JP2013005538A - 高周波電源装置及びその制御方法 - Google Patents
高周波電源装置及びその制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013005538A JP2013005538A JP2011132570A JP2011132570A JP2013005538A JP 2013005538 A JP2013005538 A JP 2013005538A JP 2011132570 A JP2011132570 A JP 2011132570A JP 2011132570 A JP2011132570 A JP 2011132570A JP 2013005538 A JP2013005538 A JP 2013005538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- level
- frequency power
- envelope
- voltage waveform
- period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 271
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 104
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims abstract description 59
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims abstract description 59
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims abstract description 58
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 96
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
【解決手段】高周波電力の電圧波形の包絡線の波形がレベル変化を示すタイミングから設定された過渡期間が経過するまでの期間は、高周波信号発生・増幅部1をオープンループ制御することにより高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに一致させる制御を行ない、高周波電力の電圧波形の包絡線の波形がレベル変化を示すタイミングから過渡期間が経過した後のインターバル期間においては、高周波電力の電圧波形の包絡線レベルの検出値に基づいて、高周波信号発生・増幅部1をフィードバック制御することにより、高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルとするように制御する。
【選択図】 図1
Description
第1周期目においては、検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、該包絡線のレベルを初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくした高周波電圧を高周波信号発生・増幅部から出力させるために必要なレベルデータを高周波信号発生・増幅部に与えることにより、出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後のインターバル期間の間、検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行なう。
本実施形態の高周波電源装置は、電圧波形の包絡線が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に少なくとも一つ有し、各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間がレベルを保持し続ける期間であるか又はレベル変化タイミング直後の一定時間の間レベルを保持した後にステップ状のレベル変化を伴わずにレベル変化を示す期間となっている波形を周期的に繰り返す波形を呈するように変調された高周波電力を出力するように制御される。本実施形態では、図5に示すように、1周期の間に3つのレベル変化タイミングを有する3値の(1周期の間に3つのレベルをとる)ステップ波形により高周波電力を変調するものとする。従って、本実施形態の高周波電源装置から出力される高周波電圧は、その包絡線が図5に示すようなステップ波形(階段状波形)を呈する。
コントローラ401は、第1周期T1の最初のレベル変化タイミングta1で高周波電力を零から立ち上げる際に、インターバル期間t11における高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルの目標レベルP11を、初期目標レベル記憶部3Aから読み出し、読み出した目標レベルP11を選択処理部405に与える。
(a)高周波信号発生・増幅部1は、高周波信号発生器101から増幅器102に与えられる高周波信号のレベルをレベルデータに応じて調節するレベル調節器を備えている。
(b)高周波信号発生器101は、外部から与えられたレベルデータが示すレベルを有する高周波信号を出力するダイレクト・デジタル・シンセサイザ(DDS)により構成されている。
(c)第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベル記憶部3Aに記憶された対応する初期目標レベルに等しくするようにDDS101にレベルデータ(可変値)を与えることにより行う。このときレベル調整器103には一定のレベルデータを与えておく。
(d)第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、検出部2により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするようにレベル調節器103にレベルデータを与えることにより行う。
(e)第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルに等しくするようにDDS101にレベルデータを与えることにより行う。
(f)第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするようにレベル調節器103にレベルデータ(可変値)を与えることにより行なう。このときDDS101には一定値に固定されたレベルデータを与えておく。
(a)高周波信号発生・増幅部1は、高周波信号発生器から増幅器に与えられる高周波信号のレベルをレベルデータに応じて調節するレベル調節器103を備えている。
(b)第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベル記憶部3Aに記憶された対応する初期目標レベルに等しくするようにレベル調節器103にレベルデータを与えることにより行う。
(c)第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするようにレベル調節器103にレベルデータを与えることにより行う。
(d)第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルに等しくするようにレベル調節器にレベルデータを与えることにより行う。
(e)第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間検出部2により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするようにレベル調節器103にレベルデータを与えることにより行なう。
(a)高周波信号発生器101は、外部から与えられたレベルデータが示すレベルを有する高周波信号を出力するダイレクト・デジタル・シンセサイザ(DDS)により構成されている。
(b)第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベル記憶部3Aに記憶された対応する初期目標レベルに等しくするようにDDSにレベルデータを与えることにより行う。
(c)第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、検出部2により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするようにDDS101にレベルデータを与えることにより行う。
(d)第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、増幅器102から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルに等しくするようにDDS101にレベルデータを与えることにより行う。
(e)第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間検出部2により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて次周期目標レベル記憶部3Bに記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするようにDDS101にレベルデータを与えることにより行なう。
101 高周波信号発生部(DDS)
102 増幅器
103 レベル調節部
104 D/A変換器
2 検出部
201 分波器
202 フィルタ
203 検波器
204 レベル検出器
205 A/D変換器
3 目標レベル記憶部
4 高周波電力制御部
401 コントローラ
402 出力設定データ入力部
403 演算処理部
404 誤差検出部
405 選択処理部
406 制御演算部
Claims (7)
- 電圧波形の包絡線が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に少なくとも一つ有し、各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間がレベルを保持し続ける期間であるか又はレベル変化タイミングの直後の一定時間の間レベルを保持した後にステップ状のレベル変化を伴わずにレベル変化を示す期間となっている波形を呈するように変調された高周波電力を、高周波信号発生器と該高周波信号発生器が発生する高周波信号を増幅する増幅器とを備えた高周波信号発生・増幅部から出力する高周波電源装置を制御する方法であって、
前記増幅器から出力する高周波電力の電圧レベルを与えられたレベルデータに応じてオープンループで制御する機能を前記高周波信号発生・増幅部に持たせておき、
前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを検出する検出部を設けておき、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間は、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくするために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御で行い、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後のインターバル期間の間は、前記検出部が検出した高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに保つ制御をフィードバック制御で行なうこと、
を特徴とする高周波電源装置の制御方法。 - 電圧波形の包絡線が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に少なくとも一つ有し、各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間がレベルを保持し続ける期間であるか又はレベル変化タイミング直後の一定時間の間レベルを保持した後にステップ状のレベル変化を伴わずにレベル変化を示す期間となっている波形を周期的に繰り返す波形を呈するように変調された高周波電力を、高周波信号発生器と該高周波信号発生器が発生する高周波信号を増幅する増幅器とを備えた高周波信号発生・増幅部から出力する高周波電源装置を制御する方法であって、
前記増幅器から出力する高周波電力の電圧レベルを与えられたレベルデータに応じてオープンループで制御する機能を前記高周波信号発生・増幅部に持たせておき、
前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを検出する検出部を設けておき、
前記高周波電力を零から立ち上げる際、及び各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間において電圧波形の包絡線がとるべき目標レベルが更新された高周波電力を立ち上げる際に前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の第1周期目のインターバル期間において該高周波電圧の包絡線がとるべき目標レベルを初期目標レベルとして初期目標レベル記憶部に記憶しておき、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各周期の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでの間のインターバル期間に前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の次の周期の対応するインターバル期間において該包絡線がとるべき目標レベルとして次周期目標レベル記憶部に記憶するステップを、前記検出部が検出する高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各周期毎に行い、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の前記第1周期目においては、該高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、該包絡線のレベルを前記初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくした高周波電圧を前記高周波信号発生・増幅部から出力させるために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後のインターバル期間の間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行ない、
前記第1周期目に続く第2周期目以降の各周期においては、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルに等しくするために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから過渡期間が経過した後のインターバル期間の間、前記検出部により検出された高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部が出力する高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行なうこと、
を特徴とする高周波電源装置の制御方法。 - 電圧波形の包絡線が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に少なくとも一つ有し、各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間がレベルを保持し続ける期間であるか又はレベル変化タイミング直後の一定時間の間レベルを保持した後にステップ状のレベル変化を伴わずにレベル変化を示す期間となっている波形を呈するように変調された高周波電力を、高周波信号発生器と該高周波信号発生器が発生する高周波信号を増幅する増幅器とを備えた高周波信号発生・増幅部から出力する高周波電源装置であって、
前記高周波信号発生・増幅部が出力する高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを検出する検出部と、前記インターバル期間における前記電圧波形の目標レベルを記憶した目標レベル記憶部と、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを前記目標レベルとするように前記高周波信号発生・増幅部を制御する高周波電力制御部とを具備し、
前記高周波信号発生・増幅部は、前記増幅器から出力する高周波電力の電圧レベルを与えられたレベルデータに応じてオープンループで制御する機能を有するように構成され、
前記高周波電力制御部は、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過するまでの間、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくするために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御で行い、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後の各インターバル期間の間は、前記検出部が検出した高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部から出力する高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに保つ制御をフィードバック制御で行なうように構成されていることを特徴とする高周波電源装置。 - 電圧波形の包絡線が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に少なくとも一つ有し、各レベル変化タイミングと次のレベル変化タイミングとの間のインターバル期間がレベルを保持し続ける期間であるか又はレベル変化タイミング直後の一定時間の間レベルを保持した後にステップ状のレベル変化を伴わずにレベル変化を示す期間となっている波形を周期的に繰り返す波形を呈するように変調された高周波電力を、高周波信号発生器と該高周波信号発生器が発生する高周波信号を増幅する増幅器とを備えた高周波信号発生・増幅部から出力する高周波電源装置であって、
前記高周波信号発生・増幅部が出力する高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを検出する検出部と、
前記高周波電力を零から立ち上げる際、及び電圧波形の包絡線の波形の各周期の各インターバル期間において該包絡線がとるべき目標レベルが更新された高周波電力を立ち上げる際に前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の第1周期目の各インターバル期間において該高周波電圧の包絡線がとるべき目標レベルを初期目標レベルとして記憶する初期目標レベル記憶部と、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各周期の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでの間のインターバル期間に前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の次の周期の対応するインターバル期間において該包絡線がとるべき目標レベルとして記憶する次周期目標レベル記憶部と、
