JP2010536166A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010536166A JP2010536166A JP2010519358A JP2010519358A JP2010536166A JP 2010536166 A JP2010536166 A JP 2010536166A JP 2010519358 A JP2010519358 A JP 2010519358A JP 2010519358 A JP2010519358 A JP 2010519358A JP 2010536166 A JP2010536166 A JP 2010536166A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- radiation
- plasma
- top surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0277—Electrolithographic processes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70033—Production of exposure light, i.e. light sources by plasma extreme ultraviolet [EUV] sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
- H05G2/005—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas containing a metal as principal radiation generating component
Abstract
【解決手段】放射源は、アノードとカソードとを含む。カソードとアノードは、プラズマを発生させるためにアノードとカソードとの間の放電空間における燃料中に放電を生成するように構成され、カソードとアノードは、カソードまたはアノードの上面に近接する領域においてのみプラズマを実質的に半径方向に圧縮する力を生成するために、使用の際にアノードとカソードとの間に延在する電流線が実質的に湾曲するように、互いに対して位置決めされている。
【選択図】 図3
Description
ここで、λは、使用される放射の波長であり、NAPSは、パターンを印刷するのに使用される投影システムの開口数であり、k1は、プロセス依存調節係数であり、レイリー定数とも呼ばれ、CDは、印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンション)である。
Claims (36)
- リソグラフィ装置のために放射を発生させる放射源であって、
アノードと、
カソードと、
を含み、
前記カソードと前記アノードは、プラズマを発生させるために前記アノードと前記カソードとの間の放電空間における燃料中に放電を生成し、前記カソードと前記アノードは、前記カソードまたは前記アノードの上面に近接する領域においてのみ前記プラズマを実質的に半径方向に圧縮する力を生成するために、使用の際に前記アノードと前記カソードとの間に延在する電流線が実質的に湾曲するように、互いに対して位置決めされている、放射源。 - 前記力は、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って、また前記上面に近接する前記領域の外側で、前記プラズマの膨張を実質的に引き起こす、請求項1に記載の放射源。
- 前記上面に対して実質的に平行な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離Lが、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離lよりも大きい、請求項1または請求項2に記載の放射源。
- L>2*lである、請求項3に記載の放射源。
- 前記上面は、前記アノードまたは前記カソードのもう一方の上面と実質的に同一平面上にある、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記カソードおよび前記アノードは回転対称である、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記燃料は前記上面上に配置されている、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記燃料はSn、XeまたはLiのうち少なくとも1つを含む、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記放射源のエタンデュが、前記リソグラフィ装置のエタンデュと実質的に一致する、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記放射源の前記エタンデュは約0.03mm2ステラジアン未満である、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記カソードまたは前記アノードは、第1部分および第2部分を含み、前記カソードまたは前記アノードのもう一方は前記第1部分と前記第2部分との間に位置決めされる、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記放射は、極端紫外線範囲内の波長を有する、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 放射ビームを出力する放射源と、前記上面上に前記放射ビームを向ける光学システムとを更に含み、前記上面は前記光学システムの焦点面中に実質的に位置決めされる、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記上面上の前記放射ビームのスポットサイズが約30μmと約50μmとの間の範囲内である、請求項13に記載の放射源。
- 前記上面に近接する前記領域における前記プラズマの前記圧縮は、前記放電中に単一放射放出スポットを生成する、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- 前記上面は前記カソードの前記上面である、先行する請求項のいずれか1項に記載の放射源。
- リソグラフィ装置のために放射を発生させる放射源であって、
アノードと、
カソードと、
を含み、
前記カソードと前記アノードは、プラズマを発生させるために前記アノードと前記カソードとの間の放電空間における燃料中に放電を生成し、前記カソードと前記アノードは、前記カソードまたは前記アノードの上面に近接する領域中においてのみ前記プラズマを実質的に半径方向に圧縮する力を生成するために、使用の際に前記アノードと前記カソードとの間に延在する電流線が実質的に湾曲するように、互いに対して位置決めされている、放射源と、
前記放射にパターン付けしてパターン付き放射ビームを形成するパターニングデバイスを保持するパターンサポートと、
基板を支持する基板サポートと、
前記基板上に前記パターン付き放射ビームを投影する投影システムと、
を含む、リソグラフィシステム。 - 前記力は、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って、また前記上面に近接する前記領域の外側で、前記プラズマの膨張を実質的に引き起こす、請求項17に記載の装置。
- 前記上面に対して実質的に平行な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離Lが、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離lよりも大きい、請求項17または請求項18に記載の装置。
- L>2*lである、請求項19に記載の装置。
- 前記上面は、前記カソードおよび前記アノードのもう一方の上面と実質的に同一平面上にある、請求項17から20のいずれか1項に記載の装置。
- 前記上面に近接する前記領域における前記プラズマの前記圧縮は、前記放電中に単一放射放出スポットを生成する、請求項17から21のいずれか1項に記載の装置。
- 前記燃料は、前記上面上に配置されている、請求項17から22のいずれか1項に記載の装置。
- 前記燃料はSn、XeまたはLiのうち少なくとも1つを含む、請求項17から23のいずれか1項に記載の装置。
- 前記放射源のエタンデュが、前記リソグラフィ装置のエタンデュと実質的に一致する、請求項17から24のいずれか1項に記載の装置。
- 前記上面は前記カソードの前記上面である、請求項17から25のいずれか1項に記載の装置。
- リソグラフィ装置内で使用する放射を発生させる方法であって、
カソードとアノードとの間に位置する放電空間に燃料を供給することと、
前記燃料中で前記カソードと前記アノードとの間に放電を生成して前記放射を放出するように適応されたプラズマを形成することと、
前記カソードまたは前記アノードの前記上面に近接する領域においてのみ前記プラズマを実質的に半径方向に圧縮する力を生成するために、使用の際に前記アノードと前記カソードとの間に延在する電流線が実質的に湾曲するように、前記カソードと前記アノードとを互いに対して位置決めすることと、
を含む、方法。 - 前記力は、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って、また前記上面に近接する前記領域の外側で、前記プラズマの膨張を実質的に引き起こす、請求項27に記載の方法。
- 前記上面に対して実質的に平行な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離Lが、前記上面に対して実質的に垂直な方向に沿って前記カソードと前記アノードとを隔てる距離lよりも大きい、請求項27または請求項28に記載の方法。
- L>2*lである、請求項29に記載の方法。
- 前記上面は、前記カソードおよび前記アノードのもう一方の上面と実質的に同一平面上にある、請求項27から30のいずれか1項に記載の方法。
- 前記上面に近接する前記領域における前記プラズマの前記圧縮は、前記放電中に単一放射放出スポットを生成する、請求項27から31のいずれか1項に記載の方法。
- 前記燃料は、前記上面上に配置されている、請求項27から32のいずれか1項に記載の方法。
- 前記燃料はSn、XeまたはLiのうち少なくとも1つを含む、請求項27から33のいずれか1項に記載の方法。
- 前記位置決めすることは、前記プラズマを発生させる放射源のエタンデュが、前記リソグラフィ装置のエタンデュと実質的に一致するように、前記カソードと前記アノードを互いに対して位置決めすることを含む、請求項27から34のいずれか1項に記載の方法。
- 放射ビームを発生させることであって、
カソードとアノードとの間に位置する放電空間に燃料を供給することと、
前記燃料中で前記カソードと前記アノードとの間に放電を生成して前記放射を放出するように適応されたプラズマを形成することと、
前記アノードまたは前記カソードの前記上面に近接する領域においてのみ前記プラズマを実質的に半径方向に圧縮する力を生成するために、使用の際に前記アノードと前記カソードとの間に延在する電流線が実質的に湾曲するように、前記カソードと前記アノードとを互いに対して位置決めすることと、を含む、放射ビームを発生させることと、
前記放射ビームにパターン付けし、パターン付き放射ビームを形成することと、
前記パターン付き放射ビームを基板上に投影することと、
を含む、デバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/889,065 US7872244B2 (en) | 2007-08-08 | 2007-08-08 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
PCT/EP2008/006188 WO2009018933A1 (en) | 2007-08-08 | 2008-07-28 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010536166A true JP2010536166A (ja) | 2010-11-25 |
JP2010536166A5 JP2010536166A5 (ja) | 2011-09-15 |
Family
ID=39829007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010519358A Ceased JP2010536166A (ja) | 2007-08-08 | 2008-07-28 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7872244B2 (ja) |
EP (1) | EP2177091A1 (ja) |
JP (1) | JP2010536166A (ja) |
KR (1) | KR20100063057A (ja) |
CN (1) | CN101690419B (ja) |
NL (1) | NL1035743A1 (ja) |
WO (1) | WO2009018933A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366967B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-06-14 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60175351A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線発生装置およびx線露光法 |
JP2001021697A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Shimadzu Corp | レーザープラズマx線源 |
JP2002043220A (ja) * | 2000-05-19 | 2002-02-08 | Canon Inc | X線露光装置 |
JP2002124397A (ja) * | 2000-07-03 | 2002-04-26 | Asm Lithography Bv | 放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス |
WO2006059275A2 (en) * | 2004-12-04 | 2006-06-08 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Method and apparatus for operating an electrical discharge device |
