JP2010537947A - 四フッ化ケイ素及び塩化水素を含有するガス流の処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のプロセスは、四フッ化ケイ素(STF)と塩化水素とを含むガス流を、1つ以上の望ましい特性を有する四フッ化ケイ素ガス流を調製するのに利用できる金属源(例えば亜鉛など)に接触させる工程を含む。有利には、本発明のプロセスは、比較的高純度の四フッ化ケイ素(STF)ガス流を提供しながら、四フッ化ケイ素(STF)ガス流からの塩化水素の除去を提供する。その金属は塩化水素と反応し、それによって四フッ化ケイ素(STF)ガス流から汚染物質を除去し、そして、処理済みのガス流中に所望の四フッ化ケイ素(STF)が残るように、金属が除去すべき不純物に対して選択性を示すことが観察された。この点に関して、本発明のプロセスによって達成された不純物の除去が、ガス流と金属を含むプロセス用機器との接触に関係するであろう副次的な除去を越えることも注意すべきである。
通常は、本発明のプロセスは、処理すべきガス流(例えば四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流)を、ガス流から不要な不純物を除去するのを促進する金属源に接触させる工程を含む。例えば四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流は、典型的には1つ以上の不純物(例えば塩化水素など)を含んでいる。様々な実施態様において、プロセスは、四フッ化ケイ素(STF)を亜鉛源(source of zinc)に接触させて、以下の化学式に従ってガス流から塩化水素を除去する工程を含む。
記述の通り、四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流は、金属配管及び/又はチューブトレーラーを用いて、ガス流が輸送される前に、典型的には(例えば圧縮によって)処理される。典型的には、輸送に先立って四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流を圧縮して、輸送に必要な装置の体積を縮小する。例えば、四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流は、増加する高圧(increasing, elevated pressures)にガス流をさらすことを含む1つ以上の段階の間に、圧縮されてもよい。本発明のプロセスは、ガス流中に存在する水分と結合してこのさらなる処理中に装置の腐食に寄与するガス流の不純物含有量を、低減する。特に、本発明のプロセスは、通常は、ガス流の初期の塩化水素含有量の約90容量%以下、又は約80容量%以下の塩化水素含有量を有する処理済みの四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流を、提供する。すなわち、本発明のプロセスは、四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流と金属のプロセス装置(metal process equipment)との接触によって提供されるであろう副次的な除去を超えて、かなり多くの塩化水素の除去を提供する。
記述の通り、本発明によって処理される四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流の組成は臨界的に制限されるものではない。除去された不純物と保持された所望の生成物との比率にかかわらず、処理済みの四フッ化ケイ素(STF)含有ガス流中の不純物濃度は、通常は、約6容量%未満、約4容量%未満、約2容量%未満、又は約1容量%である。処理済みのガス流の不純物含有量は、典型的には約0.75容量%未満であり、より典型的には約0.5容量%未満であり、さらに典型的には約0.25容量%未満であり、さらにより典型的には約0.1容量%未満である。これらの実施態様及び他の様々な実施態様によれば、処理済みのガス流の不純物含有量はさらに低くてもよい(例えば、約500ppm以下、約250ppm以下、又は約100ppm以下)。
Claims (45)
- 四フッ化ケイ素を含み、初期の塩化水素含有量を有しているガス流から、塩化水素を除去する方法であって、該方法は、
前記ガス流を金属源に接触させる工程を含み、該接触させる工程は、その金属は塩化水素と反応し、それによって前記ガス流から前記塩化水素を優先的に除去して、前記四フッ化ケイ素を含み且つ前記初期の塩化水素含有量の約90%(v/v)以下に低減された塩化水素含有量を有する処理済みのガス流を提供する方法。 - 前記ガス流は、少なくとも約100ppm、少なくとも約300ppm、又は少なくとも約800ppmの水分を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ガス流は、約100ppm〜約2500ppm、約300ppm〜約1700ppm、又は約300ppm〜約800ppmの水分を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記金属は、少なくとも約95%、少なくとも約98%、又は少なくとも約99.9%の除去効率を示すことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記低減された塩化水素含有量は、初期の塩化水素含有量の約10%(v/v)以下、約5%(v/v)以下、約2.5%(v/v)以下、約1%(v/v)以下、又は約0.5%(v/v)以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記低減された塩化水素含有量は、前記接触させる工程の開始から約60分以内、約30分以内、又は約2分以内に達成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記接触させる工程の間に、前記四フッ化ケイ素の約1%(v/v)以下、約0.5%(v/v)以下、約0.25%(v/v)以下、又は約0.1%(v/v)以下が前記ガス流から除去されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属源は、金属酸化膜、金属水酸化物、又はそれらの組合せを含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属は、約1.65未満、約1.55未満、又は約1.3未満の電気陰性度を示すことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属は、亜鉛、マグネシウム及びその組合せから成る群から選ばれることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属は亜鉛を含み、
前記金属源は、酸化亜鉛、水酸化亜鉛及びその組合せから成る群から選ばれることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の方法。 - 前記亜鉛は、前記塩化水素と反応して塩化亜鉛を生成することを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 前記金属はマグネシウムを含み、
前記金属源は、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム及びその組合せから成る群から選ばれることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の方法。 - 前記マグネシウムは、前記塩化水素と反応して塩化マグネシウムを生成することを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記接触させる工程は、約25℃〜約90℃、約35℃〜約80℃、又は約45℃〜70℃の温度で行われることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の方法。
- 前記接触させる工程は、約50psig〜約1500psig、約250psig〜約1250psig、又は約500psig〜約1000psigの圧力で行われることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属源の表面積は、少なくとも約80ft2/ft3、少なくとも約120ft2/ft3、又は少なくとも約200ft2/ft3であることを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属源の前記表面積は、約80ft2/ft3〜約600ft2/ft3、約120ft2/ft3〜約500ft2/ft3、又は約200ft2/ft3〜約400ft2/ft3であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記ガス流は、少なくとも約0.05lb/hr×ft2、少なくとも約0.1lb/hr×ft2、少なくとも約0.2lb/hr×ft2、又は少なくとも約0.3lb/hr×ft2の速度で金属と接触することを特徴とする請求項1乃至18のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス流は、約0.05lb/hr×ft2〜約0.5lb/hr×ft2、約0.05lb/hr×ft2〜約0.4lb/hr×ft2、又は約0.1lb/hr×ft2〜約0.3lb/hr×ft2の速度で金属と接触することを特徴とする請求項1乃至19のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属源の少なくとも一部は、約500μm〜約5000μm、約1000μm〜約4000μm、又は約2000μm〜約3000μmの寸法範囲内にある粒子状物質の形態であることを特徴とする請求項1乃至20のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属源は、約30%〜約80%、約40%〜約70%、又は約50%〜約70%の気孔率を示すことを特徴とする請求項1乃至21のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス流を、前記金属源を含む層に接触させることを特徴とする請求項1乃至22のいずれか1項に記載の方法。
- 前記層を通した圧力損失は、約1psig〜約25psig、約2psig〜約10psig、又は約3psig〜約7psigであることを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記ガス流は、少なくとも約0.1ft/分、少なくとも約1ft/分、少なくとも約2ft/分、又は少なくとも約4ft/分の空間速度で前記金属源の前記層を通ることを特徴とする請求項23又は24に記載の方法。
- 前記層は、充てん層、流動床式又は移動床の形態であることを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 四フッ化ケイ素を含み、初期圧力と初期の塩化水素含有量とを有しているガス流から、塩化水素を除去する方法であって、該方法は、
前記初期圧力より高い圧力まで圧力を増加する1つ以上の段階の間に、前記ガス流を圧縮する工程と、
前記ガス流を金属源に接触させる工程であって、それによって前記初期の塩化水素含有量の約90%(v/v)以下に低減された塩化水素含有量を有する処理済みのガス流を提供する、接触させる工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記圧縮は、前記ガス流を、少なくとも約100psig、少なくとも約200psig、又は少なくとも約300psigの増加する圧力の第1段階にさらす過程を含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記圧縮は、前記ガス流を、約100psig〜約700psig、約200psig〜約600psig、又は約300psig〜約500psigの増加した圧力の第1段階にさらす過程を含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記第1段階より前に、前記ガス流は、少なくとも約100ppm、少なくとも約300ppm、少なくとも約800ppm、又は少なくとも約1700ppmの水分を有することを特徴とする請求項28又は29に記載の方法。
- 前記第1段階より前に、前記ガス流は、約100ppm〜約2500ppm、約300ppm〜約1700ppm、約300ppm〜約800ppm、又は約400ppm〜約600ppmの水分を有することを特徴とする請求項28又は29に記載の方法。
- 前記圧縮は、前記ガス流を、少なくとも約800psig、少なくとも約1000psig、又は少なくとも約1200psigの増加する圧力の第2段階にさらす過程を含むことを特徴とする請求項28乃至31のいずれか1項に記載の方法。
- 前記圧縮は、前記ガス流を、約1000psig〜約1800psig、約1200psig〜、約1600psig、又は約1300psig〜約1500psigの増加する圧力の第2段階にさらす過程を含むことを特徴とする請求項28乃至31のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2段階より前に、前記ガス流は、少なくとも約100ppm、少なくとも約300ppm、少なくとも約800ppm、又は少なくとも約1700ppmの水分を有することを特徴とする請求項32又は33に記載の方法。
- 前記第2段階より前に、前記ガス流は、約100ppm〜約2500ppm、約300ppm〜約1700ppm、約300ppm〜約800ppm、又は約400ppm〜約600ppmの水分を有することを特徴とする請求項32又は33に記載の方法。
- 前記接触させる工程は、前記第1段階よりも前に起こることを特徴とする請求項28乃至35のいずれか1項に記載の方法。
- 前記接触させる工程は、前記第1段階と前記第2段階との間に起こることを特徴とする
請求項32乃至36のいずれか1項に記載の方法。 - 前記接触させる工程中に前記金属は前記塩化水素と反応し、それによって前記四フッ化ケイ素を含み且つ低減された塩化水素含有量を有する処理済みのガス流を提供することを特徴とする請求項27乃至37のいずれか1項に記載の方法。
- 前記低減された塩化水素含有量は、前記初期の塩化水素含有量の約70%(v/v)以下であることを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記低減された塩化水素含有量は、前記接触させる工程の開始から約60分以内、約30分以内、又は約2分以内に達成されることを特徴とする請求項38又は39に記載の方法。
- 前記接触させる工程の間に、前記四フッ化ケイ素の約1%(v/v)以下、約0.5%(v/v)以下、約0.25%(v/v)以下、又は、約0.1%(v/v)が前記ガス流から除去されることを特徴とする請求項27乃至40のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属は亜鉛を含み、
前記金属源は、酸化亜鉛、水酸化亜鉛及びその組合せから成る群から選ばれることを特徴とする請求項27乃至41のいずれか1項に記載の方法。 - 前記亜鉛は、前記塩化水素と反応して塩化亜鉛を生成することを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記接触させる工程は、約25℃〜約90℃の温度で行われることを特徴とする請求項27乃至43のいずれか1項に記載の方法。
- 前記接触させる工程は約50psig〜約1500psigの圧力で行われることを特徴とする請求項27乃至44のいずれか1項に記載の方法。
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