JP2010225930A - Esd保護回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】誤動作しないESD保護回路を提供する。
【解決手段】出力端と、低電圧端と、高電圧端と、前記出力端と前記低電圧端との間に接続された第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタの制御電極と前記高電圧端との間に接続され、過電圧によりブレークダウンする第1のツェナーダイオードと、前記出力端と前記高電圧端との間に接続され、前記出力端に過電圧が印加されたとき前記高電圧端に電流を流す第1のダイオードと、を備えたことを特徴とするESD保護回路が提供される。
【選択図】図1

Description

本発明は、ESD保護回路に関し、特に出力回路のESD保護回路に関する。
パワーエレクトロニクス用途にMOSFETやIGBTなどのデバイスが用いられている。これらのデバイスにおいては、静電気や誘導性負荷などによるサージ電圧からデバイスを保護するための保護回路が必要とされる。
例えば、サージ耐量を向上したサージ保護回路が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
特開2000−77537号公報
本発明は、誤動作しないESD保護回路を提供する。
本発明の一態様によれば、出力端と、低電圧端と、高電圧端と、前記出力端と前記低電圧端との間に接続された第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタの制御電極と前記高電圧端との間に接続され、過電圧によりブレークダウンする第1のツェナーダイオードと、前記出力端と前記高電圧端との間に接続され、前記出力端に過電圧が印加されたとき前記高電圧端に電流を流す第1のダイオードと、を備えたことを特徴とするESD保護回路が提供される。
本発明によれば、誤動作しないESD保護回路が提供される。
本発明の実施形態に係るESD保護回路の構成を例示する回路図である。 比較例のESD保護回路の回路図である。 本発明の実施形態に係るESD保護回路の他の構成を例示する回路図である。 本発明の実施形態に係るESD保護回路の他の構成を例示する回路図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の実施形態に係るESD保護回路の構成を例示する回路図である。
図1に表したように、本実施例のESD保護回路20aは、第1のトランジスタ2、第1のツェナーダイオード3、ツェナーダイオード4、第1のダイオード6を備える(図中破線で囲んだ部分)。なお、ツェナーダイオード4は、第1のトランジスタ2のゲート保護用であり、ESD保護回路に必須のものではない。
本実施例の保護回路20aは、例えば、インバータを構成するパワートランジスタをドライブする用途に使用されるフォトカプラなどに用いることができる。
また、図1に表した半導体装置90aは、本実施例のESD保護回路20aと出力トランジスタ制御回路ブロック10と負荷1とを、同じ半導体基板に形成して1チップ化した構造を備える。なお、本実施例においては、負荷1が半導体装置90aに含まれている場合を例示しているが、半導体装置90aの外部に負荷1を接続する構成も可能である。
本実施例のESD保護回路20aにおいては、第1のトランジスタ2がNMOSFETであり、また高電圧端が電源VCC、低電圧端が接地GNDの場合を例示している。
第1のトランジスタ2のソースが接地GND(低電圧端)に、ドレインが出力端VOに接続されている。また、ドレインは、負荷1を介して電源VCC(高電圧端)に接続されている。また第1のダイオード6のアノードが出力端VOに、カソードが電源VCCに接続され、出力端VO・接地GND間に過電圧が印加されたとき電源VCCに電流を流す。
第1のトランジスタ2のゲート(第1のトランジスタの制御電極)と電源VCCとの間に、第1のツェナーダイオード3が接続されている。また、ゲートと接地GNDとの間に、ツェナーダイオード4が、接続されている。第1のツェナーダイオード3及びツェナーダイオード4は、それぞれ過電圧によりブレークダウンする。
また、第1のトランジスタ2のゲート(第1のトランジスタの制御電極)は、出力トランジスタ制御回路ブロック10からの出力に接続され、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中は、その出力が第1のトランジスタ2を介して出力端VOに出力される。すなわち、ESD保護回路20aは、半導体装置90aの出力回路となっている。
本実施例のESD保護回路20aにおいては、組み立て中または回路が動作していない場合に、例えば、静電気などにより出力端VOと接地GNDとの間に過電圧がかかる場合がある。このとき、第1のダイオード6を通り、クランプ用の第1のツェナーダイオード3がブレークダウンし、第1のトランジスタ2のゲート・ソース間電圧が第1のトランジスタ2の閾値電圧を超える。そして、第1のトランジスタ2がオン状態となり、出力端VOから第1のトランジスタ2を介して電流が流れESD保護動作が行われる。
また、ツェナーダイオード4は、過電圧がかかるとブレークダウンし、第1のトランジスタ2のゲート(第1のトランジスタの制御電極)を保護する。
なお、本実施例においては、第1のツェナーダイオード3が、3つのツェナーダイオード31a、31b、31cの直列接続により構成される場合を例示している。しかし、第1のツェナーダイオード3のブレークダウンする電圧が、電源VCCの最大定格電源電圧−第1のトランジスタ2がオンするゲート・ソース間電圧より大きく、保護動作開始電圧−第1のダイオード6の順電圧−第1のトランジスタ2がオンするゲート・ソース間電圧より小さければよく、1以上任意数のツェナーダイオードを直列接続して構成することもできる。
また、本実施例においては、ツェナーダイオード4が、3つのツェナーダイオード41a、41b、41cの直列接続により構成される場合を例示している。しかし、ツェナーダイオード4のブレークダウンする電圧が、第1のトランジスタ2のゲート・ソース間の耐圧より小さければよく、1以上任意数のツェナーダイオードを有する場合も本発明に含まれる。なお、第1のトランジスタ2がnpnバイポーラトランジスタの場合は、なくても良い。
また、本実施例においては、高電圧端が電源VCC、低電圧端が接地GNDの場合を例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、高電圧端の電位が低電圧端の電位より高ければよく、例えば、高電圧端が接地GND、低電圧端がマイナス電源の場合も含まれる。
図2は、比較例のESD保護回路の回路図である。
図2に表したように、比較例のESD保護回路120においては、第1のダイオード6が無いこと及びツェナーダイオード130が出力端VOと第1のトランジスタ2のゲートとの間に接続されている点が本実施例のESD保護回路20aと異なる。
比較例のESD保護回路120において、出力端VOと接地GNDとの間に過電圧が印加された場合、ツェナーダイオード130がブレークダウンし、トランジスタ2が動作することで保護動作を行う。
しかし、比較例のESD保護回路120では、出力端VOのような回路動作中に激しく電圧変動する端子を保護する場合、電圧変動の影響を受け誤って回路動作中に保護動作をしてしまう恐れがある。例えば、出力端VOの電圧変動が、ツェナーダイオード130の寄生容量を介してトランジスタ2のゲートに伝達され、トランジスタ2が誤オンする場合がある。
また、出力端VOに誘導性負荷が接続された場合や、出力端VOの配線の寄生インダクタなどにより、回路動作中の出力端VOに過電圧が印加され、ツェナーダイオード130がブレークダウンする恐れがある。このとき、トランジスタ2が誤オンする場合がある。このようにトランジスタ2が誤オンの状態となることにより、誤って保護動作をしてしまう恐れがある。
このように、比較例のESD保護回路120においては、出力トランジスタ制御回路ブロック10が動作していないときに、静電気などの過電圧から出力端VOを保護するESD保護回路が、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中に誤って保護動作をしてしまう恐れがある。
これに対して、本実施例のESD保護回路20aにおいては、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中に出力端VOの電圧が変動しても第1のトランジスタ2をオンさせるための第1のツェナーダイオード3は電源VCCに接続されており安定している。このため、出力端VOの電圧変動が第1のツェナーダイオード3の寄生容量を介して第1のトランジスタ2のゲートに伝達されることはなく、回路動作中に第1のトランジスタ2が誤オンする恐れはない。
このように、本実施例のESD保護回路20aによれば、誤動作しないESD保護回路が提供される。
図3は、本発明の実施形態に係るESD保護回路の他の構成を例示する回路図である。
図3に表したように、本実施例のESD保護回路20bは、第1のトランジスタ2、第1のツェナーダイオード3、ツェナーダイオード4、第1のダイオード6a、第2のトランジスタ1a、ツェナーダイオード5を備える(図中破線で囲んだ部分)。
また、図3に表した半導体装置90bは、本実施例のESD保護回路20bと出力トランジスタ制御回路ブロック10とを、同じ半導体基板に形成して1チップ化した構造を備える。
すなわち、本実施例のESD保護回路20bは、図1に表したESD保護回路20aにおける負荷1を第2のトランジスタ1aに変更し、さらに第2のトランジスタ1aのゲートを保護するツェナーダイオード5を追加した構造を備える。なお、ツェナーダイオード5は、第2のトランジスタ1aのゲート保護用であり、ESD保護回路に必須のものではない。
また、本実施例のESD保護回路20bにおいては、第1のトランジスタ2及び第2のトランジスタ1aがともにNMOSFETであり、また高電圧端が電源VCC、低電圧端が接地GNDの場合を例示している。
なお、第1のダイオード6は、図1に表したESD保護回路20aのように、第2のトランジスタ1aと並列に設けてもよいが、本実施例においては、第1のダイオード6として第2のトランジスタ1aの寄生ダイオード6aによる構成を例示している。これにより、チップ面積を削減することができる。
また、本実施例においては、ツェナーダイオード5が、3つのツェナーダイオード51a、51b、51cの直列接続により構成される場合を例示している。しかし、ツェナーダイオード5のブレークダウンする電圧が、第2のトランジスタ1aのゲート・ソース間の耐圧より小さければよく、1以上任意数のツェナーダイオードを直列接続して構成することもできる。なお、第2のトランジスタ1aがnpnバイポーラトランジスタの場合はなくても良い。
図3に表したESD保護回路20bにおいては、第1のトランジスタ2及び第2のトランジスタ1aは、いわゆるトーテンポール形式であり、同一導電型のトランジスタを2つ直列接続した構造を備える。
本実施例のESD保護回路20bにおいて、組み立て中または回路が動作していないとき、例えば、静電気などにより出力端VOと接地GNDとの間に過電圧がかかると、第1のダイオード6を通り、クランプ用の第1のツェナーダイオード3がブレークダウンする。これにより、第1のトランジスタ2がオン状態となり、出力端VOから第1のトランジスタ2を介して電流が流れESD保護動作が行われる。
また、ESD保護回路20bにおいては、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中に出力端VOの電圧が変動しても第1のトランジスタ2をオンさせるための第1のツェナーダイオード3は電源VCCに接続されており安定している。このため、出力端VOの電圧変動が第1のツェナーダイオード3の寄生容量を介して第1のトランジスタ2のゲートに伝達されることはなく、回路動作中に第1トランジスタ2が誤オンする恐れはない。
このように、本実施例のESD保護回路20bによれば、誤動作しないESD保護回路が提供される。
なお、本実施例においては、第1のトランジスタ2と第2のトランジスタ1aとがともにNMOSFETの場合を例示しているが、ともにPMOSFETとすることもできる。
図4は、本発明の実施形態に係るESD保護回路の他の構成を例示する回路図である。
図4に表したように、本実施例のESD保護回路20cは、第1のトランジスタ2、第1のツェナーダイオード3、ツェナーダイオード4、第1のダイオード6b、第3のトランジスタ1b、ツェナーダイオード7、第2のツェナーダイオード8、ダイオード7aを備える(図中破線で囲んだ部分)。
また、図4に表した半導体装置90cは、本実施例のESD保護回路20cと出力トランジスタ制御回路ブロック10とを、同じ半導体基板に形成して1チップ化した構造を備える。
すなわち、本実施例のESD保護回路20cは、図3に表したESD保護回路20bにおける第2のトランジスタ1aを第1のトランジスタ2と導電型の異なる第3のトランジスタ1bに変更した構成を備える。さらに第3のトランジスタ1bのゲート(第3のトランジスタの制御電極)と電源VCC(高電圧端)との間に接続され、過電圧によりブレークダウンするツェナーダイオード7と、第3のトランジスタ1bのゲート(第3のトランジスタの制御電極)と接地GND(低電圧端)との間に接続され、過電圧によりブレークダウンする第2のツェナーダイオード8とを備える。
なお、第1のダイオード6は、図1に表したESD保護回路20aのように、第3のトランジスタ1bと並列に設けてもよいが、本実施例においても、第1のダイオード6として第3のトランジスタ1bの寄生ダイオード6bによる構成を例示している。これにより、チップ面積を削減することができる。
同様に、ダイオード7aは、図1に表したESD保護回路20aのように、第1のトランジスタ2と並列に設けてもよいが、本実施例においても、ダイオード7aとして第1のトランジスタ2の寄生ダイオード7aによる構成を例示している。これにより、チップ面積を削減することができる。
また、本実施例においては、第1のトランジスタ2がNMOSFET、第3のトランジスタ1bがPMOSFETの構成を例示している。さらに、本実施例においては、ツェナーダイオード7が、3つのツェナーダイオード71a、71b、71cの直列接続により構成される場合を例示している。しかし、ツェナーダイオード7のブレークダウンする電圧が、第3のトランジスタ1bのゲート・ソース間の耐圧より小さければよく、1以上任意数のツェナーダイオードを直列接続して構成することもできる。なお、第3のトランジスタ1bがpnpバイポーラトランジスタの場合は、なくても良い。
また、本実施例においては、第2のツェナーダイオード8が、3つのツェナーダイオード81a、81b、81cの直列接続により構成される場合を例示している。しかし、第2のツェナーダイオード8のブレークダウンする電圧が、電源VCCの最大定格電源電圧−第3のトランジスタ1bがオンするゲート・ソース間電圧より大きく、保護動作開始電圧−ダイオード7aの順電圧−第3のトランジスタ1bがオンするゲート・ソース間電圧より小さければよく、1以上任意数のツェナーダイオードを有する場合も本発明に含まれる。
図4に表したESD保護回路20cにおいては、第1のトランジスタ2がNMOSFET、第3のトランジスタ1bがPMOSFETのCMOSであり、異なる導電型のトランジスタを2つ直列接続した構造を備える。
組み立て中または回路が動作していないとき、例えば、静電気などにより出力端VOと接地GNDとの間に過電圧がかかると、第1のダイオード6b通り、クランプ用の第1のツェナーダイオード3がブレークダウンし、第1のトランジスタ2のゲート−ソース間電圧がトランジスタの動作閾値を超える。これにより、第1のトランジスタ2がオン状態となり、出力端VOから第1のトランジスタ2を介して電流が流れESD保護動作が行われる。また、出力端VOから第3のトランジスタ1bを貸して電源VCCに電流が流れる。
また、電源VCCと接地GNDとの間に過電圧がかかる場合も、第1及び第2のツェナーダイオード3、8がそれぞれブレークダウンする。これにより、第1及び第3のトランジスタ2、1bがそれぞれオン状態となり、第1及び第3のトランジスタ2、1bを介して電流が流れESD保護動作が行われる。
また、ESD保護回路20cにおいては、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中に出力端VOの電圧が変動しても第1のトランジスタ2をオンさせるための第1のツェナーダイオード3は電源VCCに接続されており安定している。このため、出力端VOの電圧変動が第1のツェナーダイオード3の寄生容量を介して第1のトランジスタ2のゲートに伝達されることはなく、回路動作中に第1トランジスタ2が誤オンする恐れはない。
同様に、ESD保護回路20cにおいては、出力トランジスタ制御回路ブロック10の動作中に出力端VOの電圧が変動しても第3のトランジスタ1bをオンさせるための第2のツェナーダイオード8は接地GNDに接続されており安定している。このため、出力端VOの電圧変動が第2のツェナーダイオード8の寄生容量を介して第3のトランジスタ1bのゲートに伝達されることはなく、回路動作中に第3トランジスタ1bが誤オンする恐れはない。
このように、本実施例のESD保護回路20cによれば、誤動作しないESD保護回路が提供される。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、ESD保護回路を構成する各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施形態として上述したESD保護回路を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのESD保護回路も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
1 負荷
1a 第2のトランジスタ
1b 第3のトランジスタ
2 第1のトランジスタ
3、4、5、7 ツェナーダイオード
6、6a、6b 第1のダイオード
7a ダイオード
8 第2のツェナーダイオード
10 出力トランジスタ制御回路ブロック
20a、20b、20c、120 ESD保護回路
31a〜31c、41a〜41c、51a〜51c、71a〜71c、81a〜81c、130 ツェナーダイオード
90a、90b、90c 半導体回路
VO 出力端
VCC 電源(高電圧端)
GND 接地(低電圧端)

Claims (5)

  1. 出力端と、
    低電圧端と、
    高電圧端と、
    前記出力端と前記低電圧端との間に接続された第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタの制御電極と前記高電圧端との間に接続され、過電圧によりブレークダウンする第1のツェナーダイオードと、
    前記出力端と前記高電圧端との間に接続され、前記出力端に過電圧が印加されたとき前記高電圧端に電流を流す第1のダイオードと、
    を備えたことを特徴とするESD保護回路。
  2. 前記出力端と前記高電圧端との間に接続された前記第1のトランジスタと導電型が同じ第2のトランジスタをさらに備えたことを特徴とする請求項1記載のESD保護回路。
  3. 前記第1のダイオードは前記第2のトランジスタの寄生ダイオードであることを特徴とする請求項2記載のESD保護回路。
  4. 前記出力端と前記高電圧端との間に接続された前記第1のトランジスタと導電型が異なる第3のトランジスタと、
    前記第3のトランジスタの制御電極と前記低電圧端との間に接続され、過電圧によりブレークダウンする第2のツェナーダイオードと、
    をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載のESD保護回路。
  5. 前記第1のダイオードは前記第3のトランジスタの寄生ダイオードであることを特徴とする請求項4記載のESD保護回路。
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