CH507590A - Verfahren zum Herstellen von kleinflächigen Halbleiterbauelementen - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von kleinflächigen Halbleiterbauelementen

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CH507590A
CH507590A CH897970A CH897970A CH507590A CH 507590 A CH507590 A CH 507590A CH 897970 A CH897970 A CH 897970A CH 897970 A CH897970 A CH 897970A CH 507590 A CH507590 A CH 507590A
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CH
Switzerland
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semiconductor components
area semiconductor
manufacturing small
manufacturing
small
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CH897970A
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English (en)
Inventor
Joachim Dr Burtscher
Reimer Dr Emeis
Adolf Dr Herlet
Original Assignee
Siemens Ag
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    • H10W20/40—Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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SE351750B (de) 1972-12-04
DE1931336B2 (de) 1975-10-02
DE1931336A1 (de) 1970-12-23
ATA549270A (de) 1977-01-15
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