JP2010218660A - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010218660A JP2010218660A JP2009066837A JP2009066837A JP2010218660A JP 2010218660 A JP2010218660 A JP 2010218660A JP 2009066837 A JP2009066837 A JP 2009066837A JP 2009066837 A JP2009066837 A JP 2009066837A JP 2010218660 A JP2010218660 A JP 2010218660A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- recording
- recess
- magnetic
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
- G11B5/746—Bit Patterned record carriers, wherein each magnetic isolated data island corresponds to a bit
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
- G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/11—Magnetic recording head
- Y10T428/1171—Magnetic recording head with defined laminate structural detail
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】磁気記録媒体10は、基板12と、基板12の上に所定の凹凸パターンで形成され該凹凸パターンの凸部が記録要素14Aを構成する記録層14と、記録要素14Aの間の凹部16を充填する充填部18と、を有し、凹部16の底面の中央部16Aが凹部の16の底面の端部16Bよりも基板12と反対側に突出している。
【選択図】図3
Description
基板42の材料:Si
マスク層44の厚さ:7nm
マスク層44の材料:Ni
レジスト層46の厚さ:60nm
レジスト層46の材料:ポジ型電子線レジスト
(マスク層44のエッチング条件)
エッチング法:IBE
加工用ガス:Ar
Arガス流量:11sccm
チャンバ内圧力:0.03Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):400W
ビーム電圧:500V
ビーム電流:500mA
サプレッサー電圧:−400V
イオンビームの照射角:90°
加工時間:40秒
(レジスト層46を除去するエッチングの条件)
エッチング法:RIE
加工用ガス:O2
O2ガス流量:50sccm
チャンバ内圧力:1.0Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):1000W
バイアスパワー(被加工体40に印加された電力):20W
加工時間:35秒
尚、最初の15秒間のみバイアスパワーを印加し、残りの20秒間はバイアスパワーを印加しなかった。
(基板42のエッチング条件)
エッチング法:RIE
加工用ガス:CF4+O2
CF4ガス流量:45sccm
O2ガス流量:5sccm
チャンバ内圧力:1.0Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):500W
バイアスパワー(被加工体40に印加された電力):20W
基板温度:20℃
加工時間:12秒
(マスク層44を除去するエッチングの条件)
エッチング法:ウェットエッチング
エッチング液:アミド硫酸(3wt%)
記録層14の材料:CoCrPt合金
配向層26の厚さ:20nm
配向層26の材料:Ru
第1マスク層62の厚さ:30nm
第1マスク層62の材料:DLC
第2マスク層64の厚さ:4nm
第2マスク層64の材料:Ni
樹脂層66の厚さ(塗布厚さ):35nm
樹脂層66の材料:紫外線硬化性樹脂
樹脂層66の凹部の底面の中央部は底面の端部よりも突出していた。
エッチング法:IBE
加工用ガス:Ar
Arガス流量:5sccm
チャンバ内圧力:0.003Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):200W
ビーム電圧:1000V
ビーム電流:100mA
サプレッサー電圧:−500V
イオンビームの照射角:90°
加工時間:18秒
エッチング法:IBE
加工用ガス:O2
O2ガス流量:20sccm
チャンバ内圧力:0.035Pa
ビーム電圧:500V
ビーム電流:70mA
サプレッサー電圧:−500V
イオンビームの照射角:90°
加工時間:40秒
エッチング法:IBE
加工用ガス:Ar
Arガス流量:5sccm
チャンバ内圧力:0.003Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):200W
ビーム電圧:1000V
ビーム電流:100mA
サプレッサー電圧:−1500V
イオンビームの照射角:90°
加工時間:16秒
成膜法:バイアススパッタリング法
充填材料(ターゲット):SiO2
成膜用ガス:Ar
Arガス流量:155sccm
チャンバ内圧力:9Pa
ソースパワー(ターゲットに印加された電力):500W
バイアスパワー(被加工体60に印加された電力):5.6W
成膜厚さ(凹部16における膜厚):50nm
エッチング法:IBE
加工用ガス:Ar
Arガス流量:5sccm
チャンバ内圧力:0.003Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):200W
ビーム電圧:500V
ビーム電流:100mA
サプレッサー電圧:−500V
イオンビームの照射角:90°
加工時間:200秒
エッチング法:RIE
加工用ガス:N2
N2ガス流量:50sccm
チャンバ内圧力:1Pa
ソースパワー(プラズマソース電力):1000W
バイアスパワー(被加工体60に印加された電力):15W
加工用ガスの照射角:90°
加工時間:90秒
上記実施例では、原盤作製工程(S102)において基板42をエッチングする際のチャンバ内圧力が1.0Paであったのに対し、比較例では原盤作製工程(S102)において基板42をエッチングする際のチャンバ内圧力を0.18Paに設定した。他の条件は実施例と同じ条件に設定して比較例の原盤を作製した。
4…磁気ヘッド
10、70、80、90…磁気記録媒体
12、42…基板
14…記録層
14A…記録要素
16…凹部
16A…底面の中央部
16B…底面の端部
17…充填材料
18…充填部
24…軟磁性層
26…配向層
28…保護層
30…潤滑層
40、60、100…被加工体
44…マスク層
46…レジスト層
48…原盤
50…樹脂スタンパ
62…第1マスク層
64…第2マスク層
66…樹脂層
S102…原盤作製工程
S104…メタルマスタ作製工程
S106…メタルマザー作製工程
S108…樹脂スタンパ作製工程
S110…被加工体の出発体用意工程
S112…樹脂層形成工程
S114…記録層加工工程
S116…充填材料成膜工程
S118…平坦化工程
S120…保護層成膜工程
S122…潤滑層成膜工程
Claims (6)
- 基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され該凹凸パターンの凸部が記録要素を構成する記録層と、前記記録要素の間の凹部を充填する充填部と、を有し、前記凹部の底面の中央部が前記凹部の前記底面の端部よりも前記基板と反対側に突出していることを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1において、
前記凹部の前記底面は前記基板と反対側に突出する円弧状の断面形状を有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1又は2において、
前記記録層の下面が前記凹部の前記底面の少なくとも前記端部において分断されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項3において、
前記記録層と前記基板との間に配置され前記記録層の下面に接する下地層を更に備え、前記下地層の下面が連続していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項4において、
前記凹部において前記下地層が前記記録層から露出しており、且つ、前記下地層における前記記録要素の下の部分の厚さと前記下地層における前記凹部の前記中央部の下の部分の厚さとがほぼ等しいことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対して磁気信号の記録/再生を行うための磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009066837A JP5062208B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US12/659,407 US8298691B2 (en) | 2009-03-18 | 2010-03-08 | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009066837A JP5062208B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010218660A true JP2010218660A (ja) | 2010-09-30 |
JP5062208B2 JP5062208B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=42737930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009066837A Expired - Fee Related JP5062208B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8298691B2 (ja) |
JP (1) | JP5062208B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011028815A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2012033249A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-02-16 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気転写用マスター基板、それを用いた磁気転写方法および磁気転写媒体 |
US8268461B1 (en) * | 2011-03-16 | 2012-09-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Patterned perpendicular magnetic recording medium with ultrathin oxide film and reduced switching field distribution |
US8320232B1 (en) | 2011-07-21 | 2012-11-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Patterned perpendicular magnetic recording medium with multiple magnetic layers and interlayers |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005071542A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2008310944A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | モールド構造体及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6014296A (en) | 1995-07-24 | 2000-01-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk, method of manufacturing magnetic disk and magnetic recording apparatus |
JPH0997419A (ja) | 1995-07-24 | 1997-04-08 | Toshiba Corp | 磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、及び磁気記録装置 |
JP4000328B2 (ja) * | 2003-02-06 | 2007-10-31 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4005976B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2007-11-14 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体 |
US7776388B2 (en) * | 2007-09-05 | 2010-08-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Fabricating magnetic recording media on patterned seed layers |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009066837A patent/JP5062208B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-08 US US12/659,407 patent/US8298691B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005071542A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2008310944A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | モールド構造体及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100239888A1 (en) | 2010-09-23 |
US8298691B2 (en) | 2012-10-30 |
JP5062208B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3686067B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4071787B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006012332A (ja) | ドライエッチング方法、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体 | |
JP2007004921A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006092632A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録媒体用中間体 | |
JP2007226862A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP4164110B2 (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2007220164A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP2005317155A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2006012285A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5062208B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2005235357A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US8303828B2 (en) | Method for manufacturing magnetic recording medium and magnetic recording-reproducing apparatus | |
JP2010140544A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体、並びに磁気記録再生装置 | |
JP5033003B2 (ja) | モールド構造体及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP4475147B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP3848672B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2006252772A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010027193A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2005235356A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009104681A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2011028815A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010113791A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4319104B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009230823A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111021 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |