JP5338204B2 - 液体供給装置、液体噴射装置、及び液体供給方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体供給装置、液体噴射装置、及び液体供給方法に関する。

従来、液体噴射ヘッドからターゲットに対して液体を噴射させる液体噴射装置として、インクジェット式記録装置（以下、「プリンタ」と言う）が広く知られている。このプリンタでは、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッドのノズルからインク溶媒が蒸発することによるインク粘度の上昇や固化、塵埃の付着によりノズルに目詰まりを生じたり、さらにはノズルから記録ヘッド内に気泡が混入したりして、印刷不良を引き起こす虞があった。

そこで、特許文献１に示すように、従来のプリンタでは、このようなノズルの目詰まりや気泡混入を解消させる方法として、いわゆるチョーククリーニングというクリーニング方法を実行可能となっている。チョーククリーニングでは、液体供給源となるインクカートリッジから記録ヘッドにインクを供給するインク供給流路（液体供給流路）の途中に設けられたバルブを閉弁し、その状態において記録ヘッドのノズル形成面側からノズルを介して記録ヘッド内を吸引するようにしている。そして、その吸引力により記録ヘッド内に負圧を生じさせ、記録ヘッド内に存在する気泡を膨張させた後、このバルブを開弁してインクカートリッジ側からインクを勢いよく記録ヘッド内に流入させることにより、記録ヘッド内の固化したインクや気泡をノズルから強制的に排出するようにしている。
特開２００４−９０４５３号公報

ところで、特許文献１のプリンタの場合には、インクカートリッジと記録ヘッドとを接続するインク供給流路を開閉可能なバルブがインク供給流路の途中に一つしか設けられていない。そのため、チョーククリーニング時には、その一つのバルブを開弁すると、記録ヘッドのノズルを介してインク供給流路内に作用させていた負圧の分だけインクカートリッジ側からインク供給流路を介して記録ヘッド側にインクが大量に流入してしまう。したがって、このプリンタでは、チョーククリーニング時におけるインクの無駄な消費量が大きくなるという問題があった。さらには、複数のインク供給流路が各々対応する液体供給源から記録ヘッドに対して並列状態で接続されている場合には、各インク供給流路の流路抵抗の差によって、各液体供給源におけるインクの消費量に差が生じてしまうという問題点も有していた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものである。その目的は、液体供給流路の途中に設けたバルブを閉弁した状態で液体供給流路内に液体供給源側となる上流側から下流側に向けて液体を勢い良く流動させる圧力を作用させ、その状態で前記バルブを開弁させた場合でも、液体供給源側から液体が下流側へ無駄に供給されて消費されることを抑制できる液体供給装置を提供することにある。また、そのような液体供給装置を備えた液体噴射装置、及び、そのような液体供給方法を提供することをも目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の液体供給装置は、液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路と、該液体供給流路の途中に該液体供給流路を開閉可能に設けられた第１のバルブと、該第１のバルブよりも前記液体供給流路における下流側に該液体供給流路を開閉可能に設けられ、前記液体供給流路を閉塞する閉弁位置と開放する開弁位置との間を変位自在なバルブ本体と、該バルブ本体を閉弁位置の方向に向けて付勢する付勢部材と、を有した第２のバルブと、前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間における前記液体供給流路の一部をポンプ室としてポンプ駆動するポンプと、を備え、前記第２のバルブは、該第２のバルブの下流側に負圧が作用すると前記バルブ本体が閉弁するとともに、前記ポンプのポンプ駆動によって、前記ポンプ室内から加圧供給される前記液体の圧力が、前記第２のバルブの前記付勢部材の付勢力に抗して、前記第２のバルブの前記バルブ本体に作用することで前記第２のバルブが開弁状態に切り替わる。

この構成によれば、第２のバルブは、バルブ本体が付勢部材の付勢力により常には閉弁状態にあるものの、ポンプの吐出駆動によりポンプ室から吐出された液体の圧力がバルブ本体に正圧として作用した場合には開弁状態に切り替わる構成となっている。すなわち、上記の構成により、特別な制御構成を備えることなく第２のバルブの開閉状態を自動的に切り替えることができる。また、第２のバルブは、下流側に負圧が作用すると閉弁するとともに、ポンプ室内から液体が加圧供給されると開弁する。そのため、液体供給流路における下流側の途中に設けた第２のバルブを閉弁した状態でポンプ室内から液体を加圧供給すると、第２のバルブの下流側に作用した負圧と相まって液体を勢い良く流動させることができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記第２のバルブは、前記ポンプのポンプ駆動によって、前記ポンプ室内の圧力が低下すると前記バルブ本体が閉弁する。
また、本発明の液体供給装置において、前記ポンプが前記ポンプ室の容積を増大させて該ポンプ室内に前記液体を吸引する吸引駆動時には、前記第１のバルブが開弁状態になると共に前記第２のバルブが閉弁状態になる一方、前記ポンプが前記ポンプ室の容積を減少させて該ポンプ室内から前記液体を吐出する吐出駆動時には、前記第１のバルブが閉弁状態になると共に前記第２のバルブが開弁状態になる。

この構成によれば、液体供給流路における第１のバルブと第２のバルブとの間にポンプ室を有するポンプがポンプ駆動することにより、ポンプ室よりも上流側の第１のバルブと下流側の第２のバルブが交互に開弁状態と閉弁状態とに切り替えられる。そのため、液体供給源を加圧するための大がかりな加圧手段を設けなくても、液体供給源側となる上流側から下流側に液体供給流路を介して液体を小刻みに供給することができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記ポンプは、前記ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材と、該変位部材を前記ポンプ室の容積が減少する方向又は増加する方向に付勢する付勢部材を備えている。

この構成によれば、ポンプをポンプ駆動させて液体を供給する場合には、ポンプを吸引駆動させる場合又は吐出駆動させる場合の何れか一方の場合にのみ付勢部材の付勢力に抗して変位部材を変位させればよく、逆の場合は付勢部材の付勢力で変位部材が元の状態に変位するので、ポンプの駆動負荷を低減することができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記第１のバルブは、前記液体供給流路を閉塞する閉弁位置と開放する開弁位置との間を変位自在なバルブ本体と、該バルブ本体を閉弁位置の方向に向けて付勢する付勢部材とを含んで構成され、前記第１のバルブの前記バルブ本体は、前記ポンプ室内に吸引される前記液体の圧力が負圧として作用した場合に前記付勢部材の付勢力に抗して開弁位置の方向に変位する。

この構成によれば、第１のバルブは、バルブ本体が付勢部材の付勢力により常には閉弁状態にあるものの、ポンプの吸引駆動によりポンプ室に吸引される液体の圧力がバルブ本体に負圧として作用した場合には開弁状態に切り替わる構成となっている。すなわち、上記の構成により、特別な制御構成を備えることなく第１のバルブの開閉状態を自動的に切り替えることができる。

また、本発明の液体噴射装置は、液体を噴射する液体噴射ヘッドと、上記構成の液体供給装置とを備えた。
この構成によれば、上記液体供給装置と同様の作用効果を奏し得る。

また、本発明の液体供給装置における液体供給方法は、液体供給源側となる上流側から下流側に向けて液体を供給する液体供給流路の途中に該液体供給流路を開閉可能に各々設けられた第１のバルブと第２のバルブのうち、前記第１のバルブよりも下流側に設けられた前記第２のバルブを閉弁状態とするとともに前記第２のバルブの下流側を負圧とした状態で、前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間における前記液体供給流路の一部をポンプ室としてポンプ駆動するポンプによって、前記ポンプ室内から加圧供給される前記液体の圧力を、前記第２のバルブを閉弁させる方向に付勢する付勢部材の付勢力に抗して、前記第２のバルブに作用させることで、前記第２のバルブを開弁状態に切り替える。

また、本発明の液体供給装置における液体供給方法は、前記液体を前記ポンプ室内に吸引する前記ポンプの吸引駆動によって、前記第２のバルブを閉弁させた後、前記第１のバルブを閉弁した状態で前記第２のバルブを開弁状態に切り替えて、前記第２のバルブの下流側に向けて前記液体に圧力を作用させる。

ここで、第１のバルブと第２のバルブとの間の液体供給流路の途中に設けられたポンプがポンプ作動した後は、ポンプ室からの吐出圧により下流側の第２のバルブは開弁状態となっている。そして、この開弁状態において、液体供給流路内に上流側から下流側に向けて液体を勢い良く流動させる圧力（負圧）を作用させると、その負圧により第２のバルブが閉弁するまでの間に、ポンプ室内の液体が下流側の液体供給流路内に吸い出され、結果として第２のバルブが閉弁する時点までにインクが無駄に消費されることとなる。

この点、上記構成によれば、まずポンプを吸引駆動することによりポンプ室内の圧力が低下することに伴ってポンプよりも下流側の第２のバルブが閉弁し、その閉弁状態で液体供給流路内に下流側から負圧が作用することになる。すなわち、液体供給流路内の負圧が高まると同時に第２のバルブが確実に閉弁し、ポンプ室内の液体が下流側の液体供給流路内に流出することを抑制可能となる。そして、この第２のバルブを閉弁状態とした後において、ポンプを吐出駆動することによりポンプ室内からの吐出圧によって第２のバルブを開弁し、液体供給流路内にインクを流すことでインク消費量の少ないチョーククリーニングを実行することができる。

以下、本発明を液体噴射装置の一種であるインクジェット式記録装置（以下、「プリンタ」と言う。）に具体化した一実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１１は、ターゲット（図示略）に対してインク（液体）を噴射する液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１２と、この記録ヘッド１２に液体供給源としてのインクカートリッジ１３に収容されているインクを供給する液体供給装置としてのインク供給装置１４を備えている。インク供給装置１４には、インクカートリッジ１３に上流端が接続されると共に、記録ヘッド１２に下流端が接続された状態で、インクカートリッジ１３側となる上流側から記録ヘッド１２側となる下流側に向けてインクを供給するインク流路（液体供給流路）１５が設けられている。

なお、プリンタ１１には、そのプリンタ１１で使用するインクの色数（種類）に対応して複数のインク供給装置１４が設けられている。但し、それらの構成は同じであるため、図１には何れか一色のインクを供給する一つのインク供給装置１４を記録ヘッド１２及び一つのインクカートリッジ１３と共に図示している。そして、以下においては、この図１に示す一つのインク供給装置１４のインク流路１５を介して上流側のインクカートリッジ１３から下流側の記録ヘッド１２に向けてインクを供給する場合を例にして説明することにする。

図１に示すように、記録ヘッド１２には、インク供給装置１４の設置数と対応する複数（本実施形態では４つ）のノズル１６がプラテン（図示略）と対向するノズル形成面１２ａに開口形成されている。そして、これらの各ノズル１６に対して各々対応するインク供給装置１４のインク流路１５からバルブユニット１７を介してインクが供給されるようになっている。すなわち、バルブユニット１７には、インク流路１５から流入したインクを一時貯留する圧力室（図示略）がノズル１６と連通するように設けられ、その圧力室内には、ノズル１６からインクを噴射した場合に、そのインク噴射により消費したインク量に相当する分量のインクが、図示しない流路弁の開閉動作に基づきインク流路１５から適宜に流入するようになっている。

また、プリンタ１１において記録ヘッド１２が非印刷時に位置するホームポジションには、記録ヘッド１２のノズル１６の目詰まり等を解消するべく記録ヘッド１２のクリーニングを行うメンテナンスユニット１８が設けられている。このメンテナンスユニット１８は、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａにノズル１６を囲うように当接可能なキャップ１９と、このキャップ１９内からインクを吸引する際に駆動される吸引ポンプ２０と、この吸引ポンプ２０の駆動に伴いキャップ１９内から吸引されたインクが廃インクとして排出される廃液タンク２１とを備えている。そして、クリーニング時には、図１に示す状態からキャップ１９を移動させて記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに当接させた状態で吸引ポンプ２０を駆動し、キャップ１９の内部空間に負圧を発生させることにより記録ヘッド１２内から増粘したインクや気泡混じりのインクを廃液タンク２１に向けて吸引排出するようにしている。

一方、インクカートリッジ１３は、内部がインクを収容するインク室２２ａとされた略箱体形状のケース２２を備えている。ケース２２の下壁からはインク室２２ａ内に連通する筒部２３が下方に向けて突出形成され、筒部２３の先端にはインクを導出可能なインク供給口２４が形成されている。そして、インクカートリッジ１３をインク供給装置１４に接続する際には、このインク供給口２４に対してインク供給装置１４からインク流路１５の上流端を構成するべく突設されたインク供給針２５が挿入されるようになっている。また、ケース２２の上壁には、インクが収容されたインク室２２ａ内を大気に連通させる大気連通孔２６が貫通形成され、インク室２２ａ内に収容されたインクの液面に対して大気圧を作用させるようになっている。

次に、インク供給装置１４の構成について詳細に説明する。
図１に示すように、インク供給装置１４は、基台となる樹脂製の第１流路形成部材２７と、この第１流路形成部材２７上に積層状態に組み付けられる同じく樹脂製の第２流路形成部材２８と、その組み付け時に両流路形成部材２７，２８の間に挟み込まれるゴム板等からなる可撓性部材２９とを備えている。ここで、第１流路形成部材２７の上面における複数箇所（本実施形態では３箇所）には、平面視円形状をなす凹部３０，３１，３２が形成されている。すなわち、一つの凹部３１と、該凹部３１よりも容積が小さく且つそれぞれ略同じ容積の二つの凹部３０，３２とが、図１において、右側から左側へ、凹部３０、凹部３１、凹部３２の順に、横並び配置となるように形成されている。

一方、この第１流路形成部材２７上に積層される第２流路形成部材２８の下面における複数箇所（本実施形態では３箇所）には、第１流路形成部材２７の上面に形成された各凹部３０，３１，３２と上下方向で互いに対向する平面視円形状の凹部３３，３４，３５が形成されている。すなわち、一つの凹部３４と、該凹部３４よりも容積が小さく且つそれぞれ略同じ容積の二つの凹部３３，３５とが、図１において、右側から左側へ、凹部３３、凹部３４、凹部３５の順に、横並び配置となるように形成されている。

つまり、インク供給装置１４は、凹部３０〜３２及び凹部３３〜３５をそれぞれ同一平面上に形成することで、複数の板状の構成部材を積層した積層構造の採用を可能としている。

なお、第２流路形成部材２８における図１において最も左側に形成された凹部３５の底部には、大気に連通する大気連通孔３５ａが形成されている。
そして、可撓性部材２９は、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８との間に、その可撓性部材２９における複数箇所（本実施形態では３箇所）が第１流路形成部材２７の各凹部３０〜３２と第２流路形成部材２８の各凹部３３〜３５との間を上下に仕切って介在するように挟み込まれている。その結果、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３０と第２流路形成部材２８の凹部３３との間に介在する部分は、両凹部３０，３３の間で弾性変形することにより変位可能な吸引側弁体（バルブ本体）３６として機能するようになっている。

同様に、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３１と第２流路形成部材２８の凹部３４との間に介在する部分は、両凹部３１，３４の間で弾性変形することにより変位可能なダイアフラム（変位部材）３７として機能するようになっている。また同様に、可撓性部材２９において第１流路形成部材２７の凹部３２と第２流路形成部材２８の凹部３５との間に介在する部分は、両凹部３２，３５の間で弾性変形することにより変位可能な吐出側弁体（バルブ本体）３８として機能するようになっている。

なお、吸引側弁体３６、ダイアフラム３７、吐出側弁体３８の撓み変形可能な部分の平面視の面積は、吸引側弁体３６及び吐出側弁体３８が互いに略同じ大きさであるのに対して、ダイアフラム３７は吸引側弁体３６及び吐出側弁体３８よりも大きくなっている。

そして、図１に示すように、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８には、第２流路形成部材２８の上面から突設されたインク供給針２５と第１流路形成部材２７の凹部３０との間を連通する第１流路１５ａが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。同様に、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８及び可撓性部材２９には、第２流路形成部材２８の凹部３３と第１流路形成部材２７の凹部３１との間を連通する第２流路１５ｂが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。また同様に、第１流路形成部材２７には、第１流路形成部材２７の凹部３１と凹部３２との間を連通する第３流路１５ｃが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。

さらに、第１流路形成部材２７と第２流路形成部材２８及び可撓性部材２９には、第１流路形成部材２７の凹部３２と第２流路形成部材２８の上面側との間を連通する第４流路１５ｄが、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するべく形成されている。そして、この第４流路１５ｄにおける第２流路形成部材２８の上面に開口した流路開口端には、インク供給装置１４におけるインク流路１５の一部を構成するインク供給チューブ１５ｅの一端（上流端）が接続されている。そして、このインク供給チューブ１５ｅの他端（下流端）が記録ヘッド１２側のバルブユニット１７に接続されている。

また、図１に示すように、インク供給装置１４において可撓性部材２９の吸引側弁体３６となる部分は、その中心に貫通孔３６ａが形成されると共に、上側の凹部３３内に配設されたコイルスプリング（付勢部材）４０の付勢力により下側の凹部３０の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３０，３３と吸引側弁体３６及びコイルスプリング４０により、インク流路１５の途中にインク流路１５を開閉可能に設けられた第１のバルブとしての吸引側バルブ４１が構成されている。

同様に、インク供給装置１４において可撓性部材２９のダイアフラム３７となる部分は、上側の凹部３４内に配設されたコイルスプリング（付勢部材）４２の付勢力により下側の凹部３１の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３１，３４とダイアフラム３７及びコイルスプリング４２により脈動型のポンプ４３が構成され、ダイアフラム３７と下側の凹部３１とで囲み形成される容積可変の空間域がポンプ４３におけるポンプ室４３ａとして機能するようになっている。

また同様に、インク供給装置１４において可撓性部材２９の吐出側弁体３８となる部分は、上側の凹部３５内に配設されたコイルスプリング（付勢部材）４４の付勢力により下側の凹部３２の内底面に向けて付勢されている。そして、本実施形態では、これらの凹部３２，３５と吐出側弁体３８及びコイルスプリング４４により、吸引側バルブ（第１のバルブ）４１よりもインク流路１５における下流側にインク流路１５を開閉可能に設けられた第２のバルブとしての吐出側バルブ４５が構成されている。

そして、本実施形態では、吐出側弁体３８と下側の凹部３２とで囲み形成される容積可変の空間域の容積は、ポンプ室４３ａの容積よりも小さく、且つ凹部３２と吸引側弁体３６とにより囲み形成された空間域と略同じ大きさとなっている。そして、コイルスプリング４４の付勢力は吐出側弁体３８と下側の凹部３２とで囲み形成される空間域の容積を減少させる方向に働くようになっている。

さらに、図１に示すように、第２流路形成部材２８の凹部３４には、二股状に分岐した空気流路４６を介して吸引ポンプ等からなる負圧発生装置４７と大気開放機構４８が接続されている。負圧発生装置４７は、正逆回転可能な駆動モータ４９が正転駆動した場合に図示しないワンウェイクラッチを介して伝達される駆動力により駆動して負圧を発生し、空気流路４６を介して接続された第２流路形成部材２８の凹部３４内にも同様に負圧を発生させ得るように構成されている。この点で、第２流路形成部材２８の凹部３４とダイアフラム３７とで囲み形成される容積可変の空間域は、負圧発生装置４７の駆動に伴い負圧状態となる負圧室４３ｂとして機能するようになっている。

一方、大気開放機構４８は、大気開放孔５０が形成されたボックス５１内にシール部材５２を大気開放孔５０側に付設してなる大気開放弁５３が収容され、その大気開放弁５３が常にはコイルスプリング５４の付勢力により大気開放孔５０を封止する閉弁方向に付勢された構成をしている。そして、大気開放機構４８は、駆動モータ４９が逆転駆動した場合に、図示しないワンウェイクラッチを介して伝達される駆動力に基づき作動するカム機構５５が作動し、そのカム機構５５の作動により大気開放弁５３がコイルスプリング５４の付勢力に抗して開弁方向に変位するように構成されている。すなわち、大気開放機構４８は、空気流路４６を介して接続された負圧室４３ｂが負圧状態になっている場合には、大気開放弁５３が開弁動作することにより、その負圧室４３ｂ内を大気に開放して負圧状態を解消するようになっている。

なお、図１には、負圧発生装置４７、大気開放機構４８、及びこれらを駆動させる駆動モータ４９が、各インク色に個別対応する複数のインク供給装置１４毎に１つずつ設けられた構成を例示しているが、これは次のような構成にしてもよい。すなわち、インク供給装置１４のポンプ４３の負圧室４３ｂに接続される空気流路４６の接続端側を各インク色に個別対応する複数のインク供給装置１４の設置数に対応するように分岐し、その分岐した空気流路４６の各接続端を各々対応するインク供給装置１４のポンプ４３の負圧室４３ｂに接続してもよい。このように構成すれば、複数のインク供給装置１４に対して負圧発生装置４７、大気開放機構４８、駆動モータ４９を１つ設けるだけで、各色のインク供給装置１４を駆動することができ、プリンタ１１の小型化を図ることができる。

そこで次に、以上のように構成されたプリンタ１１における作用について、特にインク供給装置１４の作用に着目して以下説明する。
まず、前提として、図１に示す状態は、新旧インクカートリッジの交換直後であって、吸引側バルブ４１の吸引側弁体３６、ポンプ４３のダイアフラム３７、及び、吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８は、いずれもコイルスプリング４０，４２，４４の付勢力で下側の各凹部３０，３１，３２の内底面に押し付けられた状態にあるものとする。そして、大気開放機構４８は大気開放弁５３が大気開放孔５０を封止した閉弁状態にあるものとする。

さて、このような図１に示す状態から、インク供給装置１４がインクカートリッジ１３側から記録ヘッド１２側へインクを供給する場合、まず、ポンプ４３をポンプ駆動させるために、駆動モータ４９が正転駆動させられる。すると、負圧発生装置４７が負圧を発生し、この負圧発生装置４７と空気流路４６を介して接続されたインク供給装置１４の負圧室４３ｂが負圧状態になる。そのため、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して負圧室４３ｂ側に弾性変形（変位）し、負圧室４３ｂの容積を減少させる（図２参照）。すると、この負圧室４３ｂの容積減少に伴い、ダイアフラム３７を介して負圧室４３ｂと区画されたポンプ４３のポンプ室４３ａは逆に容積が増加する。

すなわち、ポンプ４３がダイアフラム３７をポンプ室４３ａの容積が増加する方向に変位させて吸引駆動することになる。具体的には、ダイアフラム３７が図１に示す下死点位置から図２に示す上死点位置に変位する。そのため、ポンプ室４３ａ内が負圧状態になり、その負圧が第２流路１５ｂを介して吸引側バルブ４１の上側の凹部３３に作用し、下側の凹部３０内のインク圧力との圧力差に基づき吸引側弁体３６をコイルスプリング４０の付勢力に抗して上方（すなわち、開弁方向）へ弾性変形（変位）させる。その結果、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の貫通孔３６ａを介して連通状態となり、インクカートリッジ１３内からインクが、第１流路１５ａ、凹部３０、貫通孔３６ａ、凹部３３、第２流路１５ｂを経由して、ポンプ室４３ａ内に吸引される。

一方、このポンプ４３の吸引駆動時には、ポンプ室４３ａの負圧が第３流路１５ｃを介してポンプ室４３ａよりもインク流路１５の下流側、すなわち第３流路１５ｃにも作用する。しかし、第３流路１５ｃの下流側が連通する吐出側バルブ４５の下側の凹部３２は、吐出側弁体３８がコイルスプリング４４により閉弁方向に付勢された状態にあり、その閉弁状態は吐出側弁体３８に対して第３流路１５ｃの上流側からポンプ４３の吐出駆動によって所定の正圧（例えば、１３ｋｐａ以上の圧力）のインク吐出圧が作用しない限り開弁状態に移行しないように設定されている。したがって、この場合、吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８は、負圧が作用しているため、その閉弁状態が維持される。

そして次には、図２に示す状態において、駆動モータ４９が逆転駆動される。すると、大気開放機構４８のカム機構５５の作動により大気開放弁５３がコイルスプリング５４の付勢力に抗して開弁動作し、負圧状態にある負圧室４３ｂを大気開放する。そのため、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力により下方（すなわち、ポンプ室４３ａの内底面側）へ弾性変形（変位）し、負圧室４３ｂの容積を増加させる（図３参照）。すると、この負圧室４３ｂの容積増加に伴い、ダイアフラム３７を介して負圧室４３ｂと区画されたポンプ４３のポンプ室４３ａは逆に容積が減少する。

すなわち、ポンプ４３がダイアフラム３７をポンプ室４３ａの容積を減少させる方向に変位させて吐出駆動することになる。具体的には、図３に示すように、ダイアフラム３７が上死点位置から下死点位置の方向に変位して、ポンプ室４３ａ内に吸引されていたインクを所定の圧力（例えば、３０ｋｐａ程度の圧力）で加圧する。そのため、ポンプ室４３ａ内からはインクが吐出され、その吐出圧がポンプ室４３ａよりも上流側では第２流路１５ｂを介して吸引側バルブ４１の上側の凹部３３に作用し、吸引側弁体３６をコイルスプリング４０の付勢力と協働して下方（すなわち、閉弁方向）へ弾性変形（変位）させる。その結果、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の閉弁動作により非連通状態となり、インクカートリッジ１３からポンプ室４３ａへの吸引側バルブ４１を経由したインクの吸入が停止されると共に、ポンプ４３の吐出駆動に伴いポンプ室４３ａから吐出されたインクが吸引側バルブ４１を経由してインクカートリッジ１３側に逆流することが規制される。

一方、このポンプ４３の吐出駆動時には、ポンプ室４３ａから吐出されたインクの圧力（例えば、３０ｋｐａ程度の圧力）が第３流路１５ｃを介してインク流路１５の下流側にも作用する。そのため、このポンプ４３の吐出圧が閉弁状態にある吐出側弁体３８を開弁動作させ、吐出側バルブ４５における下側の凹部３２を介して第３流路１５ｃと第４流路１５ｄが連通する。その結果、ポンプ室４３ａ内からインクが、第３流路１５ｃ、吐出側バルブ４５の下側の凹部３２、第４流路１５ｄ、インク供給チューブ１５ｅを経由して、バルブユニット１７に加圧状態で供給される。ちなみに、吐出側バルブ４５におけるコイルスプリング４４の付勢力は、吐出側バルブ４５の下側の凹部３２内にインクがポンプ４３の吐出駆動に伴い流入してきた場合には、そのインクの吐出圧力により吐出側弁体３８が上方へ弾性変形できるように、例えば１３ｋｐａ程度に設定されている。

そして、以後は、ダイアフラム３７に加圧されてポンプ室４３ａから吐出されるインクの吐出圧がインク流路１５における吸引側バルブ４１の上側の凹部３３よりも下流側の各流路域（ポンプ室４３ａ及び吐出側バルブ４５の下側の凹部３２を含む）に均衡する状態が維持される。すなわち、吐出側バルブ４５では、吐出側弁体３８が上死点位置に位置した状態に維持されており、第３流路１５ｃと第４流路１５ｄが連通した開弁状態に維持されている。

その後において、記録ヘッド１２からインクがターゲット（図示略）に向けて噴射されると、そのインク噴射に伴うインクの消費量に相当する分量のインクがバルブユニット１７を介してインク流路１５内から記録ヘッド１２側に供給される。そのため、この下流側（記録ヘッド１２側）でのインク消費に伴い、その消費量に対応するインク量のインクが記録ヘッド１２側となる下流側にコイルスプリング４２の付勢力でポンプ室４３ａの容積が減少する方向へ付勢されたダイアフラム３７の押圧力に基づき加圧状態で供給される。

その結果、ポンプ室４３ａ内の容積及び吐出側バルブ４５における下側の凹部３２と吐出側弁体３８とにより囲み形成された空間域の容積が次第に減少し、遂にはダイアフラム３７が下死点位置付近まで変位すると共に、吐出側弁体３８が第４流路１５ｄを閉塞する閉弁位置付近まで変位するようになる。ちなみに、本実施形態では、この時点でダイアフラム３７に押圧されてポンプ室４３ａから吐出されるインクの吐出圧は１３ｋｐａ程度となる。

すると、駆動モータ４９が再び正転駆動され、大気開放機構４８では大気開放弁５３が大気開放孔５０を閉塞する閉弁位置に変位すると共に、負圧発生装置４７が負圧を発生して負圧室４３ｂが負圧状態となり、ダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して、負圧室４３ｂ側に弾性変形（変位）する。すなわち、再び、ポンプ４３が吸引駆動を開始する。その結果、ダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を増加させるべく上死点位置に変位し、ポンプ室４３ａ内が負圧状態になるため、その負圧の作用で吸引側弁体３６が開弁方向へ弾性変形（変位）する。したがって、第１流路１５ａと第２流路１５ｂが吸引側弁体３６の貫通孔３６ａを介して連通状態となり、インクカートリッジ１３内からインクが再びポンプ室４３ａ内に吸引される。以後、上記と同様のポンプ４３の吐出駆動が実行されて、ポンプ室４３ａ内からインクが下流側のインク流路域を経由して記録ヘッド１２へと加圧供給される。

ところで、プリンタ１１においては、ノズル１６を通じて記録ヘッド１２内に気泡が進入したり、ノズル１６からインク溶媒が蒸発することによるインク粘度の上昇や固化、塵埃の付着によりノズルに目詰まりを生じたりすることがあり得る。そこで、こうした場合には、インク流路の途中に設けたチョークバルブを閉弁させた状態で記録ヘッド１２内を吸引し、ある程度まで負圧が高まった段階でチョークバルブを開弁させて、記録ヘッド内から気泡混じりの増粘したインクを一気に吸引除去する、いわゆるチョーククリーニングを実行している。このようなチョーククリーニングを、本実施形態のプリンタ１１では、次のようにして実行している。

すなわち、まず図１に示す状態において、キャップ１９を記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに対してノズル１６を囲うように当接させ、その状態において吸引ポンプ２０が駆動される。すると、記録ヘッド１２のノズル形成面１２ａに当接したキャップ１９内が負圧状態になるため、その負圧に基づく吸引力で記録ヘッド１２内が吸引される。このとき、チョークバルブとして機能する吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８が仮に開弁していたとしても、インク流路１５を通じて負圧が吐出側弁体３８を閉弁させるように作用するので、吐出側バルブ４５は閉弁状態が維持される。

そして次に、駆動モータ４９が正転駆動され、負圧発生装置４７の駆動に伴い、ポンプ４３が吸引駆動されるため、吸引側バルブ４１の吸引側弁体３６が開弁状態になり、インクカートリッジ１３側からインクがポンプ室４３ａ内に吸引される。そして、ポンプ室４３ａ内がダイアフラム３７の上死点位置への変位に伴い容積を増加させ、インクを吸引すると、次には、駆動モータ４９が逆転駆動される。すると、大気開放機構４８が大気開放弁５３を開弁させて負圧室４３ｂの負圧状態を解消するため、ダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を減少させる方向に付勢され、ポンプ室４３ａ内からインクが例えば３０ｋｐａ程度のインク吐出圧で吐出される。

その結果、吸引側バルブ４１の吸引側弁体３６が閉弁状態になると共に、吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８が開弁状態となり、ポンプ室４３ａ内から吐出された加圧状態のインクが吐出側バルブ４５よりも下流側に加圧供給される。そして、その時点で吸引ポンプ２０の吸引力で高まっていた負圧と相まって吐出側バルブ４５よりも上流側のインク流路１５内のインクが勢い良く記録ヘッド１２側へ吸引される。そして、記録ヘッド１２内に残っている気泡混じりの増粘したインクが一気にノズル１６からキャップ１９内に吐出され、更に、廃液タンク２１に排出される。

そして、この場合において、ポンプ室４３ａよりも上流側の吸引側バルブ４１は、吸引側弁体３６が閉弁しているので、吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８が開弁してインクが記録ヘッド１２側に勢い良く吸引されても、吸引側バルブ４１よりも上流側からインクが記録ヘッド１２側に吸引されることはない。そのため、本実施形態のプリンタ１１では、インクカートリッジ１３内のインクの大量消費を抑制しつつチョーククリーニングを実行することが可能である。

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、下流側の吐出側バルブ４５を開弁した場合、上流側の吸引側バルブ４１が閉弁してインク流路１５を閉塞する。そのため、インク流路１５の途中に設けた吐出側バルブ４５を閉弁した状態でインク流路１５内に記録ヘッド１２を介して吸引ポンプ２０の吸引力による負圧を作用させ、その状態で吐出側バルブ４５を開弁した場合でも、閉弁状態にある上流側の吸引側バルブ４１によりインクの下流側への供給が規制される。したがって、インクカートリッジ１３内のインクが無駄に消費されることを抑制できる。

（２）上記実施形態では、インク流路１５における吸引側バルブ４１と吐出側バルブ４５との間にポンプ室４３ａを有するポンプ４３がポンプ駆動することにより、ポンプ室４３ａよりも上流側の吸引側バルブ４１と下流側の吐出側バルブ４５が交互に開弁状態と閉弁状態とに切り替えられる。そのため、インクカートリッジ１３を加圧するための大がかりな加圧手段を設けることなく、上流側となるインクカートリッジ１３側から下流側となる記録ヘッド１２側にインク流路１５を介してインクを小刻みに供給することができる。

（３）上記実施形態において、ポンプ４３は、吸引駆動時には、負圧発生装置４７の駆動に伴ってポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に抗して負圧室４３ｂ側に変位することで負圧室４３ｂの容積が減少する一方、その減少分だけポンプ室４３ａの容積が増加してポンプ室４３ａ内の圧力が減圧（負圧）状態となる。そして次に、吐出駆動時には、負圧室４３ｂの負圧状態を大気開放により解消し、ポンプ４３のダイアフラム３７がコイルスプリング４２の付勢力に従ってポンプ室４３ａ側に変位することで負圧室４３ｂの容積が増加する一方、その増加分だけポンプ室４３ａの容積量が減少してポンプ室４３ａ内の圧力が加圧状態となる。そのため、ポンプ４３をポンプ駆動させてインクを供給する場合には、ポンプ４３を吸引駆動する場合にのみコイルスプリング４２の付勢力に抗してダイアフラム３７を撓み変形させればよく、逆の場合はコイルスプリング４２の付勢力でダイアフラム３７が元の状態に変位するので、ポンプ４３の駆動負荷を低減することができる。

（４）上記実施形態において、吐出側バルブ４５は、吐出側弁体３８がコイルスプリング４４の付勢力により常には閉弁状態にあるものの、ポンプ４３の吐出駆動によりポンプ室４３ａから吐出されたインクの圧力が吐出側弁体３８に対して正圧として作用した場合には開弁状態に切り替わる構成となっている。そのため、特別な制御構成を備えることなく吐出側バルブ４５の開閉状態を自動的に切り替えることができる。

（５）上記実施形態において、吸引側バルブ４１は、吸引側弁体３６がコイルスプリング４０の付勢力により常には閉弁状態にあるものの、ポンプ４３の吸引駆動によりポンプ室４３ａに吸引されるインクの圧力が吸引側弁体３６に負圧として作用した場合には開弁状態に切り替わる構成となっている。そのため、特別な制御構成を備えることなく吸引側バルブ４１の開閉状態を自動的に切り替えることができる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態において、チョーククリーニングを実行する前に駆動モータ４９を正転駆動させてポンプ４３を吸引駆動することによりポンプ室４３ａ内の圧力を低下させて吐出側バルブ４５をチョーククリーニングの実行開始時には既に閉弁状態になっているようにしてもよい。

すなわち、もし仮にチョークバルブとして機能する吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８が開弁した状態でチョーククリーニングを実行した場合には、ポンプ室４３ａと凹部３２が連通した状態にあるため、両室（ポンプ室４３ａと凹部３２）の圧力が吐出側バルブ４５を閉弁させる圧力（１３ｋｐａ未満）になるまでインクが下流側に吸引排出された後に吐出側バルブ４５が閉弁することとなる。そのため、吐出側バルブ４５が閉弁するまでの間にインクが無駄に記録ヘッド１２側へ流出してしまう虞がある。

この点、この変形例のように、チョーククリーニングの実行前にポンプ４３を吸引駆動して吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８を閉弁状態にし、その後にチョーククリーニングを開始するようにすれば、チョーククリーニングの最初のうちにポンプ室４３ａ内からインクが下流側のインク流路１５内に無駄に流出することを抑制できる。そして、このように吐出側バルブ４５の吐出側弁体３８を閉弁状態にした後において、ポンプ４３を吐出駆動することによりポンプ室４３ａ内からの吐出圧によって吐出側弁体３８を開弁し、下流側のインク流路１５内にインクを流すことでインク消費量の少ないチョーククリーニングを実行することができる。

・上記実施形態において、ポンプ４３の駆動源として、負圧発生装置４７ではなく、加圧発生装置を適用してもよい。また、付勢部材としてのコイルスプリング４２は圧縮ばねではなく引っ張りばねを適用してもよい。また、圧縮ばねのコイルスプリング４２を、負圧室４３ｂ側ではなくポンプ室４３ａ側に設けてもよい。なお、このような変形例の場合には、ポンプ４３を吸引駆動させる場合には、それらのばねの付勢力でダイアフラム３７がポンプ室４３ａの容積を増加させるように変位する一方、ポンプ４３を吐出駆動させる場合には、加圧発生装置からポンプ４３における上側の凹部３４（実施形態では負圧室４３ｂ）に加圧空気を導入することになる。

なお、このような負圧発生装置４７及び加圧発生装置の代わりに、ダイアフラム３７を変位させる機構としてカム機構を用いてもよい。すなわち、例えば、圧縮バネのコイルスプリング４２に押圧されたダイアフラム３７に対して係止部が形成された牽引部材の基端部を固着する。そして、牽引部材の係止部に対してカム部材を当接させることにより、該牽引部材を介してダイアフラム３７を変位させてもよい。また、引張りバネを適用した場合、ダイアフラム３７に押圧部材の基端部を固着し、先端部をカム部材によってダイアフラム３７側に押圧するようにしてもよい。

・ポンプ４３は、負圧室４３ｂ内を往復運動可能なピストンによって、直接ポンプ室４３ａを押圧すると共に、往復運動に伴ってポンプ室４３ａ内の容積を変化させるピストンポンプを用いてもよい。同様に、吐出側バルブ４５もピストン構造を用いることができる。

・上記実施形態において、ポンプ４３の駆動源として、加圧発生装置及び負圧発生装置４７の機能を兼備した装置を適用してもよい。このようにした場合には、加圧及び負圧の発生を交互に実行することにより、付勢部材を設けることなくダイアフラム３７を変位させてポンプ駆動することによりインクを供給することができる。

・上記実施形態において、吐出側バルブ４５、もしくは吸引側バルブ４１として電磁弁を用いてもよい。その際は、ポンプ４３の駆動状態に応じて各バルブ４１，４５の開閉状態を切り替える必要がある。

・上記実施形態において、上流側から下流側に向けてインクを加圧状態で供給する手段としてインク流路１５の途中にポンプ４３を設けるのではなく、インクカートリッジ１３内のインクを加圧するための加圧手段を設けてもよい。

・上記実施形態において、付勢部材はコイルスプリング４０，４２，４４ではなく、例えば板ばね、ゴム等の他の形態の付勢部材を用いてもよい。このような付勢部材によれば、負圧発生装置４７の駆動状態に関係なく吸引側バルブ４１、吐出側バルブ４５、及びポンプ室４３ａ内のインクに付与する付勢力を維持することができる。

・上記実施形態において、ポンプ４３の作動流体として空気を使用したが、例えばシリコンオイル等の液体を作動流体として使用してもよい。
・なお、本明細書における「液体」には、インク以外の他の液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体も含むものとする。そして、こうした「液体」を噴射したり吐出したりする液体噴射装置としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。

・上記実施形態では、液体噴射装置をインクジェット式プリンタ１１に具体化したが、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置を採用してもよい。微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルタの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用してもよい。そして、これらのうちいずれか一種の液体噴射装置に本発明を適用することができる。

本実施形態におけるインクジェット式プリンタの模式図。 減圧駆動時のインクジェット式プリンタの模式図。 加圧駆動時のインクジェット式プリンタの模式図。

符号の説明

１３…液体供給源としてのインクカートリッジ、１５…液体供給流路としてのインク流路、３６…吸引側弁体（バルブ本体）、３７…変位部材としてのダイアフラム、３８…吐出側弁体（バルブ本体）、４０，４２，４４…付勢部材としてのコイルスプリング、４１…第１のバルブとしての吸引側バルブ、４３…ポンプ、４３ａ…ポンプ室、４５…第２のバルブとしての吐出側バルブ。

Claims (8)

1. 液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路と、
   該液体供給流路の途中に該液体供給流路を開閉可能に設けられた第１のバルブと、
   該第１のバルブよりも前記液体供給流路における下流側に該液体供給流路を開閉可能に設けられ、前記液体供給流路を閉塞する閉弁位置と開放する開弁位置との間を変位自在なバルブ本体と、該バルブ本体を閉弁位置の方向に向けて付勢する付勢部材と、を有した第２のバルブと、
   前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間における前記液体供給流路の一部をポンプ室としてポンプ駆動するポンプと、
   を備え、
   前記第２のバルブは、該第２のバルブの下流側に負圧が作用すると前記バルブ本体が閉弁するとともに、
   前記ポンプのポンプ駆動によって、前記ポンプ室内から加圧供給される前記液体の圧力が、前記第２のバルブの前記付勢部材の付勢力に抗して、前記第２のバルブの前記バルブ本体に作用することで前記第２のバルブが開弁状態に切り替わる
   ことを特徴とする液体供給装置。
2. 請求項１に記載の液体供給装置において、
   前記第２のバルブは、前記ポンプのポンプ駆動によって、前記ポンプ室内の圧力が低下すると前記バルブ本体が閉弁する
   ことを特徴とする液体供給装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液体供給装置において、
   前記ポンプが前記ポンプ室の容積を増大させて該ポンプ室内に前記液体を吸引する吸引駆動時には、前記第１のバルブが開弁状態になると共に前記第２のバルブが閉弁状態になる一方、前記ポンプが前記ポンプ室の容積を減少させて該ポンプ室内から前記液体を吐出する吐出駆動時には、前記第１のバルブが閉弁状態になると共に前記第２のバルブが開弁状態になることを特徴とする液体供給装置。
4. 請求項３に記載の液体供給装置において、
   前記ポンプは、前記ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材と、該変位部材を前記ポンプ室の容積が減少する方向又は増加する方向に付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする液体供給装置。
5. 請求項１又は請求項２に記載の液体供給装置において、
   前記第１のバルブは、前記液体供給流路を閉塞する閉弁位置と開放する開弁位置との間を変位自在なバルブ本体と、該バルブ本体を閉弁位置の方向に向けて付勢する付勢部材とを含んで構成され、
   前記第１のバルブの前記バルブ本体は、前記ポンプ室内に吸引される前記液体の圧力が負圧として作用した場合に前記付勢部材の付勢力に抗して開弁位置の方向に変位することを特徴とする液体供給装置。
6. 液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに前記液体を供給する請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の液体供給装置とを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
7. 液体供給源側となる上流側から下流側に向けて液体を供給する液体供給流路の途中に該液体供給流路を開閉可能に各々設けられた第１のバルブと第２のバルブのうち、前記第１のバルブよりも下流側に設けられた前記第２のバルブを閉弁状態とするとともに前記第２のバルブの下流側を負圧とした状態で、
   前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間における前記液体供給流路の一部をポンプ室としてポンプ駆動するポンプによって、前記ポンプ室内から加圧供給される前記液体の圧力を、前記第２のバルブを閉弁させる方向に付勢する付勢部材の付勢力に抗して、前記第２のバルブに作用させることで、前記第２のバルブを開弁状態に切り替えることを特徴とする液体供給方法。
8. 請求項７に記載の液体供給方法において、
   前記液体を前記ポンプ室内に吸引する前記ポンプの吸引駆動によって、前記第２のバルブを閉弁させた後、前記第１のバルブを閉弁した状態で前記第２のバルブを開弁状態に切り替えて、前記第２のバルブの下流側に向けて前記液体に圧力を作用させることを特徴とする液体供給方法。

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