JP2010508638A - 無線周波数プラズマ処理において不安定性を防止する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
Claims (15)
- RFプラズマ発生器であって、
電源と、
前記電源から電力を受電する電力変換器であって、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを変化させることによって制御する一定出力電力を供給する、電力変換器と、
前記電力変換器から一定電力を受電するRF発電機と、
を備えている、RFプラズマ発生器。 - 請求項1記載のRFプラズマ発生器において、前記電力変換器は部分または完全共振変換器である、RFプラズマ発生器。
- 請求項2記載のRFプラズマ発生器において、前記部分共振変換器は、
前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する第1回路と、
前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する第2回路と、
を含む、RFプラズマ発生器。 - 請求項3記載のRFプラズマ発生器において、前記第1回路は、前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する複数のスイッチと複数のダイオードとを含む、RFプラズマ発生器。
- 請求項3記載のRFプラズマ発生器において、前記第2回路は、
抵抗性負荷と、
前記抵抗性負荷に結合されているインダクタと、
前記インダクタに結合されているキャパシタであって、前記抵抗性負荷をキャパシタ電流が通過するときに、周期的に入力電圧レベルに充電されそして放電することにより、前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する、キャパシタと、
を含む、RFプラズマ発生器。 - 請求項5記載のRFプラズマ発生器において、前記インダクタは、前記キャパシタが完全に充電されそして放電することを確実にする、RFプラズマ発生器。
- 請求項1記載のRFプラズマ発生器において、当該RF発生器はプラズマ負荷を付勢する、RFプラズマ発生器。
- 請求項1記載のRFプラズマ発生器であって、更に、前記RF発生器と前記プラズマ負荷との間に結合されている整合回路を備えている、RFプラズマ発生器。
- 一定電力をプラズマ負荷に配電する方法であって、
電力供給装置から電力を受電するステップと、
前記電力供給装置から受電した電力を所望の電力レベルに変換するステップであって、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを制御することにより、前記所望の電力レベルを制御する、ステップと、
前記プラズマ負荷を付勢するために前記電力を配電するステップと、
を備えている、方法。 - 請求項9記載の方法において、部分または完全共振インバータによって、前記電力を変換する、方法。
- 請求項10記載の方法において、前記部分共振インバータは、
第1回路によって前記電源からの電圧を所望の電圧に変換し、
第2回路によって前記所望の電圧を一定電力に維持する、方法。 - 請求項11記載の方法において、前記第1回路は、前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する複数のスイッチと複数のダイオードとを含む、方法。
- 請求項11記載の方法において、前記第2回路は、
抵抗性負荷と、
前記抵抗性負荷に結合されているインダクタと、
前記インダクタに結合されているキャパシタであって、前記抵抗性負荷をキャパシタ電流が通過するときに、周期的に入力電圧レベルに充電されそして放電することにより、前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する、キャパシタと、
を含む、方法。 - 請求項13記載の方法において、前記インダクタは、前記キャパシタが完全に充電されそして放電することを確実にする、方法。
- 一定電力をプラズマ負荷に配電する方法であって、
電力供給装置から電力を受電する手段と、
前記電力供給装置から受電した電力を所望の電力レベル1に変換する手段であって、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを制御することにより、前記所望の電力レベルを制御する、手段と、
前記プラズマ負荷を付勢するために前記電力を配電する手段と、
を備えている、方法。
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