JP2010512028A - 表面をパターニングするための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有するスタンプを提供するステップであって、凹部はスタンプの表面のパターンに隣接し、かつスタンプの表面のパターンを画定する、ステップと、
(b)コーティングされたスタンプを提供するために、スタンプの表面にペーストを塗布するステップと、
(c)ペーストを基板のある範囲に接着するために、コーティングされたスタンプの表面を基板と接触させるステップと、
(d)基板上に特徴を生成するために、基板のある範囲に接着されたペーストを反応させるステップと、
を含み、スタンプの表面上のパターンは表面特徴の横方向寸法を画定し、表面特徴の横方向寸法は約40nmから約100μmまでである。
(a)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有する弾性スタンプを提供するステップであって、凹部はスタンプの表面のパターンに隣接し、かつスタンプの表面のパターンを画定する、ステップと、
(b)コーティングされた弾性スタンプを形成するために、弾性スタンプの表面にインクを塗布するステップと、
(c)弾性スタンプの表面のパターンによって画定されるパターンで、インクを弾性スタンプの表面から基板のある範囲へと転写するのに十分な時間のあいだ、コーティングされた弾性スタンプの表面を基板と接触させるステップと、
(c)基板から弾性スタンプを除去するステップと、
(d)インクのパターンによって塗膜されていない基板の範囲に、ペーストを塗布するステップと、
(e)基板上に特徴を生成するために、ペーストを、インクのパターンによって塗膜されていない基板の範囲と反応させるステップと、
を含み、インクのパターンは表面特徴の横方向寸法を画定し、表面特徴の横方向寸法は、約40nmから約100μmまでである。
(a)コーティングされた基板を形成するために、ペーストを基板に塗布するステップと、
(b)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有するスタンプを提供するステップであって、凹部はスタンプの表面のパターンに隣接し、かつスタンプの表面のパターンを画定する、ステップと、
(c)基板上にスタンプの表面のパターンによって画定されるペーストのパターンを生成するために、スタンプの表面をコーティングされた基板のある範囲と接触させるステップと、
(d)基板上に特徴を生成するために、ペーストを反応させるステップと、
を含み、スタンプの表面のパターンは表面特徴の横方向寸法を画定し、表面特徴の横方向寸法は約40nmから約100μmまでである。
(a)開口部をそこに含む、表面を有する弾性ステンシルを提供するステップと、
(b)弾性ステンシルの表面を基板と接触させるステップであって、弾性ステンシルの開口部は基板のある範囲を暴露する、ステップと、
(c)基板の暴露された範囲にペーストを塗布するステップと、
(d)基板上に特徴を生成するために、基板の暴露された範囲に塗布されたペーストを反応させるステップと、
を含み、弾性ステンシルの開口部の横方向寸法は、ペーストを反応させることによって生成される表面特徴の横方向寸法を画定し、表面特徴の横方向寸法は約40nmから約100μmまでである。
一部の実施形態において、表面特徴は、構造的特徴、マスク特徴、導電性特徴、または絶縁特徴のうちの少なくとも1つを含む。
本発明は、基板中または基板上に特徴を形成するための方法を提供する。本発明の使用に適切な基板は、サイズ、組成、または形状によって特に限定されない。例えば、本発明は、平面、湾曲状、対称、および非対称の物体および表面、ならびにそれらの任意の組み合わせのパターニングに適する。さらに、基板の組成は、均一または不均一であり得る。本方法はまた、表面粗度または表面波形によって限定されず、平滑表面、粗表面、および波状表面と、不均一表面形態を呈する基板(すなわち、様々な程度の平滑度、粗度、および/または波形を有する基板)とに、同等に適用され得る。
本発明の方法によって生成される表面特徴は、横方向寸法および垂直方向寸法を有し、この寸法は、一般的には、オングストローム(Å)、ナノメートル(nm)、ミクロン(μm)、ミリメートル(mm)、センチメートル(cm)、などの長さの単位で定義される。
本明細書で使用するとき、「ペースト」とは、約1センチポアズ(cP)から約10,000cPまでの粘度を有する、不均一組成を言う。「不均一組成」とは、複数の賦形剤または成分を有する組成を言う。本明細書で使用するとき、「ペースト」はまた、ゲル、クリーム、糊、および接着剤、ならびに任意の他の粘性液体または半固体を参照し得る。一部の実施形態において、本発明で使用するペーストは、調整可能な粘度、および/または1つ以上の外的条件によって制御され得る粘度を有する。
本発明の方法によってパターニングするために適した基板は、特に限定されず、スタンプと接触可能な表面を有する任意の材料を含む。本発明の方法によってパターニングするために適した基板は、金属、合金、複合材、結晶質材料、非結晶質材料、導体、半導体、光学部品、繊維、ガラス、セラミックス、ゼオライト、プラスチックス、膜、薄膜、積層、箔、プラスチックス、ポリマー、鉱物、生体材料、生体組織、骨、およびそれらの組み合わせを含むが、これらに限定されない。一部の実施形態において、基板は、任意の上記材料の多孔質変形体から選択される。
(スタンプおよびステンシル)
本明細書で使用するとき、「スタンプ」とは、スタンプの少なくとも1つの表面上に、パターンを画定する凹部を有する、3次元物体を言う。本発明で使用するスタンプは、形状によって特に限定されず、平坦、湾曲状、平滑、粗面、波状、およびそれらの組み合わせであり得る。一部の実施形態において、スタンプは、基板とコンフォーマルに接触するのに適した3次元形状を有し得る。一部の実施形態において、スタンプは、同一または異なるパターンを含む多数のパターニングされた表面を含み得る。一部の実施形態において、スタンプは円筒を含み、この場合、円筒の湾曲面における1つ以上の凹部がパターンを画定する。円筒状スタンプが表面上を回転するときに、パターンが繰り返される。円筒状スタンプが回転するときに、ペーストまたはインクが円筒状スタンプに塗布され得る。多数のパターニングされた表面を有するスタンプでは、洗浄ステップ、塗布ステップ、接触ステップ、除去ステップ、および反応ステップが、同一のスタンプの異なる表面で同時に起こり得る。
(ペーストの塗布および反応)
