JP2010228237A - 液体供給装置、及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チョーククリーニングを迅速に実行できると共にコストの低減及び装置の小型化を図ることができる液体供給装置、及びそのような液体供給装置を備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクカートリッジ１３側となる上流側から記録ヘッド１２側となる下流側に向けてインクを供給するインク流路１５と、該インク流路１５の一部をポンプ室４３ａとして該ポンプ室４３ａの内面の少なくとも一部を構成するダイアフラム３７が、インクをポンプ室４３ａ内から下流側に導出させる導出口３１ｂを閉塞可能な下死点位置を含む複数の位置の間でポンプ室４３ａの容積を増減するように変位することにより、ポンプ室４３ａ内にインクを吸引する吸引駆動とポンプ室４３ａ内からインクを吐出する吐出駆動とを行うポンプ４３と、該ポンプ４３を駆動するためにダイアフラム３７を変位させる圧力調整装置４７を含むポンプ駆動機構とを備えた。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体供給装置、及び液体噴射装置に関する。

従来、液体噴射ヘッドからターゲットに対して液体を噴射させる液体噴射装置として、インクジェット式記録装置（以下、「プリンター」と言う）が広く知られている。このプリンターでは、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッドのノズルからインク溶媒が蒸発することによるインク粘度の上昇や固化、塵埃の付着などによりノズルに目詰まりを生じたり、さらにはノズルから記録ヘッド内に気泡が混入したりすることで、印刷不良を引き起こす虞があった。

そこで、例えば特許文献１に記載されるように、従来のプリンターでは、こうした記録ヘッドにおけるノズルの目詰まりや気泡の混入等に基づく印刷不良を解消するために、負圧によって記録ヘッド内から固化したインクや気泡を強制的に吸引排出させる、いわゆるチョーククリーニングを実行可能となっている。すなわち、チョーククリーニングでは、まず、記録ヘッドのノズル形成面にキャップがノズルを囲うように当接させられる。そして、液体供給源となるインクカートリッジ側から記録ヘッド側にインクを供給するインク供給流路（液体供給流路）の途中に設けられたチョーク弁を閉弁させた状態で吸引ポンプが駆動される。

すると、その吸引ポンプの駆動に伴いキャップ内に負圧が生じ、その負圧によって記録ヘッドのノズル形成面側からノズルを介して記録ヘッド内が吸引される。そして、その吸引力によりチョーク弁よりも下流側（すなわち、記録ヘッド側）の負圧が十分に高まった時点でチョーク弁が開弁されることにより、チョーク弁よりも上流側（すなわち、インクカートリッジ側）からインクが勢いよく記録ヘッド内に流入し、記録ヘッド内に滞留していた粘度の高いインクや気泡がノズルから強制的に排出される。

また、近時、こうしたプリンターにおいて、インクカートリッジ側から記録ヘッド側にポンプを用いてインクを供給する方式の一つとして、例えば特許文献２に記載されるように、インク供給流路の途中に設けられたポンプが吸引駆動と吐出駆動を繰り返すことで、上流側から下流側にインクを小刻みに供給する脈動ポンプ方式が知られている。そして、この脈動ポンプ方式でインクを供給するプリンターにおいても、記録ヘッドにおけるノズルの目詰まりや気泡の混入等に基づく印刷不良を解消するために、チョーククリーニングは適宜に実行されていた。

特開２００６−１９８８４５６号公報 特開２００６−２７２６６１号公報

ところで、インクの供給方式が脈動ポンプ方式のプリンターでのチョーククリーニングにおいては、チョーク弁に対して上流側からポンプの吐出圧が作用することにより、チョーク弁は閉弁状態から開弁状態になるように構成されていた。そして、このチョーク弁が開弁状態となったことにより、インクが上流側からチョーク弁を通過して下流側へと勢い良く流れるようになる。

しかしながら、チョーク弁が開弁状態になってインクが上流側から下流側に流れると、ポンプの吐出圧で高まっていたチョーク弁よりも上流側の圧力が下がってしまい、チョーク弁が下流側からの負圧により再び閉弁状態になってしまうことがあった。すなわち、最終的に、下流側からの負圧によりチョーク弁を閉弁させようとする力よりも上流側からの吐出圧によりチョーク弁を開弁させようとする力の方が安定的に上回った状態となるまでチョーク弁の開閉動作が振動を伴って繰り返されることになり、チョーククリーニングを一気に実行できないという問題があった。

また、脈動ポンプとは別にチョーク弁を別途に独立のスペースを設けて配設する必要があり、コストの低減及び装置の小型化を図れないという問題もあった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、チョーククリーニングを迅速に実行できると共にコストの低減及び装置の小型化を図ることができる液体供給装置、及びそのような液体供給装置を備えた液体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の液体供給装置は、液体を噴射するノズルがノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼすことにより前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるクリーニング手段とを備えた液体噴射装置に設けられる液体供給装置であって、液体供給源側となる上流側から前記液体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記液体を供給する液体供給流路と、該液体供給流路の一部をポンプ室として該ポンプ室の内面の少なくとも一部を構成する変位部材が、前記液体を前記ポンプ室内から下流側に導出させる導出口を閉塞可能な閉塞位置を含む複数の位置の間で前記ポンプ室の容積を増減するように変位することにより、前記ポンプ室内に前記液体を吸引する吸引駆動と前記ポンプ室内から前記液体を吐出する吐出駆動とを行うポンプと、該ポンプを駆動するために前記変位部材を変位させるポンプ駆動機構とを備えた。

この構成によれば、チョーククリーニングを実行する場合、ポンプにおける変位部材を閉塞位置に位置させた状態で、クリーニング手段により液体噴射ヘッドにノズルを介して吸引力を及ぼした後、閉塞位置に位置する変位部材をポンプ駆動機構により閉塞位置から変位させれば、変位部材がチョーク弁として機能し、チョーククリーニングが行われる。すなわち、ポンプ駆動機構により閉塞位置から変位させられた変位部材は、開放状態となった導出口を介して液体供給流路の上流側から下流側に液体が流れたとしても、ポンプ駆動機構により再び変位させられない限り、閉塞位置に変位することはない。そのため、チョーク弁の開閉動作が振動を伴って繰り返されることもなく、一気にチョーククリーニングが実行される。したがって、チョーククリーニングを迅速に実行できると共にコストの低減及び装置の小型化を図ることができる。

また、本発明の液体供給装置は、前記液体供給流路における前記ポンプ室よりも上流側となる位置に設けられ、上流側から下流側への液体の通過のみを許容する吸引側一方向弁と、前記液体供給流路における前記ポンプ室よりも下流側となる位置に設けられ、上流側から下流側への液体の通過のみを許容する吐出側一方向弁とを更に備えた。

この構成によれば、ポンプ駆動機構によりポンプの変位部材が変位させられ、ポンプ室内に液体を吸引する吸引駆動時及びポンプ室内から液体を吐出する吐出駆動時において、液体が液体供給流路内を逆流することを抑制でき、液体供給源側となる上流側から下流側に液体供給流路を介して液体を小刻みに供給することができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記ポンプ駆動機構は、前記導出口が前記変位部材により閉塞された状態にあって且つ前記クリーニング手段が前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるために前記液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼしている状態において、予め定めたクリーニング条件が満たされたことを契機として前記変位部材を前記閉塞位置から離間する方向に変位させる。

この構成によれば、予め定めたクリーニング条件として、例えば導出口よりも下流側の液体供給流路内の負圧が十分に高まった所定の閾値圧になるまでの必要時間が経過した場合や、そのような所定の閾値圧になったことを検出した場合など、様々な条件設定を選択することができ、チョーククリーニングにおけるチョーク弁制御の設計自由度が広がる。

また、本発明の液体供給装置において、前記ポンプ駆動機構は、前記変位部材を介して前記ポンプ室と区画された作動流体室内を負圧にすることにより前記変位部材を前記閉塞位置から離間する方向へ変位させる。

この構成によれば、変位部材を介してポンプ室と区画された作動流体室内を負圧にすることにより、変位部材が閉塞位置から離間する方向に変位するため、チョーククリーニング時にチョーク弁として機能する変位部材の応答性を良好に確保することができる。

また、本発明の液体供給装置は、前記変位部材を前記閉塞位置に向けて付勢する付勢部材を更に備えた。
この構成によれば、チョーククリーニング時に変位部材を閉塞位置に変位させる場合、及び、ポンプを吸引駆動の後に吐出駆動させる場合において、変位部材を変位させるための力として付勢部材の付勢力を利用できるため、ポンプ駆動機構によるポンプの駆動負荷を低減することができる。

また、本発明の液体噴射装置は、液体を噴射するノズルがノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼすことにより前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるクリーニング手段と、上記構成の液体供給装置とを備えた。

この構成によれば、上記液体供給装置に係る発明と同様の効果を得ることができる。

第１の実施形態におけるインクジェット式プリンターの模式図。 ポンプが吸引駆動時のインクジェット式プリンターの模式図。 ポンプが吐出駆動時のインクジェット式プリンターの模式図。 チョーク弁が閉弁状態にあるインクジェット式プリンターの模式図。 チョーク弁が開弁状態にあるインクジェット式プリンターの模式図。 第２の実施形態におけるインクジェット式プリンターの模式図。 ポンプが吸引駆動時のインクジェット式プリンターの模式図。 ポンプが吐出駆動時のインクジェット式プリンターの模式図。 チョーク弁が閉弁状態にあるインクジェット式プリンターの模式図。 チョーク弁が開弁状態にあるインクジェット式プリンターの模式図。

（第１の実施形態）
以下、本発明を液体噴射装置の一種であるインクジェット式記録装置（以下、「プリンター」と言う。）に具体化した第１の実施形態を図１〜図５にしたがって説明する。

図１に示すように、本実施形態のプリンター１１は、ターゲット（図示略）に対してインク（液体）を噴射する液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１２と、この記録ヘッド１２に液体供給源としてのインクカートリッジ１３に収容されているインクを供給する液体供給装置としてのインク供給装置１４を備えている。インク供給装置１４には、インクカートリッジ１３に上流端が接続されると共に、記録ヘッド１２に下流端が接続された状態で、インクカートリッジ１３側となる上流側から記録ヘッド１２側となる下流側に向けてインクを供給するインク流路（液体供給流路）１５が設けられている。

なお、プリンター１１には、そのプリンター１１で使用するインクの色数（種類）に対応して複数のインク供給装置１４が設けられている。但し、それらの構成は同じであるため、図１には何れか一色のインクを供給する一つのインク供給装置１４を記録ヘッド１２及び一つのインクカートリッジ１３と共に図示している。そして、以下においては、この図１に示す一つのインク供給装置１４のインク流路１５を介して上流側のインクカートリッジ１３から下流側の記録ヘッド１２に向けてインクを供給する場合を例にして説明することにする。

図１に示すように、記録ヘッド１２には、インク供給装置１４の設置数と対応する複数（本実施形態では４つ）のノズル１６がプラテン（図示略）と対向するノズル形成面１２ａに開口形成されている。そして、これらの各ノズル１６に対して各々対応するインク供給装置１４のインク流路１５からバッファ室１７ａ及びバルブユニット１７ｂを介してインクが供給されるようになっている。すなわち、インク流路１５を介して上流側のインクカートリッジ１３から下流側に供給されたインクはインク貯留室として機能するバッファ室１７ａに流入した後、バルブユニット１７ｂに流入する。そして、バルブユニット１７ｂには、バッファ室１７ａから流入したインクを一時貯留する圧力室（図示略）がノズル１６と連通するように設けられ、その圧力室内には、ノズル１６からインクを噴射した場合に、そのインク噴射により消費したインク量に相当する分量のインクが、図示しない流路弁の開閉動作に基づきバッファ室１７ａ側から適宜に流入するようになっている。

