JP4000328B2 - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4000328B2 JP4000328B2 JP2004567880A JP2004567880A JP4000328B2 JP 4000328 B2 JP4000328 B2 JP 4000328B2 JP 2004567880 A JP2004567880 A JP 2004567880A JP 2004567880 A JP2004567880 A JP 2004567880A JP 4000328 B2 JP4000328 B2 JP 4000328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic
- magnetic recording
- medium according
- pores
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【0001】
本発明は、磁気記録媒体及びその製造方法、磁気記録媒体に用いられる磁気媒体基板、並びに磁気記憶装置に係り、特に、非磁性基板上に陽極酸化アルミナ膜の細孔の表面に炭素層を形成した磁気媒体基板及びその磁気媒体基板を用いた磁気記録媒体に関し、大容量化、高速化、低コスト化、及び信頼性確保を可能とするものである。
【0002】
コンピュータの外部磁気記憶装置、民生用ビデオ記憶装置に用いられている磁気記録媒体に対して、記憶される情報量の急速な増加に伴って、大容量化、高速化、低コスト化のニーズが高まっている。かかるニーズを満足させるための最重点は、磁気記録媒体の高記録密度化であるが、これまで主流である連続磁性膜を用いた面内記録方式は、高密度記録になる程トランジッションノイズの増加により信号対雑音比が低下し、また記録された磁化の熱的安定性が低下する問題等により、100Gbit/in2の記録密度を境に技術的限界にさしかかろうとしている。
【背景技術】
【0003】
トランジッションノイズを低減するために、新たな磁気記録媒体の方式として、微小な磁性粒子を非磁性膜等で包み込んで規則的に配列したパターンドメディアが盛んに研究されている。パターンドメディアは、磁性粒子同士の交換相互作用及び静磁気的相互作用が磁性粒子間の非磁性膜等により分断されるので、トランジッションノイズを低減することが可能である。また、垂直記録方式が1Tbit/in2を超える記録密度を達成可能な方式として再び注目されている。
【0004】
パターンドメディアとしては、磁性粒子を自己組織化させて配列させたもの(非特許文献1、特許文献1及び2参照)や、陽極酸化アルミナ膜に形成される規則的な細孔をもちいたもの等が発表されている。図1は、従来の陽極酸化アルミナ膜を用いた磁気記録媒体の断面図である。図1に示すように、磁気記録媒体100は、基板101上の下部電極層102上に形成された陽極酸化アルミナ膜103中に形成された細孔105に磁性材104を充填した構成となっている(特許文献3参照)。陽極酸化アルミナ膜103は、アルミニウム膜をシュウ酸水溶液中で陽極酸化を行うことにより得られる。その際、アルミニウム膜がアルミナ膜に変換され、6角形のセル中央に細孔が形成される。6角形のセルは規則的に形成されるので細孔に磁性材を充填すれば、規則的に磁性粒子が配列し、磁性粒子間は非磁性であるアルミナ膜により交換相互作用及び静磁気的相互作用が分断され、トランジッションノイズを大幅に低減可能であると期待されている。
【0005】
ところで、信頼性の高い磁気記録媒体を実現するためには、磁気ヘッドと磁気記録媒体表面とのトライボロジーや化学的安定性の観点から高度な性能が要求される。例えば、磁気ヘッド摺動に対する磁気記録媒体表面の耐久性や、種々のコンタミネーションに起因する酸やアルカリに対する耐触性等である。
【0006】
例えば、上述した陽極酸化アルミナ膜103を用いた磁気記録媒体100は耐蝕性の観点から問題がある。すなわち、陽極酸化アルミナ膜はアモルファスアルミナ膜であり、850℃以上の温度での熱処理により多結晶アルミナ膜に変換される。多結晶アルミナ膜は酸やアルカリに対して安定であるが、アモルファスアルミナ膜はpH4.2以下の酸、あるいはpH9.9以上のアルカリにより徐々に、あるいは急速に溶解してしまうことが報告されている(非特許文献2参照)。磁気記録媒体が収納される磁気記憶装置内には、空気中あるいは磁気記憶装置中の各種化学物質が不純物ガスや液滴として混入し、磁気記録媒体に付着し腐食させる可能性がある。腐食等が発生した場合は、磁気記録媒体表面に凹凸が発生し、磁気記録媒体表面から数十nmの低浮上量で浮上する磁気ヘッドがヘッドクラッシュを起こしてしまう。
【0007】
また、磁気ヘッドの摺動の観点からは、通常パーフルオロポリエーテルの主鎖を有する潤滑剤を塗布して摩擦係数の低減を図り、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触する際は緩衝材として機能する。特に、磁気ヘッドと磁気記録媒体との摺動等により潤滑剤は飛散あるいは分解・蒸発するため、長期にわたる耐久性を確保するためには、十分に磁気記録媒体表面に潤滑剤を貯蔵することが重要となる。しかしながら、上述した陽極酸化アルミナ膜を用いた磁気記録媒体では、表面が酸化アルミナ又は金属であるので、潤滑剤を十分貯蔵することができない。この対策としてアモルファスカーボン膜やDLC膜を表面に保護層を形成することが一般的であるが、保護層を設けたのみでは摺動耐久性が十分ではない。
【特許文献1】
特開2000−48340号公報
【特許文献2】
特開2000−54012号公報
【特許文献3】
特開2002−175621号公報
【非特許文献1】
Sun et al,Science 第287巻 第17号(2000)pp.1989
【非特許文献2】
P.P.Mardilovich et al,J.Membrane Science、98,(1995)143
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
そこで、本発明は上記の課題を解決した新規かつ有用な磁気記録媒体及びその製造方法、並びにその磁気記録媒体に用いられる磁気媒体基板、並びに磁気記憶装置を提供することを概括課題とする。
【0009】
本発明のより具体的な課題は、耐蝕性と耐久性を共に満足させた高密度記録可能な磁気記録媒体及びその製造方法、並びにその磁気記録媒体に用いられる磁気媒体基板、並びに磁気記憶装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一観点によれば、基板と、前記基板上に形成された陽極酸化アルミナ膜と、前記陽極酸化アルミナ膜に形成された細孔と、前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁を覆う炭素層と、前記細孔の内部に炭素層を介して形成された磁性粒子と、前記炭素層及び磁性粒子を覆う潤滑層とよりなる磁気記録媒体が提供される。
【0011】
本発明によれば、陽極酸化アルミナ膜の表面、及び陽極酸化アルミナ膜に形成された細孔の内壁表面に炭素層が形成されている。陽極酸化アルミナ膜はアモルファスアルミナ膜であり化学的に不安定であるが、陽極酸化アルミナ膜が炭素層により覆われて保護されているので耐蝕性に優れている。また、炭素層は潤滑層を形成する潤滑剤を貯蔵する機能を有すると推察され、磁気ヘッドとの摺動等により失われた潤滑剤を補充することができるため耐久性に優れている。さらに、細孔に充填された磁性材よりなる磁性粒子は、細孔が規則的に離隔して形成されているので、磁性粒子間の交換相互作用及び静磁気的相互作用の大きさのバラツキが低減され、あるいは相互作用が切られる。したがって、高密度記録による媒体ノイズの増加を低減することができ、高密度記録が可能となる。
【0012】
本発明の他の観点によれば、基板上にアルミニウム膜を形成する工程と、前記アルミニウム膜を陽極酸化処理により陽極酸化アルミナ膜に変換すると共に細孔を形成する工程と、前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁に炭素層を形成する工程と、前記細孔に磁性材を充填する工程と、潤滑層を形成する工程とを備えた磁気記録媒体の製造方法が提供される。
【0013】
本発明によれば、陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁表面に炭素層が形成され、陽極酸化アルミナ膜が保護されているので耐蝕性に優れる磁気記録媒体を実現することができる。また、陽極酸化処理により細孔を形成しているので、規則的に配列された細孔を得ることができ、細孔に形成された磁性粒子は、交換相互作用及び静磁気的相互作用の大きさのバラツキが低減されあるいはこれらの相互作用が切られるので、高密度記録可能な磁気記録媒体を実現することができる。
【0014】
本発明のその他の観点によれば、基板と、前記基板上に形成された陽極酸化アルミナ膜と、前記陽極酸化アルミナ膜に層方向に形成された細孔と、前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁を覆う炭素層とよりなる磁気媒体基板が提供される。
【0015】
本発明によれば、陽極酸化アルミナ膜に規則的に形成された細孔の内壁を含む表面に炭素層が形成されている。炭素層により陽極酸化アルミナ膜の総ての表面が保護されているので、耐蝕性に優れている。また、細孔は規則的に形成されているので、細孔に磁性材を形成することにより、細孔に形成された磁性粒子間の相互作用の大きさのバラツキが低減され、あるいは相互作用が切られる。したがって、本発明の磁気媒体基板は高密度記録用磁気記録媒体に適している。
【0016】
本発明のその他の観点によれば、磁気抵抗効果型再生ヘッドを有する磁気ヘッドと、請求項1の磁気記録媒体を備えた磁気記憶装置が提供される。
【0017】
本発明によれば、上述したように、磁気記録媒体は耐蝕性、耐久性に加え高密度記録可能であるので、磁気抵抗効果型再生ヘッドと組み合わせることにより高密度記録を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下に、本発明を実施の形態を挙げて詳細に説明する。
【0019】
図2Aは本実施の形態の磁気記録媒体の上面図、図2Bは図2Aに示すX−X断面図である。図2A及び図2Bを参照するに、本実施の形態の磁気記録媒体10は、基板11と、基板11上に形成された下部電極層12と、下部電極層12上に形成された陽極酸化アルミナ膜13と、陽極酸化アルミナ膜13の表面及び細孔14の内壁に形成された炭素層15と、細孔14の炭素層15を介した内部に形成された磁性粒子16と、炭素層15及び磁性粒子16を覆うように形成された潤滑層18などから構成されている。なお、図2Aにおいて潤滑層18は、炭素層15及び磁性粒子16上の全体に形成されている。
【0020】
以下、本実施の形態の磁気記録媒体10をその製造方法と共に、図3の磁気記録媒体10の製造工程を示すフローチャートを参照しながら詳細に説明する。
【0021】
本実施の形態の磁気記録媒体10の基板11は、例えばディスク状のプラスチック基板、ガラス基板、NiPメッキアルミ合金基板、シリコン基板などを用いることができ、特に基板11がテープ状である場合は、PET、PEN、ポリイミド等のプラスチックフィルムを用いることできる。耐熱性の観点からは、基板11はガラス基板、シリコン基板、ポリイミドが好ましく、後述する電気炉を用いた熱分解CVD装置による炭素層を形成する工程においては、基板11が600℃〜800℃程度に加熱される点を考慮するとシリコン基板が特に好ましい。
【0022】
先ず、基板11上に、蒸着法、スパッタ法、CVD法などにより厚さ20nmの下部電極層12、及び厚さ50nmのアルミニウム膜を形成する(S80)。下部電極層12は、導電性の金属や合金よりなり、陽極酸化処理を行う際のアノード及び磁性粒子を成長させるための下地層としての役割を果たす。下部電極層12は、例えば基板11がNiPメッキアルミ合金基板の場合は、基板自体に導電性があるので省略してもよい。
【0023】
下部電極層12上に形成されるアルミニウム膜は厚さ20nm〜500nmであり、蒸着法、スパッタ法、CVD法などにより形成することができる。アルミニウム膜の厚さは、後述する細孔の深さすなわち細孔に充填する磁性粒子等の厚さを考慮して決定される。
【0024】
次に、陽極酸化法によりアルミニウム膜を陽極酸化アルミナ膜に変換すると共に細孔を形成する(S82)。アルミニウム膜に対する陽極酸化法には、例えば硫酸浴、リン酸浴、あるいはシュウ酸浴中で、下部電極層をアノード、カーボンあるいは白金電極をカソードとして用いて電圧を印加する。陽極酸化法を用いると、アルミニウム膜がアモルファスアルミナよりなる陽極酸化アルミナ膜13に変換されると同時に陽極酸化アルミナ膜13の表面から下部電極層12に到達する細孔14を形成することができる。したがって、細孔14の深さ、すなわち後に充填して形成される磁性粒子16の厚さはアルミニウム膜の厚さにより設定することができる。この細孔14は、アスペクト比が大であっても形成することができ、また、細孔14同士が結合することがないので、磁性粒子16を確実に隔離して形成することができる。
【0025】
細孔14の間隔は、陽極酸化処理に先立って、フォトリソグラフィ法及びエッチング法あるいはスタンピング法などによってアルミナ層の表面に細孔が形成される開始点となる凹部を設けることにより制御可能である。また、2段陽極酸化法、すなわち、第1段の陽極酸化処理では細孔の間隔を決定する電圧を印加して開始点となる凹部を形成し、第2段の陽極酸化処理では第1段と同様な電圧を印加して凹部に細孔を形成する方法によっても制御可能である。
【0026】
細孔14の間隔は磁性粒子16の間隔を決定し、磁性粒子16の間隔は磁性粒子間の交換相互作用及び静磁気的相互作用の大きさおよび大きさの分布に直接的に関連する。この観点からは細孔14の間隔すなわち隣り合う細孔14の中心間距離は、細孔14の直径+2nm以上あることが好ましく、細孔14の直径+50nm以下とする。細孔14の直径+50nmより大きいと一単位の情報を保持する磁性粒子16の密度が低下するので、記録密度が著しく低下してしまう。
【0027】
