JP6085525B2 - 電子回路及びその駆動方法 - Google Patents

電子回路及びその駆動方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6085525B2
JP6085525B2 JP2013119458A JP2013119458A JP6085525B2 JP 6085525 B2 JP6085525 B2 JP 6085525B2 JP 2013119458 A JP2013119458 A JP 2013119458A JP 2013119458 A JP2013119458 A JP 2013119458A JP 6085525 B2 JP6085525 B2 JP 6085525B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
amplifier
circuit
register
converter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013119458A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014238272A (ja
Inventor
真幸 森棟
真幸 森棟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cypress Semiconductor Corp
Original Assignee
Cypress Semiconductor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cypress Semiconductor Corp filed Critical Cypress Semiconductor Corp
Priority to JP2013119458A priority Critical patent/JP6085525B2/ja
Publication of JP2014238272A publication Critical patent/JP2014238272A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6085525B2 publication Critical patent/JP6085525B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、電子回路及びその駆動方法に関する。
磁気センサや歪みセンサ等のように微小な物理量やその変化量を検出するセンサには、差動信号を出力するものが多い。
この種のセンサは、計装アンプと呼ばれる電子回路に接続される場合がある。計装アンプは、センサから出力される一対の差動信号を増幅する非反転アンプと、非反転アンプから出力される差動信号をシングルエンド信号に変換する差電圧アンプとを有する。
特開2009−204377号公報 特開2010−98668号公報
シングルエンド信号に混入する差動信号の同相成分を削減できる電子回路及びその駆動方法を提供することを目的とする。
開示の技術の一観点によれば、増幅回路と、制御信号に同期したタイミングで前記増幅回路の所定の入力端子に一対の差動信号を交互に供給するクロススイッチと、前記増幅回路から出力される信号をデジタル信号に変換する変換器と、前記変換器により変換されたデジタル信号が入力される相関二重サンプリング回路とを有する電子回路が提供される。
開示の技術の他の一観点によれば、増幅回路、変換器及び相関二重サンプリング回路を備えた電子回路の駆動方法であって、前記増幅回路の所定の入力端子に差動信号を制御信号に同期したタイミングで交互に入力し、前記増幅回路から出力される信号を前記変換器によりデジタル信号に変換し、前記変換器から出力されるデジタル信号を前記制御信号に同期したタイミングで前記相関二重サンプリング回路の第1のレジスタ及び第2のレジスタに交互に書き込み、前記第1のレジスタに書き込まれた信号と前記第2のレジスタに書き込まれた信号との差を演算して出力する電子回路の駆動方法が提供される。
前記一観点に係る電子回路及び電子回路の駆動方法によれば、シングルエンド信号に混入する差動信号の同相成分を削減できる。
図1は、磁気センサの一例を示す回路図である。 図2は、磁気センサに接続する計装アンプの一例を示す回路図である。 図3は、実施形態に係る電子回路の構成を示す回路図である。 図4は、EOC信号及びCtrl信号のタイミングチャートである。 図5は、Ctrl信号が“H”のときのクロススイッチの状態を示す回路図である。 図6は、Ctrl信号が“L”のときのクロススイッチの状態を示す回路図である。 図7は、ADCに入力される信号の経時的変化の一例を示す図である。 図8は、相関二重サンプリング回路から出力される信号の経時的変化を模式的に示す図である。
以下、実施形態について説明する前に、実施形態の理解を容易にするための予備的事項について説明する。
図1は磁気センサの一例を示す回路図である。この図1に例示した磁気センサは、フルブリッジ接続した4個の磁気抵抗素子SMRE1〜SMRE4を有する。この磁気センサには電源Vcから電力が供給され、2つの出力端子Ta,Tbから磁界の方向に応じた差動信号が出力される。
図2は、図1の磁気センサに接続する計装アンプの一例を示す回路図である。この計装アンプ10は、非反転アンプ11と、差電圧アンプ12と、ADC(アナログ−デジタル変換器)13とを有する。
