JP2006323387A - インプリント・リソグラフィ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】針33と、インプリントされる基板35を保持するように構成された基板テーブルTとを有するインプリント・リソグラフィ装置.針33は第1位置と第2位置の間で動かすことができ、第1位置は、使用中の針が基板に設けたインプリント可能材料層36に入り込む位置であり、第2位置は、使用中の針が基板に設けたインプリント可能材料から離脱した位置である。基板テーブルと針は、一方が他方に対して走査され得るようになっている。
【選択図】図4
Description
前記針は、第1位置と第2位置の間で動かすことができ、
前記第1位置は、使用中の針が、基板に付されたインプリント可能材料の層に入り込む位置であり、
前記第2位置は、使用中の針が、基板に付されたインプリント可能材料から離脱した位置であり、
基板テーブルおよび針は、一方が他方に対して動くことができるように構成されている。
前記第1位置は、使用中の針が、インプリント可能材料の層に入り込む位置であり、
前記第2位置は、使用中の針が、インプリント可能材料から離脱した位置である。
インプリント・パターンをインプリント可能材料に形成すべく、
基板または個々に制御可能な針の配列(アレイ)を他方に対して動かすこと、
第1組の針が、前記基板に付されたインプリント可能材料に入り込むように、前記第1組の針を動かすこと、および
異なる第2組の針が、基板に付されたインプリント可能材料に入り込むように、前記第2組の針を動かすことを含むインプリント・リソグラフィ方法。
Claims (28)
- 針と、インプリントされる基板を保持するように構成された基板テーブルとを含むインプリント・リソグラフィ装置において、
前記針は、第1位置と第2位置の間で動かすことができ、
前記第1位置は、使用中の前記針が、前記基板に付されたインプリント可能材料の層に入り込む位置であり、
前記第2位置は、使用中の前記針が、前記基板に付されたインプリント可能材料から離脱した位置であり、
前記基板テーブルおよび前記針は、一方が他方に対して動くことができるように構成されているインプリント・リソグラフィ装置。 - 前記針が、共同でインプリント・テンプレートを構成する複数の針のうちの1つであり、各針が、前記第1位置と前記第2位置の間で動かすことができるようになっている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 各針が、独立して動くことができる請求項2に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記針が、制御装置によって個別に制御される圧電アクチュエータに設けられており、前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置の間で前記針の動きを制御するように構成されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記針が、2次元配列状態で位置づけられている請求項2に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記2次元配列が長方形の格子を含む請求項5に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記長方形の格子が、前記動きの方向に対して角度をなして配置されている請求項6に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記テンプレートが高さセンサを有し、前記高さセンサが制御装置に接続されており、
前記制御装置は、基板のトポグラフィを示す前記高さセンサから入力を受けるように構成され、かつ、前記基板の前記トポグラフィを補償するために前記針の高さを調整するように構成されている請求項2に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。 - 前記高さセンサが、前記針に近接して位置づけされたセンサ、または、配列されたセンサを含む請求項8に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記針が、第1および第2の圧電アクチュエータに取りつけられ、前記第1の圧電アクチュエータが、前記制御装置に応答して、前記基板の前記トポグラフィを補償するために前記針の高さを調整し、かつ、前記第2の圧電アクチュエータが、前記第1位置と前記第2位置の間で前記針を動かすように構成されている請求項8に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記高さセンサが、MEM高さセンサのアレイを含み、各MEM高さセンサが、複数の針のうちの対応する針に近接して位置づけされている請求項8に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 各MEM高さセンサおよび対応する針が、高さ補償圧電アクチュエータに共に装架され、前記高さ補償圧電アクチュエータは、使用中に、前記MEM高さセンサおよび前記針が、それぞれの予め決められた、基板からの距離に実質的に留まるように、前記MEM高さセンサからの出力信号で制御されるように構成されている請求項11に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- インプリント可能材料に局部化学反応を引き起こすように十分に高い温度まで前記針を加熱するように構成されたヒータを更に含む請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 振動するように構成された取付け台に前記針が保持されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 振動するように構成された単一の取付け台に、配列された針が保持されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記針が第1位置にある時に、放射線を出力するように構成された放射線放出領域を、前記針が含む請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 放射源から出る放射線を前記針の前記放射線放出領域に伝播するように構成された光ファイバを、前記針が含む請求項16に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記針が第1位置にあるとき硬化化学薬剤を注入するように構成された開口を、前記針が含む請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 互いに固定された構成体になされた一組のテンプレートを更に含む請求項2に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記固定された構成体が、間隔を置いて配列された2列以上のテンプレートを含むチェス盤構成体である請求項19に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記基板テーブルが、前記針に対して走査するように構成されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 第1位置と第2位置の間で動かすことができる針を含むインプリント・リソグラフィ装置において、
前記第1位置は、使用中の前記針が、インプリント可能材料の層に入り込む位置であり、
前記第2位置は、使用中の前記針が、前記インプリント可能材料から離脱した位置であるインプリント・リソグラフィ装置。 - 前記針が、共同でインプリント・テンプレートを構成する複数の針のうちの1つであり、各針は前記第1位置と前記第2位置の間で可動である請求項22に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 各針が、独立して動くことができる請求項23に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- インプリント・パターンをインプリント可能材料に形成すべく、
基板または個々に制御可能な針の配列を他方に対して動かすこと、
第1組の針が、前記基板に付されたインプリント可能材料に入り込むように、前記第1組の針を動かすこと、および
異なる第2組の針が、前記基板に付されたインプリント可能材料に入り込むように、前記第2組の針を動かすことを含むインプリント・リソグラフィ方法。 - 前記インプリント可能材料に入り込むように前記第1組の針を動かす操作が、所望のインプリント・パターンが前記インプリント可能材料に形成されるまで複数回繰り返される請求項25に記載されたインプリント・リソグラフィ方法。
- 前記インプリント可能材料が、反応層および保護層を含み、前記方法が、前記動かされた針を用いて前記保護層を破り、その後、前記保護層が破られた1つ以上の場所で、前記反応層を硬化させることを含む請求項25に記載されたインプリント・リソグラフィ方法。
- 前記インプリント可能材料が、互いに反応しないように構成された3つ以上の層を含み、前記方法が、前記動かされた針を用いて前記3つの層を混合し、もって、前記3つの層のうちの少なくとも2つが互いに反応して硬化過程が始まる請求項25に記載されたインプリント・リソグラフィ方法。
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