JP2010243294A - 磁気センサおよび磁気検出方法 - Google Patents
磁気センサおよび磁気検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010243294A JP2010243294A JP2009091380A JP2009091380A JP2010243294A JP 2010243294 A JP2010243294 A JP 2010243294A JP 2009091380 A JP2009091380 A JP 2009091380A JP 2009091380 A JP2009091380 A JP 2009091380A JP 2010243294 A JP2010243294 A JP 2010243294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- detection signal
- magnetic detection
- magnetoresistive element
- series circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 199
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 20
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 20
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 101150083327 CCR2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100524528 Escherichia coli (strain K12) rfaC gene Proteins 0.000 description 1
- 101150068794 RFC2 gene Proteins 0.000 description 1
- -1 Rfb2 Proteins 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- CJBPIZBHRWDBGQ-COSFPPCYSA-N rfa-1 Chemical compound C1([C@H]2N[C@H](CC3(N=C4C=5C6=C7O[C@](C6=O)(C)O/C=C/[C@@H]([C@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@@H](C)[C@@H](O)[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)\C=C\C=C(C)/C(=O)NC(=C4N3)C(=O)C=5C(O)=C7C)C)OC)C2)C=2C=CC=CC=2)=CC=CC=C1 CJBPIZBHRWDBGQ-COSFPPCYSA-N 0.000 description 1
- BINCGEGLXIMJFO-JQSLHUNDSA-N rfa-2 Chemical compound C1([C@H]2N[C@H](CC3(N=C4C=5C6=C7O[C@](C6=O)(C)O/C=C/[C@@H]([C@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@@H](C)[C@@H](O)[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)\C=C\C=C(C)/C(=O)NC(=C4N3)C(=O)C=5C(O)=C7C)C)OC)C2)C=2C=CC(F)=CC=2)=CC=C(F)C=C1 BINCGEGLXIMJFO-JQSLHUNDSA-N 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】磁気検出部10は、磁気抵抗素子MR1と抵抗素子R1とからなる第1直列回路101と、磁気抵抗素子MR2と抵抗素子R2とからなる第2直列回路102とを備える。第1直列回路101は、磁気抵抗素子MR1による通過磁束密度の変化に応じた第1磁気検出信号Vout1を出力し、第2直列回路102は、磁気抵抗素子MR2による通過磁束密度の変化に応じた第2磁気検出信号Vout2を出力する。A/Dコンバータ20は、第1、第2磁気検出信号Vout1,Vout2をA/D変換して、演算部30へ出力する。演算部30は、第1磁気検出信号Vout1を第2磁気検出信号Vout2で除算することで、センサ検出信号VoutSを出力する。
【選択図】 図1
Description
図1(A)は本実施形態の磁気センサ1の回路構成を示す図であり、図1(B)は、磁気センサ1の磁気検出部10の構成を示す側面図およびギャップの概念を示す図である。
磁気センサ1は、磁気検出部10、A/Dコンバータ20、および演算部30を備える。
図2に示すように、磁気検出部10は、Si基板11上に、磁気抵抗素子MR1,MR2および抵抗素子R1,R2を構成する半導体膜(感磁部)や電極が形成される。基板11における磁気検出部10の形成領域の被検出体搬送方向に沿った一方端には、グランド接続するためのグランド接続用電極1921,1922と、第2磁気検出信号Vout2の出力端子である電圧出力用電極1932が形成されている。他方端には、第1磁気検出信号Vout1を出力する電圧出力用電極1931と、印加電圧Vinを与える電圧入力用電極1911,1912が形成されている。これら電圧入力用電極1911,1912、グランド接続用電極1921,1922、および電圧出力用電極1931,1932は導電性材料からなる。
図5は、本実施形態の磁気センサ1”の回路構成を示す図である。本実施形態の磁気センサ1”は、磁気検出部10’の構成が第1の実施形態の図1に示した磁気センサ1に対して異なるのみであるので、当該磁気検出部10’の構成のみを具体的に説明する。
Claims (7)
- 被検出体の磁気パターンを検出する磁気センサであって、
電圧入力端子とグランド端子との間に磁気感度特性の異なる磁気抵抗素子または磁気抵抗素子と抵抗素子を直列接続し、接続された素子同士の接続位置の電圧レベルを第1磁気検出信号として出力する第1直列回路と、前記電圧入力端子と前記グランド端子との間に、前記第1直列回路と並列接続されており、磁気感度特性の異なる磁気抵抗素子または磁気抵抗素子と抵抗素子を直列接続し、接続された素子同士の接続位置の電圧レベルを第2磁気検出信号として出力する第2直列回路と、を備えた磁気検出部と、
前記第1磁気検出信号と前記第2磁気検出信号とを除算処理する除算部と、を備えた磁気センサ。 - 前記第1直列回路と前記第2直列回路とは異なる感度に設定されている、請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記除算部は、
前記第1磁気検出信号および前記第2磁気検出信号を所定サンプリングタイミング毎ならぶレベルデータに変換するA/Dコンバータと、
前記第1磁気検出信号のレベルデータと前記第2磁気検出信号のレベルデータとを除算処理するデジタル演算部と、を備える、請求項1または請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記除算部は、
前記第1磁気検出信号および前記第2磁気検出信号をアナログ信号のまま入力し除算処理するアナログICからなる、請求項1または請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記磁気検出部は、前記第1磁気検出信号および前記第2磁気検出信号のオフセット成分を除去するオフセット除去部を備える、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記磁気検出部は、