ペーストは、スクリーン印刷、インクジェット印刷、シリンジ堆積法、スプレイ法、スピンコーティング、ブラッシング、およびそれらの組み合わせを含むが、これらに限定されない、当技術分野において公知の方法、ならびに、表面コーティングの当業者にとって公知の他の塗布方法によって、スタンプの表面または基板の表面に塗布され得る。一部の実施形態において、ペーストが、スタンプの表面上に注がれ、次いで、ブレードが表面上を横切って移動し、スタンプの凹部が完全かつ均一にペーストで充填されるようにする。ブレードはまた、スタンプの表面から余分なペーストを除去し得る。基板またはスタンプの表面にペーストを塗布するステップは、回転表面にペーストを注入またはスプレイするステップの間に、毎分約100回転(rpm)から約5,000rpmまで、または約1,000rpmから約3,000rpmまでで、表面を回転するステップを含み得る。
増粘剤(カルボキシメチルセルロースナトリウム、1g)を、H3PO4の85%水溶液(10mL)に添加し、激しく撹拌する(〜400rpm)ことによって、エッチングペーストを調製し、その結果として得られて混合液を、さらに20〜30分間激しく撹拌した。
実施例1で調製したエッチングペーストを、スピンコーティング(約100rpmから約5,000rpmまで)によって、パターンを画定する凹部を有するスタンプに塗布する。次に、コーティングされたスタンプをアルミニウム表面と接触させ、室温で5分間、ペーストを反応させる。次に、スタンプをアルミニウム表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させる。サブトラクティブ非浸透特徴がアルミニウム表面上に形成され、横方向寸法は、スタンプの表面のパターンによって画定される。
パターンを画定する開口部を有する弾性ステンシルを、アルミニウム表面とコンフォーマルに接触させる。実施例1で調製したエッチングペーストを、弾性ステンシルの開口部に塗布し、室温で5分間、アルミニウム表面と反応させる。次に、弾性ステンシルをアルミニウム表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させる。サブトラクティブ非浸透表面特徴がアルミニウム表面上に形成され、横方向寸法は、弾性ステンシルの開口部の横方向寸法によって画定される。
50μmの横方向寸法を有する開口部を有する弾性ステンシルを、ガラス上ITO表面(ITO厚さ=30nm)にコンフォーマルに接触させた。実施例1で調製したエッチングペーストを、弾性ステンシルの開口部に塗布した。ペーストを、室温で5分間、ITOと反応させた。次に、弾性ステンシルをガラス上ITO表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させた。サブトラクティブ非浸透表面特徴が、ITOに形成され、図3、図4、および図5に示されている。
脱イオン水(25mL)の中に水酸化カリウム(8g)を溶解することによって、エッチングペーストを調製した。増粘剤(カルボキシメチルセルロースナトリウム、2g)を添加し、激しく撹拌して(〜400rpm)、その結果として得られた混合液を、さらに20〜30分間撹拌した。
実施例5で調製したエッチングペーストを、スピンコーティング(約100rpmから約5,000rpmまで)によって、パターンを画定する凹部を有するスタンプに塗布する。次に、コーティングされたスタンプをシリコン表面と接触させ、室温で5分間、ペーストを反応させる。次に、スタンプをシリコン表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させる。サブトラクティブ非浸透特徴が、シリコン表面上に形成され、横方向寸法は、弾性スタンプの表面のパターンによって画定される。
パターンを画定する開口部を有する弾性ステンシルを、シリコン表面にコンフォーマルに接触させる。実施例5で調製したエッチングペーストを、弾性ステンシルの開口部に塗布し、室温で5分間、シリコン表面と反応させる。次に、弾性ステンシルをシリコン表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させる。サブトラクティブ非浸透表面特徴がシリコン表面に形成され、横方向寸法は、弾性ステンシルの開口部の横方向寸法によって画定される。
50μmの横方向寸法を有する開口部を有する弾性ステンシルを、空気プラズマ(約78%N2、21%O2、および1%Ar)に30秒間暴露(ニューヨーク州、イサカのHarrick Plasma社のPDC−32Gテーブルトッププラズマクリーナー)することによって前処理し、これによって、スタンプの表面を親水性にした。前処理された弾性ステンシルを、顕微鏡用スライドガラスの表面とコンフォーマルに接触させた。エッチングペースト(アリゾナ州、ピオリアのB&B Products,inc.のETCHALL(登録商標))を脱イオン水で希釈し(体積比1:1)、弾性ステンシルの開口部に塗布した。室温で1分間、ペーストをガラス表面と反応させた。次に、弾性ステンシルをガラス表面から除去し、表面を脱イオン水ですすぎ、乾燥させた。サブトラクティブ非浸透表面特徴が、ガラス表面に形成され、図6、図7、および図8に示されている。
銀粒子(40重量%)と増粘剤(ポリエチレンオキシド、5重量%)とを水中で激しく混合して、導電性ペーストを調製する。
シリカガラス粒子(SiO2、15重量%)、リン酸(10重量%)、増粘剤(ポリビニルピロリドン、5重量%)、および水を含む反応性ペーストを、成分を激しく混合することによって調製する。
PDMS弾性スタンプを、空気プラズマ(約78%N2、21%O2、および1%Ar)に暴露し、スタンプの表面を親水性にする。硝酸銀(1.7g)、カルボキシルメチルセルロースナトリウム(8g)、および脱イオン水(100mL)を含む反応性ペーストを弾性スタンプ上に注入し、次に、ドクターブレードして、スタンプの表面のパターンを画定する凹部を均一に充填し、かつ、弾性スタンプの表面から余分なペーストを除去する。次に、弾性スタンプの表面を、室温で10分間、銅でコーティングされた表面と接触させる。次に、スタンプを除去し、基板を脱イオン水で洗い、乾燥させる。コンフォーマル浸透銀特徴が、弾性スタンプの凹部のパターンと同じパターンで、銅表面上に形成される。
その表面のパターンを画定する凹部を有する、PDMS弾性スタンプを、空気プラズマ(約78%N2、21%O2、および1%Ar)に暴露し、弾性スタンプの表面を親水性にする。二酸化ケイ素粒子(10重量%)および増粘剤(ポリ乳酸、5重量%)を水中に含むペーストを、弾性スタンプの表面上に注入し、次に、ドクターブレードして、凹部を均一に充填し、かつ、弾性スタンプの表面から任意の余分なペーストを除去する。次に、弾性スタンプの表面を、金属表面と接触させる。金属表面を5分間加熱(〜100℃)し、次に、スタンプを金属表面から除去する。金属表面上に生成されたSiO2特徴は、弾性スタンプの表面の凹部の寸法と同等の横方向寸法を有する。表面特徴は、金属表面をエッチングするためのマスクとして、および/または金属表面上の絶縁パターンとして、機能し得る。
金の表面にサブトラクティブ特徴を生成するのに適した第1のエッチングペーストを、4gのKI、1gのI2、および40mLのH2Oを、1gの増粘剤と混合し、20〜30分間激しく混合することによって調製する。金の表面にサブトラクティブ特徴を生成するのに適した第2のエッチングペーストを、K3Fe(CN)6、(4M)、KCN(0.2M)、およびKOH(0.1M)を含有する100mLの水溶液を、増粘剤(1g)と混合することによって調製する。溶液を、20〜30分間激しく混合する。
これらの実施例は、本発明の可能な実施形態を示す。本発明の種々の実施形態が、上記で説明されてきたが、それらは単なる例示として提示されており、制限として提示されていないことが、理解されるべきである。本発明の精神および範囲を逸脱することなく、形式および詳細の種々の変更が加えられ得ることが、当業者には明らかである。したがって、本発明の範囲は、上述の例示的な実施形態のいずれかによって限定されるべきではなく、以下の請求項およびその均等物に従ってのみ定義されるべきである。
Claims (20)
- 基板上に特徴を形成するための方法であって、該方法は、
(a)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有するスタンプを提供するステップであって、該凹部は、該スタンプの該表面のパターンに隣接し、かつ該スタンプの該表面のパターンを画定する、ステップと、
(b)コーティングされたスタンプを提供するために、該スタンプの該表面にペーストを塗布するステップと、
(c)該ペーストを該基板のある範囲に接着させるために、該コーティングされたスタンプの該表面を、基板と接触させるステップと、
(d)該基板上に特徴を生成するために、該基板の該範囲に接着された該ペーストを反応させるステップと、
を包含し、
該スタンプの該表面上の該パターンは、該表面特徴の横方向寸法を画定し、
該表面特徴の該横方向寸法は、約40nmから約100μmまでである、
方法。 - 前記ペーストが接着される前記表面の前記範囲は、前記スタンプの前記表面と接触する、請求項1に記載の方法。
- 前記ペーストが接着される前記基板の前記範囲は、前記スタンプの前記表面の前記少なくとも1つの凹部と接触する、請求項1に記載の方法。
- 前記ペーストを反応させるステップの前に、前記基板から前記スタンプを除去するステップをさらに包含する、請求項1に記載の方法。
- 前記ペーストを反応させるステップの後に、前記基板から前記スタンプを除去するステップをさらに包含する、請求項1に記載の方法。
- 洗浄、酸化、還元、誘導体化、官能化、反応性ガスへの暴露、プラズマへの暴露、熱エネルギーへの暴露、電磁放射への暴露、およびそれらの組み合わせ、のうちから選択されるプロセスで、前記スタンプと前記基板とのうちの少なくとも1つを、前処理するステップをさらに包含する、請求項1に記載の方法。
- 前記表面特徴は、サブトラクティブ非浸透表面特徴である、請求項1に記載の方法。
- 基板上に特徴を形成するための方法であって、該方法は、
(a)コーティングされた基板を形成するために、ペーストを基板に均一に塗布するステップと、
(b)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有するスタンプを提供するステップであって、該凹部は、該スタンプの該表面のパターンに隣接し、かつ該スタンプの該表面のパターンを画定する、ステップと、
(c)該スタンプの該表面の該パターンによって画定される、該基板上のペーストのパターンを生成するために、該スタンプの該表面を該コーティングされた基板のある範囲と接触させるステップと、
(d)該基板上に特徴を生成するために、該ペーストを反応させるステップと、
を包含し、
該スタンプの該表面の該パターンは、該表面特徴の横方向寸法を画定し、
該表面特徴の該横方向寸法は、約40nmから約100μmまでである、
方法。 - 前記ペーストを反応させるステップの前に、前記基板から前記スタンプを除去するステップをさらに包含する、請求項8に記載の方法。
- 前記ペーストを反応させるステップの後に、前記基板から前記スタンプを除去するステップをさらに包含する、請求項8に記載の方法。
- 洗浄、酸化、還元、誘導体化、官能化、反応性ガスへの暴露、プラズマへの暴露、熱エネルギーへの暴露、電磁放射への暴露、およびそれらの組み合わせ、のうちから選択されるプロセスで、前記スタンプと前記基板とのうちの少なくとも1つを、前処理するステップをさらに包含する、請求項8に記載の方法。
- 前記表面特徴は、サブトラクティブ非浸透表面特徴である、請求項8に記載の方法。
- 基板上に特徴を形成するための方法であって、該方法は、
(a)開口部をそこに含む、表面を有する弾性ステンシルを提供するステップと、
(b)該弾性ステンシルの該表面を、基板と接触させるステップであって、該弾性ステンシルの該開口部は、該基板のある範囲を暴露する、ステップと、
(c)該基板の該暴露された範囲に、ペーストを塗布するステップと、
(d)該基板上に特徴を生成するために、該基板の該暴露された範囲に塗布された該ペーストを反応させるステップと、
を包含し、
該弾性ステンシルの該開口部の横方向寸法が、該ペーストを反応させることによって生成される該表面特徴の横方向寸法を画定し、
該表面特徴の該横方向寸法は、約40nmから約100μmまでである、
方法。 - 洗浄、酸化、還元、誘導体化、官能化、反応性ガスへの暴露、プラズマへの暴露、熱エネルギーへの暴露、電磁放射への暴露、およびそれらの組み合わせ、のうちから選択されるプロセスで、前記スタンプおよび前記基板のうちの少なくとも1つを、前処理するステップをさらに包含する、請求項13に記載の方法。
- 前記ペーストを反応させるステップの前に、前記基板から前記弾性ステンシルを除去するステップをさらに包含する、請求項13に記載の方法。
- 前記ペーストを反応させるステップの後に、前記基板から前記弾性ステンシルを除去するステップをさらに包含する、請求項13に記載の方法。
- 前記接触させるステップは、前記弾性ステンシルの前記表面の少なくとも1つの範囲を、前記基板の少なくとも1つの範囲とコンフォーマルに接触するように、配置するステップを包含する、請求項13に記載の方法。
- 基板上に特徴を形成するための方法であって、該方法は、
(a)少なくとも1つの凹部をそこに含む、表面を有する弾性スタンプを提供するステップであって、該凹部は、該弾性スタンプの該表面のパターンに隣接し、かつ該弾性スタンプの該表面のパターンを画定する、ステップと、
(b)コーティングされた弾性スタンプを形成するために、該弾性スタンプの該表面にインクを塗布するステップと、
(c)該弾性スタンプの該表面の該パターンによって画定されるパターンで、該インクを該弾性スタンプの該表面から基板のある範囲へと転写するのに十分な時間のあいだ、該コーティングされた弾性スタンプの該表面を基板と接触させるステップと、
(c)該基板から該弾性スタンプを除去するステップと、
(d)インクの該パターンによってコーティングされない該基板の範囲に、ペーストを塗布するステップと、
(e)該基板の上に特徴を生成するために、該ペーストを、インクの該パターンによってコーティングされない該基板の該範囲と、反応させるステップと、
を包含し、
該インクの該パターンは、該表面特徴の横方向寸法を画定し、
該表面特徴の該横方向寸法は、約40nmから約100μmまでである、
方法。 - 前記接触させるステップは、前記弾性スタンプの前記表面の少なくとも1つの範囲を、前記基板の少なくとも1つの範囲とコンフォーマルに接触するように、配置するステップを包含する、請求項18に記載の方法。
- 前記表面特徴は、サブトラクティブ非浸透表面特徴である、請求項18に記載の方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014082330A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | SiN膜の除去方法 |
JP2014082329A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | 組成物 |
JP2014082331A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | 液状組成物 |
JP2016086187A (ja) * | 2016-02-01 | 2016-05-19 | 日立化成株式会社 | SiN膜の除去方法 |
JPWO2014061245A1 (ja) * | 2012-10-16 | 2016-09-05 | 日立化成株式会社 | エッチング材 |
KR20190067530A (ko) * | 2017-12-07 | 2019-06-17 | 인하대학교 산학협력단 | 비닐계 호모폴리머 이온성 젤의 녹는점을 이용한 스탬핑 전사방법 및 이에 의하여 전사된 비닐계 호모폴리머 이온성 젤 |
JP2019527938A (ja) * | 2016-08-05 | 2019-10-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 導電性材料のインプリントリソグラフィの方法、インプリントリソグラフィのためのスタンプ、及びインプリントリソグラフィのための装置 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1998602B1 (en) * | 2007-03-29 | 2014-03-05 | Alpha Metals, Inc. | Method of manufacturing electrical contacts |
WO2009067475A1 (en) * | 2007-11-19 | 2009-05-28 | Applied Materials, Inc. | Crystalline solar cell metallization methods |
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WO2009099417A1 (en) * | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Nano Terra Inc. | Stencils with removable backings for forming micron-sized features on surfaces and methods of making and using the same |
WO2009114229A1 (en) * | 2008-03-14 | 2009-09-17 | Research Triangle Institute | Selective planarization method and devices fabricated on planarized structures |
JP5149083B2 (ja) * | 2008-06-16 | 2013-02-20 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、並びに基板加工方法、モールド構造体の複製方法、及びモールド構造体 |
WO2009158039A1 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-30 | Nano Terra Inc. | Patterning processes comprising amplified patterns |
US8309446B2 (en) | 2008-07-16 | 2012-11-13 | Applied Materials, Inc. | Hybrid heterojunction solar cell fabrication using a doping layer mask |
US8685272B2 (en) * | 2008-08-08 | 2014-04-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Composition for etching silicon oxide layer, method for etching semiconductor device using the same, and composition for etching semiconductor device |
US7951637B2 (en) * | 2008-08-27 | 2011-05-31 | Applied Materials, Inc. | Back contact solar cells using printed dielectric barrier |
JP5363856B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2013-12-11 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
US20100252955A1 (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-07 | Nano Terra Inc. | Methods of Patterning Substrates Using Microcontact Printed Polymer Resists and Articles Prepared Therefrom |
TW201128301A (en) * | 2009-08-21 | 2011-08-16 | Nano Terra Inc | Methods for patterning substrates using heterogeneous stamps and stencils and methods of making the stamps and stencils |
TW201220974A (en) * | 2010-05-21 | 2012-05-16 | Nano Terra Inc | Stencils for high-throughput micron-scale etching of substrates and processes of making and using the same |
US20120070570A1 (en) * | 2010-09-16 | 2012-03-22 | Xerox Corporation | Conductive thick metal electrode forming method |
WO2013106225A1 (en) | 2012-01-12 | 2013-07-18 | Applied Materials, Inc. | Methods of manufacturing solar cell devices |
KR20140142005A (ko) * | 2013-06-03 | 2014-12-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 상에 막을 코팅하는 방법 |
US20160090488A1 (en) * | 2013-09-09 | 2016-03-31 | FunNano USA, Inc. | Mesh-like micro- and nanostructure for optically transparent conductive coatings and method for producing same |
US20150118444A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-04-30 | General Electric Company | Methods of manufacturing silica-forming articles having engineered surfaces to enhance resistance to creep sliding under high-temperature loading |
EP3119531A4 (en) * | 2014-03-19 | 2018-01-17 | Utilight Ltd. | Printing high aspect ratio patterns |
US9868902B2 (en) | 2014-07-17 | 2018-01-16 | Soulbrain Co., Ltd. | Composition for etching |
CN109470675B (zh) * | 2017-09-08 | 2024-04-02 | 清华大学 | 分子载体的制备方法 |
CN110039890B (zh) * | 2019-04-18 | 2020-09-18 | 云南开放大学 | 印刷色泽更亮丽的印刷装置 |
US11549022B2 (en) * | 2019-08-13 | 2023-01-10 | The Boeing Company | Conductive composites |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5512131A (en) * | 1993-10-04 | 1996-04-30 | President And Fellows Of Harvard College | Formation of microstamped patterns on surfaces and derivative articles |
JP2002086483A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-26 | Matsushita Electric Works Ltd | Frp成形品の製造方法 |
JP2003509228A (ja) * | 1999-09-14 | 2003-03-11 | マサチューセッツ・インスティテュート・オブ・テクノロジー | 微細造作を有するデバイスの液体エンボス加工による製造 |
JP2005515617A (ja) * | 2001-10-11 | 2005-05-26 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 非粘着性のモールドを使用する、パターン化された構造の複製 |
JP2005353585A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-12-22 | Showa Denko Kk | 導電性構造体およびその製造方法ならびに燃料電池用セパレータ |
US20060110890A1 (en) * | 2004-11-19 | 2006-05-25 | International Business Machines Corporation | Cut-and-paste imprint lithographic mold and method therefor |
JP2006139249A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 平板表示素子の製造方法及び装置 |
WO2006070813A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Rimtec Corporation | 金型、インモールドコーティング方法及び被膜を持つ成形品 |
