JP2010287966A

JP2010287966A - 弾性表面波デバイス

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Publication number: JP2010287966A
Application number: JP2009138597A
Authority: JP
Inventors: Naoki Takahashi; 直樹高橋
Original assignee: Fujitsu Media Devices Ltd
Current assignee: Fujitsu Media Devices Ltd
Priority date: 2009-06-09
Filing date: 2009-06-09
Publication date: 2010-12-24
Anticipated expiration: 2029-06-09
Also published as: EP2262109A2; US8461942B2; CN101924532B; US20100308936A1; EP2262109A3; CN101924532A; JP5281489B2

Abstract

【課題】平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波デバイスにおいて、挿入損失を低減する。
【解決手段】本弾性表面波デバイス１００Ａは、それぞれが３つ以上の奇数個のＩＤＴを含む弾性表面波フィルタである第１フィルタ２０Ａ及び第２フィルタ４０Ａと、不平衡信号が入力される不平衡端子１０と、不平衡信号と同位相の信号が出力される第１平衡端子１２と、不平衡信号と逆位相の信号が出力される第２平衡端子１４と、を有する。第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０のそれぞれにおいて、中央に位置する第１中央ＩＤＴ２２Ａ及び第２中央ＩＤＴ４２Ａは、一方の電極が不平衡端子１０に共通に接続されている。また、第１中央ＩＤＴ２２Ａの電極指の本数は奇数であり、第２中央ＩＤＴ４２Ａの電極指の本数は偶数である。本構成によれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波デバイスに関する。

近年、携帯電話等の高性能化に伴い、構成部品としての弾性表面波デバイスに対し平衡−不平衡変換機能（いわゆるバラン機能）が要求されている。当該機能は、１つの不平衡端子と２つの平衡端子との間に、２つの弾性表面波フィルタを並列に接続することで実現することができる。その際、弾性表面波フィルタを構成するＩＤＴの電極指の数を、それぞれのフィルタで互いに異なるようにすることで、通過帯域内における挿入損失を低減することができる。このような弾性表面波デバイスは、特許文献１に開示されている。

国際公開第２００６／０８７８７５号

上記の特許文献１に記載の弾性波デバイスでは、２つの弾性表面波フィルタを構成するＩＤＴの電極指の数が、それぞれ偶数同士あるいは奇数同士となっている。このとき、通過帯域内にノッチが発生し、挿入損失が劣化してしまう場合があった。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することのできる弾性表面波デバイスを提供することを目的とする。

本弾性表面波デバイスは、それぞれが３つ以上の奇数個のＩＤＴを含む弾性表面波フィルタである第１フィルタ及び第２フィルタと、不平衡信号が入力される不平衡端子と、前記不平衡信号と同位相の信号が出力される第１平衡端子と、前記不平衡信号と逆位相の信号が出力される第２平衡端子と、を有し、前記第１フィルタ及び前記第２フィルタのそれぞれにおいて、前記奇数個のＩＤＴのうち中央に位置する第１中央ＩＤＴ及び第２中央ＩＤＴは、一方の電極が前記不平衡端子に共通に接続され、前記第１中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴのそれぞれは、一方の電極が前記第１平衡端子に共通に接続され、前記第２中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴのそれぞれは、一方の電極が前記第２平衡端子に共通に接続され、前記第１中央ＩＤＴの電極指の本数は奇数であり、前記第２中央ＩＤＴの電極指の本数は偶数であることを特徴とする。本構成によれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。

上記構成において、前記第１中央ＩＤＴを構成する電極のうち、前記不平衡端子に接続された電極の電極指の本数は、他方の電極の電極指の本数より多い構成とすることができる。本構成によれば、通過帯域内のノッチを抑制しつつ、通過帯域外の減衰量を増大することができる。

上記構成において、前記第１中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴと、前記第２中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴとは、電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なる構成とすることができる。本構成によれば、２つのＩＤＴを非対称に設計することで、挿入損失を更に低減することができる。