前記第1直列回路および前記第2直列回路を構成する各磁気抵抗素子は、複数の感磁部がミアンダ状に形成され、各感磁部の長手方向が前記被検出体の搬送方向に沿い、且つ各磁気抵抗素子は前記被検出体の搬送方向に対して直交する方向に配列されている、請求項1〜請求項5のいずれかに記載の磁気センサ。 - 被検出体の磁気パターンに応じて変化する第1の磁気抵抗素子の抵抗値変化を、当該第1の磁気抵抗素子を含む特性の異なる磁気抵抗素子の組または前記第1の磁気抵抗素子と抵抗素子との組を用いて、電圧レベルからなる第1磁気検出信号として取得し、
前記被検出体の磁気パターンに応じて変化する第2の磁気抵抗素子の抵抗値変化を、当該第2の磁気抵抗素子を含む特性の異なる磁気抵抗素子の組または前記第2の磁気抵抗素子と抵抗素子との組を用いて、電圧レベルからなる第2磁気検出信号として取得し、
前記第1磁気検出信号と前記第2磁気検出信号とを除算処理する、磁気検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009091380A JP5417949B2 (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 磁気センサおよび磁気検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009091380A JP5417949B2 (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 磁気センサおよび磁気検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010243294A true JP2010243294A (ja) | 2010-10-28 |
JP5417949B2 JP5417949B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=43096462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009091380A Expired - Fee Related JP5417949B2 (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 磁気センサおよび磁気検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5417949B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6095982A (ja) * | 1983-10-31 | 1985-05-29 | Midori Sokki:Kk | 無接触型ポテンシヨメ−タの温度補償方法 |
JPH02214177A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-27 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 磁気抵抗素子 |
JP2000162297A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Tdk Corp | 磁界センサ |
JP2001091298A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 非接触磁気式計測装置 |
-
2009
- 2009-04-03 JP JP2009091380A patent/JP5417949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6095982A (ja) * | 1983-10-31 | 1985-05-29 | Midori Sokki:Kk | 無接触型ポテンシヨメ−タの温度補償方法 |
JPH02214177A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-27 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 磁気抵抗素子 |
JP2000162297A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Tdk Corp | 磁界センサ |
JP2001091298A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 非接触磁気式計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5417949B2 (ja) | 2014-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ajbl et al. | A fully integrated Hall sensor microsystem for contactless current measurement | |
CN110753847B (zh) | 电流传感器 | |
US9128127B2 (en) | Sensor device | |
JP6180752B2 (ja) | センサ装置 | |
JP7140149B2 (ja) | 電流センサ、磁気センサ及び回路 | |
TWI586986B (zh) | 磁性感測器裝置 | |
US10473732B2 (en) | Magnetometer with a differential-type integrated circuit for MI sensor and GSR | |
WO2011021521A1 (ja) | 磁気センサ装置及びこれを用いた電子機器 | |
JP2010223862A (ja) | 磁気センサ | |
KR101135258B1 (ko) | 자기 센서 장치 | |
JP6257019B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP5417949B2 (ja) | 磁気センサおよび磁気検出方法 | |
TW201637361A (zh) | 比較電路以及感測裝置 | |
CN109932668B (zh) | 基于正反向激励的低磁滞tmr磁场测量装置 | |
JP2016142652A (ja) | 電力センサー | |
JP2005257642A (ja) | 磁気検出回路およびエンコーダ | |
JP5417968B2 (ja) | 被検出体の検出方法 | |
JP5656728B2 (ja) | 磁気−デジタル変換器、回転センサ及び回転角センサ | |
JP7119695B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2009121858A (ja) | 増幅回路 | |
Ajbl et al. | A Hall sensor microsystem with integrated voltage and current references for continuous sensitivity calibration | |
JP2005039469A (ja) | オフセット調整回路およびそれを用いたセンサ信号処理回路 | |
JP6085525B2 (ja) | 電子回路及びその駆動方法 | |
CN116846344A (zh) | 放大电路以及传感器电路 | |
CN111624532A (zh) | 一种磁阻感测器系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5417949 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |