JP2010522977A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 光軸を有する光学装置の光学素子を補正光により照射するための補正光装置であって、
   少なくとも１つの補正光源および少なくとも１つのミラー装置を備え、該ミラー装置が、前記補正光源からの光を光路内で前記光学素子に偏向し、これにより、前記光学装置の少なくとも１つの光学素子における少なくとも１つの表面の少なくとも部分が少なくとも局所的または時間的に可変に照射される装置において、
   前記補正光が低角度で前記光学素子の表面に入射し、前記光学素子の場所における前記光学装置の光軸と補正光線との間の鈍角が１０５°以下であることを特徴とする装置。
2. 請求項１に記載の装置において、
   前記ミラー装置が、互いに隣接して配置された多数のミラー素子を備え、該ミラー素子が互いに独立して旋回可能である装置。
3. 光軸を有する光学装置の光学素子を補正光により照射するための補正光装置であって、
   少なくとも１つの補正光源および少なくとも１つのミラー装置を備え、該ミラー装置が、前記補正光源からの光を光路内で前記光学素子に偏向し、これにより、前記光学装置の少なくとも１つの光学素子における少なくとも１つの表面の少なくとも部分が、少なくとも局所的又は時間的に可変に照射される装置において、
   前記ミラー装置が、互いに隣接して配置された多数のミラー素子を備え、該ミ
   ラー素子が互いに独立して旋回可能であることを特徴とする装置。
4. 請求項１または３に記載の装置において、
   回折格子が前記補正光源および前記ミラー装置および／または前記ミラー装置及び前記光学素子又は光学補正光装置の間に配置されている装置。
5. 請求項１または３に記載の装置において、
   前記ミラー装置は、１つ以上のミラー面を備え、該ミラー面が、ミラー面に対して平行な軸線を中心として、回動または振動式に旋回または移動され、これにより前記補正光が、前記光学装置の前記光学素子上を少なくとも一つの行に沿って移動（スキャン）される装置。
6. 請求項１または３に記載の装置において、
   前記ミラー装置のほかに、前記光学装置の前記光学素子上を第２行に沿って前記補正光線を移動させるための第２スキャン手段が配置されている装置。
7. 請求項６に記載の装置において、
   前記第２行が、前記ミラー装置に従う動きに対して実質的に横断方向または垂直方向である装置。
8. 請求項１または３に記載の装置において、
   アナモルフィック補正光線が用いられる装置。
9. 請求項１または３に記載の装置において、
   該装置が焦点追跡部を備え、該焦点追跡部が、前記第２スキャン手段の内部に組み込まれているか、または前記補正光の光路に独立して配置されている装置。
10. 請求項１または３に記載の装置において、
    前記補正光線の光路に、レンズ、ミラー、回折光学素子（ＤＯＥ）などを含む群からの少なくとも１つの光学素子を有する少なくとも１つの光学補正光装置が配置されている装置。
11. 請求項１または３に記載の装置において、
    前記光学装置の前記光学素子表面上の補正光線の場所に応じて、入射補正光を開ループまたは閉ループ制御する、制御器、出力制御器、および音響光学変調器（ＡＯＭ）の少なくとも１つを備える装置。
12. 請求項１または３に記載の装置において、
    開ループ制御手段および閉ループ制御手段の少なくとも１つが設けられており、該制御手段が、少なくとも１つのセンサ手段の測定値によって、照射継続時間、照射場所、光強度、補正光源出力などの群から選択された少なくとも１つの作動パラメータの開ループおよび閉ループ制御の少なくとも１つを実行することを特徴とする装置。
13. 請求項１または３に記載の装置において、
    前記補正光源として、ＩＲ（赤外線）光源、または４μｍ以上の波長を有する光もしくはＣＯ _２ レーザの光のための光源の少なくとも１つが設けられている装置。
14. 請求項１または３に記載の装置において、
    前記光学装置が、マイクロリソグラフィ用投影露光装置の一部である装置。
15. 補正光源から光学素子までの間の光路にてミラー装置を介して偏向される補正光により、前記光学素子の少なくとも１つの表面又は少なくとも一部を少なくとも時間的又は局所的に可変に照射することにより、光学装置内の光学素子の不均一な加熱に起因する光学装置における結像エラーを補正するための方法において、
    前記補正光を、１５°以下の低角度で前記光学素子の表面に向けて照射する方法。
16. 請求項１５に記載の方法において、
    前記補正光を、１０°以下の低角度で前記光学素子の表面に向けて照射する方法。