また、細孔14の直径を拡大する方法としては、陽極酸化処理後にリン酸などの溶液中でウェットエッチングしてもよく、等方性のドライエッチング法を用いてもよい。ドライエッチングでは、たとえば、CCl4ガスを処理ガスとして用いることができる。必要により細孔14の直径を拡大し、次の炭素層15を形成する際の細孔14の直径は、例えば10〜100nmに設定される。
【0028】
次に、細孔14が形成された陽極酸化アルミナ膜13の表面及び細孔14の内壁に炭素層15を形成する(S84)。炭素層は、厚さが数層から数十層(1層の厚さが0.335nm)に設定され、5員環及び6員環より構成される。例えば細孔14の内壁には、6員環よりなるシート状の炭素層が筒状になって形成される。陽極酸化アルミナ膜13の表面にも6員環よりなるシート状の炭素層が形成される。さらにこれらのシート状の炭素層は、細孔と上部表面との境界すなわち肩の部分においては、5員環を含む炭素層により接続される。このように陽極酸化アルミナ膜13の総ての表面が炭素層15により覆われる。したがって、磁気記録媒体10の表面に付着することのある各種の化学物質、例えば酸やアルカリが陽極酸化アルミナ膜13に直接接触することが回避され、炭素層15自体も酸やアルカリに腐食されることがないので、耐蝕性に優れている。
【0029】
また、陽極酸化アルミナ膜13に形成された6員環よりなるシート状の炭素層は、6員環構造の結晶性が必ずしも完全なものではなく、いわゆる結晶欠陥が存在する。結晶欠陥が活性点となって、潤滑剤の末端の活性点と結合し易いと推察される。さらに、5員環も活性点を有しているので、潤滑層を形成する潤滑剤の末端の活性点、例えば極性基等がこれらの炭素層の活性点と結合し、潤滑剤がより強固に結合してスピン−オフされ難くなると推察され、また、これらの炭素層の活性点の存在により、潤滑剤が貯蔵され易くなる一因と推察される。
【0030】
具体的な炭素層15の形成方法としては、気相化学成長法(CVD法)により炭化水素ガスと窒素あるいは水素ガスをプロセスガスとして用い、熱分解あるいはプラズマにより解離して陽極酸化アルミナ膜13表面において炭素を反応させる。
【0031】
CVD法に用いられる炭化水素ガスは、炭素原子が1〜4個の飽和炭化水素あるいは不飽和炭化水素よりなるガスが熱分解し易い点から好ましく、これらのうち、メタン(CH4)、エタン(C2H6)、プロパン(C3H8)、ブタン(C4H10)などの飽和炭化水素、あるいはエチレン(C2H4)、プロピレン(C3H6)、ブチレン(C4H8)、アセチレン(C2H2)などの不飽和炭化水素が特に好ましい。
【0032】
また、炭素層を形成するCVD法に好適な装置の例として、電気炉を用いた熱分解CVD装置、ホットフィラメントを用いた熱分解CVD装置、マイクロ波プラズマ装置などが挙げられる。
【0033】
図4は、電気炉を用いた熱分解CVD装置の概念を示す図である。図4を参照するに、電気炉を用いた熱分解CVD装置40は、プロセスガス41が流通する石英管42と、積層体43(図2Bにおける基板11上に下部電極層12、陽極酸化アルミナ膜13が堆積されたもの)を加熱するための電気炉44などから構成されている。細孔を有する陽極酸化アルミナ膜が形成された積層体43を、電気炉44を用いて600℃から1000℃、好ましくは800℃に加熱して、例えば炭化水素ガスであるプロピレン及び窒素ガスを流通する。プロピレンガスの窒素ガスに対する流量比を1〜5%、好ましくは2.5%とすることにより熱分解CVD装置40中で、積層体43の陽極酸化アルミナ膜の細孔及び上部表面に炭素層を形成する。この際、耐熱性の観点からは積層体43の基板はシリコン基板が好適である。
【0034】
図5は、ホットフィラメントCVD装置の概念を示す図である。図5を参照するに、ホットフィラメントCVD装置50は、減圧状態を実現する処理チャンバー51と、原料ガスが導入されるガス導入ヘッド52と、積層体43とガス導入ヘッド52との間に、保持具54に固定され発熱するフィラメント55などより構成されている。フィラメント55に通電することによってフィラメント55を1500℃〜2300℃の高温にして、ガス導入ヘッド52から炭化水素ガス及びキャリアガスの水素ガスを導入しフィラメント55に接触させて炭化水素ガスを熱分解し生成された生成物を積層体43表面に堆積させる。フィラメント55は高温融点金属、例えばタングステン、レニウムなどより構成される。より高温に加熱可能な観点からはフィラメント55はレニウムよりなることが好ましい。炭素層の形成条件は、好ましくはフィラメント55を1900℃、炭化水素ガスは例えばアセチレンを用いて、ガス圧を2〜5Pa、好ましくは3Paに設定し、水素を含めた全ガス圧を20〜50Pa、好ましくは30Paに設定することにより、積層体43の陽極酸化アルミナ膜の細孔及び上部表面に炭素層を形成する。
【0035】
このように、ホットフィラメントCVD装置を用いることにより、上記の熱分解CVD装置40を用いた場合より、積層体43の温度を低くすることが可能となるので、積層体43の基板や下部電極層、陽極酸化アルミナ膜に対する熱による影響を低減でき、基板材料の選択の幅が広がる点で好ましい。
【0036】
図6は、マイクロ波プラズマCVD装置の概念を示す図である。図6を参照するに、プラズマCVD装置60は、積層体43が配置され減圧状態を実現する処理チャンバー62と、マイクロ波発生源(図示せず)に接続されマイクロ波を導入する導波管63と、マイクロ波アンテナ64と、マイクロ波を処理チャンバーに導入する石英ガラス板65と、ガス導入ヘッド66などから構成されている。ガス導入ヘッド66から炭化水素ガス及びキャリアガスの窒素ガスを導入し、マイクロ波放電により石英ガラス板65の下方にプラズマを形成し、解離して生成された原子状炭素を積層体43上に堆積し、陽極酸化アルミナ膜の細孔及び上部表面に炭素層を形成する。
【0037】
例えば、RF周波数を2.45GHz、RFパワーを0.5kW〜6kW、原料ガスのメタンガスとキャリアガスの水素ガスの混合ガスを流量比で40/60sccm〜20/80sccmにて供給し、ガス圧を133Pa〜532Pa(1Torr〜4Torr)、好ましくは266Pa〜399Pa(2Torr〜3Torr)に設定し、かつ積層体43の温度を300℃〜500℃、好ましくは400℃に設定して、5分〜30分処理を行う。
【0038】
本願発明者は、上述した炭素層と陽極酸化アルミナ膜との密着性及び被覆性が非常に高いことを見出した。後述する実施例において明らかになるが、密着性及び被覆性が極めて高いので、アモルファスアルミナからなる陽極酸化アルミナ膜を炭素層により保護することで、酸やアルカリに対する耐蝕性を著しく向上することができる。また、陽極酸化アルミナ膜の上部表面にも炭素層が形成されているので、炭素層と陽極酸化アルミナ膜との密着性及び潤滑剤を貯蔵可能な点から、磁気ヘッドの摺動に対して極めて高い耐久性を有する。
【0039】
図2A、図2B及び図3に戻り、次に炭素層15の内壁が形成された細孔14に磁性材を充填し、磁性粒子16を形成する(S86)。具体的には、スパッタ法、蒸着法、メッキ法を用いることができる。特にアスペクト比の大きな場合は、充填性の観点からはメッキ法が好適である。メッキ法、例えば電解メッキ法、無電解メッキ法により、細孔14の底の下部電極層12表面から磁性粒子16を成長させることができる。
【0040】
例えば、電解メッキ法により磁性粒子16にCo層あるいはCo合金層を用いて、垂直記録媒体を形成する場合は、磁性粒子16の磁化容易軸を基板11面に垂直に形成する。例えば、Co層のc軸を基板に垂直方向に配向させるためには、下部電極層12には、基板面に垂直方向に(111)が配向したfcc構造の材料、例えば白金族の元素、Pt、Ru、Rh、Pd、Os、Ir及びこれらの合金を用いる。これらの元素または合金は基板面に垂直方向に(111)配向する自己配向性を有しているので、容易に(111)配向を形成することができる。なお、下部電極層12上に同様の材料よりなる下地層を形成して、下地層によりCo層のc軸を基板に垂直方向に配向させてもよい。下地層は下部電極層を形成した後に、下部電極層と同様の方法により形成することができ、厚さが、例えば10nm〜100nmに設定される。
【0041】
磁性粒子16には、Coの他にCoにNi、W、Re、Mn、P等を添加してCoの飽和磁化を低下させてもよい。基板面に垂直にc軸配向を保持しながら、記録再生における媒体ノイズを低減することができる。磁性粒子16を形成するためのメッキ液は、例えば硫酸コバルト(II)7水和物0.2Mとホウ酸0.3Mよりなる水溶液(Coよりなる磁性粒子を形成する場合)、さらに硫酸ニッケル(II)7水和物を添加した水溶液(CoNiよりなる磁性粒子を形成する場合)等、公知のメッキ液を用いることができる。
【0042】
また、記録密度を向上する観点からは磁性粒子16の厚さを低下させる。すなわち、磁性粒子16を薄膜化してPW50(再生孤立波の半値幅)を低減すると共にオーバーライト特性を確保するためである。例えば、磁性粒子16の厚さは、面内記録媒体では例えば5nmから20nmが好ましく、垂直記録媒体では5nmから50nmが好ましい。
【0043】
このような場合、細孔のアスペクト比が小さいので、スパッタ法、蒸着法を用いて、細孔14の炭素層を介した内部に磁性材料を堆積して磁性粒子を形成することができる。面内記録媒体を形成するには下地電極層にCrまたはCrMoなどを用い、磁性粒子16には強磁性を有するCoCr系合金を用いることにより、CoCr合金のc軸を基板面に平行にする。なお、磁性粒子16の形成に先立ってCrまたはCrMoを下地層として細孔14の炭素層を介した内部に形成して、その上に形成する磁性粒子16の配向を制御してもよい。この場合の下地層は、厚さが例えば10nm〜100nmに設定される。
【0044】
強磁性を有するCoCr系合金のうち、面内記録媒体として好適な磁性粒子16の材料は、例えばCoCrPt合金、特にBを添加したCoCrPtBである。結晶磁気異方性エネルギーが大であるので、異方性エネルギーを増加させることができる。KV/kTで表される熱的安定性の指標を向上し、熱的揺らぎによる減磁を抑制にすることができる。ここで、Kは異方性定数、Vは磁性粒子の体積、kはボルツマン定数、Tは絶対温度である。特に本発明に係る磁気記録媒体は磁性粒子16がそれぞれ隣接する磁性粒子16とが分離されており、磁性粒子16間相互作用の観点から孤立性が高まっているので、異方性エネルギーが大であるほど熱的安定性が向上する。
【0045】
またさらに熱的安定性を向上するために、磁性粒子を複数の強磁性膜間にRu等の非磁性膜を形成し、強磁性膜間を反強磁性結合した積層体により磁性粒子16を構成してもよい。磁性粒子16は、例えば上(表面)から、CoCrPtB強磁性膜(厚さ10nm)/Ru膜(厚さ0.8nm)/CoCrPtB強磁性膜(厚さ5nm)/CrMo下地層(厚さ20nm)の構成とする。上下のCoCrPtB強磁性膜が反強磁性結合し、磁性粒子の実質的な残留磁化を増加させずに上記指標のKV/kTのVを増加させることができるので、熱的安定性を高めることができる。
【0046】
また、スパッタ法を用いて垂直記録媒体を形成するには、下地電極層あるいは磁性粒子16の下地層としてTi、TiCr、C、Pt等を用いることができる。磁性粒子16のCoCr合金のc軸を基板面に垂直に配向性良く配向することができると共に、CoCr合金の初期成長層の結晶性を向上することができる。磁性粒子16としては、CoCrPt、CoCrTa、CoCrPtTa、あるいはこれらにB(ホウ素)を添加した材料を用いることができる。
【0047】
次に、磁性粒子16をメッキ法により形成した場合は、磁性粒子16表面を化学的機械研磨法(CMP法)などにより平坦化する(S88)。メッキ法により形成された磁性粒子16表面の中央の凸部を、例えば両面研磨機を使用して磁性粒子16であるCoあるいはCoCr合金等を研磨可能な研磨剤を用いることが好ましい。炭素層を表面と磁性粒子16表面を略同一面とすることができ、炭素層が研磨されて薄膜化あるいは除去されることを回避できる。このような研磨剤は、例えばダイヤモンド粒子、アルミナ粒子、酸化セリウム粒子が挙げられる。
【0048】
次に磁性粒子16及び炭素層15の表面に潤滑剤を塗布して潤滑層を形成する(S92)。潤滑剤には、例えば、公知のパーフルオロポリエーテルを主鎖として各種末端基を有するZDol(Monte Fluos社製 末端基:−OH)、AM3001(アウジモント社製、末端基:ベンゼン環)、あるいは末端基を有さないZ25(Monte Fluos社製)等を用いることができる。潤滑層と炭素層との結合の観点からは、潤滑剤はその構造の末端がベンゼン環を有するもの、例えばAM3001が好ましい。
【0049】
以上により、図2A及び図2Bに示す磁気記録媒体10が形成される。
【0050】
本実施の形態によれば、陽極酸化アルミナ膜13が炭素層15に被覆されている。陽極酸化アルミナ膜13表面と炭素層15の密着性が高いので、耐蝕性及び耐久性に優れている。また、磁性粒子が孤立して形成されているので、高記録密度でも媒体ノイズが増加せず、高密度記録が可能となる。
【0051】
次に本実施の形態の第1変形例について説明する。図7は、本実施の形態の第1変形例である磁気記録媒体の断面図である。本変形例は、磁性粒子及び炭素層の表面に保護層が形成されている以外は、上述した実施の形態と同様である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0052】
図7を参照するに、本変形例の磁気記録媒体20は、基板11と、基板11上に形成された下部電極層12と、下部電極層12上に形成された陽極酸化アルミナ膜13と、陽極酸化アルミナ膜13の表面及び細孔14の内壁に形成された炭素層15と、細孔14の炭素層15を介した内部に形成された磁性粒子16と、炭素層15及び磁性粒子16の表面に形成された保護層21と、保護層21上に形成された潤滑層18などから構成されている。
【0053】
保護層21は、図3に示すように磁性粒子表面の平坦化処理(S88)と潤滑剤を塗布する処理(S92)との間に形成される(S90)。保護層21はスパッタ法、CVD法などを用いて形成され、アモルファスカーボン、水素化カーボン、窒化カーボン等により構成される。具体的には、例えば水素化カーボンは、H2ガスを含むArガス雰囲気中でカーボンをスパッタすることにより形成することができ、さらに窒素ガスを添加してもよい。また保護層21の厚さを0.5nm〜5nmとする。保護層21はその硬度及び潤滑剤との結合性の観点からは水素化カーボンが好ましい。また、潤滑層18は、保護層21が形成されているので、上述したZDol、AM3001、Z25等の潤滑剤を保護層21の材料に合わせて適宜用いることができる。
【0054】
本変形例によれば、磁性粒子16表面が保護層21に覆われているので、磁性粒子16の耐蝕性が向上されるとともに、耐久性をさらに高めることができる。
【0055】
さらに、本実施の形態の第2変形例について説明する。図8は、本実施の形態の第2変形例である磁気記録媒体の断面図である。本変形例は、基板上に軟磁性裏打ち層が形成されている以外は、上述した実施の形態と同様である。また、磁性粒子は例えばCoのc軸が基板に対して垂直方向に配向される垂直磁気記録媒体を形成している。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【0056】
図8を参照するに、本変形例の磁気記録媒体30は、基板11と、基板11上に形成された軟磁性裏打ち層31と、軟磁性裏打ち層上に形成された下部電極層12と、下部電極層12上に形成された陽極酸化アルミナ膜13と、陽極酸化アルミナ膜13の表面及び細孔14の内壁に形成された炭素層15と、細孔14の炭素層15を介した内部に形成された磁性粒子16と、炭素層15及び磁性粒子16の表面に形成された保護層21と、保護層21上に形成された潤滑層18などから構成されている。
【0057】
軟磁性裏打ち層31は、スパッタ法、CVD法、メッキ法などにより形成され、軟磁性の非晶質層あるいは多結晶層より構成されている。具体的には、厚さが50nm〜2μmのNiFe(パーマロイ)、CoFeB、CoCrNb、NiFeNb等を用いることができる。軟磁性裏打ち層31を設けることにより、単磁極ヘッドにより記録する場合に、単磁極ヘッドからの全磁束を軟磁性裏打ち層31が吸収することができ、特に、軟磁性裏打ち層31の飽和磁束密度Bsと膜厚の積の値は大きい方が好ましい。飽和記録が可能となり、磁性粒子16を単磁区化することができる。また、軟磁性裏打ち層31の高周波特性、例えば、高周波透磁率を高い方が好ましい。より高い周波数の記録すなわち高転送レートの記録が可能となる。
【0058】
以下、本実施の形態に係る実施例について説明する。
【0059】
[第1実施例]
2.5インチのディスク状のシリコン基板に、下部電極層として蒸着法により厚さ20nmのタングステン膜を形成した。次いでタングステン膜上に蒸着法により厚さ50nmのアルミニウム膜を形成した。次いで、濃度0.6mol/Lのシュウ酸溶液を用いて印加電圧20V、30分間に設定して陽極酸化を行ない、陽極酸化アルミナ膜に変換し、細孔を形成した。なお、細孔の平均間隔は60nm、平均孔径(直径)は40nmであった。
【0060】
次いで、図4に示した電気炉を用いた熱分解CVD装置により、窒素ガス及びプロピレンガスを流し、電気炉による基板加熱温度を800℃に設定して、10分間の処理により、厚さ5nmの炭素層を形成した。なお、窒素ガス量に対するプロピレンガス量の割合を2.5%とし、石英反応管中の全流量を毎分200cm3とした。
【0061】
次いで電解メッキ法により硫酸コバルト溶液を用いて、厚さ50nmのCo膜の磁性粒子を形成した。
【0062】
次いで、CMP法により、炭素層及びCo膜の表面を平均表面粗さRa0.7nm以下まで研磨し、3種類の潤滑剤をそれぞれ厚さ4nm塗布した磁気記録媒体を作製した。3種類の潤滑剤は、主鎖がパーフルオロポリエーテルで、末端基が極性基でないZ25、末端基が水酸基のZDol、末端基がベンゼン環のAM3001である。
【0063】
[第2実施例]
本実施例の磁気記録媒体は、第1実施例の磁気記録媒体と同様にして、陽極酸化アルミナ膜を形成した。
【0064】
次いで、図5に示したホットフィラメントCVD装置により、アセチレンガスと水素ガスを流し、アセチレンガス圧を3Pa、水素ガスを27Paとし、全圧を30Paとした。また、レニウム製のホットフィラメントの温度を約1900℃に設定し、15分間の処理により、厚さ5nmの炭素層を形成した。磁性粒子及び潤滑層は第1実施例と同様にして作製した。
【0065】
[第3実施例]
本実施例の磁気記録媒体は、第1実施例の磁気記録媒体と同様にして、陽極酸化アルミナ膜を形成した。
【0066】
次いで、図6に示したマイクロ波プラズマCVD装置により、メタンガスと水素ガスを流し、メタンガスの流量を40sccm、水素ガスの流量を60sccm、全圧を400Pa(3Torr)とし、RF周波数を2.45GHz、RFパワーを2kW、基板加熱温度を400℃に設定し、10分間の処理により、厚さ5nmの炭素層を形成した。次いで、磁性粒子及び潤滑層は第1実施例と同様にして作製した。
【0067】
[比較例]
比較例の磁気記録媒体は、炭素層を形成せず、保護層として磁性粒子上にスパッタ法により厚さ10nmの水素化カーボン層を形成した以外は第1実施例の磁気記録媒体と同様に形成した。
【0068】
(耐蝕性評価)
上記第1〜第3実施例及び比較例の磁気記録媒体の磁性粒子まで形成した試料について、耐蝕性試験を行い、耐蝕性を評価した。すなわち、第1〜第3実施例に係る試料については陽極酸化アルミナ膜を覆うように炭素層が形成されており、比較例に係る試料については炭素層が形成されていない。
【0069】
耐蝕性評価方法は、20℃の酸およびアルカリ溶液に試料を投入し所定の時間浸漬し、それぞれの溶液に溶解したアルミニウム量を測定した。具体的には、酸に0.1mol/LのHCl溶液、アルカリに0.1mol/LのNaOH溶液を用いた。陽極酸化アルミナ膜の溶解量を原子吸光分析により溶液中のアルミニウム量を定量し、陽極酸化アルミナ膜1グラム当たりの量に換算した。
【0070】
表1に、耐蝕性評価の結果を示す。
【0071】
【表1】
表1を参照するに、第1〜第3実施例に係る試料については、陽極酸化アルミナ膜より溶解したアルミニウムが検出限界以下(検出限界は0.01mmol/L Al/g以下であり、表1中では0で示す。)であり、HCl溶液及びNaOH溶液に溶解していないことが分かる。一方、比較例に係る試料は陽極酸化アルミナ膜よりアルミニウムが溶解しており、耐蝕性が乏しいことが分かる。したがって、本評価結果によれば、第1〜第3実施例に係る試料は、陽極酸化アルミナ膜を炭素層により覆うことにより、耐蝕性が著しく向上し、磁気記録媒体、及び磁気記録媒体用の磁気媒体基板として優れていることが分かる。
【0072】
(磁気ヘッド減圧摺動試験)
上記第1〜第3実施例及び比較例に係る磁気記録媒体の磁気ヘッドに対する耐久性を評価するため、加速試験である減圧摺動試験を行った。
【0073】
減圧摺動試験は、減圧下において回転する磁気記録媒体に磁気ヘッドをロードして磁気ヘッドを摺動させ、磁気記録媒体表面に生じる傷を評価して行う。磁気ヘッドはヘッド荷重5gのピコスライダを用い、6700Pa(50Torr)の減圧雰囲気下、半径20mm、回転数4000RPMで行った。
【0074】
表2に、磁気ヘッド減圧摺動試験の結果を示す。
【0075】
【表2】
