコーダトラックの円周方向に沿う着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダであって、隣合う列の磁気エンコーダトラックの間に環状の磁性体からなる磁性体スペーサが介在し、各磁気エンコーダトラックは互いに切削加工面で分離され、前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面を露出させたため、一体に成形された複列の磁気エンコーダのトラックを、トラック間の磁気干渉を生じることなく精度良く着磁でき、信号の読取り誤差を小さく抑えることができる。

この発明の磁気エンコーダの製造方法は、環状の磁性体からなる磁性体スペーサを介して隣合う複列のトラックの形成領域を持つ環状磁性体を形成する過程と、この環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁して前記各トラック形成領域を、着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダトラックとする着磁過程と、前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面に被さった環状磁性体を切削により除去して前記被検出面側端面を露出させる露出加工過程とを含むため、一体に成形された複列の磁気エンコーダのトラックを、トラック間の磁気干渉を生じることなく精度良く着磁でき、信号の読取り誤差を小さく抑えることができる。

この発明の一実施形態に係る磁気エンコーダの要部断面図である。 （Ａ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。 磁気エンコーダトラックの着磁パターンの検査中に削り工程と検査工程とを兼ねた例を示す断面図である。 環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁ヘッドにより着磁する例を示す図である。 環状磁性体の各磁器エンコーダトラックに着磁する磁極の各パターン例を示す図である。 この発明の他の実施形態に係る磁気エンコーダの要部断面図である。 この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの製造方法であり、着磁と同時に被さり部分を削る例を示す図である。 この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの製造方法であり、着磁と同時に被さり部分を削る例を示す図である。 （Ａ）は従来例の磁気エンコーダの要部断面図、（Ｂ）は他の従来例の磁気エンコーダの要部断面図である。

この発明の一実施形態を図１ないし図５と共に説明する。
この発明の実施形態に係る磁気エンコーダは、例えば、各種モータの回転制御に用いられる回転角度検出装置等に適用される。ただし、各種モータの回転制御用に限定されるものではない。以下の説明は、磁気エンコーダの製造方法についての説明をも含む。

図１に示すように、磁気エンコーダ１は、複列の環状の磁気エンコーダトラック２，３を有する。これら磁気エンコーダトラック２，３は、互いに一体に成形された環状磁性体４に着磁され、且つ隣合う列の磁気エンコーダトラック２，３の円周方向に沿う着磁パターンが互いに異なる。この環状磁性体４は、２列の磁気エンコーダトラック２，３を円盤状または円筒状の環状の芯金５の表面上に隣合せて同心上に並べて設けたものである。これら磁気エンコーダトラック２，３の間には、後述の磁性体スペーサ６を配置している。

磁気エンコーダ１の構造としては、図２（Ａ）に示すアキシアルタイプ、図２（Ｂ）に示すラジアルタイプのどちらでも良い。図２（Ａ）のアキシアルタイプの磁気エンコーダ１は、例えば、円筒部５ａと、この円筒部５ａの一端から外径側に立ち上がって円盤状となる立板部５ｂとを有する断面Ｌ字状の芯金５を有する。立板部５ｂの一表面に２列の磁気エンコーダトラック２，３が径方向内外に並べて固着される。軸受回転輪７の外径面等に前記円筒部５ａを圧入嵌合することで、アキシアルタイプの磁気エンコーダ１が軸受に取付けられる。
図２（Ｂ）のラジアルタイプの磁気エンコーダは、例えば、円筒部５ａからなる芯金５を有する。この芯金５の外径面に２列の磁気エンコーダトラック２，３が軸受軸方向に並べて固着される。軸受回転輪７の内径面等に前記円筒部５ａを圧入嵌合することで、ラジアルタイプの磁気エンコーダ１が軸受に取付けられる。

磁気エンコーダトラック２，３は、例えば、磁性粉を含むゴム、プラスチック、焼結体等から成り、着磁によってそれぞれゴム磁石、プラスチック磁石、焼結磁石等となる。この例では、ゴム磁石が採用されている。前記磁性粉の材質は、例えば、フェライト系や希土類系でも可能であるが、この実施形態に係る着磁方法では、容易に着磁できる点と、防錆処理を省ける点でフェライト系が望ましい。

図１に示すように、磁性体スペーサ６は、芯金５の磁気エンコーダトラック２，３が形成される片面側に突出するように、２重の折り重ね形状に折り曲げて形成される。例えば、プレス加工により、芯金５の一部を曲げ加工することで磁性体スペーサ６が得られる。ただし、磁性体スペーサ６の加工方法はプレス加工に限定されるものではない。この折り曲げて形成される磁性体スペーサ６を、隣合う磁気エンコーダトラック２，３間に介在させている。この磁性体スペーサ６において、磁気エンコーダトラック２（３）の被検出面２ａ（３ａ）と同じ方向を向く面である被検出面側端面６ａを露出させている。具体的には、磁性体スペーサ６の前記被検出面側端面６ａは、この端面に被さる例えば厚さ１ｍｍ以下の環状磁性体の部分８（被さり部分８と称す）を刃物等を用いて切削により除去した切削面としている。磁気エンコーダトラック２，３は、露出する被検出面側端面６ａに沿う部分がそれぞれ切削加工面２ｂ、３ｂとなる。これら切削加工面２ｂ、３ｂが、径方向（図１の左右方向）に所定小距離離隔して対向状に配置されることで、磁気エンコーダトラック２，３を物理的に離す。

この刃物等で環状磁性体４の被さり部分８を除去する工程は、着磁前に行っても良い。着磁前に着磁と同じスピンドル上で前記被さり部分８を切削加工する場合、環状磁性体４を着磁する着磁ヘッドと磁気エンコーダ１の外径の同軸が確保し易く、着磁精度を高め得る。
環状磁性体４の被さり部分８を除去する工程は、着磁後に行っても良い。この場合、着磁する際の磁気干渉によって信号の書き込み精度が悪化した部分だけを削るため、着磁済みのトラックに影響を与えることなく磁気干渉を低減し得る。また着磁後に被さり部分８を除去する場合、図３に示すように、被さり部分８を刃物９により切削加工する削り工程と、磁気エンコーダトラック２（３）の着磁パターンを検査装置１０にて検査する検査工程とを兼ねることが可能となる。つまり着磁パターンの検査中に環状磁性体４の被さり部分８を除去することができる。したがって、削り工程の良否を含めた最終的な磁気エンコーダ１の精度を確認することができ、時間も増加しない。図７と共に後述するように、環状磁性体４を着磁しながら、すなわち着磁と同時に、被さり部分８を切削加工しても良い。

磁気エンコーダ１の着磁方法等について説明する。
図４に示すように、環状磁性体４をこの軸心回りに回転させながら、この環状磁性体４の円周方向の一部ずつ着磁ヘッド１１により着磁して各トラック形成領域を、着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダトラック２，３とする。すなわち、着磁ヘッド１１は、着磁ヨーク１２に励磁コイル１３を巻回したものである。着磁ヨーク１２は磁気ギャップを介して対向する一対の対向端部１２ａ，１２ｂを有し、図示外の着磁電源から励磁コイル１３に励磁電流を供給することにより、両対向端部１２ａ，１２ｂ間に磁束を通す。この着磁ヘッド１１の前記磁気ギャップに、環状磁性体４における所望の１列の磁気エンコーダトラック２（３）を配置する。つまり、所望の１列の磁気エンコーダトラック２（３）が両対向端部１２ａ，１２ｂで挟まれるように配置することで、磁気エンコーダトラック２（３）に磁束を通して着磁する。この場合、例えば、スピンドル装置に環状磁性体４を支持し、同スピンドル装置をインデックス回転させる。この回転の停止毎に、励磁コイル１３への通電方向を逆にする。これにより、磁気エンコーダトラック２，３の周方向にＮ磁極とＳ磁極を交互に着磁することができる。同スピンドル装置の回転をインデックス回転とせず、回転に同期して指定角度において励磁コイルへ通電する方法で着磁するものであってもよい。

図５（Ａ）〜（Ｄ）は、前述の着磁方法等を用いて、環状磁性体の各磁器エンコーダトラックに着磁する磁極の各パターン例を示す。図５（Ａ）のパターン例は、１列の磁気エンコーダトラック２に、互いに異なる磁極を等ピッチで交互に着磁して回転検出用トラックとしている。他の１列の磁気エンコーダトラック３には、回転基準位置検出用の磁極をトラックの一周の一箇所（または複数箇所）に着磁して、回転の基準位置を示すＺ相信号を生成するＺ相信号生成用トラックとしたものである。
図５（Ｂ）のパターン例は、１列の磁気エンコーダトラック２に、互いに異なる磁極を等ピッチで交互に着磁して回転検出用トラックとしている。他の１列の磁気エンコーダトラック３には、互いに異なる磁極を等ピッチで交互に、かつ前記回転検出用トラックとは磁極数を異ならせて着磁して、別の回転検出用トラックとしたものである。