JP2006517050A (ja) * | 2002-10-15 | 2006-07-13 | サイエンス リサーチ ラボラトリー インコーポレイテッド | 高密度プラズマ焦点放射線源 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4837794A (en) * | 1984-10-12 | 1989-06-06 | Maxwell Laboratories Inc. | Filter apparatus for use with an x-ray source |
US4589123A (en) * | 1985-02-27 | 1986-05-13 | Maxwell Laboratories, Inc. | System for generating soft X rays |
US5523193A (en) | 1988-05-31 | 1996-06-04 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for patterning and imaging member |
DE59105735D1 (de) | 1990-05-02 | 1995-07-20 | Fraunhofer Ges Forschung | Belichtungsvorrichtung. |
EP0956516B1 (en) | 1997-01-29 | 2002-04-10 | Micronic Laser Systems Ab | Method and apparatus for the production of a structure by focused laser radiation on a photosensitively coated substrate |
SE509062C2 (sv) | 1997-02-28 | 1998-11-30 | Micronic Laser Systems Ab | Dataomvandlingsmetod för en laserskrivare med flera strålar för mycket komplexa mikrokolitografiska mönster |
US6232613B1 (en) | 1997-03-11 | 2001-05-15 | University Of Central Florida | Debris blocker/collector and emission enhancer for discharge sources |
US6452199B1 (en) * | 1997-05-12 | 2002-09-17 | Cymer, Inc. | Plasma focus high energy photon source with blast shield |
US6566667B1 (en) * | 1997-05-12 | 2003-05-20 | Cymer, Inc. | Plasma focus light source with improved pulse power system |
US6075838A (en) * | 1998-03-18 | 2000-06-13 | Plex Llc | Z-pinch soft x-ray source using diluent gas |
US6408052B1 (en) * | 2000-04-06 | 2002-06-18 | Mcgeoch Malcolm W. | Z-pinch plasma X-ray source using surface discharge preionization |
US6647086B2 (en) | 2000-05-19 | 2003-11-11 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus |
US6972421B2 (en) * | 2000-06-09 | 2005-12-06 | Cymer, Inc. | Extreme ultraviolet light source |
JP2002020860A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-23 | Nissin Electric Co Ltd | 真空アーク蒸発源およびそれを用いた膜形成装置 |
JP2002105628A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Nissin Electric Co Ltd | 真空アーク蒸着装置 |
JP4085593B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2008-05-14 | 日新電機株式会社 | 真空アーク蒸着装置 |
US7033462B2 (en) * | 2001-11-30 | 2006-04-25 | Nissin Electric Co., Ltd. | Vacuum arc vapor deposition process and apparatus |
SG129259A1 (en) * | 2002-10-03 | 2007-02-26 | Asml Netherlands Bv | Radiation source lithographic apparatus, and device manufacturing method |
DE10256663B3 (de) * | 2002-12-04 | 2005-10-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Gasentladungslampe für EUV-Strahlung |
US7135692B2 (en) * | 2003-12-04 | 2006-11-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, illumination system and method for providing a projection beam of EUV radiation |
DE10359464A1 (de) | 2003-12-17 | 2005-07-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von insbesondere EUV-Strahlung und/oder weicher Röntgenstrahlung |
US7075096B2 (en) * | 2004-02-13 | 2006-07-11 | Plex Llc | Injection pinch discharge extreme ultraviolet source |
DE102005025624B4 (de) * | 2005-06-01 | 2010-03-18 | Xtreme Technologies Gmbh | Anordnung zur Erzeugung von intensiver kurzwelliger Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas |
US7462851B2 (en) | 2005-09-23 | 2008-12-09 | Asml Netherlands B.V. | Electromagnetic radiation source, lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
US7518134B2 (en) * | 2006-12-06 | 2009-04-14 | Asml Netherlands B.V. | Plasma radiation source for a lithographic apparatus |
US8493548B2 (en) * | 2007-08-06 | 2013-07-23 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2007
- 2007-08-08 US US11/889,065 patent/US7872244B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-23 NL NL1035743A patent/NL1035743A1/nl active Search and Examination
- 2008-07-28 KR KR1020107005161A patent/KR20100063057A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-07-28 CN CN200880024087.9A patent/CN101690419B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-28 JP JP2010519358A patent/JP2010536166A/ja not_active Ceased
- 2008-07-28 EP EP08785139A patent/EP2177091A1/en not_active Withdrawn
- 2008-07-28 WO PCT/EP2008/006188 patent/WO2009018933A1/en active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60175351A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線発生装置およびx線露光法 |
JP2001021697A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Shimadzu Corp | レーザープラズマx線源 |
JP2002043220A (ja) * | 2000-05-19 | 2002-02-08 | Canon Inc | X線露光装置 |
JP2002124397A (ja) * | 2000-07-03 | 2002-04-26 | Asm Lithography Bv | 放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス |
JP2006517050A (ja) * | 2002-10-15 | 2006-07-13 | サイエンス リサーチ ラボラトリー インコーポレイテッド | 高密度プラズマ焦点放射線源 |
WO2006059275A2 (en) * | 2004-12-04 | 2006-06-08 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Method and apparatus for operating an electrical discharge device |
JP2008522379A (ja) * | 2004-12-04 | 2008-06-26 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 電気放電装置を動作させる方法及び機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101690419B (zh) | 2013-06-05 |
US7872244B2 (en) | 2011-01-18 |
KR20100063057A (ko) | 2010-06-10 |
WO2009018933A1 (en) | 2009-02-12 |
CN101690419A (zh) | 2010-03-31 |
US20090040492A1 (en) | 2009-02-12 |
NL1035743A1 (nl) | 2009-02-10 |
EP2177091A1 (en) | 2010-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3828889B2 (ja) | 伸張可能な薄膜を備える汚染バリヤ | |
JP4369420B2 (ja) | デブリ粒子を抑制するための放射線源装置、リソグラフィ装置、照明システム、および方法 | |
JP6487519B2 (ja) | リソグラフィ装置用の汚染トラップ | |
JP4966342B2 (ja) | 放射源、放射を生成する方法およびリソグラフィ装置 | |
US20120262690A1 (en) | Illumination system, lithographic apparatus and illumination method | |
JP4446996B2 (ja) | 放射システムおよびリソグラフィ装置 | |
JP5722074B2 (ja) | リソグラフィ装置および方法 | |
JP3662574B2 (ja) | リソグラフィ投影装置および上記装置に使うためのレフレクタ組立体 | |
JP2013524525A (ja) | Euv放射源およびeuv放射生成方法 | |
JP2010062560A (ja) | 放射源、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
JP6122853B2 (ja) | 放射源 | |
US20130287968A1 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
US8319200B2 (en) | Radiation source, lithographic apparatus and device manufacturing method | |
JP2011522430A (ja) | 多層ミラーおよびリソグラフィ装置 | |
KR20100102682A (ko) | 극자외 방사선 소스 및 극자외 방사선을 생성하는 방법 | |
US7872244B2 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110727 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120911 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130822 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131030 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140304 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20140724 |