EP1708022A1 (en) * | 2005-03-29 | 2006-10-04 | Lee, Bing-Huan | Nanoimprint lithograph for fabricating nanopattern in a resist layer |
JP2006323387A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-30 | Asml Netherlands Bv | インプリント・リソグラフィ |
JP2007055235A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-03-08 | Obducat Ab | 環状オレフィン共重合体を含んでなるインプリントスタンプ |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2897066A (en) * | 1956-10-12 | 1959-07-28 | Hunt Capacitors Ltd A | Electrical capacitors |
DE1696714B1 (de) * | 1968-03-13 | 1970-12-03 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Herstellung eines Kennzeichens auf durchsichtigen Werkstoffen |
US3647508A (en) * | 1968-08-27 | 1972-03-07 | King Seeley Thermos Co | Method of making patterned metal coatings by selective etching of metal |
CH507590A (de) * | 1969-06-20 | 1971-05-15 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen von kleinflächigen Halbleiterbauelementen |
US4021279A (en) * | 1972-04-20 | 1977-05-03 | Stichting Reactor Centrum Nederland | Method of forming groove pattern |
US5296043A (en) * | 1990-02-16 | 1994-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-cells integrated solar cell module and process for producing the same |
JPH0580530A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Hitachi Ltd | 薄膜パターン製造方法 |
IT1272665B (it) * | 1993-09-23 | 1997-06-26 | Eurosolare Spa | Procedimento per la preparazione di moduli fotovoltaici a base di silicio cristallino |
US5688366A (en) * | 1994-04-28 | 1997-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Etching method, method of producing a semiconductor device, and etchant therefor |
JP3057599B2 (ja) * | 1994-07-06 | 2000-06-26 | キヤノン株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
EP0784543B1 (en) * | 1995-08-04 | 2000-04-26 | International Business Machines Corporation | Lithographic surface or thin layer modification |
US5772905A (en) * | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
US5725788A (en) * | 1996-03-04 | 1998-03-10 | Motorola | Apparatus and method for patterning a surface |
US6048623A (en) * | 1996-12-18 | 2000-04-11 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Method of contact printing on gold coated films |
JPH11243224A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-09-07 | Canon Inc | 光起電力素子モジュール及びその製造方法並びに非接触処理方法 |
US6334960B1 (en) * | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
US6047637A (en) * | 1999-06-17 | 2000-04-11 | Fujitsu Limited | Method of paste printing using stencil and masking layer |
US6632730B1 (en) * | 1999-11-23 | 2003-10-14 | Ebara Solar, Inc. | Method for self-doping contacts to a semiconductor |
US6294398B1 (en) * | 1999-11-23 | 2001-09-25 | The Trustees Of Princeton University | Method for patterning devices |
AU4251001A (en) * | 2000-04-28 | 2001-11-12 | Merck Patent Gmbh | Etching pastes for inorganic surfaces |
DE10047556A1 (de) * | 2000-09-22 | 2002-04-11 | Univ Konstanz | Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und nach diesem Verfahren hergestellte Solarzelle |
DE10104726A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-08-08 | Siemens Solar Gmbh | Verfahren zur Strukturierung einer auf einem Trägermaterial aufgebrachten Oxidschicht |
US20020130444A1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-09-19 | Gareth Hougham | Post cure hardening of siloxane stamps for microcontact printing |
US20050120902A1 (en) * | 2001-04-25 | 2005-06-09 | David Adams | Edge transfer lithography |
US20030006527A1 (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-09 | Rabolt John F. | Method of fabricating micron-and submicron-scale elastomeric templates for surface patterning |
DE10138105A1 (de) * | 2001-08-03 | 2003-02-27 | Infineon Technologies Ag | Fotolack und Verfahren zum Strukturieren eines solchen Fotolacks |
KR20040085221A (ko) * | 2002-02-25 | 2004-10-07 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 디스크 드라이브 내의 레이저 다이오드의 온도 제어 |
EP1378947A1 (en) * | 2002-07-01 | 2004-01-07 | Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw | Semiconductor etching paste and the use thereof for localised etching of semiconductor substrates |
US6957608B1 (en) * | 2002-08-02 | 2005-10-25 | Kovio, Inc. | Contact print methods |
DE10241300A1 (de) * | 2002-09-04 | 2004-03-18 | Merck Patent Gmbh | Ätzpasten für Siliziumoberflächen und -schichten |
WO2004044654A2 (en) * | 2002-11-12 | 2004-05-27 | Princeton University | Compositions and processes for nanoimprinting |
US9040090B2 (en) * | 2003-12-19 | 2015-05-26 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Isolated and fixed micro and nano structures and methods thereof |
US7354845B2 (en) * | 2004-08-24 | 2008-04-08 | Otb Group B.V. | In-line process for making thin film electronic devices |
EP1594001B1 (en) * | 2004-05-07 | 2015-12-30 | Obducat AB | Device and method for imprint lithography |
US8721952B2 (en) * | 2004-11-16 | 2014-05-13 | International Business Machines Corporation | Pneumatic method and apparatus for nano imprint lithography having a conforming mask |
TWI280159B (en) * | 2005-03-29 | 2007-05-01 | Li Bing Huan | Method for fabricating nano-adhesive |
ATE419560T1 (de) * | 2005-06-10 | 2009-01-15 | Obducat Ab | Kopieren eines musters mit hilfe eines zwischenstempels |
EP1731961B1 (en) * | 2005-06-10 | 2008-11-05 | Obducat AB | Template replication method |
TW200705541A (en) * | 2005-07-25 | 2007-02-01 | Li Bing Huan | Manufacturing method of nano-sticker |
CN1800984A (zh) * | 2005-12-27 | 2006-07-12 | 国家纳米技术产业化基地 | 一种负型纳米压印方法 |
US8608972B2 (en) * | 2006-12-05 | 2013-12-17 | Nano Terra Inc. | Method for patterning a surface |
-
2007
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5512131A (en) * | 1993-10-04 | 1996-04-30 | President And Fellows Of Harvard College | Formation of microstamped patterns on surfaces and derivative articles |
JP2003509228A (ja) * | 1999-09-14 | 2003-03-11 | マサチューセッツ・インスティテュート・オブ・テクノロジー | 微細造作を有するデバイスの液体エンボス加工による製造 |