図５（Ｃ）のパターン例は、１列の磁気エンコーダトラック２に、互いに異なる磁極を等ピッチで交互に着磁して回転検出用トラックとしている。他の１列の磁気エンコーダトラック３には、互いに異なる磁極を交互に、かつ前記回転検出トラックと磁極数が同じで磁極の位相をずらして着磁して、別の回転検出用トラックとしたものである。
図５（Ｄ）のパターン例では、アキシアルタイプの環状磁性体での磁気エンコーダトラック２（３）の各磁極対Ａにおいて、図５（Ｃ）の例と同様なパターンを形成するために、そのＮ磁極の幅とＳ磁極の幅とがトラック外周半部つまり径方向内外で互いに異なるように着磁したものである。

以上説明した磁気エンコーダ１によると、各列の磁気エンコーダトラック２，３は、互いに一体に成形されて切削により分離されたものであるため、従来の着磁された複数の磁気エンコーダトラックを組み立てるものと異なり、組立工程時に着磁精度が悪化するという問題が生じず、精度良く着磁することができる。また、各磁気エンコーダトラック２，３は互いに切削加工面２ｂ、３ｂで分離させ、隣合う列の磁気エンコーダトラック２，３間の磁性体スペーサ６における被検出面側端面６ａを露出させたことで、複列の磁気エンコーダトラック２，３を物理的に離れるように分離できる。これにより、異なる着磁パターンを持った磁気エンコーダトラック２，３につき、互いに一体成形されたものでありながら、隣合う磁気エンコーダトラック２，３間に作用する磁気干渉を減らすことができる。このため、磁性体スペーサの上部に磁石部分が被ったものより、信号の読取り精度を良くすることが可能となる。
磁性体スペーサ６の被検出面側端面６ａを露出させる工程は、僅か１ｍｍ以下の削り工程で足りるため、他のトラックを傷つけたり変形させたりせずに着磁することができる。
磁性体スペーサ６の被検出面側端面６ａが、この端面に被さる被さり部分８を切削により除去した切削面であるため、各磁気エンコーダトラック２，３は、磁性体スペーサ６の前記端面に沿う部分が切削加工面２ｂ、３ｂとなる。この場合、着磁時の磁気干渉によって信号の書き込み精度が悪化し得る部分だけを、切削により除去することができる。それ故、分離するための加工が簡単で、かつ環状磁性体４の歩留りが良い。したがって、磁気エンコーダ１の製造コストの低減を図ることができる。
各磁器エンコーダトラック２，３を環状の芯金５上に設けているため、隣合う列の磁気エンコーダトラック２，３と芯金５とを、金型等により一体化できる。

この発明の他の実施形態について説明する。以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。

図６に示すように、各磁器エンコーダトラック２，３の被検出面２ａ，３ａが、磁性体スペーサ６の被検出面側端面６ａと同じ高さ位置に切削加工された切削加工面であっても良い。この場合、磁気エンコーダ１Ａのトラック表面全体を切削加工するため、磁気エンコーダ１Ａの外径寸法Ｄ１が精度良く管理される。この切削加工後に着磁を行う場合、着磁前の磁気エンコーダ１Ａの外径寸法Ｄ１が精度良く管理されている分、着磁精度を高めることができる。

図７に示すように、環状磁性体４を回転させながら、この環状磁性体４の円周方向の一部ずつ着磁すると共に、磁性体スペーサ６における被検出面側端面６ａを露出させても良い。図７の例では、着磁ヘッド１１の一部が刃物の機能を備えている。刃物としては磁性材料からなる刃物９を使用し、この刃物９と着磁ヘッド１１との間に非磁性材料からなる部材１４を介在させている。この構成によると、磁性材料からなる刃物９を使用することで、着磁ヘッド１１から他方のトラックに流れる漏れ磁束を磁気シールドすることができ、精度良く着磁することが可能となる。着磁ヘッド１１と刃物９との間に、非磁性材料からなる部材１４を介在させることで、刃物９に流れる磁束を抑制できる。よって、着磁ヘッド１１からの磁束を、着磁したいトラックに充分流すようにして、着磁精度が低下しないようにできる。