表2を参照するに、比較例の磁気記録媒体は何れの潤滑剤でも2万〜5万パスで傷が発生したのに対し、第1〜第3実施例の磁気記録媒体では最低でも10万パスで傷が発生している。このことにより、比較例の磁気記録媒体に対して、第1〜第3実施例の磁気記録媒体が耐久性に優れていることがわかる。
【0076】
また、第1〜第3実施例の磁気記録媒体では潤滑剤がZ25及びZDolに対して、AM3001の磁気記録媒体がより優れた耐久性を有することが分かる。ZDolは末端基がベンゼン環により構成されており、ベンゼン環と磁気記録媒体の炭素層との結合がより強固なため他の潤滑剤を用いた場合より耐久性が向上したものと考えられる。
【0077】
また、上記試験に用いた磁気記録媒体には厚さ4nmの潤滑層を形成したが、さらに潤滑層の厚さを増加させて磁気ヘッドとの吸着を評価した。比較例の磁気記録媒体では10nmで磁気ヘッドとの吸着が発生したにも拘わらず、第1〜第3実施例の磁気記録媒体では20nmの厚さを形成する塗布条件で塗布した磁気記録媒体であっても吸着が発生しなかった。したがって、第1〜第3実施例の記録媒体の炭素層は潤滑剤が貯蔵する能力に優れていることが推察される。潤滑剤の貯蔵量が多い磁気記録媒体は、磁気ヘッドとの接触等により磁気記録媒体表面の潤滑層が喪失されても、すぐに貯蔵されている潤滑剤が補充されるので、磁気ヘッドの摺動耐久性に優れる。したがって、吸着が生じない最大の厚さの潤滑層を形成することにより、表2に示した磁気ヘッド減圧摺動試験の結果より優れる結果が得られると期待できる。
【0078】
次に、本発明の磁気記憶装置の一実施の形態を示す図9及び図10と共に説明する。図9は、磁気記憶装置の要部を示す断面図である。図10は、図9に示す磁気記憶装置の要部を示す平面図である。
【0079】
図9及び図10を参照するに、磁気記憶装置120は大略ハウジング123からなる。ハウジング123内には、モータ124、ハブ125、複数の磁気記録媒体126、複数の記録再生ヘッド127、複数のサスペンション128、複数のアーム129及びアクチュエータユニット121が設けられている。磁気記録媒体126は、モータ124より回転されるハブ125に取り付けられている。記録再生ヘッド127は、MR素子(磁気抵抗効果型素子)、GMR素子(巨大磁気抵抗効果型素子)、又はTMR素子(トンネル磁気効果型)の再生ヘッドと薄膜ヘッドの記録ヘッドとの複合型ヘッドからなる。記録ヘッドはリング型ヘッド、あるいは、磁気記録媒体126が垂直記録媒体の場合は、単磁極ヘッドでもよい。各記録再生ヘッド127は対応するアーム129の先端にサスペンション128を介して取り付けられている。アーム129はアクチュエータユニット121により駆動される。この磁気記憶装置の基本構成自体は周知であり、その詳細な説明は本明細書では省略する。
【0080】
本実施の形態の磁気記憶装置120は、磁気記録媒体126に特徴がある。磁気記録媒体126は、例えば、図2Bに示す積層構成を有する第1実施の形態あるいは第1、第2変形例、又は第1〜第3実施例の磁気記録媒体である。勿論磁気記録媒体126の枚数は3枚に限定されず、1枚でも、2枚又は4枚以上であっても良い。
【0081】
磁気記憶装置120の基本構成は、図9及び図10に示すものに限定されるものではない。本発明で用いる磁気記録媒体126は、磁気ディスクに限定されない。
【0082】
本実施の形態によれば、磁気記憶装置120は、磁気記録媒体126が優れた耐蝕性及び耐久性を有するので、長期に亘る動作信頼性を有している。また、磁気記録媒体126の磁性粒子が孤立して形成されているので、媒体ノイズが低く信号対雑音比の高いので、高密度記録に対応可能である。
【0083】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば、本発明は、大型コンピュータ等の補助記憶装置として用いられる磁気テープに適用することができる。また、上述した実施の形態と第1及び第2変形例は互いに組み合わせることができる。
【産業上の利用可能性】
【0084】
本発明によれば、6員環及び5員環を主成分とする炭素層により陽極酸化アルミナ膜の上部表面及び細孔の内壁覆うことにより、耐蝕性と耐久性を共に満足する高密度記録可能な磁気記録媒体及びその製造方法、並びにその磁気記録媒体に用いられる磁気媒体基板、並びに磁気記憶装置を提供することができる。
【0085】
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の陽極酸化アルミナ膜を用いた磁気記録媒体の断面図である。
【図2A】本発明の第1実施の形態に係る磁気記録媒体の上面図である。
【図2B】図2Aに示すX−X断面図である。
【図3】第1実施の形態に係る磁気記録媒体の製造工程を示すフローチャートである。
【図4】電気炉を用いた熱分解CVD装置の概念を示す図である。
【図5】ホットフィラメントを用いた熱分解CVD装置の概念を示す図である。
【図6】マイクロ波プラズマCVD装置の概念を示す図である。
【図7】第1実施の形態の第1変形例に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図8】第1実施の形態の第2変形例に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図9】本発明の第2実施の形態に係る磁気記憶装置の要部を示す断面図である。
【図10】図9に示す磁気記憶装置の要部を示す平面図である。
Claims (20)
- 基板と、
前記基板上に形成された陽極酸化アルミナ膜と、
前記陽極酸化アルミナ膜に形成された細孔と、
前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁を覆う炭素層と、
前記細孔の内部に炭素層を介して形成された磁性粒子と、
前記炭素層及び磁性粒子を覆う潤滑層とよりなる磁気記録媒体。 - 前記基板と陽極酸化アルミナ膜との間に下地電極層をさらに設けることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記細孔の内部の炭素層は筒状構造を形成してなることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記潤滑層はパーフルオロポリエーテルを主鎖とする材料よりなることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記潤滑層は末端基がベンゼン環である材料よりなることを特徴とする請求項4記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性粒子および炭素層上に更に水素化カーボンよりなる保護層が形成されることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性粒子が垂直異方性を有することを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記基板と陽極酸化アルミナ膜との間に軟磁性層が更に設けられたことを特徴とする請求項7記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性粒子がFePt、CoPt、及びCoPdの群のうちいずれか1種の合金を主とすることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 基板上にアルミニウム膜を形成する工程と、