上記構成において、前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、同一の圧電基板上に形成されている構成とすることができる。

上記構成において、前記不平衡端子と、前記第１フィルタ及び前記第２フィルタとの間に接続された第１共振器と、前記第１平衡端子と前記第１フィルタとの間に接続された第２共振器と、前記第２平衡端子と前記第２フィルタとの間に接続された第３共振器と、を有する構成とすることができる。本構成によれば、通過帯域外の減衰量を増大することができる。

上記構成において、前記第１共振器、前記第２共振器、及び前記第３共振器のそれぞれは、ＩＤＴと、当該ＩＤＴの両側に設けられた反射器とを含む構成とすることができる。

上記構成において、前記第２共振器及び前記第３共振器は、それぞれに含まれるＩＤＴの電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なる構成とすることができる。本構成によれば、２つの共振器を非対称に設計することで、挿入損失を更に低減することができる。

上記構成において、前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、多重モードフィルタである構成とすることができる。

本発明によれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。

図１は、比較例１に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図２は、実施例１に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図３は、実施例１及び比較例１における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較を示したグラフである。図４は、実施例２に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図５は、比較例２に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図６は、比較例３に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図７は、比較例４に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図８は、実施例２及び比較例２における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較を示したグラフである。図９は、実施例２及び比較例３における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較を示したグラフである。図１０は、実施例２及び比較例４における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較を示したグラフである。図１１は、実施例３に係る弾性表面波デバイスの模式図である。図１２は、実施例３に係る弾性表面波デバイスの伝送特性を示したグラフである。図１３は、実施例２及び実施例３における弾性表面波デバイスの減衰特性の比較を示したグラフである。

（比較例）
最初に、本発明の比較例に係る弾性表面波デバイスについて説明する。

図１は、比較例１に係る弾性表面波デバイス１００ａの構成を示した上面図である。弾性表面波デバイス１００ａは、１つの入力端子（不平衡端子１０）と、２つの出力端子（第１平衡端子１２及び第２平衡端子１４）とを有する。不平衡端子１０には、不平衡信号が入力される。第１平衡端子１２からは、不平衡端子１０に入力される信号と同位相の信号が出力される。第２平衡端子１４からは、不平衡端子１０に入力される信号と逆位相の信号が出力される。

第１平衡端子１２と不平衡端子１０との間には、弾性表面波フィルタである第１フィルタ２０ａが接続されている。第１フィルタ２０ａは、弾性表面波の伝搬方向に配列された３つのＩＤＴ（ＩｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）と、そのＩＤＴの両側に配置された１組の反射器とを含む。以下の説明では、３つのＩＤＴのうち中央に位置するＩＤＴ（第１中央ＩＤＴ）を第１入力ＩＤＴ２２ａと称し、その両側に位置する２つのＩＤＴを第１出力ＩＤＴ２６と称する。それぞれのＩＤＴでは、対向する１対の櫛型電極が、圧電基板上に互いに噛み合うように形成されており、２つの櫛型電極の一方が入力電極または出力電極として、他方が接地電極として機能する。また、第１フィルタ２０ａにおける反射器を第１反射器３０と称する。

第１入力ＩＤＴ２２ａでは、入力電極２３ａが不平衡端子１０に接続され、接地電極２４ａが接地されている。２つの第１出力ＩＤＴ２６では、接地電極２７が接地され、出力電極２８が第１平衡端子１２に共通に接続されている。第１出力ＩＤＴ２６では、入力信号と同位相の信号を出力するために、接地電極２７の電極指が第１入力ＩＤＴ２２ａにおける入力電極２２ａの電極指と隣接するように（または、出力電極２８の電極指が第１入力ＩＤＴ２２ａにおける接地電極２４ａの電極指と隣接するように）配置されている。なお、第１入力ＩＤＴ２２ａでは、入力電極２３ａ及び接地電極２４ａの電極指の本数が等しく、ＩＤＴ全体の電極指の本数は偶数である。

第２平衡端子１４と不平衡端子１０との間には、弾性表面波フィルタである第２フィルタ４０ａが接続されている。第２フィルタ４０ａは、第１フィルタ２０ａと同様の構成となっており、３つのＩＤＴ（第２入力ＩＤＴ４２ａと２つの第２出力ＩＤＴ４６）及び１組の反射器（第２反射器５０）を含む。第２入力ＩＤＴ４２ａ（第２中央ＩＤＴ）では、入力電極４３ａが不平衡端子１０に接続され、接地電極４４ａが接地されている。２つの第２出力ＩＤＴ４６では、接地電極４７が接地され、出力電極４８が第２平衡端子１４に共通に接続されている。第２出力ＩＤＴ４６では、入力信号と逆位相の信号を出力するために、接地電極４７の電極指が第２入力ＩＤＴ４２ａにおける接地電極４４ａの電極指と隣接するように（または、出力電極４８の電極指が第２入力ＩＤＴにおける入力電極４３ａの電極指と隣接するように）配置されている。なお、第２入力ＩＤＴ４２ａでは、入力電極４３ａ及び接地電極４４ａの電極指の本数が等しく、ＩＤＴ全体の電極指の本数は偶数である。

弾性表面波デバイス１００ａは、入力端子に並列に接続された第１フィルタ２０ａ及び第２フィルタ４０ａを備えることにより、不平衡信号を平衡信号へと変換する機能（平衡−不平衡変換機能）を有するＤＭＳ（ＤｏｕｂｌｅＭｏｄｅＳＡＷ）フィルタとして機能する。さらに、第１入力ＩＤＴ２２ａ及び第２入力ＩＤＴ４２ａにおいて、互いに電極指の本数が異なる構成とすることで、通過帯域における挿入損失を低減することができる。

しかし、比較例１に係る弾性表面波デバイス１００ａでは、第１入力ＩＤＴ２２ａ及び第２入力ＩＤＴ４２ａとの電極指の本数が共に偶数本となっている。このような構成の場合、通過帯域内にノッチが発生し、挿入損失が劣化する可能性がある。これは、第１入力ＩＤＴ２２ａ及び第２入力ＩＤＴ４２ａの電極指の本数を共に奇数本とした場合も同様である。

以下に記載の実施例では、上記の課題を解決し、挿入損失を低減可能な弾性表面波デバイスについて説明する。

図２は、実施例１に係る弾性表面波デバイス１００Ａの構成を示した上面図である。弾性表面波デバイス１００Ａの基本的な構成は、比較例１に係る弾性表面波デバイス１００ａと同様であり、共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

実施例１の弾性表面波デバイス１００Ａは、第１フィルタ２０Ａにおける第１入力ＩＤＴ２２Ａの構成が比較例１と異なる。具体的には、入力電極２３Ａの電極指の本数が接地電極２４Ａの電極指の本数より多く、ＩＤＴ全体の電極指の本数は奇数となっている。第２入力ＩＤＴ４２Ａでは、比較例１と同様に入力電極４３Ａ及び接地電極４４Ａの電極指の本数が等しく、ＩＤＴ全体の電極指の本数は偶数となっている。すなわち、本実施例では、入力信号と同位相の信号を出力する端子に接続された弾性表面波フィルタにおける入力ＩＤＴの電極指の数が奇数本となり、入力信号と逆位相の信号を出力する端子に接続された弾性表面波フィルタにおける入力ＩＤＴの電極指の数が偶数本となっている。

以下、シミュレーションに基づいて実施例１及び比較例１に係る弾性表面波デバイスの伝送特性を比較する。本シミュレーションでは、圧電基板及び電極の構成を、実施例１及び比較例１で同一とする。また、第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０におけるＩＤＴの電極ピッチ、反射器の電極ピッチ、及び反射器の本数（電極本数）についても実施例１及び比較例１で同一とする。パラメータの詳細は以下の表１に示す通りである。

