JP2011005432A - プライミング処理方法及びプライミング処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このプライミング処理装置は、プライミングローラ14の周囲に回転方向に沿って、洗浄パッド20を有する粗洗浄処理部18と、2流体ジェットノズル42を有する仕上げ洗浄処理部38と、拭いパッド52を有する液滴除去部48と、隙間58およびガスノズル60を有する乾燥ブロー部50とを配置している。洗浄パッド20および拭いパッド52は、洗浄パッド移動機構24および拭いパッド移動機構56によりプライミングローラ14の外周面に接触する第1の位置とそこから退避する第2の位置との間で切り換えられる。
【選択図】 図2
Description
図1に、本発明の一実施形態におけるプライミング処理装置の構成を示す。このプライミング処理装置は、たとえばLCD製造プロセス用のフォトリソグラフィー工程においてスピンレス法のレジスト塗布処理を行うレジスト塗布装置(図示せず)に組み込まれ、レジスト塗布処理のために被処理基板を載置あるいは浮上搬送する塗布ステージ(図示せず)の近くに配置される。
次に、図5および図6につき、このプライミング処理装置で実施可能なプライミング処理方法の第2の実施例を説明する。
粗洗浄処理部16で使用する再利用の洗浄液は、ドレインタンク80やミストトラップ70で回収する方法の他に、図7に示すような方法も可能である。すなわち、仕上げ洗浄処理部38による仕上げ洗浄(新液洗浄)に用いた洗浄液(シンナー)をドレインに流す代わりに、洗浄ノズル42の下方に設置したトレイ110に集めて回収し、トレイ110から粗洗浄処理部16へ転送するように構成することができる。この場合、粗洗浄処理部18の洗浄パッド20およびパッド保持部22をトレイ110よりも低い位置に設置することで、ポンプを使わずに重力を利用して再利用洗浄液の転送を自動的に行うことができる。
12 開口部
14 プライミングローラ
16 ローラ回転機構
18 粗洗浄処理部
20 洗浄パッド
28 洗浄液補充ノズル
38 仕上げ洗浄処理部
40 乾燥処理部
42 2流体ジェットノズル
52 拭いパッド
58 隙間
60 ガスノズル
72 バキューム装置
98 主制御部
100 ノズル移動機構
102 レジスト供給部
Claims (25)
- スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取る第1の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面の前記塗布液を巻き取った領域に多孔質の樹脂からなる洗浄パッドを接触させて粗洗浄を施す第2の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記粗洗浄を施された前記プライミングローラの外周面に洗浄液を供給して仕上げ洗浄を施す第3の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記仕上げ洗浄を施された前記プライミングローラの外周面を乾燥させる第4の工程と
を有するプライミング処理方法。 - 前記第2の工程において、前記プライミングローラの外周面上の塗布液は、前記プライミングローラの回転により前記プライミングローラの頂部の位置から底部の位置へ向う途中で前記洗浄パッドによる粗洗浄を受ける、請求項1に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2の工程において、前記粗洗浄の終了後に、前記洗浄パッドを前記プライミングローラから離して退避させる、請求項1または請求項2に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2の工程において、前記洗浄パッドを、洗浄液を浸み込ませた状態で前記プライミングローラの外周面に押し付ける、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- 前記洗浄パッドに浸み込ませる洗浄液は、前記第3の工程または前記第4の工程で回収された洗浄液を含む、請求項4に記載のプライミング処理方法。
- 前記洗浄パッドが吸い取った塗布液を外に吐き出させるために、前記洗浄パッドを押し潰す、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- 前記洗浄パッドの押し潰しは、前記洗浄パッドが前記粗洗浄を終えた直後で前記プライミングローラから離れる前に、前記洗浄パッドを一段と大きな押圧力によって前記プライミングローラの外周面に押し付けることによって行われる、請求項6に記載のプライミング処理方法。
- 前記第3の工程において、前記プライミングローラの外周面に向けて洗浄液を気体と混合して高圧の2流体ジェット流で噴き付ける、請求項1〜7のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- 前記2流体ジェット流は、前記プライミングローラの外周面のうち前記塗布液の巻き取りに充てられている所定の領域のみに噴き付けられる、請求項8に記載のプライミング処理方法。
- 前記第4の工程は、
前記プライミングローラの外周面に付着している洗浄液を拭い取る第5の工程と、
前記プライミングローラの外周面に残っている洗浄液を揮発させる第6の工程と
を含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。 - 第5の工程において、非多孔質の材質からなる板状の拭いパッドを前記プライミングローラの外周面に接触させる、請求項10に記載のプライミング処理方法。
- 前記拭いパッドの一端部を前記プライミングローラの回転方向に倣う斜めの角度で前記プライミングローラの外周面に接触させる、請求項11に記載のプライミング処理方法。
- 前記液滴を拭い取った直後に、前記拭いパッドを前記プライミングローラから離して退避させる、請求項11または請求項12に記載のプライミング処理方法。
- 前記第6の工程において、周回方向の一定の区間にわたり前記プライミングローラの周囲に形成された隙間の中に、前記プライミングローラの回転方向と逆の方向に吹き抜けるように乾燥ガスを噴射する、請求項10〜13のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取る第1の工程と、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた塗布液を乾燥させて乾燥膜とする第2の工程と、
別の1回分のプライミング処理のために、前記乾燥膜を外して前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記プライミングローラを回転させて、前記乾燥膜とは異なる領域で前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取る第3の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面の前記塗布液を巻き取った各領域に多孔質の樹脂からなる洗浄パッドを接触させて粗洗浄を施す第4の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記粗洗浄を施された前記プライミングローラの外周面に洗浄液を供給して仕上げ洗浄を施す第5の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記仕上げ洗浄を施された前記プライミングローラの外周面を乾燥させる第6の工程と
を有するプライミング処理方法。 - スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取る第1の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面の前記塗布液が巻き取られた領域を洗浄液で洗浄する第2の工程と、
前記プライミングローラの外周面に付いている洗浄液を拭い取るために、前記プライミングローラを回転させながら、非多孔質の材質からなる板状の拭いパッドを前記プライミングローラの外周面に接触させる第3の工程と、
前記プライミングローラの外周面に残っている洗浄液を揮発させるために、周回方向の一定の区間にわたり前記プライミングローラの周囲に形成された隙間の中に、前記プライミングローラの回転方向と逆の方向に吹き抜けるように乾燥ガスを噴射する第4の工程と
を有するプライミング処理方法。 - スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取る第1の工程と、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた塗布液を乾燥させて乾燥膜とする第2の工程と、
前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面の前記塗布液が巻き取られた各領域を洗浄液で洗浄する第3の工程と、
前記プライミングローラの外周面に付いている洗浄液を拭い取るために、前記プライミングローラを回転させながら、非多孔質の材質からなる拭いパッドを前記プライミングローラの外周面に接触させる第4の工程と、
前記プライミングローラの外周面に残っている洗浄液を揮発させるために、周回方向の一定の区間にわたり前記プライミングローラの周囲に形成された隙間の中に、前記プライミングローラの回転方向と逆の方向に吹き抜けるように乾燥ガスを噴射する第5の工程と
を有するプライミング処理方法。 - スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理装置であって、
所定位置に水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラと、
前記プライミングローラをその中心軸の回りに回転させる回転機構と、
前記プライミングローラの外周面に粗洗浄を施すための多孔質の樹脂からなる洗浄パッドを有し、前記プライミングローラの外周面に接触する第1の位置と前記プライミングローラの外周面から退避した第2の位置との間で前記洗浄パッドの位置を切り換える粗洗浄処理部と、
前記プライミングローラの外周面に洗浄液を供給して仕上げ洗浄を施すための仕上げ洗浄処理部と、
前記プライミングローラの外周面を強制的に乾燥させるための乾燥処理部と、
前記回転機構、前記粗洗浄処理部、前記仕上げ洗浄処理部および前記乾燥処理部の各動作を制御する制御部と
を有し、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取り、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面の前記塗布液が巻き取られた領域に前記粗洗浄処理部により前記洗浄パッドを接触させて粗洗浄を施し、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、粗洗浄を施された後の前記プライミングローラの外周面に前記仕上げ洗浄処理部により洗浄液を供給して仕上げ洗浄を施し、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、仕上げ洗浄を施された後の前記プライミングローラの外周面を前記乾燥処理部により乾燥させる、
プライミング処理装置。 - 前記粗洗浄処理部において、前記洗浄パッドの第1の位置は、前記プライミングローラの頂部から回転方向に沿って約90°離れた付近に設定される、請求項18に記載のプライミング処理装置。
- 前記粗洗浄処理部は、前記洗浄パッドを前記プライミングローラの外周面に所望の圧力で押し付けるための加圧機構を有する、請求項18または請求項19に記載のプライミング処理装置。
- 前記粗洗浄処理部は、前記洗浄パッドに直接または前記プライミングローラの外周面を介して洗浄液を補給するための洗浄液補給部を有する、請求項18〜20のいずれか一項に記載のプライミング処理装置。
- 前記洗浄パッドは、水平方向で前記プライミングローラの一端から他端までカバーする長さと矩形の横断面形状とを有し、前記第1の位置で前記プライミングローラの外周面に面接触する、請求項18〜21のいずれか一項に記載のプライミング処理装置。
- 前記仕上げ洗浄部が、前記プライミングローラの外周面に向けて、洗浄液を気体と混合してジェット流で噴き付ける2流体ジェットノズルを有する、請求項18〜22のいずれか一項に記載のプライミング処理装置。
- スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理装置であって、
所定位置に水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラと、
前記プライミングローラをその中心軸の回りに回転させる回転機構と、
前記プライミングローラの外周面を洗浄液を用いて洗浄するための洗浄処理部と、
前記プライミングローラの外周面から液滴を拭い取るための非多孔質の材質からなる拭いパッドを有し、前記プライミングローラの外周面に接触する第1の位置と前記プライミングローラの外周面から退避した第2の位置との間で拭いパッドの位置を切り換える液滴除去部と、
周回方向の一定の区間にわたり前記プライミングローラの周囲に形成された隙間と、前記隙間の中に前記プライミングローラの回転方向に逆らう方向で吹き抜けるように乾燥ガスを噴射するガスノズルとを有する乾燥ブロー部と、
前記回転機構、前記洗浄処理部、前記液滴除去部および前記乾燥ブロー部の各動作を制御する制御部と
を有し、
1回分のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させてから前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面の上に前記吐出された塗布液の一部を巻き取り、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた塗布液またはそれが乾燥してできた膜を前記洗浄処理部により洗い落とし、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、前記液滴除去部により前記拭いパッドを前記プライミングローラの外周面に接触させて、前記プライミングローラの外周面に付いている洗浄液を拭い取り、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させながら、前記乾燥ブロー部のガスノズルに乾燥ガスを噴射させて、前記プライミングローラの外周面に残っていた洗浄液を揮発させる、
プライミング処理装置。 - 前記プライミングローラの周囲で発生するミストを強制排気によって除去するための排気機構を有する、請求項18〜請求項24のいずれか一項記載のプライミング処理装置。
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