JP5284971B2 - Rfプラズマ発生器および一定電力をプラズマ負荷に配電する方法 - Google Patents
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- RFプラズマ発生器であって、
電源と、
前記電源から電力を受電する部分共振変換器であって、該部分共振変換器は、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを変化させることによって制御される一定出力電力を供給し、該部分共振変換器は、前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する第1回路と、前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する第2回路とを含む、部分共振変換器と、
前記部分共振変換器から一定電力を受電するRF発電機と、
を備えている、RFプラズマ発生器。 - 請求項1記載のRFプラズマ発生器において、前記第1回路は、前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する複数のスイッチと複数のダイオードとを含む、RFプラズマ発生器。
- 請求項1記載のRFプラズマ発生器において、前記第2回路は、
抵抗性負荷と、
前記抵抗性負荷に結合されているインダクタと、
前記インダクタに結合されているキャパシタであって、前記抵抗性負荷をキャパシタ電流が通過するときに、周期的に入力電圧レベルに充電されそして放電することにより、前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する、キャパシタと、
を含む、RFプラズマ発生器。 - 請求項1記載のRFプラズマ発生器において、前記RF発電機はプラズマ負荷に電力を供給する、RFプラズマ発生器。
- 請求項1記載のRFプラズマ発生器であって、更に、前記RF発電機と前記プラズマ負荷との間に結合されている整合回路を備えている、RFプラズマ発生器。
- 一定電力をプラズマ負荷に配電する方法であって、
電力供給装置から電力を受電するステップと、
前記電力供給装置から受電した電力を、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを変化させることによって制御される所望の電力レベルに部分共振変換器により変換するステップであって、該変換するステップが、第1回路によって前記電源からの電圧を所望の電圧に変換し第2回路によって前記所望の電圧を一定電力レベルに維持するステップを含む、ステップと、
前記プラズマ負荷に電力を供給するために前記一定電力を配電するステップと、
を備えている、方法。 - 請求項6記載の方法において、前記第1回路は、前記電源からの電圧を所望の電圧に変換する複数のスイッチと複数のダイオードとを含む、方法。
- 請求項6記載の方法において、前記第2回路は、
抵抗性負荷と、
前記抵抗性負荷に結合されているインダクタと、
前記インダクタに結合されているキャパシタであって、前記抵抗性負荷をキャパシタ電流が通過するときに、周期的に入力電圧レベルに充電されそして放電することにより、前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する、キャパシタと、
を含む、方法。 - 一定電力をプラズマ負荷に配電する方法であって、
電力供給装置から電力を受電する手段と、
前記電力供給装置から受電した電力を、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも1つを変化させることによって制御される所望の電力レベルに変換する手段であって、該電力を変換する手段が、第1回路によって前記電源からの電圧を所望の電圧に変換し第2回路によって前記所望の電圧を一定電力レベルに維持する手段を含む、電力を変換する手段と、
前記電力を変換する手段から一定電力を受電し、前記プラズマ負荷に電力を供給するために前記一定電力を配電するRF発電機と、
を備えている、方法。
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