JP2010226636A - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 44
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 47
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 33
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
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- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02929—Means for compensation or elimination of undesirable effects of ageing changes of characteristics, e.g. electro-acousto-migration
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49005—Acoustic transducer
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
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- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
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Abstract
【解決手段】圧電基板2上に、くし型電極3を形成する電極形成工程と、くし型電極3を覆おうようにバリア膜4を形成する工程と、バリア膜4の上に媒質5を形成する工程と、くし型電極3により励起される弾性波の周波数特性を測定する測定工程と、バリア層4をパターニングするかまたは、調整膜をさらに設けることで、励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を形成する調整工程とを含み、調整工程では、調整領域の面積Tが、測定された周波数特性に応じて調整される。
【選択図】図2B
Description
[弾性波デバイスの構成]
図1Aは、本実施形態にかかる弾性波デバイスの平面図である。図1Bは、図1Aのa−a´線断面図である。
このように、SiN膜4のパターニングによって、弾性波デバイスの周波数特性の調整が可能になる。そこで、本実施形態では、1枚のウエハ(圧電基板2)上に形成される複数の弾性波デバイスの周波数調整をSiN膜4のパターニングによって行う例について説明する。ここでは、ウエハ上の各弾性波デバイスにおけるSiN膜4の面積を、ウエハ内の周波数分布に応じて調整する例を説明する。本例によれば、一度の成膜でウエハにおける弾性波デバイスの周波数調整が可能になる。
そのため、SiN膜4のパターン部が励起領域において占める面積を10%とすることで、領域T1における弾性波デバイスの共振周波数を基準周波数に近づけることができる。なお、ここで、励起領域は、くし型電極3の電極指および電極指間のスペースが前記圧電基板2上で占める領域である。
次に、図5および図6で示した弾性波デバイスの製造方法を説明する。図7A〜図7Cは、ウエハ上に形成される弾性波デバイスの製造工程を示す図である。図7A〜図7Cでは、説明を簡単にするため、ウエハの一部のみ示している。
図8Aは、本実施形態の変形例にかかる弾性波デバイスの平面図である。図8Bは、図8Aのa−a´線断面図である。図8Aおよび図8Bに示す例では、周波数調整膜6がSiN膜4の上に設けられている。周波数調整膜6は、SiN以外の膜、例えばSi、Al2O3、SiC、DLC等とすることできる。同一圧電基板2(ウエハ)上において、周波数のウエハ面内分布に合わせた面積分布を持つように周波数調整膜6のパターンを作成することで、面内の周波数分布を調整できる。
図9Aは、本実施形態にかかる弾性波デバイスの平面図であり、図9Bは、図9Aのa―a´線断面図である。図9Aおよび図9Bに示す構成においては、圧電基板2上にCu等の導電性材料からなるくし型電極3および反射器3a、3bが形成されている。くし型電極3および反射器3a、3bを覆うようにSiN膜4が形成され、その上に周波数調整膜としてSiN膜4のパターン部が形成されている。さらに、この周波数調整膜SiN膜4を覆うようにSiO2膜5が形成され、さらにSiO2膜5を覆うようにAl2O3膜10が形成されている。SiO2膜5、Al2O3膜10はそれぞれ周波数調整膜SiN膜4のパターンが反映されている。これらの周波数調整膜により、厚みが他の部分より大きくなる部分が励起領域に存在することになる。すなわち、SiN膜4のパターン部がSiO2膜4と接する部分の厚みが他の部分より大きくなっている。
図10Aは、本実施形態にかかる弾性波デバイスの平面図である。図10Bは、図10Aのa―a´線断面図である。図10Aおよび図10Bに示す例では、周波数調整膜SiN膜4aが全体の左半分の部分に接するように設けられている。この場合、周波数調整膜SiN膜4aがSiO2膜4上で占める面積の割合は50%である。そのため、励起領域における周波数調整膜SiN膜4aが占める面積の割合も50%である。なお、周波数調整膜SiN膜4aの厚みh2は、例えば、厚さ20nmで形成される。
図11は、本実施形態にかかるラダー型のフィルタを構成する弾性波デバイスの平面図である。このフィルタは、圧電基板2上に設けられた直列共振器S1〜S3、並列共振器P1、P2およびこれらを接続する配線パターンにより構成される。各共振器では、例えば、圧電基板2上に、くし型電極3および反射器3a、3bが設けられ、さらにこれらを覆うようにSiN膜4(バリア膜)が設けられ、その上にSiO2膜4が設けられる。
本願開示の弾性波デバイスの製造方法は、圧電基板上に、複数の電極指を有するくし型電極を形成する電極形成工程と、前記くし型電極を覆おうようにバリア膜を形成する工程と、前記バリア膜の上に媒質を形成する工程と、前記くし型電極により励起される弾性波の周波数特性を測定する測定工程と、前記バリア層をパターニングするかまたは、調整膜をさらに設けることで、前記くし型電極による弾性波の励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を形成する調整工程とを含み、前記調整工程では、前記励起領域における前記調整領域の面積Tが前記測定された周波数特性に応じて調整される。
3 くし型電極
3a、b 反射器
4 SiN膜(バリア膜の一例)
5、7 SiO2膜(媒質の一例)
6 周波数調整膜
8 フォトレジスト
10 Al2O3膜
Claims (5)
- 圧電基板上に、複数の電極指を有するくし型電極を形成する電極形成工程と、
前記くし型電極を覆おうようにバリア膜を形成する工程と、
前記バリア膜の上に媒質を形成する工程と、
前記くし型電極により励起される弾性波の周波数特性を測定する測定工程と、
前記バリア層をパターニングするかまたは、調整膜をさらに設けることで、前記くし型電極による弾性波の励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を形成する調整工程とを含み、
前記調整工程では、前記励起領域における前記調整領域の面積Tが、前記測定された周波数特性に応じて調整される、弾性波デバイスの製造方法。 - 前記電極形成工程では、前記圧電基板上に、複数の弾性波デバイスに対応するくし型電極が形成され、
前記測定工程では、前記複数の弾性波デバイスにおける周波数特性の分布が測定され、
前記調整工程では、前記複数の弾性波デバイスにおける周波数特性の分布に応じて、前記面積Tが異なるように、前記調整領域が形成される、請求項1に記載の弾性波デバイスの製造方法。 - 前記測定工程において、前記圧電基板上の弾性波デバイスの周波数特性が測定され、
前記調整工程において、前記測定された前記弾性波デバイスの周波数特性と、予め決められた基準周波数特性との差に基づいて、前記調整領域の面積Tが決められる、請求項1または2に記載の弾性波デバイスの製造方法。 - 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた、複数の電極指を有するくし型電極と、
前記くし型電極を覆おうように設けられたバリア膜と、
バリア膜の上に設けられた媒質と、
前記前記くし型電極による弾性波の励起領域において厚みが他の部分とは異なる調整領域を有する調整膜とを備え、
前記調整膜の面積Tは、前記くし型電極により励起される弾性波の周波数特性に応じて異なっている、弾性波デバイス。 - 前記圧電基板上に、前記くし型電極により複数の弾性波デバイスが形成されており、
前記調整膜では、前記複数の弾性波デバイスにおける周波数特性の分布に応じて前記調整領域の面積Tが異なっている、請求項4に記載の弾性波デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009074041A JP4841640B2 (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
US12/647,071 US8720022B2 (en) | 2009-03-25 | 2009-12-24 | Method of producing an acoustic wave device |
CN200910261121A CN101847980A (zh) | 2009-03-25 | 2009-12-28 | 声波装置及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009074041A JP4841640B2 (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010226636A true JP2010226636A (ja) | 2010-10-07 |
JP4841640B2 JP4841640B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=42772464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009074041A Active JP4841640B2 (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8720022B2 (ja) |
JP (1) | JP4841640B2 (ja) |
CN (1) | CN101847980A (ja) |
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- 2009-12-24 US US12/647,071 patent/US8720022B2/en active Active
- 2009-12-28 CN CN200910261121A patent/CN101847980A/zh active Pending
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---|---|
CN101847980A (zh) | 2010-09-29 |
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JP4841640B2 (ja) | 2011-12-21 |
US8720022B2 (en) | 2014-05-13 |
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