図８に示すように、着磁ヘッド１１または着磁ヨーク１２を取り付けるステージ１５を設け、このステージ１５に、環状磁性体４の被さり部分を除去する刃物９を固定しても良い。この場合、環状磁性体４を着磁すると共に、環状磁性体４の被さり部分８を除去することができる。したがって、周辺設備の省スペース化や工程の短縮化を図ることができる。

上記各実施形態では、芯金５の一部を曲げ加工等することで磁性体スペーサ６を得ているが、この曲げ加工に代えて、例えば、芯金５の一表面に、この芯金５とは別体の磁性体スペーサ６を接着、溶接、または結合等することも可能である。
磁性体スペーサを、芯金における磁気エンコーダトラックが形成される片面に、固着させて設けても良い。
上記各実施形態は、環状磁性体を回転させながら各磁極を順次着磁するインデックス着磁の場合につき説明したが、このインデックス着磁に限定されるものではない。例えば、環状磁性体の全周の磁極を一括して着磁する一括着磁しても良い。

１，１Ａ…磁気エンコーダ
２，３…磁気エンコーダトラック
２ａ，３ａ…被検出面
４…環状磁性体
５…芯金
６…磁性体スペーサ
６ａ…被検出面側端面
８…被さり部分

Claims (14)

1. 複列の環状の磁気エンコーダトラックを有し、これら磁気エンコーダトラックは、互いに一体に成形された各環状磁性体に着磁され、かつ隣合う列の磁気エンコーダトラックの円周方向に沿う着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダであって、
   隣合う列の磁気エンコーダトラックの間に環状の磁性体からなる磁性体スペーサが介在し、各磁気エンコーダトラックは互いに切削加工面で分離され、前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面を露出させたことを特徴とする磁気エンコーダ。
2. 請求項１において、前記各磁気エンコーダトラックを環状の芯金上に設けた磁気エンコーダ。
3. 請求項１または請求項２において、前記各磁気エンコーダトラックが、前記環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁されたものである磁気エンコーダ。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記各磁気エンコーダトラックの被検出面が、前記磁性体スペーサの前記被検出面側端面と同じ高さ位置に切削加工された切削加工面である磁気エンコーダ。
5. 請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記磁性体スペーサの前記被検出面側端面が、この端面に被さる環状磁性体の部分を切削により除去した切削面である磁気エンコーダ。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、ゴムまたはプラスチック材質から成る磁気エンコーダ。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか１項において、前記磁気エンコーダトラックは、等ピッチの着磁パターンで磁極が交互に繰り返す回転検出用トラックを含む磁気エンコーダ。
8. 請求項７において、前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、一回転に一回または数回の繰り返しパターンを設けて、回転の基準位置を示すＺ相信号を生成するものである磁気エンコーダ。
9. 請求項７において、前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、前記回転検出用の等ピッチの着磁パターンとは磁極間隔が異なる等ピッチの着磁パターンで形成されるものである磁気エンコーダ。
10. 請求項７において、前記磁気エンコーダトラックは、回転検出用トラックに加えて形成されるトラックの一つが、前記回転検出用の等ピッチの着磁パターンと同じ磁極数で且つ位相関係がずれたパターンで形成されるものである磁気エンコーダ。
11. 環状の磁性体からなる磁性体スペーサを介して隣合う複列のトラックの形成領域を持つ環状磁性体を形成する過程と、
    この環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁して前記各トラック形成領域を、着磁パターンが互いに異なる磁気エンコーダトラックとする着磁過程と、
    前記磁性体スペーサにおける前記磁気エンコーダトラックの被検出面と同じ方向を向く面である被検出面側端面に被さった環状磁性体を切削により除去して前記被検出面側端面を露出させる露出加工過程とを含む、
    磁気エンコーダの製造方法。
12. 請求項１１において、前記環状磁性体を回転させながら、この環状磁性体の円周方向の一部ずつ着磁すると共に前記被検出面側端面を露出させる磁気エンコーダの製造方法。
13. 請求項１１または請求項１２において、前記環状磁性体の被さり部分を切削により除去する刃物が磁性材料から成り、環状磁性体を着磁する着磁ヘッドの一部に、非磁性材料から成る部材を介して前記刃物を取り付けた磁気エンコーダの製造方法。
14. 請求項１１ないし請求項１３のいずれか１項において、前記環状磁性体を着磁する着磁ヘッドを取り付けるステージを設け、このステージに、環状磁性体の被さり部分を除去する刃物を固定した磁気エンコーダの製造方法。
    

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