前記アルミニウム膜を陽極酸化処理により陽極酸化アルミナ膜に変換すると共に細孔を形成する工程と、
前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁に炭素層を形成する工程と、
前記細孔に磁性材を充填する工程と、
潤滑層を形成する工程とを備えた磁気記録媒体の製造方法。 - 前記細孔に磁性材を充填する工程と前記潤滑層を形成する工程との間に、表面平坦化するための研磨処理をする工程を更に設けることを特徴とする請求項10記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記研磨処理をする工程は、化学的機械研磨法により磁性粒子表面を選択的に研磨することを特徴とする請求項11記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記炭素層を形成する工程は、炭化水素ガスと、窒素あるいは水素ガスとを用いた気相化学成長法によることを特徴とする請求項10記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記炭化水素ガスが、炭素原子が1〜4個のいずれかの炭素原子数を有することを特徴とする請求項13記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記炭化水素ガスが、CH4、C2H5、C3H8、C4H10、C2H4、C3H6、C4H8、及びC2H2の群のうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項14記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記気相化学成長法が電気炉熱分解CVD装置を用いることを特徴とする請求項15記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記気相化学成長法がホットフィラメント熱CVD装置を用いることを特徴とする請求項15記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記気相化学成長法がマイクロ波プラズマCVD装置を用いることを特徴とする請求項15記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 基板と、
前記基板上に形成された陽極酸化アルミナ膜と、
前記陽極酸化アルミナ膜に層方向に形成された細孔と、
前記陽極酸化アルミナ膜の表面及び細孔の内壁を覆う炭素層とよりなる磁気媒体基板。 - 磁気抵抗効果型再生ヘッドを有する磁気ヘッドと、請求項1の磁気記録媒体を備えた磁気記憶装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2003/001263 WO2004070712A1 (ja) | 2003-02-06 | 2003-02-06 | 磁気記録媒体及びその製造方法、磁気記録媒体に用いられる磁気媒体基板、並びに磁気記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004070712A1 JPWO2004070712A1 (ja) | 2006-05-25 |
JP4000328B2 true JP4000328B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=32843980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004567880A Expired - Fee Related JP4000328B2 (ja) | 2003-02-06 | 2003-02-06 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7112377B2 (ja) |
JP (1) | JP4000328B2 (ja) |
CN (1) | CN1288636C (ja) |
AU (1) | AU2003207066A1 (ja) |
WO (1) | WO2004070712A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006075942A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Fujitsu Ltd | 積層構造体、磁気記録媒体及びその製造方法、磁気記録装置及び磁気記録方法、並びに、該積層構造体を用いた素子 |
WO2006049259A1 (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-11 | Japan Science And Technology Agency | パターンド磁気記録媒体の設計方法およびパターンド磁気記録媒体 |
JP4712412B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-06-29 | 古河電気工業株式会社 | ナノ構造体及びそれを用いた磁気記憶材料、配線基板、アンテナ基材 |
EP1900855A3 (en) * | 2006-09-15 | 2013-06-19 | FUJIFILM Corporation | Microstructure and method of manufacturing the same |
JP2008097783A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録装置 |
JP5062208B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2012-10-31 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US20100300884A1 (en) | 2009-05-26 | 2010-12-02 | Wd Media, Inc. | Electro-deposited passivation coatings for patterned media |
US8625236B2 (en) | 2012-03-30 | 2014-01-07 | HGST Netherlands B.V. | Patterned storage medium |
US8717710B2 (en) | 2012-05-08 | 2014-05-06 | HGST Netherlands, B.V. | Corrosion-resistant bit patterned media (BPM) and discrete track media (DTM) and methods of production thereof |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6082694A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-10 | Nippon Light Metal Co Ltd | 磁気記録用アルミニウム材の製造法 |