また、各フィルタ（２０、４０）における入力ＩＤＴ（２２、４２）及び出力ＩＤＴ（２６、４６）の電極指の本数、並びに２つのフィルタのアパーチャーは以下の通りである。電極指の本数は、対向する２本を1対として数えており、対数が整数である場合は電極指の本数が偶数、対数が小数を含む場合は電極指の本数が奇数となっている。なお、表２には実施例２〜３及び比較例２〜４におけるパラメータも掲載されているが、これらについては後述する。以下の説明における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較について、実施例１及び比較例１のパラメータはシミュレーションに基づくものであり、その他（実施例２〜３及び比較例２〜４）のパラメータは実測値に基づくものである。

図３は、両者の伝送特性の比較を示したグラフであり、横軸は周波数を、縦軸は減衰量を示す。グラフ中にて矢印で示す箇所において、実施例１では比較例１に比べてノッチが抑制されている。このように、実施例１の弾性表面波デバイス１００Ａによれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。

実施例２は、フィルタに共振器を組み合わせた弾性表面波デバイスの例である。

図４は、実施例２に係る弾性表面波デバイス１００Ｂの上面図である。実施例１と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。不平衡端子１０と、第１フィルタ２０Ｂ及び第２フィルタ４０Ｂとの間には、第１共振器７０が接続されている。第１共振器７０は、一対のＩＤＴ７２と、その両側に配置された反射器７４とを含む。同様に、第１平衡端子１２と第１フィルタ２０Ｂとの間には、ＩＤＴ８２及び反射器８４を含む第２共振器８０が接続されている。第２平衡端子１４と第２フィルタ４０Ｂとの間には、ＩＤＴ９２及び反射器９４を含む第３共振器９０が接続されている。共振器をフィルタに組み合わせることにより、通過帯域外におけるノイズを低減（減衰量を増大）することができる。

実施例２における第１フィルタ２０Ｂ及び第２フィルタ４０Ｂの構成は、実施例１（図２）と同様である。すなわち、第１入力ＩＤＴ２２Ｂでは、入力電極２３Ｂの電極指の本数が接地電極２４Ｂの電極指の本数より多く、ＩＤＴ全体の電極指の本数は奇数となっている。また、第２入力ＩＤＴ４２Ｂでは、入力電極４３Ｂ及び接地電極４４Ｂの電極指の本数が等しく、ＩＤＴ全体の電極指の本数は偶数となっている。

続いて、実施例２に対する比較例（比較例２〜４）に係る弾性表面波デバイスの構成について説明する。以下の比較例では、２つのフィルタ（第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０）における入力ＩＤＴ（第１入力ＩＤＴ２２及び第２入力ＩＤＴ４２）の構成が実施例２と異なり、その他の基本構成は共通である。

図５は、比較例２に係る弾性表面波デバイス１００ｂの上面図である。第１入力ＩＤＴ２２ｂ及び第２入力ＩＤＴ４２ｂの両方において、入力電極（２３ｂ、４３ｂ）と接地電極（２４ｂ、４４ｂ）の電極指の本数は等しく、ＩＤＴ全体の電極指の本数は偶数となっている。

図６は、比較例３に係る弾性表面波デバイス１００ｃの上面図である。第１入力ＩＤＴ２２ｃ及び第２入力ＩＤＴ４２ｃの両方において、接地電極（２４ｃ、４４ｃ）の電極指の本数が入力電極（２３ｃ、４３ｃ）の電極指の本数より多く、ＩＤＴ全体の電極指の本数は奇数となっている。

図７は、比較例４に係る弾性表面波デバイス１００ｄの上面図である。第１入力ＩＤＴ２２ｄ及び第２入力ＩＤＴ４２ｄの両方において、ＩＤＴ全体の電極指の本数が奇数である点は比較例３と同様であるが、ここでは入力電極（２３ｄ、４３ｄ）の電極指の本数が接地電極（２４ｄ、４４ｄ）の電極指の本数より多い。