非反転アンプ11は、OPアンプ11a,11bと、抵抗R5,R6,RGとにより形成されている。
抵抗R5はOPアンプ11aの出力端子と反転入力端子(−)との間に接続されており、抵抗R6はOPアンプ11bの出力端子と反転入力端子(−)との間に接続されている。また、抵抗RGはOPアンプ11aの反転入力端子(−)とOPアンプ11bの反転入力端子(−)との間に接続されている。
OPアンプ11aの非反転入力端子(+)は、端子T1に接続されている。この端子T1には、磁気センサから出力される差動信号のうちの一方の信号Vin-が供給される。また、OPアンプ11bの非反転入力端子(+)は、端子T2に接続されている。この端子T2には、磁気センサから出力される差動信号のうちの他方の信号Vin+が供給される。
OPアンプ11aからは、信号Vin-を増幅した信号Vin-'が出力される。この信号Vin-'は、端子T3を介して差電圧アンプ12に供給される。また、OPアンプ11bからは、信号Vin+を増幅した信号Vin+'が出力される。この信号Vin+'は、端子T4を介して差電圧アンプ12に供給される。
差電圧アンプ12は、OPアンプ12aと、抵抗R1〜R4とにより形成されている。
抵抗R1は端子T3とOPアンプ12aの反転入力端子(−)との間に接続されており、抵抗R3は端子T4とOPアンプ12aの非反転入力端子(+)との間に接続されている。また、抵抗R2はOPアンプ12aの出力端子と反転入力端子(−)との間に接続されており、抵抗R4は基準電圧Vrefが供給される端子14とOPアンプ12aの非反転入力端子(+)との間に接続されている。基準電圧Vrefの電位は、端子T1,T2の電位が同じときに、差電圧アンプ12から出力したい電位に設定する。
OPアンプ12aからは、差動信号Vin+',Vin-'に応じたシングルエンド信号Voutが出力される。このシングルエンド信号Voutは、端子T5を介してADC13に供給される。差電圧アンプ12により差動−シングル変換するときに、差動信号Vin+',Vin-'の同相成分が除去される。
ADC13は、OPアンプ12aから出力されるシングルエンド信号(アナログ信号)Voutをデジタル信号に変換する。ADC13から出力されるデジタル信号は、例えばコンピュータを含んで構成された信号処理装置に送られる。
図2に示すように、一般的な計装アンプ10は、差動信号Vin+,Vin-の増幅のために2個のOPアンプ11a,11bを使用し、差動信号Vin+,Vin-の同相成分を除去するために1個のOPアンプ12aを使用している。
ところで、端子T3を一定電位に固定し、端子T4に信号Vin+'を入力したときの差電圧アンプ12のゲイン(ΔVout/ΔVin+')は、下記(1)式で表わされる。但し、Δは変化分を表す。
Figure 0006085525
また、端子T4を一定電位に固定し、端子T3に信号Vin-'を入力したときの差電圧アンプ12のゲイン(Vout/Vin-')は、下記(2)式で表わされる。
Figure 0006085525
端子T4に信号Vin+'を入力し、端子T3に信号Vin-'を入力したときのゲイン(ΔVout/Δ(Vin+'−Vin-'))は、(1)式と(2)式との和として表わされる。
上記(1)式及び(2)式からわかるように、差電圧アンプ12に入力される差動信号のうちの一方の信号Vin+'のゲインは抵抗R1〜4により決定され、他方の信号Vin-'のゲインは抵抗R1,R2によって決定される。
従って、差電圧アンプ12の抵抗R1〜R4の抵抗値は、信号Vin+'のゲインと信号Vin-'のゲインの絶対値が等しくなるように設定される。
しかし、これらの抵抗R1〜R4の抵抗値を設定値の通りに作製することは難しく、実際の抵抗値と設定値との間に誤差が発生する。これにより、差動信号の同相成分を十分に除去することができなくなり、その結果ADC13から出力されるデジタル信号の変換精度が低下してしまう。
以下の実施形態では、シングルエンド信号に混入する差動信号の同相成分を削減できる電子回路について説明する。
(実施形態)
図3は、実施形態に係る電子回路の構成を示す回路図である。本実施形態では、磁気センサ等に接続する計装アンプに適用した例を説明している。
本実施形態に係る電子回路20は、クロススイッチ21と、非反転アンプ22と、ADC(アナログ−デジタル変換器)23と、分周器24と、ハイパスフィルタ(HPF)25と、相関二重サンプリング回路26とを有する。
クロススイッチ21は、差動信号Vin-,Vin+が入力される端子T11,T12と、非反転アンプ22の入力端子T13,T14との間に接続されている。このクロススイッチ21は、分周器24から出力される信号Ctrlが“H”のときには信号Vin-を端子T13に伝達し、信号Vin+を端子T14に伝達する。また、クロススイッチ21は、分周器24から出力される信号Ctrlが“L”のときには信号Vin-を端子T14に伝達し、信号Vin+を端子T13に伝達する。
非反転アンプ22は、OPアンプ31a,31bと、抵抗R5,R6,RGとにより形成されている。非反転アンプ22は、増幅回路の一例である。
OPアンプ31aの非反転入力端子(+)は端子T13に接続されており、OPアンプ31bの非反転入力端子(+)は端子14に接続されている。
抵抗R5はOPアンプ31aの出力端子と反転入力端子(−)との間に接続されており、抵抗R6はOPアンプ31bの出力端子と反転入力端子(−)との間に接続されている。また、抵抗RGは、OPアンプ31aの反転入力端子(−)とOPアンプ31bの反転入力端子(−)との間に接続されている。更に、OPアンプ31aの出力端子は、端子T15に接続されている。
ADC23は、端子T15を介して入力されるOPアンプ31aの出力(アナログ信号)をクロック信号に同期したタイミングでサンプリングし、デジタル信号(デジタルコード)に変換して出力する。また、ADC23は、デジタル信号への変換が終了するごとに“H”となるEOC(End-of-Conversion)信号を出力する。
なお、ADC23に入力されるクロック信号は、図示を省略したクロック信号発生回路から供給される。また、本実施形態では、ADC23としてナイキスト型ADCを使用する。ナイキスト型ADCには、例えばフラッシュ型ADC、SAR(Successive Approximation Register)型ADC、及びスロープ型ADC等がある。
ADC23にEOC信号を出力する機能がない場合は、ADC23に供給されるクロック信号をカウントし、デジタル信号への変換が終了するタイミングで“H”となる信号を生成する回路を設けてもよい。
分周器24は、ADC23から出力されるEOC信号を1/2に分周し、Ctrl信号として出力する。このCtrl信号は、クロススイッチ21と相関二重サンプリング回路26とに供給される。Ctrl信号は、制御信号の一例である。
ハイパスフィルタ(HPF)25は、ADC23から出力される信号を、その信号に含まれる低周波成分をカットして端子T16に伝達する。
相関二重サンプリング回路26は、PIPO(並列入力並列出力)型シフトレジスタ26a,26bと、演算器26cとを有する。シフトレジスタ26a,26bのD端子はいずれも端子T16に接続されている。また、シフトレジスタ26aのクロック入力端子にはCtrl信号が入力され、シフトレジスタ26bのクロック入力端子にはCtrl信号を反転した信号が入力される。
演算器26cは、シフトレジスタ26aから出力される信号と、シフトレジスタ26bから出力される信号との差を演算して出力する。
以下、本実施形態に係る電子回路20の動作について説明する。
前述したように、ADC23は、クロック信号に同期したタイミングで非反転アンプ22から出力される信号(アナログ信号)をサンプリングしてデジタル信号(デジタルコード)に変換する。また、ADC23からは、デジタル信号への変換が終了するごとにEOC信号が出力され、分周器24からはEOC信号を1/2の周波数に分周したCtrl信号が出力される。そして、このCtrl信号により、クロススイッチ21及び相関二重サンプリング回路26が動作する。
図4は、EOC信号及びCtrl信号のタイミングチャートである。図4のように、Ctrl信号は、時間t1,t3,t5,…のときに“H”から“L”に変化し、時間t2,t4,t6…のときに“L”から“H”に変化する。
クロススイッチ21は、Ctrl信号が“H”のときに、図5に示すように端子T11に供給された信号Vin-を端子T13に伝達し、端子T12に供給された信号Vin+を端子T14に伝達する。従って、Ctrl信号が“H”のときには、非反転アンプ22から、同相入力電圧と、増幅された差動信号のうちVin-に対応する成分との和が出力される。
また、クロススイッチ21は、信号Ctrlが“L”のときに、図6に示すように端子T11に供給された信号Vin-を端子T14に伝達し、端子T12に供給された信号Vin+を端子T13に伝達する。従って、Ctrl信号が“L”のときには、非反転アンプ22から、同相入力電圧と、増幅された差動信号のうちVin+に対応する成分との和が出力される。
つまり、非反転アンプ22からは、図7に示すように、同相入力電圧に等しい電圧(図7中に一点鎖線で示す)を中心として交互に反転する信号が出力される。なお、図7は、横軸に時間をとり、縦軸に電圧(アナログ値)をとって、ADC23に入力される信号の経時的変化の一例を示している。
ADC23は、非反転アンプ22から出力される信号をサンプリングし、デジタル信号(デジタルコード)に変換して出力する。ADC23から出力されたデジタル信号は、ハイパスフィルタ(HPF)25により低周波成分が除去され、相関二重サンプリング回路26に伝達される。
相関二重サンプリング回路26のシフトレジスタ26aには、時間t1,t3,t5,…のときに、非反転アンプ22から出力される信号Vin-'に応じたデジタルコードが書き込まれる。また、相関二重サンプリング回路26のシフトレジスタ26bには、時間t2,t4,t6、…のときに、非反転アンプ22から出力される信号Vin+'に応じたデジタルコードが書き込まれる。
演算器26cは、時間t1,t2,t3,t4,…毎に、シフトレジスタ26aに書き込まれたデジタルコードからシフトレジスタ26bに書き込まれたデジタルコードを引き算し、その結果を出力する。この引き算により、デジタルコードに含まれる同相成分が除去される。
例えば、時間t1,t3,t5,…のときの非反転アンプ22の出力電圧をV(t2n-1)とし、時間t2,t4,t6,…のときの非反転アンプ22の出力電圧をV(t2n)とする(但し、nは整数)。この場合、演算器26cは、Ctrl信号に同期したタイミングでV(t2n-1)−V(t2n)、又はV(t2n+1)−V(t2n)を演算する。
その結果、相関二重サンプリング回路26(演算器26c)からは、図8に示すように差動信号Vin+,Vin-に対応するデジタル信号が出力される。なお、図8は、横軸に時間をとり、縦軸に電圧(デジタル値)をとって、相関二重サンプリング回路(CDS)26から出力される信号の経時的変化を模式的に示している。
上述したように、本実施形態では、差動信号Vin+,Vin-が供給される端子T11,T12と非反転アンプ22の入力側の端子T13,T14との間に、信号Ctrlにより切り替え動作するクロススイッチ21を配置している。そして、端子T13,T14に差動信号Vin+,Vin-を交互に供給し、ADC23から出力されるデジタルコードを相関二重サンプリング回路26のシフトレジスタ26a,26bに書き込む。その後、それらのシフトレジスタ26a,26bに書き込まれたデジタルコードを引き算し、入力信号Vin+とVin-との差に対応するデジタル信号を得る。
本実施形態では、アナログ信号をデジタル信号に変換する際に、図2に示す差電圧アンプ12は不要である。従って、本実施形態に係る電子回路20では、差電圧アンプ内の抵抗の誤差に起因する同相成分の影響がなく、デジタル信号の変換精度が向上する。
また、本実施形態では、図2に示す計装アンプ10に比べてOPアンプの数が少なくてすむ。そのため、半導体チップ上における回路の占有面積が少なくてすむと同時に、消費電力も削減される。
更に、本実施形態に係る電子回路20には、以下に示す利点もある。すなわち、OPアンプ31a,31b及びADC23の出力には、オフセット電圧が含まれる。しかし、本実施形態に係る電子回路20では、相関二重サンプリング回路26内でシフトレジスタ26a,26bに書き込まれたデジタル信号を引き算するときに、OPアンプ31a,31bのオフセット電圧の影響が相殺される。このため、デジタル信号の変換精度がより一層向上する。同様の理由により、OPアンプ31a,31bで発生する1/fノイズの影響も除去される。
以上の諸実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)増幅回路と、
制御信号に同期したタイミングで前記増幅回路の所定の入力端子に一対の差動信号を交互に供給するクロススイッチと、
前記増幅回路から出力される信号をデジタル信号に変換する変換器と、
前記変換器により変換されたデジタル信号が入力される相関二重サンプリング回路と
を有することを特徴とする電子回路。
(付記2)前記相関二重サンプリング回路は、第1のレジスタと、第2のレジスタと、演算器とを備え、前記変換器から出力される前記デジタル信号を前記制御信号に同期したタイミングで前記第1のレジスタ及び前記第2のレジスタに交互に書き込み、前記演算器により前記第1のレジスタ及び前記第2のレジスタに書き込まれたデジタル信号の差を演算することを特徴とする付記1に記載の電子回路。
(付記3)前記制御信号は、前記変換器でデジタル信号への変換が終了するごとに状態変化する信号を1/2分周した信号であることを特徴とする付記1又は2に記載の電子回路。
(付記4)前記増幅回路は、前記差動信号を受信し、一方の極性の第1アナログ信号を出力する第1のOPアンプと、他方の極性の第2アナログ信号を出力する第2のOPアンプとを有し、前記第1アナログ信号及び前記第2アナログ信号のうちのいずれか一方が前記変換器に入力されることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の電子回路。
(付記5)前記変換器が、ナイキスト型アナログ−デジタル変換器であることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の電子回路。
(付記6)前記制御信号が、前記変換器から出力されるEOC(End-of-Conversion)信号を1/2分周した信号であることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載の電子回路。
(付記7)前記変換器と前記相関二重サンプリング回路との間に、ハイパスフィルタが接続されていることを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の電子回路。
(付記8)前記差動信号が、センサから出力された信号であることを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項に記載の電子回路。
(付記9)増幅回路、変換器及び相関二重サンプリング回路を備えた電子回路の駆動方法であって、
前記増幅回路の所定の入力端子に差動信号を制御信号に同期したタイミングで交互に入力し、
前記増幅回路から出力される信号を前記変換器によりデジタル信号に変換し、
前記変換器から出力されるデジタル信号を前記制御信号に同期したタイミングで前記相関二重サンプリング回路の第1のレジスタ及び第2のレジスタに交互に書き込み、前記第1のレジスタに書き込まれた信号と前記第2のレジスタに書き込まれた信号との差を演算して出力する
ことを特徴とする電子回路の駆動方法。
10…計装アンプ、11…非反転アンプ、11a,11b,12a…OPアンプ、12…差電圧アンプ、13…ADC(アナログ−デジタル変換器)、20…電子回路、21…クロススイッチ、22…非反転アンプ、23…ADC(アナログ−デジタル変換器)、24…分周器、25…ハイパスフィルタ、26…相関二重サンプリング回路、26a,26b…シフトレジスタ、26c…演算器、31a,31b…OPアンプ。

Claims (6)

  1. 増幅回路と、
    制御信号に同期したタイミングで前記増幅回路の所定の入力端子に一対の差動信号を交互に供給するクロススイッチと、
    前記増幅回路から出力される信号をデジタル信号に変換する変換器と、
    前記変換器により変換されたデジタル信号が入力される相関二重サンプリング回路と
    を有することを特徴とする電子回路。
  2. 前記相関二重サンプリング回路は、第1のレジスタと、第2のレジスタと、演算器とを備え、前記変換器から出力される前記デジタル信号を前記制御信号に同期したタイミングで前記第1のレジスタ及び前記第2のレジスタに交互に書き込み、前記演算器により前記第1のレジスタ及び前記第2のレジスタに書き込まれたデジタル信号の差を演算することを特徴とする請求項1に記載の電子回路。
  3. 前記増幅回路は、前記差動信号を受信し、一方の極性の第1アナログ信号を出力する第1のOPアンプと、他方の極性の第2アナログ信号を出力する第2のOPアンプとを有し、前記第1アナログ信号及び前記第2アナログ信号のいずれか一方が前記変換器に入力されることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子回路。
  4. 前記制御信号が、前記変換器から出力されるEOC(End-of-Conversion)信号を1/2分周した信号であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子回路。
  5. 前記変換器と前記相関二重サンプリング回路との間に、ハイパスフィルタが接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子回路。
  6. 増幅回路、変換器及び相関二重サンプリング回路を備えた電子回路の駆動方法であって、
    前記増幅回路の所定の入力端子に差動信号を制御信号に同期したタイミングで交互に入力し、
    前記増幅回路から出力される信号を前記変換器によりデジタル信号に変換し、
    前記変換器から出力されるデジタル信号を前記制御信号に同期したタイミングで前記相関二重サンプリング回路の第1のレジスタ及び第2のレジスタに交互に書き込み、前記第1のレジスタに書き込まれた信号と前記第2のレジスタに書き込まれた信号との差を演算して出力する
    ことを特徴とする電子回路の駆動方法。
JP2013119458A 2013-06-06 2013-06-06 電子回路及びその駆動方法 Active JP6085525B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013119458A JP6085525B2 (ja) 2013-06-06 2013-06-06 電子回路及びその駆動方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013119458A JP6085525B2 (ja) 2013-06-06 2013-06-06 電子回路及びその駆動方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014238272A JP2014238272A (ja) 2014-12-18
JP6085525B2 true JP6085525B2 (ja) 2017-02-22

Family

ID=52135538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013119458A Active JP6085525B2 (ja) 2013-06-06 2013-06-06 電子回路及びその駆動方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6085525B2 (ja)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02140018A (ja) * 1988-11-19 1990-05-29 Sharp Corp 信号レベル検出装置
JP2762868B2 (ja) * 1992-09-29 1998-06-04 日本電気株式会社 電圧比較回路

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014238272A (ja) 2014-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6770300B2 (ja) 計測機器用の信号処理回路
US8330631B2 (en) Background calibration method for fixed gain amplifiers
JP5474707B2 (ja) 電圧検出装置用の検出回路および電圧検出装置
JP4470995B2 (ja) A/d変換回路及び電子機器
JP6054732B2 (ja) 半導体装置及びオフセット電圧の補正方法
US7642913B2 (en) Sensor apparatus
JP6339833B2 (ja) センサ装置
JP5341745B2 (ja) 磁気検出装置
US8643526B1 (en) Data acquisition system
JP6085525B2 (ja) 電子回路及びその駆動方法
US8456337B1 (en) System to interface analog-to-digital converters to inputs with arbitrary common-modes
JP5331572B2 (ja) 非反転増幅回路、及び測定機
JP6696285B2 (ja) アナログフロントエンド回路
JP6445360B2 (ja) 電流測定装置
JP7181742B2 (ja) 電流入力回路及び電力測定器
JP2014207571A (ja) 計装アンプ
JPH088747A (ja) アナログ/デジタル変換回路
JP2011013037A (ja) アレイセンサ装置
CN114910060A (zh) 用于传感器系统的读出电路和传感器系统
JP2006170797A (ja) 不平衝容量の検出装置、及びセンサの不平衝容量の検出方法、並びにこれらに用いる変換器
KR200360584Y1 (ko) 디지털 측정장치
JP5417949B2 (ja) 磁気センサおよび磁気検出方法
JP2016065731A (ja) センサ装置
JP2004356874A (ja) センサ入力装置
KR100872121B1 (ko) 액츄에이터 동작 감지 장치, 그 방법 및 이를 수행하는프로그램이 기록된 기록 매체

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20160118

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161222

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20170118

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170130

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6085525

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250