JP5576385B2 - 放射線感応基板に撮像する方法および装置 - Google Patents
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- G03F7/70466—Multiple exposures, e.g. combination of fine and coarse exposures, double patterning or multiple exposures for printing a single feature
Description
2 放射場
3 光学ユニット
4 拡張された放射場
5 ミラー
6 プログラマブルテンプレート
7 活性変調器素子
8 発散ビーム束
9、15 レンズ
10 平行なビーム束
11 偏向ユニット
12 0次ビーム束
13、21 吸収体
14 1次ビーム束
16 集束ビーム束
17 放射線感応基板
18 焦点面
19 不活性変調器素子
20 ビーム束
22 偏向されるビーム束
23 偏向されたビーム束
24 像点
25 変調器素子の上面図
26 変調器素子の幾何学的画像
27 変調器素子の回折誘発画像
28 重なり領域
29 強度分布
30 画像グリッド
31 部分グリッド
32 強度合計
Claims (13)
- 放射線感応基板(17)が放射線反応する波長を有するコヒーレント放射線(2)を使用して、プログラマブルテンプレート(6)が基板上(17)に投射される放射線感応基板(17)を撮像するための方法で、画像グリッド(30)を有するプログラマブルテンプレート(6)の全体画像が、音響光学または電気光学偏向ユニット(11)を用いて変位され、基板(17)上の画像グリッド(30)に細かい部分グリッド(31)が形成される、放射線感応基板(17)を撮像するための方法にして、
コヒーレント放射線(2)が、光学ユニット(3)によって拡張された照射野(4)に拡張されて、照射野(4)がプログラマブルテンプレート(6)に向けられ、プログラマブルテンプレート(6)の全ての制御可能な変調器素子(7)が照射され、プログラマブルテンプレート(6)の照射角度が、放射線感応基板(17)にあたる光の位相角を調節するために変更されるようにすること、
偏向ユニット(11)によって、活性化された変調器素子(7)の複数のコヒーレントビーム束で形成されたプログラマブルテンプレート(6)の全体画像が同時に偏向されて、露光される基板(17)のそれぞれの面において、プログラマブルテンプレート(6)の全体画像が画像グリッド(30)内で複数回変位され、この場合、露光プロセスが時間的にずれて発生し、複数の投射が基板(17)の異なる位置にあたって画像グリッド(30)内の細かい部分グリッド(31)が基板(17)上で形成されることを特徴とする、方法。 - 部分グリッド(31)を形成ための変位の長さが、画像グリッド(30)の幅より短いことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- プログラマブルテンプレート(6)が、変調器素子(7)の1次元グリッドまたは2次元グリッドで構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- コヒーレント放射線(2)の方向が、変調器素子(7)を使用して変更されることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- コヒーレント放射線(2)の振幅が、変調器素子(7)を使用して変更されることを特徴とする、請求項3または4に記載の方法。
- 時間的に連続する出力を有する放射線源(1)が使用されることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 時間的にパルス状の出力を有する放射線源(1)が使用されることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 音響光学または電気光学偏向ユニット(11)を使用して、複数のビーム束が同時に変位されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 放射線感応基板(17)と、基板(17)が放射線反応する波長を有するコヒーレント放射線(2)を発するための放射線源(1)と、プログラマブルテンプレート(6)と、コヒーレント放射線によって放射線感応基板(17)上に照射されるプログラマブルテンプレート(6)を投射するための光学系と、画像グリッドを有するプログラマブルテンプレート(6)の画像を変位させるために、基板(17)上の画像グリッド(30)に細かい部分グリッド(31)が形成されるように作用され得る音響光学または電気光学偏向ユニット(11)とを含む、放射線感応基板(17)を撮像するための装置であって、
コヒーレント放射線(2)が照射野(4)に拡張され、プログラマブルテンプレート(6)の全ての制御可能な変調器素子(7)が照射されるようにプログラマブルテンプレート(6)に向けられる光学ユニット(3)を備えること、光学系は、プログラマブルテンプレート(6)の照射角度が、放射線感応基板(17)にあたる光の位相角を調節するように具現化され、偏向ユニット(11)は、活性変調器素子(7)の複数のコヒーレントビーム束で形成されるプログラマブルテンプレートの全体画像が同時に変位されるように、さらにテンプレート(6)の全体画像が露光される基板(17)の各々の面において画像グリッド(30)内で変位されるように具現化され、露光プロセスが時間的にずれて発生し、複数の投射が基板(17)の異なる位置にあたって画像グリッド内の細かい部分グリッド(31)が基板(17)上で形成されることを特徴とする、放射線感応基板(17)を撮像するための装置。 - プログラマブルテンプレート(6)が変調器素子(7)で構成され、変調器素子(7)がマイクロミラーアレイで形成されることを特徴とする、請求項9に記載の放射線感応基板(17)を撮像するための装置。
- プログラマブルテンプレート(6)が変調器素子(7)で構成され、変調器素子(7)が制御可能回折格子の1次元配列で形成されることを特徴とする、請求項9に記載の放射線感応基板(17)を撮像するための装置。
- 放射線源(1)が、180nmから430nmの波長を有する光を発することを特徴とする、請求項9から11のいずれか一項に記載の放射線感応基板(17)を撮像するための装置。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の方法が装置によって実行されるように装置に作用する制御ユニットを含むことを特徴とする、請求項9から12のいずれか一項に記載の放射線感応基板(17)を撮像するための装置。
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JP2007522671A (ja) * | 2004-02-25 | 2007-08-09 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 光マスクレスリソグラフィにおいてパターンを露光し、マスクをエミュレートする方法 |
US7330298B2 (en) * | 2005-02-04 | 2008-02-12 | Texas Instruments Incorporated | Optical system and method for increasing image resolution and/or dithering in projection applications |
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