また、プリンター１１において記録ヘッド１２が非印刷時に位置するホームポジションには、記録ヘッド１２のノズル１６の目詰まり等を解消するべく記録ヘッド１２のクリーニングを行うクリーニング手段としてのメンテナンスユニット１８が設けられている。このメンテナンスユニット１８は、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａにノズル１６を囲うように当接可能なキャップ１９と、このキャップ１９内からインクを吸引する際に駆動される吸引ポンプ２０と、この吸引ポンプ２０の駆動に伴いキャップ１９内から吸引されたインクが廃インクとして排出される廃液タンク２１とを備えている。そして、クリーニング時には、図１に示す状態からキャップ１９を移動させて記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに当接させた状態で吸引ポンプ２０を駆動し、キャップ１９の内部空間に負圧を発生させることにより記録ヘッド１２内から増粘したインクや気泡混じりのインクを廃液タンク２１に向けて吸引排出するようにしている。

一方、インクカートリッジ１３は、内部がインクを収容するインク室２２ａとされた略箱体形状のケース２２を備えている。ケース２２の下壁からはインク室２２ａ内に連通する筒部２３が下方に向けて突出形成され、筒部２３の先端にはインクを導出可能なインク供給口２４が形成されている。そして、インクカートリッジ１３をインク供給装置１４に接続する際には、このインク供給口２４に対してインク供給装置１４からインク流路１５の上流端を構成するべく突設されたインク供給針２５が挿入されるようになっている。また、ケース２２の上壁には、インクが収容されたインク室２２ａ内を大気に連通させる大気連通孔２６が貫通形成され、インク室２２ａ内に収容されたインクの液面に対して大気圧を作用させるようになっている。

次に、インク供給装置１４の構成について詳細に説明する。
図１に示すように、インク供給装置１４は、基台となる樹脂製の第１流路形成部材２７と、この第１流路形成部材２７上に積層状態に組み付けられる同じく樹脂製の第２流路形成部材２８と、その組み付け時に両流路形成部材２７，２８の間に挟み込まれるゴム板等からなる可撓性部材２９とを備えている。ここで、第１流路形成部材２７の上面における複数箇所（本実施形態では３箇所）には、平面視円形状をなす凹部３０，３１，３２が形成されている。すなわち、一つの凹部３１と、該凹部３１よりも容積が小さく且つそれぞれ略同じ容積の二つの凹部３０，３２とが、図１において、右側から左側へ、凹部３０、凹部３１、凹部３２の順に、横並び配置となるように形成されている。

一方、この第１流路形成部材２７上に積層される第２流路形成部材２８の下面における複数箇所（本実施形態では３箇所）には、第１流路形成部材２７の上面に形成された各凹部３０，３１，３２と上下方向で互いに対向する平面視円形状の凹部３３，３４，３５が形成されている。すなわち、一つの凹部３４と、該凹部３４よりも容積が小さく且つそれぞれ略同じ容積の二つの凹部３３，３５とが、図１において、右側から左側へ、凹部３３、凹部３４、凹部３５の順に、横並び配置となるように形成されている。

つまり、インク供給装置１４は、凹部３０〜３２及び凹部３３〜３５をそれぞれ同一平面上に形成することで、複数の板状の構成部材を積層した積層構造の採用を可能としている。

そして、可撓性部材２９は、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８との間に、その可撓性部材２９における複数箇所（本実施形態では３箇所）が第１流路形成部材２７の各凹部３０〜３２と第２流路形成部材２８の各凹部３３〜３５との間を上下に仕切って介在するように挟み込まれている。その結果、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３０と第２流路形成部材２８の凹部３３との間に介在する部分は、両凹部３０，３３の間で弾性変形することにより変位可能な吸引側弁体３６として機能するようになっている。

同様に、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３１と第２流路形成部材２８の凹部３４との間に介在する部分は、両凹部３１，３４の間で弾性変形することにより変位可能なダイアフラム（変位部材）３７として機能するようになっている。また同様に、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３２と第２流路形成部材２８の凹部３５との間に介在する部分は、両凹部３２，３５の間で弾性変形することにより変位可能な吐出側弁体３８として機能するようになっている。

なお、吸引側弁体３６、ダイアフラム３７、吐出側弁体３８の撓み変形可能な部分の平面視の面積は、吸引側弁体３６及び吐出側弁体３８が互いに略同じ大きさであるのに対して、ダイアフラム３７は吸引側弁体３６及び吐出側弁体３８よりも大きくなっている。

そして、図１に示すように、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８には、第１流路形成部材２７の上面から突設されたインク供給針２５と第１流路形成部材２７の凹部３０との間を連通する第１流路１５ａが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。同様に、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８及び可撓性部材２９には、第２流路形成部材２８の凹部３３と第１流路形成部材２７の凹部３１との間を連通する第２流路１５ｂが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。また同様に、第１流路形成部材２７には、第１流路形成部材２７の凹部３１と凹部３２との間を連通する第３流路１５ｃが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。

さらに、第２流路形成部材２８には、第２流路形成部材２８の凹部３５と第２流路形成部材２８の上面側との間を連通する第４流路１５ｄが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。そして、この第４流路１５ｄにおける第２流路形成部材２８の上面に開口した流路開口端には、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するインク供給チューブ１５ｅの一端（上流端）が接続されている。そして、このインク供給チューブ１５ｅの他端（下流端）が記録ヘッド１２内のバッファ室１７ａに接続されている。

また、図１に示すように、インク供給装置１４において可撓性部材２９の吸引側弁体３６となる部分は、その中心に貫通孔３６ａが形成されると共に、上側の凹部３３内に配設されたコイルスプリング４０の付勢力により下側の凹部３０の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３０，３３と吸引側弁体３６及びコイルスプリング４０により吸引側一方向弁４１が構成されている。

同様に、インク供給装置１４において可撓性部材２９のダイアフラム３７となる部分は、上側の凹部３４内に配設されたコイルスプリング（付勢部材）４２の付勢力により下側の凹部３１の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３１，３４とダイアフラム３７及びコイルスプリング４２により脈動型のポンプ４３が構成され、ダイアフラム３７と下側の凹部３１とで囲み形成される容積可変の空間域がポンプ４３におけるポンプ室４３ａとして機能するようになっている。すなわち、ダイアフラム３７はポンプ室４３ａの内面の一部を構成し、上流側の第２流路１５ｂからポンプ室４３ａ内にインクを導入する導入口３１ａとポンプ室４３ａ内から下流側の第３流路１５ｃにインクを導出する導出口３１ｂとを閉塞する閉塞位置（図１及び図３参照）を含む複数の位置の間を変位可能に構成されている。

また同様に、インク供給装置１４において可撓性部材２９の吐出側弁体３８となる部分は、その中心に貫通孔３８ａが形成されると共に、上側の凹部３５内に配設されたコイルスプリング４４の付勢力により下側の凹部３２の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３２，３５と吐出側弁体３８及びコイルスプリング４４により吐出側一方向弁４５が構成されている。

さらに、図１に示すように、第２流路形成部材２８の凹部３４には、二股状に分岐した空気流路４６を介して減圧ポンプ等からなる圧力調整装置４７と大気開放機構４８が接続されている。圧力調整装置４７は、制御装置６０に駆動状態を制御されて正逆回転可能な駆動モーター４９が正転駆動した場合に図示しないワンウェイクラッチを介して伝達される駆動力により駆動して負圧を発生し、空気流路４６を介して接続された第２流路形成部材２８の凹部３４内にも同様に負圧を発生させ得るように構成されている。この点で、第２流路形成部材２８の凹部３４とダイアフラム３７とで囲み形成される容積可変の空間域は、圧力調整装置４７の駆動に伴い圧力状態が変化する（本実施形態では、負圧状態となる。）作動流体室４３ｂとして機能するようになっている。

なお、制御装置６０は、中央処理装置として機能することにより各種の演算を実行するＣＰＵ（図示略）、記憶手段として機能するＲＯＭ（図示略）及びＲＡＭ（図示略）などを備えたデジタルコンピュータにて構成されている。そして、制御装置６０は、ポンプ４３の駆動時には駆動モーター４９の駆動状態を制御すると共に、記録ヘッド１２のクリーニング時には吸引ポンプ２０及び駆動モーター４９の駆動状態を制御する他、プリンター１１全体の稼働状態を必要に応じて制御するように構成されている。

一方、大気開放機構４８は、大気開放孔５０が形成されたボックス５１内にシール部材５２を大気開放孔５０側に付設してなる大気開放弁５３が収容され、その大気開放弁５３が常にはコイルスプリング５４の付勢力により大気開放孔５０を封止する閉弁方向に付勢された構成をしている。そして、大気開放機構４８は、駆動モーター４９が逆転駆動した場合に、図示しないワンウェイクラッチを介して伝達される駆動力に基づき作動するカム機構５５が作動し、そのカム機構５５の作動により大気開放弁５３がコイルスプリング５４の付勢力に抗して開弁方向に変位するように構成されている。すなわち、大気開放機構４８は、空気流路４６を介して接続された作動流体室４３ｂが負圧状態になっている場合には、大気開放弁５３が開弁動作することにより、その作動流体室４３ｂ内を大気に開放して負圧状態を解消するようになっている。

そして、本実施形態では、この大気開放機構４８と上記の圧力調整装置４７と駆動モーター４９により、上記閉塞位置を含む複数の位置の間でポンプ４３のダイアフラム３７をポンプ室４３ａの容積を増減させるように変位させるポンプ駆動機構が構成されている。

なお、図１には、圧力調整装置４７、大気開放機構４８、及びこれらを駆動させる駆動モーター４９が、各インク色に個別対応する複数のインク供給装置１４毎に１つずつ設けられた構成を例示しているが、これは次のような構成にしてもよい。すなわち、インク供給装置１４のポンプ４３の作動流体室４３ｂに接続される空気流路４６の接続端側を各インク色に個別対応する複数のインク供給装置１４の設置数に対応するように分岐し、その分岐した空気流路４６の各接続端を各々対応するインク供給装置１４のポンプ４３の作動流体室４３ｂに接続してもよい。このように構成すれば、複数のインク供給装置１４に対して圧力調整装置４７、大気開放機構４８、駆動モーター４９を１つ設けるだけで、各色のインク供給装置１４を駆動することができ、プリンター１１の小型化を図ることができる。

そこで次に、以上のように構成されたプリンター１１において特にインク供給装置１４によるインク供給時及びチョーククリーニング時の作用に着目して以下説明する。
まず、インク供給装置１４のインク供給時の作用について説明する。

なお、前提として、図１に示す状態は、新旧インクカートリッジの交換直後であって、吸引側一方向弁４１の吸引側弁体３６、ポンプ４３のダイアフラム３７、及び、吐出側一方向弁４５の吐出側弁体３８は、いずれもコイルスプリング４０，４２，４４の付勢力で下側の各凹部３０，３１，３２の内底面に押し付けられた状態にあるものとする。そして、大気開放機構４８は大気開放弁５３が大気開放孔５０を封止した閉弁状態にあるものとする。

さて、このような図１に示す状態から、インク供給装置１４がインクカートリッジ１３側から記録ヘッド１２側へインクを供給する場合、まず、ポンプ４３を吸引駆動させるために、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が正転駆動させられる。すると、圧力調整装置４７が負圧を発生し、この圧力調整装置４７と空気流路４６を介して接続されたインク供給装置１４の作動流体室４３ｂが負圧状態になる。そのため、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して作動流体室４３ｂ側に弾性変形（変位）し、作動流体室４３ｂの容積を減少させる（図２参照）。すると、この作動流体室４３ｂの容積減少に伴い、ダイアフラム３７を介して作動流体室４３ｂと区画されたポンプ４３のポンプ室４３ａは逆に容積が増加する。

すなわち、ポンプ４３がダイアフラム３７をポンプ室４３ａの容積が増加する方向に変位させて吸引駆動することになる。具体的には、ダイアフラム３７が図１に示す下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から図２に示す上死点位置（導出口３１ｂから離間した位置）に変位する。そのため、ポンプ室４３ａ内が負圧状態になり、その負圧が第２流路１５ｂを介して吸引側一方向弁４１の上側の凹部３３に作用し、下側の凹部３０内のインク圧力との圧力差に基づき吸引側弁体３６をコイルスプリング４０の付勢力に抗して上方（すなわち、開弁方向）へ弾性変形（変位）させる。その結果、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の貫通孔３６ａを介して連通状態となり、インクカートリッジ１３内からインクが、第１流路１５ａ、凹部３０、貫通孔３６ａ、凹部３３、第２流路１５ｂ、導入口３１ａを経由して、ポンプ室４３ａ内に吸引される。

一方、このポンプ４３の吸引駆動時には、ポンプ室４３ａの負圧が導出口３１ｂを介してポンプ室４３ａよりもインク流路１５の下流側、すなわち第３流路１５ｃにも作用する。しかし、第３流路１５ｃの下流側が連通する吐出側一方向弁４５の下側の凹部３２は、吐出側弁体３８がコイルスプリング４４により閉弁方向に付勢された状態にあり、その閉弁状態は吐出側弁体３８に対して第３流路１５ｃの上流側からポンプ４３の吐出駆動によって所定の正圧（例えば、１３ｋｐａ以上の圧力）のインク吐出圧が作用しない限り開弁状態に移行しないように設定されている。したがって、この場合、吐出側一方向弁４５の吐出側弁体３８は、第３流路１５ｃを介して上流側から負圧が作用しているため、その閉弁状態が維持される。

そして次には、図２に示す状態において、ポンプ４３を吐出駆動させるために、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が逆転駆動される。すると、大気開放機構４８のカム機構５５の作動により大気開放弁５３がコイルスプリング５４の付勢力に抗して開弁動作し、負圧状態にある作動流体室４３ｂを大気開放する。そのため、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力により下方（すなわち、ポンプ室４３ａの内底面側）へ弾性変形（変位）し、作動流体室４３ｂの容積を増加させる（図３参照）。すると、この作動流体室４３ｂの容積増加に伴い、ダイアフラム３７を介して作動流体室４３ｂと区画されたポンプ４３のポンプ室４３ａは逆に容積が減少する。

すなわち、ポンプ４３がダイアフラム３７をポンプ室４３ａの容積を減少させる方向に変位させて吐出駆動することになる。具体的には、図３に示すように、ダイアフラム３７が上死点位置から下死点位置の方向に変位して、ポンプ室４３ａ内に吸引されていたインクを所定の圧力（例えば、３０ｋｐａ程度の圧力）で加圧する。そのため、ポンプ室４３ａ内からはインクが吐出され、その吐出圧がポンプ室４３ａよりも上流側では導入口３１ａ及び第２流路１５ｂを介して吸引側一方向弁４１の上側の凹部３３に作用し、吸引側弁体３６をコイルスプリング４０の付勢力と協働して下方（すなわち、閉弁方向）へ弾性変形（変位）させる。その結果、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の閉弁動作により非連通状態となり、ポンプ４３の吐出駆動に伴いポンプ室４３ａから吐出されたインクが吸引側一方向弁４１を経由してインクカートリッジ１３側に逆流することが規制される。

一方、このポンプ４３の吐出駆動時には、ポンプ室４３ａから吐出されたインクの圧力（例えば、３０ｋｐａ程度の圧力）が第３流路１５ｃを介してインク流路１５の下流側にも作用する。そのため、このポンプ４３の吐出圧が吐出側一方向弁４５の下側の凹部３２に作用し、上側の凹部３５内のインク圧力との圧力差に基づき吐出側弁体３８をコイルスプリング４４の付勢力に抗して上方（すなわち、開弁方向）へ弾性変形（変位）させる。その結果、第３流路１５ｃと第４流路１５ｄが吐出側弁体３８の貫通孔３８ａを介して連通状態となり、ポンプ室４３ａ内からインクが、導出口３１ｂ、第３流路１５ｃ、凹部３２、貫通孔３８ａ、凹部３５、第４流路１５ｄ、インク供給チューブ１５ｅを経由して、記録ヘッド１２内のバッファ室１７ａに加圧状態で供給される。ちなみに、吐出側一方向弁４５におけるコイルスプリング４４の付勢力は、吐出側一方向弁４５の下側の凹部３２内にインクがポンプ４３の吐出駆動に伴い流入してきた場合には、そのインクの吐出圧力により吐出側弁体３８が上方へ弾性変形できるように、例えば１３ｋｐａ程度に設定されている。

そして、以後は、ダイアフラム３７に加圧されてポンプ室４３ａから吐出されるインクの吐出圧がインク流路１５における吸引側一方向弁４１の上側の凹部３３よりも下流側の各流路域（ポンプ室４３ａ及び吐出側一方向弁４５の下側の凹部３２を含む）に均衡する状態が維持される。すなわち、吐出側一方向弁４５では、吐出側弁体３８が上死点位置に位置した状態に維持されており、第３流路１５ｃと第４流路１５ｄが貫通孔３８ａを介して連通した開弁状態に維持される。

その後において、記録ヘッド１２からインクがターゲット（図示略）に向けて噴射されると、そのインク噴射に伴うインクの消費量に相当する分量のインクがバルブユニット１７ｂ及びバッファ室１７ａを介してインク流路１５内から記録ヘッド１２側に供給される。そのため、この下流側（記録ヘッド１２側）でのインク消費に伴い、その消費量に対応するインク量のインクが記録ヘッド１２側となる下流側にコイルスプリング４２の付勢力でポンプ室４３ａの容積が減少する方向へ付勢されたダイアフラム３７の押圧力に基づき加圧状態で供給される。

その結果、ポンプ室４３ａ内の容積及び吐出側一方向弁４５における下側の凹部３２と吐出側弁体３８とにより囲み形成された空間域の容積が次第に減少し、遂にはダイアフラム３７が下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）付近まで変位すると共に、吐出側弁体３８が第３流路１５ｃと第４流路１５ｄとを非連通状態とする閉弁位置付近まで変位するようになる。ちなみに、本実施形態では、この時点でダイアフラム３７に押圧されてポンプ室４３ａから吐出されるインクの吐出圧は１３ｋｐａ程度となる。

すると、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が再び正転駆動され、大気開放機構４８では大気開放弁５３が大気開放孔５０を閉塞する閉弁位置に変位すると共に、圧力調整装置４７が負圧を発生して作動流体室４３ｂが負圧状態となり、ダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して、作動流体室４３ｂ側に弾性変形（変位）する。すなわち、再び、ポンプ４３が吸引駆動を開始する。その結果、ダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を増加させるべく上死点位置に変位し、ポンプ室４３ａ内が負圧状態になるため、その負圧の作用で吸引側弁体３６が開弁方向へ弾性変形（変位）する。したがって、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の貫通孔３６ａを介して連通状態となり、インクカートリッジ１３内からインクが再びポンプ室４３ａ内に吸引される。以後、上記と同様のポンプ４３の吐出駆動が実行されて、ポンプ室４３ａ内からインクが下流側のインク流路域を経由して記録ヘッド１２へと加圧供給される。

次に、上記インク供給装置１４がポンプ４３におけるダイアフラム３７をチョーク弁として利用することにより実行するチョーククリーニング時の作用について説明する。
さて、プリンター１１においては、ノズル１６を通じて記録ヘッド１２内に気泡が進入したり、ノズル１６からインク溶媒が蒸発することによるインク粘度の上昇や固化、塵埃の付着によりノズルに目詰まりを生じたりすることがあり得る。そこで、こうした場合、本実施形態のプリンター１１では、次のようにして、記録ヘッド内から気泡混じりの増粘したインクを一気に吸引除去する、いわゆるチョーククリーニングを実行している。

すなわち、まず図４に示すように、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力により下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に付勢された状態において、キャップ１９を記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに対してノズル１６を囲うように当接させ、その状態において制御装置６０からの制御信号に基づき吸引ポンプ２０が駆動される。すると、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに当接したキャップ１９内が負圧状態になるため、その負圧に基づく吸引力で記録ヘッド１２内が吸引される。このとき、吐出側一方向弁４５の吐出側弁体３８が仮に閉弁していたとしても、インク供給チューブ１５ｅ及び第４流路１５ｄを通じて負圧が吐出側一方向弁４５の上側の凹部３５に吐出側弁体３８を開弁させるように作用するので、吐出側一方向弁４５は開弁状態となる。

そして次に、所定のクリーニング条件が満たされたか否か、すなわち、導出口３１ｂよりも下流側のインク流路１５（第３流路１５ｃ、凹部３２，３５、第４流路１５ｄ、インク供給チューブ１５ｅ）内の負圧が十分に高まった所定の閾値圧になるまでの必要時間が経過したか否かが、制御装置６０によりタイマー検知に基づき判断される。そして、制御装置６０が所定のクリーニング条件は満たされたと判断した場合には、吸引ポンプ２０を停止させるための制御信号が制御装置６０から出力される。そして、この制御装置６０からの制御信号に基づき吸引ポンプ２０が駆動停止することにより、ポンプ２０が停止して記録ヘッド１２内及びインク流路１５内の負圧は一定状態で保たれる。その後、下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に付勢された状態にあるチョーク弁としてのダイアフラム３７を上死点位置に向けて変位させるための制御信号が制御装置６０から駆動モーター４９に出力される。

すると、この制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が正転駆動され、圧力調整装置４７の駆動に伴い、作動流体室４３ｂが負圧状態になるため、ダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して作動流体室４３ｂ側に、すなわち下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から離間する方向（上死点位置の方向）に変位する。その結果、ポンプ室４３ａよりも上流側のインク流路１５内のインクが勢い良く記録ヘッド１２側へ吸引される。そして、記録ヘッド１２内に残っている気泡混じりの増粘したインクが一気にノズル１６からキャップ１９内に吐出され、更には、廃液タンク２１に排出される。

そして次に、チョーククリーニングの終了条件が満たされたか否か、すなわち、インクを記録ヘッド１２から強制排出させるチョーククリーニングの実行時間として予め定めた時間が経過したか否かが、制御装置６０によりタイマー検知に基づき判断される。そして、制御装置６０が終了条件は満たされたと判断した場合には、チョーク弁としてのダイアフラム３７を再び下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に変位させるための制御信号が制御装置６０から駆動モーター４９に出力される。

すると、この制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が逆転駆動され、大気開放機構４８のカム機構５５の作動により大気開放弁５３がコイルスプリング５４の付勢力に抗して開弁動作し、負圧状態にある作動流体室４３ｂを大気開放する。そのため、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力により再び下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）へ弾性変形（変位）し、チョーククリーニングが終了する。

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、チョーククリーニングを実行する場合、ポンプ４３におけるダイアフラム３７を下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に位置させた状態で、キャップ１９を記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに対してノズル１６を囲うように当接させ、その状態において吸引ポンプ２０を駆動させる。すると、ノズル１６を介して記録ヘッド１２に吸引力が及ぶことになり、その後に、下死点位置に位置するダイアフラム３７を圧力調整装置４７が発生した負圧に基づき下死点位置から離間させて上死点位置に向かうように変位させれば、このダイアフラム３７がチョーク弁として機能し、迅速にチョーククリーニングが行われる。すなわち、駆動モーター４９の正転駆動に基づき作動流体室４３ｂが負圧状態になったことで下死点位置から離間して上死点位置に向かう方向に変位させられたダイアフラム３７は、開放状態となった導出口３１ｂを介してインク流路１５の上流側から下流側にインクが流れたとしても、駆動モーター４９が逆転駆動することにより作動流体室４３ｂの負圧状態が解消されない限り、再び下死点位置に変位することはない。そのため、チョーク弁として機能するダイアフラム３７による導出口３１ｂに対する開閉動作が振動を伴って繰り返されることもなく、一気にチョーククリーニングが実行される。したがって、チョーククリーニングを迅速に実行できると共にコストの低減及び装置の小型化を図ることができる。

（２）上記実施形態では、駆動モーター４９の正転駆動及び逆転駆動に基づきポンプ４３のダイアフラム３７が変位させられ、ポンプ室４３ａ内にインクを吸引する吸引駆動時及びポンプ室４３ａ内からインクを吐出する吐出駆動時において、インクがインク流路１５内を逆流することを抑制でき、インクカートリッジ１３側となる上流側から下流側にインク流路１５を介してインクを小刻みに供給することができる。

（３）上記実施形態では、チョーククリーニングにおいて導出口３１ｂよりも下流側のインク流路１５内の負圧が十分に高まった所定の閾値圧になるまでの必要時間が経過したことを制御装置６０がタイマー検知した場合にチョーク弁としてのダイアフラム３７を下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から離間する方向へ変位させている。そのため、チョーク弁としてのダイアフラム３７の開弁タイミングが正確になって、チョーククリーニングを精度よく実行することができる。また、導出口３１ｂよりも下流側のインク流路１５内の負圧が十分に高まった所定の閾値圧になったことを圧力センサー等により検出した場合などに、チョーク弁としてのダイアフラム３７を下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から離間する方向へ変位させるなど、クリーニング条件として様々な条件設定を選択することができ、チョーククリーニングにおけるチョーク弁制御の設計自由度が広がる。

（４）上記実施形態では、ダイアフラム３７を介してポンプ室４３ａと区画された作動流体室４３ｂ内を負圧にすることにより、ダイアフラム３７が下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から離間する方向へ変位するため、チョーククリーニング時にチョーク弁として機能するダイアフラム３７の開弁動作の応答性を良好に確保することができる。

（５）上記実施形態では、チョーククリーニング時にダイアフラム３７を下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に変位させる場合、及び、ポンプ４３を吸引駆動の後に吐出駆動させる場合において、ダイアフラム３７を変位させるための力として付勢部材としてのコイルスプリング４２の付勢力を利用できるため、駆動モーター４９の駆動負荷を低減することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について図６〜図１０を参照しながら説明する。なお、第２の実施形態は、ポンプ４３においてダイアフラム３７を下死点位置に向けて付勢するコイルスプリング４２を有していない点、ポンプ駆動機構が大気開放機構４８を有していない点、及び圧力調整装置４７が負圧発生装置のみならず正圧発生装置としても機能する点で、第１の実施形態と構成が相違している。そこで、以下においては第１の実施形態と相違する部分を主として説明することにし、同一又は相当する構成とされる部分については同一符号を付すことにし、それらの重複した説明は省略する。

図６に示すように、本実施形態のインク供給装置１４では、ポンプ４３においてダイアフラム３７はコイルスプリングにより下死点位置に付勢されておらず、常には下死点位置（図８参照）と上死点位置（図７参照）との略中間となる水平状態の中間位置に位置している。また、このダイアフラム３７との間に作動流体室４３ｂを囲み形成する第２流路形成部材２８の凹部３４には、一端側を圧力調整装置４７に接続された空気流路４６の他端側が二股状に分岐することなく接続されている。

そして、本実施形態では、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が正転駆動された場合、圧力調整装置４７が負圧発生装置として機能することで発生した負圧により作動流体室４３ｂが負圧状態となるため、ダイアフラム３７が上死点位置に弾性変形（変位）するようになっている。すなわち、図７に示すように、ポンプ４３は、作動流体室４３ｂの容積が減少する一方、ポンプ室４３ａの容積が増大することで吸引駆動状態となり、インクカートリッジ１３側となる上流側からポンプ室４３ａ内にインク流路１５を介してインクが供給されるようになる。

その一方、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が逆転駆動された場合には、圧力調整装置４７が正圧発生装置として機能することで発生した正圧により作動流体室４３ｂが正圧状態となるため、ダイアフラム３７が下死点位置に弾性変形（変位）するようになっている。すなわち、図８に示すように、ポンプ４３は、作動流体室４３ｂの容積が増大する一方、ポンプ室４３ａの容積が減少することで吐出駆動状態となり、ポンプ室４３ａ内から記録ヘッド１２側となる下流側にインク流路１５を介してインクが供給されるようになる。

そして、以後、制御装置６０からの制御信号に基づき、駆動モーター４９が正転駆動と逆転駆動を繰り返すことで、ポンプ４３が吸引駆動と吐出駆動を繰り返すため、上流側のインクカートリッジ１３側からポンプ室４３ａを経由して下流側の記録ヘッド１２側へとインクが小刻みに供給されるようになる。

また、本実施形態においては、次のようにしてチョーククリーニングが実行される。
まず、図９に示すように、制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が逆転駆動することにより、作動流体室４３ｂが正圧状態になるため、ダイアフラム３７が下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に弾性変形（変位）する。そして、その状態において、キャップ１９を記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに対してノズル１６を囲うように当接させ、その状態において制御装置６０からの制御信号に基づき吸引ポンプ２０が駆動される。すると、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに当接したキャップ１９内が負圧状態になるため、その負圧に基づく吸引力で記録ヘッド１２内が吸引される。

そして次に、第１の実施形態の場合と同様に、所定のクリーニング条件が満たされたか否か、すなわち、導出口３１ｂよりも下流側のインク流路１５内の負圧が十分に高まった所定の閾値圧になるまでの必要時間が経過したか否かが、制御装置６０によりタイマー検知に基づき判断される。そして、制御装置６０が所定のクリーニング条件は満たされたと判断した場合には、吸引ポンプ２０を停止させるための制御信号が制御装置６０から出力される。そして、この制御装置６０からの制御信号に基づき吸引ポンプ２０が駆動停止することにより、ポンプ２０が停止して記録ヘッド１２内及びインク流路１５内の負圧は一定状態で保たれる。その後、下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）に付勢された状態にあるチョーク弁としてのダイアフラム３７を上死点位置に向けて変位させるための制御信号が制御装置６０から駆動モーター４９に出力される。

すると、図１０に示すように、この制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が正転駆動することにより、作動流体室４３ｂが負圧状態になるため、ダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して作動流体室４３ｂ側に、すなわち下死点位置（導出口３１ｂを閉塞する閉塞位置）から離間する方向（上死点位置の方向）に変位する。その結果、ポンプ室４３ａよりも上流側のインク流路１５内のインクが勢い良く記録ヘッド１２側へ吸引される。そして、記録ヘッド１２内に残っている気泡混じりの増粘したインクが一気にノズル１６からキャップ１９内に吐出され、更には、廃液タンク２１に排出される。

その後、第１の実施形態の場合と同様に、チョーククリーニングの終了条件が満たされたか否か、すなわち、インクを記録ヘッド１２から強制排出させるチョーククリーニングの実行時間として予め定めた時間が経過したか否かが、制御装置６０によりタイマー検知に基づき判断される。そして、制御装置６０が終了条件は満たされたと判断した場合には、駆動モーター４９の駆動を停止させるための制御信号が制御装置６０から出力される。すると、この制御装置６０からの制御信号に基づき駆動モーター４９が駆動停止するため、作動流体室４３ｂ内の負圧状態が解消し、ダイアフラム３７は下死点位置と上死点位置との略中間となる中間位置に位置するようになり、チョーククリーニングが終了する。

この第２の実施形態によれば、上記第１の実施形態における（１）〜（４）の効果に加えて、次の効果を得ることができる。
（６）本実施形態では、チョーク弁として機能するダイアフラム３７を開弁動作に相当する下死点位置から上死点位置の方向へ離間させるように変位させる場合に、コイルスプリングの付勢力に抗して変位させる構成ではないため、さらにチョーククリーニング時にチョーク弁として機能するダイアフラム３７の開弁動作の応答性を良好に確保することができる。

（７）また、インク供給装置１４におけるポンプ４３にはコイルスプリングを有していない分、部材点数の削減を図ることができる。
なお、上記各実施形態は以下のように変更してもよい。

・第１の実施形態において、圧力調整装置４７は駆動モーター４９の正転駆動に伴い、負圧発生装置としてではなく、正圧発生装置として機能するようにしてもよい。なお、その場合には、圧縮ばねのコイルスプリング４２を作動流体室４３ｂ側ではなく、ポンプ室４３ａ側に配設するか、又は、圧縮ばねではなく引っ張りばねからなるコイルスプリング４２を作動流体室４３ｂ側に配設するとよい。すなわち、このような変形例の場合には、ポンプ４３を吸引駆動させる場合には、それらのばねの付勢力でダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を増加させるように変位する一方、ポンプ４３を吐出駆動させる場合には、正圧発生装置として機能する圧力調整装置４７からポンプ４３における上側の凹部３４（実施形態では作動流体室４３ｂ）に加圧空気を導入することになる。

・上記各実施形態において、ポンプ４３は、可撓性部材２９の一部であるダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を増減させるように変位する構成ではなく、ポンプ室４３ａと作動流体室４３ｂとを区画する剛性を有するピストンが変位部材としてポンプ室４３ａの容積を増減させるように変位する構成であってもよい。

・第１の実施形態において、付勢部材はコイルスプリング４２ではなく、例えば板ばね、ゴム等の他の形態の付勢部材を用いてもよい。
・上記各実施形態において、ポンプ４３の作動流体として空気を使用したが、例えばシリコンオイル等の液体を作動流体として使用してもよい。

・上記各実施形態では、液体噴射装置をインクジェット式プリンター１１に具体化したが、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置を採用してもよい。微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用してもよい。そして、これらのうちいずれか一種の液体噴射装置に本発明を適用することができる。

１１…プリンター（液体噴射装置）、１２…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１２ａ…ノズル形成面、１３…液体供給源としてのインクカートリッジ、１５…液体供給流路としてのインク流路、１６…ノズル、１８…メンテナンスユニット（クリーニング手段）、３１ｂ…導出口、３７…チョーク弁として機能する変位部材としてのダイアフラム、４１…吸引側一方向弁、４２…コイルスプリング（付勢部材）、４３…ポンプ、４３ａ…ポンプ室、４３ｂ…作動流体室、４５…吐出側一方向弁、４７…ポンプ駆動機構を構成する圧力調整装置、４８…ポンプ駆動機構を構成する大気開放機構、４９…ポンプ駆動機構を構成する駆動モーター。

Claims (6)

1. 液体を噴射するノズルがノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼすことにより前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるクリーニング手段とを備えた液体噴射装置に設けられる液体供給装置であって、
   液体供給源側となる上流側から前記液体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記液体を供給する液体供給流路と、
   該液体供給流路の一部をポンプ室として該ポンプ室の内面の少なくとも一部を構成する変位部材が、前記液体を前記ポンプ室内から下流側に導出させる導出口を閉塞可能な閉塞位置を含む複数の位置の間で前記ポンプ室の容積を増減するように変位することにより、前記ポンプ室内に前記液体を吸引する吸引駆動と前記ポンプ室内から前記液体を吐出する吐出駆動とを行うポンプと、
   該ポンプを駆動するために前記変位部材を変位させるポンプ駆動機構と
   を備えたことを特徴とする液体供給装置。
2. 請求項１に記載の液体供給装置において、
   前記液体供給流路における前記ポンプ室よりも上流側となる位置に設けられ、上流側から下流側への液体の通過のみを許容する吸引側一方向弁と、
   前記液体供給流路における前記ポンプ室よりも下流側となる位置に設けられ、上流側から下流側への液体の通過のみを許容する吐出側一方向弁と
   を更に備えたことを特徴とする液体供給装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液体供給装置において、
   前記ポンプ駆動機構は、前記導出口が前記変位部材により閉塞された状態にあって且つ前記クリーニング手段が前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるために前記液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼしている状態において、予め定めたクリーニング条件が満たされたことを契機として前記変位部材を前記閉塞位置から離間する方向に変位させることを特徴とする液体供給装置。
4. 請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の液体供給装置において、
   前記ポンプ駆動機構は、前記変位部材を介して前記ポンプ室と区画された作動流体室内を負圧にすることにより前記変位部材を前記閉塞位置から離間する方向へ変位させることを特徴とする液体供給装置。
5. 請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の液体供給装置において、
   前記変位部材を前記閉塞位置に向けて付勢する付勢部材を更に備えたことを特徴とする液体供給装置。
6. 液体を噴射するノズルがノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、
   該液体噴射ヘッドに前記ノズルを介して吸引力を及ぼすことにより前記液体噴射ヘッド内から前記液体を強制的に吸引して排出させるクリーニング手段と、
   請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載の液体供給装置と
   を備えたことを特徴とする液体噴射装置。

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