CN104785418B - 一种涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种涂布装置，用以减小未涂布不良缺陷，降低涂布装置的生产成本。所述涂布装置包括提供待涂布液体的供液管道、供液驱动结构以及控制所述供液驱动结构转动的第一控制器，其中：所述供液驱动结构截面为圆盘状，位于所述供液管道的下方，使得所述供液管道输出的待涂布液体能够输送到所述供液驱动结构的曲面上，所述供液驱动结构在所述第一控制器的控制下以预设的转速转动。

Description

一种涂布装置

技术领域

本发明涉及显示面板涂布技术领域，尤其涉及一种涂布装置。

背景技术

液晶显示器的像素是指光阻剂(涂布液体)通过涂布装置，在基板表面形成涂层，再经曝光、显影工艺形成一定图案的薄膜层。涂布装置越优良，成膜工艺也越可控，图1为现有技术的涂布装置结构示意图。

如图1所示，现有技术的涂布装置由两块具有一定间隙的不锈钢铁块11和12组合而成，其中，涂布装置下方尖端部分为涂布喷嘴13，动力泵14通过设定的压力将待涂布液体供给到涂布喷嘴13，然后该涂布装置在基板15上方移动，进行涂布，涂布完成后，涂布喷嘴13会残留待涂布液体，这时该涂布装置需要回到初始化位置，橡胶刮刀16与涂布喷嘴13贴合并移动擦拭，对残留在涂布喷嘴13的待涂布液体进行清洁，准备进行下一次涂布。

采用图1所示的涂布装置进行涂布时，主要存在以下不足：

一、该涂布装置中，动力泵14需进行彻底排泡或清洁，要求精度高；在涂布过程中，涂布喷嘴13处液压大，在被吸入气泡的情况，气体不易排出，极易形成未涂布不良缺陷；

二、上游设备动作将基板放入，基板涂布完成后，涂布喷嘴13都要重新回到涂布装置的初始化位置，橡胶刮刀16移动对涂布喷嘴13进行擦拭动作，橡胶刮刀16更换周期频繁，成本较高；同时下游设备动作，将基板取走，准备接收下一基板，如此周期，严重影响涂布装置的Tact Time和涂布装置所能达到的有效涂布运行时间，即涂布装置的稼动率；其中，Tact Time指一张基板涂布完成与下一张基板涂布完成之间的时间间隔；

三、涂布装置处于待机状态时，涂布喷嘴13需要周期性的吐胶和对涂布喷嘴13进行溶剂清洗，以避免待涂布液体干燥，浪费药液和溶剂；如果涂布装置待机时长过久，重新启动涂布装置时，为了避免未涂布不良缺陷产生，每次都需要对涂布喷嘴13进行人为清洁。

综上所述，现有技术的涂布装置容易形成未涂布不良缺陷，整个涂布过程所需的时间较长，涂布装置的稼动率较低。

发明内容

本发明实施例提供了一种涂布装置，用以减小未涂布不良缺陷，降低涂布装置的生产成本。

本发明实施例提供的一种涂布装置，包括提供待涂布液体的供液管道、供液驱动结构以及控制所述供液驱动结构转动的第一控制器，其中：

所述供液驱动结构截面为圆盘状，位于所述供液管道的下方，使得所述供液管道输出的待涂布液体能够输送到所述供液驱动结构的曲面上，所述供液驱动结构在所述第一控制器的控制下以预设的转速转动。

由本发明实施例提供的涂布装置，包括提供待涂布液体的供液管道、供液驱动结构以及控制所述供液驱动结构转动的第一控制器，其中：所述供液驱动结构截面为圆盘状，位于所述供液管道的下方，使得所述供液管道输出的待涂布液体能够输送到所述供液驱动结构的曲面上，所述供液驱动结构在所述第一控制器的控制下以预设的转速转动。由于本发明实施例中的涂布装置中的供液驱动结构为圆盘状，位于供液管道的下方，使得供液管道输出的待涂布液体能够输送到供液驱动结构的曲面上，供液驱动结构在第一控制器的控制下以预设的转速转动，与现有技术的涂布装置在涂布时采用涂布喷嘴相比，本发明实施例的涂布装置中的供液驱动结构的面积较大，可以减小未涂布不良缺陷的产生；另外，现有技术的涂布装置需要精度高的动力泵，而本发明实施例的涂布装置不需要动力泵，涂布装置的生产成本较低。

较佳地，还包括清洗装置、控制所述清洗装置工作的第二控制器和清洗装置支撑结构；

所述清洗装置支撑结构位于所述供液驱动结构由下向上转动方向的一侧，与所述供液驱动结构之间预设一定距离；

所述清洗装置设置于所述清洗装置支撑结构上，且朝向所述供液驱动结构；所述清洗装置用于在所述第二控制器的控制下，与所述供液驱动结构接触清洁所述供液驱动结构。

这样，与现有技术的涂布装置相比，能够实现边涂布边清洁，可以缩短涂布过程的时间，提高涂布装置的稼动率。

较佳地，所述清洗装置包括沿着所述供液驱动结构由下向上转动方向依次设置在所述清洗装置支撑结构上的清洗结构和橡胶刮拭结构；

所述清洗结构设置有若干细孔，所述细孔指向所述供液驱动结构，所述清洗结构用于在第二控制器的控制下，通过所述细孔向所述供液驱动结构喷涂清洗液；

所述橡胶刮拭结构与所述清洗装置支撑结构连接处设置有具有一定形变的弹簧，用于在第二控制器的控制下，通过所述弹簧的形变使所述橡胶刮拭结构与所述供液驱动结构接触，清洁所述供液驱动结构。

这样，清洗结构能够对供液驱动结构上已干燥的待涂布液体进行润湿，方便橡胶刮拭结构更好的清洁供液驱动结构。

较佳地，所述清洗装置支撑结构的曲率与所述供液驱动结构的曲率相同。

较佳地，还包括供液驱动结构外壳，所述供液驱动结构外壳位于所述供液驱动结构由上向下转动方向的一侧，与所述供液驱动结构之间预设一定距离。

较佳地，所述供液驱动结构外壳的曲率与所述供液驱动结构的曲率相同。

较佳地，还包括废液回收槽，所述废液回收槽的一端与所述供液驱动结构连接，所述废液回收槽与所述清洗装置位于所述供液驱动结构的同一侧，用于回收所述清洗装置处理后的废弃物。

这样，废液回收槽的设置可有效的避免经过清洗装置处理后的废弃物对环境的污染。

较佳地，所述废液回收槽通过橡胶结构与所述供液驱动结构连接。

这样，废液回收槽通过橡胶结构与转轴连接，能够有效的避免待涂布液体的回流。

较佳地，还包括间隙控制板和控制所述间隙控制板与所述供液驱动结构之间的距离的第三控制器，

所述间隙控制板位于所述供液驱动结构由上向下转动方向的一侧，用于在所述第三控制器的控制下，控制沿着所述供液驱动结构曲面流动的待涂布液体的流量。

这样，通过间隙控制板的设置，可以更精确的控制涂布到待涂布基板的涂层厚度。

较佳地，还包括与所述间隙控制板连接的缓冲槽，所述缓冲槽用于存储沿所述间隙控制板流动的待涂布液体。

较佳地，还包括与所述缓冲槽连接的回收泵，所述回收泵用于回收存储在所述缓冲槽中的待涂布液体。

这样，回收泵的设置可以避免待涂布液体的浪费，节省生产资源，降低生产成本。

较佳地，还包括传送装置和控制所述传送装置运动的第四控制器，所述传送装置位于所述供液驱动结构下方预设距离处，所述传送装置包括吸附带和动力驱动轮；

所述吸附带用于在所述第四控制器的控制下吸附和/或解除吸附待涂布基板；

所述动力驱动轮用于在所述第四控制器的控制下，以预设的传送速度驱动所述吸附带运动。

这样，吸附带和动力驱动轮的设置，在涂布过程中，能够更好的传送待涂布基板。

附图说明

图1为现有技术涂布装置结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种涂布装置截面结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一涂布装置截面结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一涂布装置截面结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种涂布装置工艺流程示意图；

图6为本发明实施例提供的涂布装置中的传送装置结构示意图。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种涂布装置，用以减小未涂布不良缺陷，降低涂布装置的生产成本。

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的涂布装置。

如图2所示，本发明具体实施例提供了一种涂布装置，包括提供待涂布液体的供液管道21、供液驱动结构22以及控制供液驱动结构22转动的第一控制器(图中未示出)，其中：

供液驱动结构22截面为圆盘状，位于供液管道21的下方，使得供液管道21输出的待涂布液体能够输送到供液驱动结构22的曲面上，供液驱动结构22在第一控制器的控制下以预设的转速转动，本发明具体实施例中供液驱动结构22的转速的设定可以根据待涂布液体的粘度和密度进行设定。本发明具体实施例中当涂液供给开关20打开时，待涂布液体沿着供液管道21流动，具体地，供液管道21位于供液驱动结构22的正上方，供液管道21的一侧与供液驱动结构22接触，另一侧留有一定的开口，使得供液管道21输出的待涂布液体能够输送到供液驱动结构22的曲面上。

如图3所示，本发明具体实施例提供的涂布装置还包括清洗装置30、控制清洗装置30工作的第二控制器(图中未示出)和清洗装置支撑结构31；清洗装置支撑结构31位于供液驱动结构22由下向上转动方向的一侧，与供液驱动结构22之间预设一定距离，如图3中若供液驱动结构逆时针转动，则清洗装置支撑结构31位于供液驱动结构22的右侧，若供液驱动结构顺时针转动，则清洗装置支撑结构31位于供液驱动结构22的左侧，清洗装置支撑结构31可以采用支撑架支持到地面上；清洗装置30设置于清洗装置支撑结构31上，且朝向供液驱动结构22；清洗装置30用于在第二控制器的控制下，与供液驱动结构22接触清洁供液驱动结构22。

具体地，清洗装置30包括沿着供液驱动结构22由下向上转动方向依次设置在清洗装置支撑结构31上的清洗结构301和橡胶刮拭结构302；优选地，本发明具体实施例中的清洗装置支撑结构31的曲率与供液驱动结构22的曲率相同。

清洗结构301设置有若干细孔，细孔指向供液驱动结构22，清洗结构301用于在第二控制器的控制下，通过细孔向供液驱动结构22以二流体形态喷涂清洗液，喷涂的清洗液是特殊工艺清洗剂；

橡胶刮拭结构302与清洗装置支撑结构31连接处设置有具有一定形变的弹簧，用于在第二控制器的控制下，通过弹簧的形变使橡胶刮拭结构302与供液驱动结构22接触，清洁供液驱动结构22。本发明具体实施例中的第二控制器可以控制清洗的频率，可以控制清洗结构301和橡胶刮拭结构302同时工作，也可以控制仅橡胶刮拭结构302工作。

如图4所示，本发明具体实施例提供的涂布装置还包括供液驱动结构外壳40，供液驱动结构外壳40位于供液驱动结构22由上向下转动方向的一侧，与供液驱动结构22之间预设一定距离，如图4中若供液驱动结构22逆时针转动，则供液驱动结构外壳40位于供液驱动结构22的左侧，若供液驱动结构22顺时针转动，则供液驱动结构外壳40位于供液驱动结构22的右侧，优选地，供液驱动结构外壳40的曲率与供液驱动结构22的曲率相同。本发明具体实施例供液驱动结构外壳40的设置一可以保证待涂布液体处于相对密闭的环境不受污染，二可以对待涂布液体有约束作用，使待涂布液体在转轴上形成相对均匀的膜层。

优选地，本发明具体实施例中的涂布装置还包括废液回收槽41，废液回收槽41的一端与供液驱动结构22连接，废液回收槽41与清洗装置30位于供液驱动结构22的同一侧，用于回收清洗装置30处理后的废弃物。优选地，本发明具体实施例中的废液回收槽41通过橡胶结构42与供液驱动结构22连接，以防止待涂布液体的回流。

优选地，本发明具体实施例中的涂布装置还包括间隙控制板43和控制间隙控制板43与供液驱动结构22之间的距离的第三控制器(图中未示出)，间隙控制板43位于供液驱动结构22由上向下转动方向的一侧，用于在第三控制器的控制下，控制沿着供液驱动结构22曲面流动的待涂布液体的流量。如图4中若供液驱动结构22逆时针转动，则间隙控制板43位于供液驱动结构22的左侧，若供液驱动结构22顺时针转动，则间隙控制板43位于供液驱动结构22的右侧。

优选地，本发明具体实施例中的涂布装置还包括与间隙控制板43连接的缓冲槽44，缓冲槽44用于存储沿间隙控制板43流动的待涂布液体。

优选地，本发明具体实施例中的涂布装置还包括与缓冲槽44连接的回收泵45，回收泵45用于回收存储在缓冲槽44中的待涂布液体。

优选地，本发明具体实施例中的涂布装置还包括传送装置46和控制传送装置46运动的第四控制器(图中未示出)，传送装置46位于供液驱动结构22下方预设距离处，具体地，本发明具体实施例中供液驱动结构22与传送装置46之间的距离为80微米(μm)到160μm，在实际生产过程中，供液驱动结构22与传送装置46之间的距离根据实际生产需要进行设定，传送装置46包括吸附带461和动力驱动轮462；

吸附带461用于在第四控制器的控制下吸附和/或解除吸附待涂布基板47；动力驱动轮462用于在第四控制器的控制下，以预设的传送速度驱动吸附带461运动。

具体地，本发明具体实施例中，为了保证吸附带461在工作过程中能够保持在均一平面上，相邻的两个动力驱动轮462之间的距离小于吸附带461的变形量，两个动力驱动轮462之间的距离根据实际吸附带使用的聚合材料变形量进行设定。优选地，本发明具体实施例中，为了避免涂布装置在涂布过程中，待涂布基板47出现剧烈震动，吸附带461上设置若干吸附孔，能够随着涂布过程进行，更好的吸附和解除吸附待涂布基板47。

下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的涂布装置的涂布工艺流程。

如图5所示，本发明具体实施例中提供的涂布装置的涂布工艺过程中，首先，上游设备传送待涂布基板47，将待涂布基板47传送到本发明具体实施例中的传送装置，传送装置包括：吸附定位区和吸附解除区。本发明具体实施例中的传送装置的结构示意图如图6所示，传送装置包括具有一定韧度聚合材料制作的吸附带461和动力驱动轮462。

本发明具体实施例中的传送装置接收到待涂布基板47时，传送装置的吸附定位区吸附待涂布基板47，待涂布基板47此时完成机械定位并被吸附，接着，动力驱动轮462在第四控制器的控制下，以预设的传送速度驱动吸附带461运动，待涂布基板47在运动的过程中完成了涂布，待涂布基板47涂布结束后，进入传送装置的吸附解除区，待涂布基板47吸附被解除，并传送到下游设备，下游设备将待涂布基板47取走，完成待涂布基板47的涂布。如图4所示，本发明具体实施例可以通过调节供液驱动结构22的转速来调整涂布到待涂布基板47上涂层的厚度，也可以通过间隙控制板43调整涂布到待涂布基板47上涂层的厚度。

本发明具体涂布过程中，为了避免涂布过程中待涂布基板出现剧烈震动，吸附带461采用具有一定长度和厚度且具有吸附孔的结构，吸附带461的长度和厚度根据实际待涂布基板47的尺寸进行设定，本发明具体实施例中的吸附带461能够随着涂布过程进行吸附和解除吸附。另外，为了保证吸附带461能够保持在均一平面上，相邻的两个动力驱动轮462之间的距离小于吸附带461的变形量，两个动力驱动轮462之间的距离根据实际吸附带461使用的聚合材料变形量进行设定。当然，本发明具体实施例中的涂布装置也可以与现有技术的涂布装置一样，设置一间隙检测结构，根据现有技术的间隙检测过程，检测待涂布基板47是否存在异物或不平。当检测到待涂布基板47存在异物或不平时，涂布装置对供液驱动结构22进行上下调整或停止对待涂布基板47涂布，将待涂布基板47直接传送到下游设备。本发明具体实施例中涂布装置通过间隙检测结构对供液驱动结构22进行上下调整或停止对待涂布基板47涂布，将其直接传送到下游设备的工作原理与现有技术相同，这里不再赘述。

如图4所示，本发明具体实施例中的涂布装置在涂布的过程中，可以预先对清洗装置30设置清洗频率，使得本发明具体实施例中的涂布装置能够实现边涂布边清洁的功能。具体地，对本发明具体实施例中的涂布装置进行清洁时，本发明具体实施例中的第二控制器根据预先设置的清洗频率，控制清洗结构301向供液驱动结构22喷涂清洗液，接着，橡胶刮拭结构302在第二控制器的控制下，与供液驱动结构22接触清洁供液驱动结构22。清洗液的喷涂可以将残留在供液驱动结构22上已经干燥的待涂布液体进行润湿，方便橡胶刮拭结构302的清洁。与现有技术的涂布装置需要回到初始化位置对涂布喷嘴进行擦拭的操作相比，本发明具体实施例中的涂布装置可以实现边涂布边清洗的工艺过程，另外，本发明具体实施例中前一张待涂布基板47涂布完成进入吸附解除区时，下一张待涂布基板47就可以处于涂布过程，本发明具体实施例中的涂布装置能够实现边传送、边涂布、边清洗，因此，本发明具体实施例极大的提升了涂布装置的Tact Time和稼动率。

本发明具体实施例中的涂布装置可以达到以下有益效果：

首先，改变现有技术涂布装置的结构，通过现有成熟的供液装置，使待涂布液体随供液驱动结构形成涂层，达到涂布的目的；与现有技术相比，由于不需要精密动力泵，可以减小未涂布不良缺陷，降低涂布装置的生产成本；涂布到待涂布基板上的涂层厚度可通过间隙控制板或供液驱动结构的转速实现，十分方便；

其次，本发明具体实施例中的涂布装置设置有清洗装置，可实现边涂布边清洗供液驱动结构的目的，提升了涂布装置的Tact Time和稼动率；

再次，改变现有技术待涂布基板不动，涂布装置运动的涂布流程，本发明具体实施例中的涂布装置在涂布过程中不动，待涂布基板在传送过程中即完成了成膜工艺，提升了涂布装置的Tact Time和稼动率。

综上所述，本发明具体实施例提供一种涂布装置，包括提供待涂布液体的供液管道、供液驱动结构以及控制所述供液驱动结构转动的第一控制器，其中：所述供液驱动结构截面为圆盘状，位于所述供液管道的下方，使得所述供液管道输出的待涂布液体能够输送到所述供液驱动结构的曲面上，所述供液驱动结构在所述第一控制器的控制下以预设的转速转动。由于本发明实施例中的涂布装置中的供液驱动结构截面为圆盘状，位于供液管道的下方，使得供液管道输出的待涂布液体能够输送到供液驱动结构的曲面上，供液驱动结构在第一控制器的控制下以预设的转速转动，与现有技术的涂布装置在涂布时采用涂布喷嘴相比，本发明实施例的涂布装置中的供液驱动结构的面积较大，可以减小未涂布不良缺陷的产生；另外，现有技术的涂布装置需要精度高的动力泵，而本发明实施例的涂布装置不需要动力泵，涂布装置的生产成本较低。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种涂布装置，其特征在于，包括提供待涂布液体的供液管道、供液驱动结构以及控制所述供液驱动结构转动的第一控制器，其中：

所述供液驱动结构截面为圆盘状，位于所述供液管道的下方，使得所述供液管道输出的待涂布液体能够输送到所述供液驱动结构的曲面上，所述供液驱动结构在所述第一控制器的控制下以预设的转速转动；

所述涂布装置还包括间隙控制板和控制所述间隙控制板与所述供液驱动结构之间的距离的第三控制器，

所述间隙控制板位于所述供液驱动结构由上向下转动方向的一侧，用于在所述第三控制器的控制下，控制沿着所述供液驱动结构曲面流动的待涂布液体的流量；

所述涂布装置还包括清洗装置、控制所述清洗装置工作的第二控制器和清洗装置支撑结构；

所述清洗装置支撑结构位于所述供液驱动结构由下向上转动方向的一侧，与所述供液驱动结构之间预设一定距离；

所述清洗装置设置于所述清洗装置支撑结构上，且朝向所述供液驱动结构；所述清洗装置用于在所述第二控制器的控制下，与所述供液驱动结构接触清洁所述供液驱动结构；

所述清洗装置包括沿着所述供液驱动结构由下向上转动方向依次设置在所述清洗装置支撑结构上的清洗结构和橡胶刮拭结构；

所述清洗结构设置有若干细孔，所述细孔指向所述供液驱动结构，所述清洗结构用于在第二控制器的控制下，通过所述细孔向所述供液驱动结构喷涂清洗液；

所述橡胶刮拭结构与所述清洗装置支撑结构连接处设置有具有一定形变的弹簧，用于在第二控制器的控制下，通过所述弹簧的形变使所述橡胶刮拭结构与所述供液驱动结构接触，清洁所述供液驱动结构。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述清洗装置支撑结构的曲率与所述供液驱动结构的曲率相同。

3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还包括供液驱动结构外壳，所述供液驱动结构外壳位于所述供液驱动结构由上向下转动方向的一侧，与所述供液驱动结构之间预设一定距离。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述供液驱动结构外壳的曲率与所述供液驱动结构的曲率相同。

5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还包括废液回收槽，所述废液回收槽的一端与所述供液驱动结构连接，所述废液回收槽与所述清洗装置位于所述供液驱动结构的同一侧，用于回收所述清洗装置处理后的废弃物。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述废液回收槽通过橡胶结构与所述供液驱动结构连接。

7.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还包括与所述间隙控制板连接的缓冲槽，所述缓冲槽用于存储沿所述间隙控制板流动的待涂布液体。

8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，还包括与所述缓冲槽连接的回收泵，所述回收泵用于回收存储在所述缓冲槽中的待涂布液体。

9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，还包括传送装置和控制所述传送装置运动的第四控制器，所述传送装置位于所述供液驱动结构下方预设距离处，所述传送装置包括吸附带和动力驱动轮；

所述吸附带用于在所述第四控制器的控制下吸附和/或解除吸附待涂布基板；

所述动力驱动轮用于在所述第四控制器的控制下，以预设的传送速度驱动所述吸附带运动。