続いて、実測値に基づき、実施例２及び比較例２〜４に係る弾性表面波デバイスの伝送特性を比較する。圧電基板や電極の材質をはじめとする基本的なパラメータは、表１に示したものと同一である。また、各フィルタにおける入力ＩＤＴ及び出力ＩＤＴの電極指の本数、並びに２つのフィルタ間のアパーチャーについては、表２に示すとおりである。各パラメータは、実施例２が実施例１と等しく、比較例２が比較例１と等しい。また、比較例３〜４については、ほとんどのパラメータが比較例１〜２と同一であるが、入力ＩＤＴ（２２、４２）の電極指の本数が２７．５対である点が比較例１と異なる。

第1共振器７０、第２共振器８０、及び第３共振器９０における、ＩＤＴ対数、ＩＤＴピッチ、反射器本数、反射器ピッチ、及び共振器のアパーチャーは、実施例２では以下の通りである。

同様に、比較例２〜４における共振器のパラメータを以下に示す。

図８〜図１０は、実施例２及び比較例２〜４における弾性表面波デバイスの伝送特性の比較を示したグラフである。図８は実施例２と比較例２を、図９は実施例２と比較例３を、図１０は実施例２と比較例４を比較している。それぞれのグラフ上に示すように、実施例２では比較例２〜４に比べてノッチが抑制されている。このように、実施例２の弾性表面波デバイス１００Ｂによれば、通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。

実施例３は、実施例２と同様にフィルタに共振器を組み合わせた弾性表面波デバイスの例である。

図１１は、実施例３に係る弾性表面波デバイス１００Ｃの上面図である。弾性表面波デバイス１００Ｃの基本的な構成は、実施例２に係る弾性表面波デバイス１００Ｂと同様であり、共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

実施例３の弾性表面波デバイス１００Ｃは、第１フィルタ２０Ｃにおける第１入力ＩＤＴ２２Ｃの構成が実施例２と異なる。具体的には、第１入力ＩＤＴ２２Ｃ全体の電極指の本数が奇数となっている点は実施例２と同じであるが、入力電極２３Ｃではなく接地電極２４Ｃの方が電極指の本数が多い。その他の構成（第１出力電極ＩＤＴ２６、第２フィルタ４０Ｃ、第１共振器７０、第２共振器８０、及び第３共振器９０の構成）は、実施例２と同様である。

続いて、実測値に基づき、弾性表面波デバイス１００Ｃの伝送特性を検討する。圧電基板や電極の材質をはじめとする基本的なパラメータは、表１に示したものと同一である。また、第１フィルタ２０Ｃ及び第２フィルタ４０Ｃに関するパラメータは表２の実施例３の欄に示した通りである。共振器に関するパラメータを以下に示す。

図１２は、弾性表面波デバイス１００Ｃの伝送特性を示したグラフである。実施例３に係る弾性表面波デバイス１００Ｃによれば、実施例２と同様に通過帯域内のノッチを抑制し、挿入損失を低減することができる。

図１３は、実施例２及び実施例３における弾性表面波デバイスの通過特性及び減衰特性の比較を示したグラフである。図示するように、通過特性においては実施例２と実施例３とでほとんど差がないものの、減衰特性においては実施例２の方が優れていることが分かる。従って、第１フィルタ２０における第１入力ＩＤＴ２２の電極指の本数を奇数にする際には、不平衡端子１０に接続される入力電極２３の電極指の本数を、他方（接地電極２４）の電極指の本数より多くすることが好ましい。

実施例１〜３において、第１入力ＩＤＴ２２及び第２入力ＩＤＴ４２の両側に位置する第１出力ＩＤＴ２６及び第２出力ＩＤＴ４６は、電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なるようにすることが好ましい。第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０においては、構成を対称とした方が一見バランス性に優れるように思えるが、実際には入力ＩＤＴ（２２、４２）以外の部分を非対称に設計することで、挿入損失をより低減することができる。

また、実施例２〜３において、第２共振器８０及び第３共振器９０は、それぞれに含まれるＩＤＴの電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なるようにすることが好ましい。２つのフィルタ（２０、４０）の平衡端子側に接続された２つの共振器を非対称に設計することで、挿入損失をより低減することができる。

また、第１フィルタ２０、第２フィルタ４０、第１共振器７０、第２共振器８０、及び第３共振器９０は、別々の基板上に形成されていてもよいが、同一の圧電基板上に形成されていることが好ましい。なお、実施例１〜３では圧電基板としてＬｉＴａＯ_３を用いたが、他の材質の基板（例えばＬｉＮｂＯ_３）を用いることもできる。また、電極としてＡｌ電極を用いたが、他の材質（例えばＣｕ）の電極を用いることもできる。実施例１〜３ではＤＭＳフィルタを例に説明したが、本発明は他の多重モードフィルタに対しても適用することが可能である。実施例１〜３では第１フィルタ２０及び第２フィルタ４０に含まれるＩＤＴの数はそれぞれ３つであったが、３つ以上かつ奇数個であれば他の形態であってもよい。

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

１０不平衡端子
１２第１平衡端子
１４第２平衡端子
２０第１フィルタ
２２第１入力ＩＤＴ
２３第１入力ＩＤＴの入力電極
２４第１入力ＩＤＴの出力電極
４０第２フィルタ
４２第２入力ＩＤＴ
４３第２入力ＩＤＴの入力電極
４４第２入力ＩＤＴの出力電極
７０第１共振器
８０第２共振器
９０第３共振器
１００弾性表面波デバイス

Claims

それぞれが３つ以上の奇数個のＩＤＴを含む弾性表面波フィルタである第１フィルタ及び第２フィルタと、
不平衡信号が入力される不平衡端子と、前記不平衡信号と同位相の信号が出力される第１平衡端子と、前記不平衡信号と逆位相の信号が出力される第２平衡端子と、を有し、
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタのそれぞれにおいて、前記奇数個のＩＤＴのうち中央に位置する第１中央ＩＤＴ及び第２中央ＩＤＴは、一方の電極が前記不平衡端子に共通に接続され、
前記第１中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴのそれぞれは、一方の電極が前記第１平衡端子に共通に接続され、前記第２中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴのそれぞれは、一方の電極が前記第２平衡端子に共通に接続され、
前記第１中央ＩＤＴの電極指の本数は奇数であり、前記第２中央ＩＤＴの電極指の本数は偶数であることを特徴とする弾性表面波デバイス。
前記第１中央ＩＤＴを構成する電極のうち、前記不平衡端子に接続された電極の電極指の本数は、他方の電極の電極指の本数より多いことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
前記第１中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴと、前記第２中央ＩＤＴの両側に位置する２つのＩＤＴとは、電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波デバイス。
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、同一の圧電基板上に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
前記不平衡端子と、前記第１フィルタ及び前記第２フィルタとの間に接続された第１共振器と、
前記第１平衡端子と前記第１フィルタとの間に接続された第２共振器と、
前記第２平衡端子と前記第２フィルタとの間に接続された第３共振器と、を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
前記第１共振器、前記第２共振器、及び前記第３共振器のそれぞれは、ＩＤＴと、当該ＩＤＴの両側に設けられた反射器とを含むことを特徴とする請求項５記載の弾性表面波デバイス。
前記第２共振器及び前記第３共振器は、それぞれに含まれるＩＤＴの電極指の本数、交差幅、電極ピッチのうち少なくとも１つが互いに異なることを特徴とする請求項６記載の弾性表面波デバイス。
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、多重モードフィルタであることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。