JP2002086483A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-26 | Matsushita Electric Works Ltd | Frp成形品の製造方法 |
JP2005515617A (ja) * | 2001-10-11 | 2005-05-26 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | 非粘着性のモールドを使用する、パターン化された構造の複製 |
JP2005353585A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-12-22 | Showa Denko Kk | 導電性構造体およびその製造方法ならびに燃料電池用セパレータ |
JP2006139249A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 平板表示素子の製造方法及び装置 |
US20060110890A1 (en) * | 2004-11-19 | 2006-05-25 | International Business Machines Corporation | Cut-and-paste imprint lithographic mold and method therefor |
WO2006070813A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Rimtec Corporation | 金型、インモールドコーティング方法及び被膜を持つ成形品 |
EP1708022A1 (en) * | 2005-03-29 | 2006-10-04 | Lee, Bing-Huan | Nanoimprint lithograph for fabricating nanopattern in a resist layer |
JP2006323387A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-30 | Asml Netherlands Bv | インプリント・リソグラフィ |
JP2007055235A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-03-08 | Obducat Ab | 環状オレフィン共重合体を含んでなるインプリントスタンプ |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
JPN5010008762; KIM Y S: APPLIED PHYSICS LETTERS V79 N14, 20011001, P2285-2287, AIP * |
JPN5010008763; NAKAMATSU K: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS V45 N21, 20060601, P. L546- L548, JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS * |
JPN5010008764; XIA Y: ANGEWANDTE CHEMIE INTERNATIONAL EDITION V37, 19980101, P551-575, WILEY VCH VERLAG * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014082330A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | SiN膜の除去方法 |
JP2014082329A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | 組成物 |
JP2014082331A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Hitachi Chemical Co Ltd | 液状組成物 |
JPWO2014061245A1 (ja) * | 2012-10-16 | 2016-09-05 | 日立化成株式会社 | エッチング材 |
US9550940B2 (en) | 2012-10-16 | 2017-01-24 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Etching material |
JP2016086187A (ja) * | 2016-02-01 | 2016-05-19 | 日立化成株式会社 | SiN膜の除去方法 |
JP2019527938A (ja) * | 2016-08-05 | 2019-10-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 導電性材料のインプリントリソグラフィの方法、インプリントリソグラフィのためのスタンプ、及びインプリントリソグラフィのための装置 |
KR20190067530A (ko) * | 2017-12-07 | 2019-06-17 | 인하대학교 산학협력단 | 비닐계 호모폴리머 이온성 젤의 녹는점을 이용한 스탬핑 전사방법 및 이에 의하여 전사된 비닐계 호모폴리머 이온성 젤 |
KR102081490B1 (ko) * | 2017-12-07 | 2020-02-25 | 인하대학교 산학협력단 | 비닐계 호모폴리머 이온성 젤의 녹는점을 이용한 스탬핑 전사방법 및 이에 의하여 전사된 비닐계 호모폴리머 이온성 젤 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008070087A2 (en) | 2008-06-12 |
EP2095187A2 (en) | 2009-09-02 |
TW201418875A (zh) | 2014-05-16 |
CN101755237B (zh) | 2014-04-09 |
KR20090107494A (ko) | 2009-10-13 |
WO2008070087A3 (en) | 2009-04-30 |
TW200839432A (en) | 2008-10-01 |
CN101755237A (zh) | 2010-06-23 |
US20080152835A1 (en) | 2008-06-26 |
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