JP2010243401A - Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 - Google Patents
Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】電子線を基板に形成されるパネル上を走査して得られる二次電子を検出することによりパネルのTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、パネルのTFTアレイに検査信号を印加して、パネル上に所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加手段と、二次電子の検出強度を用いてパネルの点灯状態を判定する信号処理手段とを備える。二次電子の検出強度に対するデータ数から得られる強度分布を求め、この強度分布を正常に点灯した際に得られる強度分布と比較することによってパネルの点灯状態の正否を判定する。この強度分布による判定は基板種やスキャン条件に依存しないため、基板種やスキャン条件が変化した場合であっても判定のための調整は不要である。
【選択図】図1
Description
図1において、TFTアレイ検査装置1は、電子線源6から電子線を基板10上のパネル(図示していない)に照射し、パネルから放出された二次電子を二次電子検出器7で検出することによってTFTアレイの欠陥検出を行う検査装置の一構成例を示している。
2 検査制御回路
3 走査制御回路
4 検査信号印加回路
5 ステージ
6 電子線源
7 二次電子検出器
8 信号処理回路
8a 検出部
8b 割り付け部
8c 正規化部
8d 強度分布形成部
8e 点灯/不点灯判別部
8f 比較部
8g 欠陥ピクセル検出部
8h 出力部
10 基板
A,B,C 強度範囲
Claims (8)
- 電子線を基板に形成されるパネル上を走査して得られる二次電子を検出することによりパネルのTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、
前記パネルのTFTアレイに検査信号を印加して、パネル上に所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加手段と、
前記二次電子の検出強度を用いてパネルの点灯状態を判定する信号処理手段とを備え、
前記信号処理手段は、
前記二次電子の検出強度に対するデータ数から得られる強度分布について正常なパネルから得られる強度分布と比較することによってパネルの点灯状態の正否を判定することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記信号処理手段は、
前記強度分布のピークを含む強度範囲を指標とし、正常な点灯状態で得られる強度分布のピークを含む強度範囲と比較することを特徴とする請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記信号処理手段は、
前記強度分布のピークを含む強度範囲を指標とし、不点灯状態で得られる強度分布のピークを含む強度範囲と比較することを特徴とする請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記検査信号は、パネル上に格子状パターンの電位分布を形成する信号パターンであることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一つに記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記検査信号は、パネル上に隣接する列の電位が異なる列パターンの電位分布、又は隣接する行の電位が異なる行パターンの電位分布を形成する信号パターンであることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一つに記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記信号処理手段は、
前記二次電子の複数の検出強度を正規化し、正規化した強度データに対するピクセル数から強度分布を求めることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一つに記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記信号処理手段は、
前記二次電子の検出強度をパネルの各ピクセルに割り付け、当該割り付けた複数の検出強度を正規化して各ピクセルについて一つの強度データを求め、求めた強度データに対するピクセル数から強度分布を求めることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一つに記載のTFTアレイ検査装置。 - 電子線を基板に形成されるパネル上を走査して得られる二次電子を検出することによりパネルのTFTアレイを検査するTFTアレイ検査方法において、
前記TFTアレイに検査信号を印加して、パネル上に所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加工程と、
前記二次電子の検出強度を用いてパネルの点灯状態を判定する判定工程とを備え、
前記判定工程は、
前記二次電子の検出強度に対するデータ数から得られる強度分布について正常なパネルから得られる強度分布と比較し、当該比較結果に基づいてパネルの点灯状態の正否を判定することを特徴とする、TFTアレイ検査方法。
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