前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルとするように前記高周波信号発生・増幅部を制御する高周波電力制御部と、
を具備し、
前記高周波信号発生・増幅部は、前記増幅器から出力する高周波電力の電圧レベルを与えられたレベルデータに応じてオープンループで制御する機能を有するように構成され、
前記高周波電力制御部は、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の前記第1周期目においては、該高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、該包絡線のレベルを前記初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくした高周波電圧を前記高周波信号発生・増幅部から出力させるために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後のインターバル期間の間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部から出力される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを初期目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行ない、前記第1周期目に続く第2周期目以降の各周期においては、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記高周波信号発生・増幅部から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルに等しくするために必要なレベルデータを前記高周波信号発生・増幅部に与えることにより、出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線の波形の各レベル変化タイミングから設定された過渡期間が経過した後のインターバル期間の間、前記検出部により検出された高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするように前記高周波信号発生・増幅部にレベルデータを与えて前記高周波信号発生・増幅部が出力する高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行なうように構成されていること、
を特徴とする高周波電源装置。 - 前記高周波信号発生・増幅部は、前記高周波信号発生器から前記増幅器に与えられる高周波信号のレベルをレベルデータに応じて調節するレベル調節器を備え、
前記高周波信号発生器は、外部から与えられたレベルデータが示すレベルを有する高周波信号を出力するダイレクト・デジタル・シンセサイザ(DDS)により構成され、
前記第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを前記初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行い、
前記第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルに等しくするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行なうこと、
を特徴とする請求項4に記載の高周波電源装置。 - 前記高周波信号発生・増幅部は、前記高周波信号発生器から前記増幅器に与えられる高周波信号のレベルをレベルデータに応じて調節するレベル調節器を備え、
前記第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを前記初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行い、
前記第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルに等しくするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするように前記レベル調節器にレベルデータを与えることにより行なうこと、
を特徴とする請求項4に記載の高周波電源装置。 - 前記高周波信号発生器は、外部から与えられたレベルデータが示すレベルを有する高周波信号を出力するダイレクト・デジタル・シンセサイザ(DDS)により構成され、
前記第1周期目におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを前記初期目標レベル記憶部に記憶された対応する初期目標レベルに等しくするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行い、
前記第1周期目におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間、前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと対応する初期目標レベルとの偏差を零にするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるオープンループ制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過するまでの間、前記増幅器から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルを一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルに等しくするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行い、
前記第2周期目以降の各周期におけるフィードバック制御は、各レベル変化タイミングから前記過渡期間が経過した後次のレベル変化タイミングまでのインターバル期間の間前記検出部により検出される高周波電力の電圧波形の包絡線のレベルと一つ前の周期で検出されて前記次周期目標レベル記憶部に記憶されている対応する目標レベルとの偏差を零にするように前記DDSにレベルデータを与えることにより行なうこと、
を特徴とする請求項4に記載の高周波電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011132570A JP5848529B2 (ja) | 2011-06-14 | 2011-06-14 | 高周波電源装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011132570A JP5848529B2 (ja) | 2011-06-14 | 2011-06-14 | 高周波電源装置及びその制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013005538A true JP2013005538A (ja) | 2013-01-07 |
JP5848529B2 JP5848529B2 (ja) | 2016-01-27 |
Family
ID=47673527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011132570A Active JP5848529B2 (ja) | 2011-06-14 | 2011-06-14 | 高周波電源装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5848529B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014072659A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Daihen Corp | 高周波電源装置及びその制御方法 |
JP2014175218A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | プラズマ生成用電源装置 |
JP2014220059A (ja) * | 2013-05-07 | 2014-11-20 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
JP2015012686A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源装置 |
JPWO2015029937A1 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ生成用電源装置 |
JP2020043898A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | 高周波増幅装置および磁気共鳴イメージング装置 |
CN111263858A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-06-09 | 先进能源工业公司 | 用于等离子体激发的系统和方法 |
WO2021025076A1 (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-11 | 株式会社京三製作所 | パルス化高周波モニタ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05191301A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Kyocera Corp | バーストtdma送信機の自動出力制御装置 |
JPH11127085A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-05-11 | Fujitsu Ltd | 2モード復調装置 |
JP2002324698A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-11-08 | Eni Technologies Inc | パルス化インテリジェントrf変調コントローラ |
JP2008276966A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Daihen Corp | 高周波電源装置 |
JP2010508638A (ja) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 無線周波数プラズマ処理において不安定性を防止する方法および装置 |
JP2010263452A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 高周波電源装置 |
-
2011
- 2011-06-14 JP JP2011132570A patent/JP5848529B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05191301A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Kyocera Corp | バーストtdma送信機の自動出力制御装置 |
JPH11127085A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-05-11 | Fujitsu Ltd | 2モード復調装置 |
JP2002324698A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-11-08 | Eni Technologies Inc | パルス化インテリジェントrf変調コントローラ |
JP2010508638A (ja) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 無線周波数プラズマ処理において不安定性を防止する方法および装置 |
JP2008276966A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Daihen Corp | 高周波電源装置 |
JP2010263452A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 高周波電源装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014072659A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Daihen Corp | 高周波電源装置及びその制御方法 |
JP2014175218A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | プラズマ生成用電源装置 |
JP2014220059A (ja) * | 2013-05-07 | 2014-11-20 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
JP2015012686A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源装置 |
JPWO2015029937A1 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ生成用電源装置 |
CN111263858A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-06-09 | 先进能源工业公司 | 用于等离子体激发的系统和方法 |
CN111263858B (zh) * | 2017-09-26 | 2022-03-01 | 先进能源工业公司 | 用于等离子体激发的系统和方法 |
JP2020043898A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | 高周波増幅装置および磁気共鳴イメージング装置 |
JP7325940B2 (ja) | 2018-09-14 | 2023-08-15 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | 高周波増幅装置および磁気共鳴イメージング装置 |
WO2021025076A1 (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-11 | 株式会社京三製作所 | パルス化高周波モニタ |
JP2021027495A (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-22 | 株式会社京三製作所 | パルス化高周波モニタ |
CN114175585A (zh) * | 2019-08-06 | 2022-03-11 | 株式会社京三制作所 | 脉冲化高频监视器 |
TWI799727B (zh) * | 2019-08-06 | 2023-04-21 | 日商京三製作所股份有限公司 | 脈衝化射頻監視器 |
US11852665B2 (en) | 2019-08-06 | 2023-12-26 | Kyosan Electric Mfg. Co., Ltd. | Pulsed high frequency monitor |
CN114175585B (zh) * | 2019-08-06 | 2024-04-19 | 株式会社京三制作所 | 脉冲化高频监视器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5848529B2 (ja) | 2016-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5848529B2 (ja) | 高周波電源装置及びその制御方法 | |
US10666206B2 (en) | Supervisory control of radio frequency (RF) impedance tuning operation | |
US11315757B2 (en) | Method and apparatus to enhance sheath formation, evolution and pulse to pulse stability in RF powered plasma applications | |
US10042407B2 (en) | Power supply systems and methods for generating power | |
CN107453593B (zh) | 一种开关管驱动电路及其驱动方法 | |
US8558528B2 (en) | High accuracy inductor peak current control scheme for switching power supply | |
JP6780007B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
EP0547078B1 (en) | Power amplifier | |
US20110140680A1 (en) | Apparatus and method for extracting maximum power from solar cell | |
JP5122764B2 (ja) | 携帯無線機及びそれに用いるパワーアンプの制御方法 | |
US8791678B2 (en) | Offset and delay cancellation circuit for a switching DC-DC power supply | |
JP5249122B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
US20200052669A1 (en) | Output power control device | |
CN111263505B (zh) | 逆功率降低方法及利用其的等离子电力装置 | |
JP2010278839A (ja) | ピークホールド形検波回路 | |
JP5963632B2 (ja) | 高周波電源装置及びその制御方法 | |
JP6116176B2 (ja) | 高周波電源装置及びその制御方法 | |
TWI663647B (zh) | 脈衝式射頻之追蹤及保持反饋控制 | |
KR101768827B1 (ko) | 플라즈마 생성용 전원 장치 및 플라즈마 생성용 전원 공급 방법 | |
CN114679048A (zh) | 一种用于高压发生器的控制方法、系统及存储介质 | |
JP2023112825A (ja) | 歪補償回路、無線装置 | |
KR20110022272A (ko) | 진행파관을 위한 고전압 파워서플라이 및 그의 공급전압 안정화 방법 | |
EP2482459A1 (en) | Oscillator amplitude control | |
JP6539908B2 (ja) | 電力制御装置 | |
JPH103998A (ja) | X線管の管電圧制御方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140512 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140512 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5848529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |