CN110249208A - 磁性编码器及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
针对具有多排的磁道且可检测绝对角的磁性编码器，提供一种磁性编码器及其制造方法，其中，伴随压配合的安装作业而产生的精度降低的影响小，可以更高的精度而检测绝对角，可简单制造。包括：环状的芯铁(2)，其具有压配合固定部(2B)，该压配合固定部(2B)从磁道形成面部(2Aa)的边缘弯曲而连续，通过压配合而固定旋转轴(31)；磁道(4)，其在设置于上述磁道形成面部(2Aa)上的磁性部件(3)上，使N极和S极分别交替地磁化的2排以上的邻接而并列。该2排以上的磁道(4)包括磁化极数量最多，用于角度计算的主磁道(5)、以及用于计算它们的相位差的副磁道(6)，上述主磁道(5)位于上述副磁道(6)的与上述压配合固定部(2B)离开的一侧。
Description
相关申请
本申请要求申请日为2017年2月2日、申请号为JP特愿2017－017346的申请的优先权，通过参照其整体，将其作为构成本申请的一部分的内容而进行引用。
技术领域
本发明涉及用于旋转速度或旋转位置的检测的磁性编码器及其制造方法，本发明特别是涉及适用于具有绝对角检测所采用的多排的磁道的磁性编码器及其制造方法的技术。
背景技术
在于专利文献1中，提出了下述的磁性编码装置，其中，在对多排的磁性编码器的磁道进行磁化时，采样磁性屏蔽部件，屏蔽向磁性对象以外的磁性编码器的磁道排的磁通的流动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特许第5973278号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1的磁性编码器中，通过在相应的磁道之间设置1个极对的差，可用于检测绝对角的用途，但是，构成角度检测的基准的一侧的磁道(主磁道)的磁化精度的要求高。比如，在采用通过32个极对和31个极对而进行磁化的2排的磁道，检测绝对角度的场合，32个极对侧的每个极对的角度为11.25度(360/32)。为了判断处于什么样的相位位置，要求0.35度(11.25/32)以下的磁化精度，比如，考虑到安全性，要求±0.1度以下的磁化精度。如果以磁极数量为64个极对和63个极对的方式使极数增加，则要求精度更高，比如，要求±0.04度以下的磁化精度。
另一方面，磁性编码器的芯铁包括弯曲而形成的压配合固定部，在通过压配合而将旋转轴安装于压配合固定部上时，芯铁变形，磁道的间距精度降低。由此，难以制造满足要求精度的磁性编码器。
于是，本发明的课题在于针对具有多排的磁道，可检测绝对角的磁性编码器，提供一种磁性编码器及其制造方法，其中，伴随压配合的安装作业而产生的精度降低的影响小，可以更高的精度而检测绝对角，可简单制造。
用于解决课题的技术方案
本发明的磁性编码器包括：环状的芯铁，在该芯铁中，通过压配合而固定旋转轴的压配合固定部从磁道形成面部的边缘而弯曲连续；磁道，其在设置于上述芯铁的上述磁道形成面部上的磁性部件上，使N极和S极分别交替地磁化的2排以上的邻接而并列，上述2排以上的磁道包括磁化极数量最多且用于角度计算的主磁道、以及用于计算它们的相位差的副磁道，上述主磁道位于上述副磁道的与上述压配合固定部离开的一侧。上述磁性部件既可为共同地用于上述主磁道和副磁道的一体型，也可为针对每个磁道而分别地设置的类型。
在磁性编码器安装于旋转轴上时，由于上述压配合固定部压配合于旋转轴上，故芯铁变形，磁道的精度降低。但是，由于在与上述压配合部离开的一侧设置作为要求高精度，并且磁化磁极数量多的磁道的主磁道，故芯铁的变形造成的主磁道的间距精度的降低较少，期待检测角度的精度的提高和稳定化。由于副磁道为用于计算相对主磁道的相位差的磁道，故对磁化间距的精度的影响较小。由此，仅仅通过主磁道和副磁道的配置的设计，形成在受到限制的制造少的精度的范围内，可高精度地检测绝对角的磁性编码器。
也可在本发明的磁性编码器中，上述芯铁为下述的结构，其包括：外周面构成上述磁道形成面部的圆筒状部、以及上述压配合固定部，该压配合固定部由从上述圆筒状部弯曲到内径侧的台阶部、内径压配合部构成，该内径压配合部从该台阶部的内径侧缘同心地连续到与上述圆筒状部相反的一侧，通过压配合而固定旋转轴。也可为所谓的径向型。即使在像这样为径向型的场合，仍可在谋求精度的提高的同时，简单地进行制造。
还可在本发明的磁性编码器中，上述芯铁为下述结构，其包括：平板部以及上述压配合固定部，该平板部呈平板的环状，一个面构成上述磁道形成面部，该压配合固定部从上述平板部的内径侧缘弯曲而连接到与上述磁道形成面部相反的一侧。还可为所谓的轴向型。即使在像这样为轴向型的场合，仍可在谋求精度的提高，简单地制造。
也可在本发明的磁性编码器中，形成上述主磁道的磁极的间距的精度高于上述副磁道的结构。在这里所说的精度为实际的间距与理论间距的差。作为一个例子，如果考虑通过32个极对而磁化的磁道，则每1个极对的角度从理论上说为11.25度。另外，实际上，在某1个极对的角度为11.3度的场合，理论间距为11.25度，实际的间距为11.3度。对于磁性编码器，一般制造未磁化的磁性编码器，之后对其进行磁化。在此场合，各磁道依次进行磁化，但是，在先磁化的磁道，在进行在后而磁化的磁道的磁化时，估计有其磁通泄漏造成的精度降低的影响。由此，难以高精度地对邻接而并列的全部的磁性编码器进行磁化。
于是，在本发明的磁性编码器中，估计磁极间距的精度低的磁道为副磁道。由于副磁道为用于计算相对主磁道的相位差的磁道，故比如因上述磁化顺序，磁化间距的精度的影响较小，磁极数量多、用于角度计算的主磁道的间距的精度高于副磁道，由此，形成在受到限制的制造上的精度的范围内，可以高精度而检测绝对角的磁性编码器。最好，上述主磁道的磁极数量比上述副磁道的磁极数量多1个。另外，该磁性编码器不限于每个磁道的磁化顺序先后而进行的磁性编码器，一般可适用于在磁道之间精度产生差别的磁性编码器。
本发明的磁性编码器的制造方法为涉及制造本发明的上述任意的方案的磁性编码器的方法，其中，在制造在上述芯铁的外周上设置上述磁性部件的未磁化的磁性编码器之后，依次对各排的磁道进行磁化，在此磁化的过程中，在通过磁性屏蔽部件而对当前没有进行磁化的磁道或构成磁道的部分进行屏蔽的同时，每次1个极交替地对N极和S极进行磁化。
通过像这样，每次1个极地交替地进行磁化，并且在通过磁性屏蔽部件而对构成当前没有磁化的一侧的磁道的部分进行屏蔽的同时，对该部分进行磁化，由此，可尽可能地减小磁通泄漏造成的影响，进行较高精度的磁化。由此，可以更高的精度制造磁性编码器，在该磁性编码器中，在于与本发明的芯铁压配合时估计有变形的压配合固定部离开的一侧，形成有主磁道，可以高精度检测绝对角。另外，上述磁性编码器可通过本发明这样的方案的简单的改进的制造方法而进行制造。
也可在本发明的磁性编码器的制造方法中，在对上述副磁道进行磁化后，对上述主磁道进行磁化。像上述那样，在磁道的磁化作业中，产生磁通泄漏造成的精度劣化，但是，就磁化顺序来说，影响角度精度的磁化极对数多的主磁道为最后，由此可抑制主磁道的精度劣化，可高精度地检测绝对角。
权利要求书和/或说明书和/或附图中公开的至少2个结构中的任意的组合均包含在本发明中。特别是，权利要求书中的各项权利要求的2个以上的任意的组合也包含在本发明中。
附图说明
根据参照附图的下面的优选的实施形式的说明，会更清楚地理解本发明。但是，实施形式和附图用于单纯的图示和说明，不应用于限制本发明的范围。本发明的范围由权利要求书确定。在附图中，多个附图中的同一部件标号表示同一或相当部分。
图1为本发明的第1实施方式的磁性编码器的剖视图；
图2的(a)为表示该磁性编码器的磁极的并列的展开图，图2的(b)、图2的(c)为这些磁性编码器的各磁道而获得的两个信号、图2的(d)为两个信号的相位差的波形图；
图3为表示该磁性编码器的旋转轴上的安装方法的剖视图；
图4为制造该磁性编码器的制造设备的一个例子的剖视图；
图5为从上方而观看到的沿图4的V—V线的剖视图；
图6为表示采用该制造设备的磁性编码器的各磁化过程((图6的(a)在先、图6的(b)在后)的剖视图；
图7为表示该磁性编码器的各排的磁极的并列的说明图；
图8为本发明的第2实施方式的磁性编码器的剖视图；
图9为表示该磁性编码器的磁极的并列的主视图；
图10为进行该磁性编码器的磁性屏蔽而磁化的过程的说明图。
具体实施方式
根据图1～图7，对本发明的第1实施方式进行说明。本实施方式为适用于径向型的磁性编码器的例子。图1表示磁性编码器的剖视图。图2的(a)表示在圆周方向展开磁道的磁化图案的图。图2的(b)、图2的(c)表示相对这些磁性图案的各磁化极对的检测信号，图2的(d)表示它们的相位差。
在磁性编码器1中，混合有磁性粉末的橡胶材料与由金属环构成的芯铁2一起地放入金属模中，硬化粘接于该芯铁2的外周面上，或者于其外周面上混合有塑料和磁性粉末的部件与芯铁2一体地成形，形成圆环状的磁性部件3，然后，于未磁化的磁性部件3的外面上形成多排磁化极对数量不同的磁道4(在本实施方式中，为2排)。
芯铁2为对铁系的轧制钢板进行压制成形的类型，其包括外周面构成磁道形成面部2Aa的圆筒状部2A、以及压配合固定部2B。压配合固定部2B由从上述圆筒状部2A弯曲到内径侧的台阶部2Ba、内径压配合部2Bb构成，该内径压配合部2Bb通过压配合而固定旋转轴31，且从该台阶部2Ba的内径侧缘，在与上述圆筒状部2A相反的一侧同心地延伸。
远离压配合固定部2B的一侧的磁道4作为主磁道5而通过比如32个极对，在上述磁性部件3上而进行磁化，接近压配合部2一侧的磁道4作为副磁道6而通过比如31个极对，在上述磁性部件1上而进行磁化。在该磁性编码器1中，利用在1圈中产生1个极对的差的情况，用于旋转轴的绝对角的检测。
比如，在磁性编码器1中，在作为绝对角检测用的磁性传感器而面对地设置与主磁道5和副磁道6相对的磁性传感器34、35，使磁性编码器1围绕其圆环中心O而旋转的场合，从主磁道5侧的磁性传感器34输出图2的(b)所示的检测信号，从副磁道6侧的磁性传感器35输出图2的(c)所示的检测信号。相应的检测信号为N极S极的1个极对中的0～360度的相位信号，如果获取这些检测信号的差，则像图2的(d)所示的那样，伴随磁性编码器1的旋转，获得线性地变化的相位差信号。在此场合，在磁性编码器1的0～360度的1圈中，相位差信号表示一个周期的波形。
在该磁性编码器1的绝对角的检测中，可根据主磁道5，高精度地计算角度，根据主磁道5和副磁道6的相位差，把握主磁道的位置，检测绝对角。另外，通过上述磁性编码器1、上述磁性传感器34、35与根据该磁性传感器34、35的检测信号进行上述绝对角的计算的电子电路等的运算机构(在图中没有示出)，构成绝对角的检测装置。
作为磁化方法，包括有比如，采用每次1极地交替地对N极、S极进行磁化的导引(index)磁化装置，在使磁性编码器1旋转的同时，以规定的顺序而对各磁道4(5、6)磁化的方法，与同时进行两个磁道4(5、6)的磁化的同步磁化方式，也可采用任意者。但是，对于同步磁化方式，磁化轭结构复杂，在磁化时，具有两个磁道4(5、6)的磁干扰，难以以良好的精度而进行磁化。由此，在具有多排的磁道4的场合，特别是最好采用导引磁化装置。
比如，在采用通过32个极对和31个极对而进行磁化的2排的磁道4(5、6)检测绝对角度的场合(在该场合，主磁道5的磁极数比副磁道的磁极数量多1个)，32个极对侧(主磁道5)的每个极对的角度为11.25度(360/32)。为了判断处于什么样的相位位置，要求相当于其32分之一的0.35度(11.25/32)以下的磁化精度，比如，考虑到安全性，要求±0.1度以下的磁化精度。如果以磁极数量为64个极对和63个极对的方式，极数增加，则要求精度进一步严格，比如，要求±0.04度以下的精度。
图3表示磁性编码器1通过压配合而固定于旋转轴31上的场合的一个例子。在磁性编码器1压配合而固定于旋转轴31上的场合，通过借助压配合夹具32而按压压配合固定部2B的与旋转轴31的轴中心相垂直的台阶部2Ba，由此，将芯铁2的内径压配合部2Bb压配合于旋转轴31的一端部，固定磁性编码器1。可在压配合时，按照磁性编码器1不相对旋转轴31而倾斜的方式，将压配合夹具32的前端部32a导向到中空的旋转轴31的内径部31a。
通常，在压制成形的芯铁2的内径压配合部2Bb的公差范围为100μm左右，在旋转轴31上压配合固定磁性编码器1的场合，芯铁2的内径压配合部2Bb和旋转轴31的过盈量设定在100μm～200μm的范围内，但是，同样在本实施方式中，设定为该范围的过盈量。在压配合之后，还估计有磁性编码器1中的接近压配合固定部2B的磁道4变形的情况，但是，由于远离压配合固定部2B的一侧的磁道4作为主磁道5而磁化，接近压配合固定部2B的一侧的磁道4作为副磁道6而磁化，故可使因压配合导致主磁道5变形的影响为最小限度，可避免对角度精度的影响。
另外，在于最初而对用于角度计算的磁化极对数量多的主磁道5进行磁化的场合，在于之后，对副磁道6进行磁化时，估计有对磁通泄漏造成的主磁道5的精度，比如磁极的间距误差(间距精度)、累积间距误差(累积间距精度)的影响，在此场合，角度精度降低。
在这里，间距误差和累积间距误差均指表示已磁化的磁道的精度的指标。作为一个例子，如果考虑通过32个磁极而进行磁化的磁道，则从理论上说，每1个极对的角度为11.25度。在这里，实际上，在某1个极对的角度为11.3度的场合，该极对的间距误差为+0.05度。另外，累积间距误差指相对全部的极对而对间距误差进行累加计算，采用其最大值(振幅)而表示的误差。
由此，在最后对影响角度精度的磁化极对数量多的主磁道5进行磁化，借此，可抑制主磁道5的精度劣化，以高精度而检测绝对角。即，由于通过形成上述磁化顺序，抑制上述精度劣化，故主磁道5的磁极的间距精度和累积间距精度高于副磁道6。在此场合，在对主磁道5进行磁化时，还估计到影响最初已磁化的副磁道6的精度，但是，副磁道6是为了把握与主磁道5的相位关系而采用的，也可不怎么考虑精度。
图4表示磁化装置。图5表示沿图4中的V—V线的剖面向视图。该磁化编码器的磁化装置7包括：主轴9，该主轴9以上述圆环中心O与旋转轴心RO一致的方式使保持构成磁化对象的未磁化的磁性编码器1的夹具8旋转；使该主轴旋转的马达10；磁化轭11；定位机构12，该定位机构12在3轴方向使磁化轭11定位；磁化电源13；控制机构14。马达10包括作为检测旋转角度的检测装置的高精度的编码装置24。另外，设置在通过夹具8而保持的磁性编码器1的磁化结束的阶段，测定磁化精度用的磁性传感器15，其固定于可在3个轴方向而定位的定位机构16上。通过上述马达10和主轴9与磁化轭11的上述定位机构12，构成定位装置29，该定位装置29使上述磁化轭11的前端部19相对上述未磁化的上述磁性编码器1而定位。
上述控制机构14由计算机等构成，在上述未磁化的磁性编码器1上，针对各自的每个磁道4依次进行磁化，作为该磁化的顺序，按照在上述副磁道6之后而对上述主磁道5进行磁化的方式，并且按照NS的磁极交替地并列的方式，通过数值控制等，控制上述定位装置29的定位机构12和马达10与磁化电源13。
磁化轭11包括经由磁间隙而磁性地面对的一对面对端部(也称为“前端部”)19、20，对设置在相对这些面对端部19、20而确定的位置、姿势的未磁化的上述磁性编码器1的上述磁道4进行磁化。磁化轭11具体来说，由U字形的磁化轭本体17与励磁线圈18以及分别设置于该磁化轭本体17的一端和另一端的第1前端部19和第2前端部20构成。励磁线圈18卷绕于磁化轭本体17的外周上。在磁化轭11中，用于磁化的磁通a(参照图4)贯通磁性编码器1，磁化轭11的第1前端部19为前端尖锐的结构，在磁化时，与磁性编码器1(即，磁道4)的表面面对。第2前端部20以具有间隙的方式与夹具8面对，形成从第1前端部19，经由磁性编码器1、夹具8，到第2前端部20的磁回路。另外，也可省略第2前端部20。
在磁性屏蔽部件21上形成轴心RO方向的纵向剖面锥状的角形的孔22，在孔22的上下的相应位置，以间隔开的方式设置第1前端部19。与磁性编码器1面对的磁性屏蔽部件21和第1前端部19以相对未磁化的磁道4保持一定间隙，比如0.1mm的间隙的方式进行定位。
磁性屏蔽部件21固定于在磁化轭本体17的靠近第2前端部的位置处固定的支承座23的端部。形成将在从第1前端部19而产生的磁通的内部的对没有磁化的另一磁道4造成影响的磁通诱导到磁性屏蔽部件21，使其移动到在与和磁性编码器1面对的第1前端部19相反一侧的第2前端部20侧的结构。磁性屏蔽部件21和支承座23采用磁性体，比如低碳的钢材。在具有多排的磁道的磁性编码器1的磁化中，可以屏蔽磁通向磁化对象以外的磁道的流动的方式使磁性屏蔽部件21与磁道4相对。
图6表示在未磁化的磁性编码器1的磁性部件3上，对2排的磁道4(5、6)进行磁化的场合的磁化轭11的第1前端部19的配置位置。另外，图7表示按照2排而磁化的磁性编码器1的磁化图案的例子。
图6的(a)表示磁性编码器1的磁性部件3的下半部作为构成副磁道6的磁道4而磁化的场合的磁化轭11的第1前端部19和磁性屏蔽部件21的配置。此时，形成有另一磁道4(主磁道5)的磁性部件3的表面通过磁屏蔽部件21而覆盖，防止从第1前端部19而流动的磁通流到另一磁道4(主磁道5)的情况。
图6的(b)表示磁性编码器1的磁性部件3的上半部作为构成主磁道5的磁道4而磁化的场合的磁化轭11的第1前端部19和磁性屏蔽部件21的配置。此时，形成构成最初磁化的副磁道6的磁道4所形成的磁性部件3的表面通过磁屏蔽部件21而覆盖，防止从第1前端部19而流动的磁通流到另一磁道4(副磁道6)的情况。
如果以在图6的(a)所示的步骤中，形成副磁道6(磁道4)，最后，在图6的(b)所示的步骤中，形成主磁道5(磁道4)的顺序而进行磁化，则获得抑制主磁道5的精度劣化的磁性编码器1，可以高精度而检测绝对角。
本实施方式的磁性编码器1像这样，包括磁化极对数量不同的多排的磁道4，但是，与芯铁2的压配合固定部2B离开的磁道4构成形成角度计算的基准的主磁道5，接近压配合固定部2B的磁道4构成检测相位位置的副磁道6。由此，即使在将磁性编码器1压配合于旋转轴31的情况下，针对要求高精度，并且磁化极对数量多的主磁道5，压配合的变形的影响小，防止检测角度的精度的降低。由于副磁道6为用于主磁道5的相位差的计算的磁道4，故磁化间距的精度的影响较小。
另外，由于在最后对影响角度精度的磁化极对数量多的主磁道5进行磁化，故抑制主磁道5的磁化作业时的磁通泄漏造成的精度的劣化，主磁道5的间距精度的降低比副磁道6少，还由于该原因，在受到限制的制造技术的条件下，期待检测角度的提高。该磁性编码器1像这样，可高精度地检测绝对角。
图8～图10表示本发明的第2实施方式。本实施方式为适用于轴向型的磁性编码器1的例子。在本实施方式中，除了特别说明的事项以外，其它的方面与结合图1～图7而说明的第1实施方式相同。在本例子中，芯铁2包括平板部2D与圆筒状的压配合固定部2E，该平板部2D呈平板的圆环状，一个面构成磁道形成面部2Da，该压配合固定部2E从该平板部2D的内径侧缘弯曲而连接于与上述磁道形成面部2Da相反的一侧。
在上述磁道形成面部2Da上设置磁性部件3，在该磁性部件3上，按照多排而设置磁道4。在此场合，远离压配合固定部2E的最外周侧的磁道4为主磁道5，其它的磁道4为副磁道6。主磁道5和副磁道6依次在未磁化的磁性编码器1中进行磁化，但是，先对副磁道6进行磁化，最后对主磁道5进行磁化。
用于上述磁化的装置基本上与图4的磁化装置相同，但是，由于磁性编码器1中的磁道4所朝向的方向在轴向、径向而变化，但是，对应于该不同，像图10那样，磁化轭11的前端部19和磁性屏蔽部件21所朝向的方向为磁性编码器1的圆环中心O(图8)，即，旋转轴心RO(图10(a)、图10(b))的方向。另外，用于切换所磁化的磁道4的磁化轭11和磁性屏蔽部件21以及磁性编码1相对运动的方向为像该图10(a)、图10(b)表示各定位状态那样，为磁性编码器1的径向。
同样在该方案的场合，由于远离芯铁2的压配合固定部2E一侧的磁道4为要求高精度，并且磁化极对数量多的主磁道5，故有助于角度精度的提高、稳定。另外，在对多排的磁性编码器1进行磁化的场合，在最后对作为计算角度的磁道4的主磁道5进行磁化，由此，可抑制主磁道5的精度劣化，可高精度地检测绝对角。
如上所述，参照附图，对优选的实施方式进行了描述，但是在不脱离本发明的实质的范围内，可进行各种的追加、变更或删除。于是，这样的方案也包括在本发明的范围内。
标号的说明：
标号1表示磁性编码器；
标号2表示芯铁；
标号2Aa表示磁道形成面部；
标号2A表示圆筒状部；
标号2B表示压配合固定部；
标号2Ba表示台阶部；
标号2Bb表示内径压配合部；
标号2D表示平板部；
标号2Da表示磁道形成面部；
标号2E表示压配合固定部；
标号3表示磁性部件；
标号4表示磁道；
标号5表示主磁道；
标号6表示副磁道；
标号7表示磁性编码器的磁化装置；
标号8表示夹具；
标号10表示马达；
标号11表示磁化轭；
标号12表示定位机构；
标号13表示磁化电源；
标号14表示控制机构；
标号19表示前端部；
标号21表示屏蔽部件；
标号29表示定位装置；
标号31表示旋转轴。
Claims (6)
1.一种磁性编码器，该磁性编码器包括：环状的芯铁，在该芯铁中，通过压配合而固定旋转轴的压配合固定部从磁道形成面部的边缘弯曲而连续；磁道，其在设置于上述芯铁的上述磁道形成面部上的磁性部件上，使N极和S极分别交替地磁化的2排以上的邻接而并列，其中，上述2排以上的磁道包括磁化极数量最多且用于角度计算的主磁道、以及用于计算它们的相位差的副磁道，上述主磁道位于上述副磁道的与上述压配合固定部离开的一侧。
2.根据权利要求1所述的磁性编码器，其中，上述芯铁包括:外周面构成上述磁道形成面部的圆筒状部、以及上述压配合固定部，该压配合固定部由从上述圆筒状部弯曲到内径侧的台阶部、内径压配合部构成，该内径压配合部从该台阶部的内径侧缘同心地连续到与上述圆筒状部相反的一侧，通过压配合而固定旋转轴。
3.根据权利要求1所述的磁性编码器，其中，上述芯铁包括：平板部以及上述压配合固定部，该平板部呈平板的环状，一个面构成上述磁道形成面部，该压配合固定部从上述平板部的内径侧缘弯曲而连接到与上述磁道形成面部相反的一侧。
4.根据权利要求1～3中任何一项所述的磁性编码器，其中，上述主磁道的磁极的间距的精度高于上述副磁道。
5.权利要求1～4中任何一项所述的磁性编码器的制造方法，其中，在制造于上述芯铁的外周上设有上述磁性部件的未磁化的磁性编码器之后，依次对各排的磁道进行磁化，在此磁化的过程中，在通过磁性屏蔽部件而对当前没有进行磁化的磁道或构成磁道的部分进行屏蔽的同时，每次1个极地交替地对N极和S极进行磁化。
6.根据权利要求5所述的磁性编码器的制造方法，其中，在对上述副磁道进行磁化后，对上述主磁道进行磁化。
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