JPH0245243B2 (ja) * | 1984-08-02 | 1990-10-08 | Toshiro Takahashi | Suichokujikikirokubaitai |
JPS6413216A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-18 | Hitachi Maxell | Magnetic recording medium |
JPH01211213A (ja) * | 1988-02-17 | 1989-08-24 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH02143914A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH02223008A (ja) * | 1988-06-03 | 1990-09-05 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP3054205B2 (ja) * | 1991-02-20 | 2000-06-19 | 株式会社リコー | 電子放出素子集積基板 |
JP2546114B2 (ja) | 1992-12-22 | 1996-10-23 | 日本電気株式会社 | 異物質内包カーボンナノチューブとその製造方法 |
US5358417A (en) * | 1993-08-27 | 1994-10-25 | The Whitaker Corporation | Surface mountable electrical connector |
US6231744B1 (en) * | 1997-04-24 | 2001-05-15 | Massachusetts Institute Of Technology | Process for fabricating an array of nanowires |
JPH10320772A (ja) * | 1997-05-22 | 1998-12-04 | Hitachi Ltd | 高密度磁気記録媒体作製法およびこれによる高密度磁気記録媒体 |
JP3631015B2 (ja) * | 1997-11-14 | 2005-03-23 | キヤノン株式会社 | 電子放出素子及びその製造方法 |
US6162532A (en) | 1998-07-31 | 2000-12-19 | International Business Machines Corporation | Magnetic storage medium formed of nanoparticles |
US6262129B1 (en) | 1998-07-31 | 2001-07-17 | International Business Machines Corporation | Method for producing nanoparticles of transition metals |
JP4532634B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 細孔の製造方法 |
JP2000315785A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Canon Inc | ナノ構造体の製造方法及びナノ構造体デバイス |
JP3647309B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2005-05-11 | キヤノン株式会社 | 電極及びその製造方法及び該電極を用いた電気化学センサー |
US6325909B1 (en) * | 1999-09-24 | 2001-12-04 | The Governing Council Of The University Of Toronto | Method of growth of branched carbon nanotubes and devices produced from the branched nanotubes |
KR100360476B1 (ko) * | 2000-06-27 | 2002-11-08 | 삼성전자 주식회사 | 탄소나노튜브를 이용한 나노 크기 수직 트랜지스터 및 그제조방법 |
JP3762277B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2006-04-05 | キヤノン株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4708596B2 (ja) * | 2001-05-10 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | ナノ構造体の製造方法 |
US6937447B2 (en) * | 2001-09-19 | 2005-08-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetoresistance effect element, its manufacturing method, magnetic reproducing element and magnetic memory |
JP2003129288A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-05-08 | Canon Inc | 細孔構造体及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-02-06 WO PCT/JP2003/001263 patent/WO2004070712A1/ja active Application Filing
- 2003-02-06 JP JP2004567880A patent/JP4000328B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-06 AU AU2003207066A patent/AU2003207066A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-06 CN CN03819620.4A patent/CN1288636C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-01-26 US US11/042,332 patent/US7112377B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2003207066A1 (en) | 2004-08-30 |
US7112377B2 (en) | 2006-09-26 |
CN1675687A (zh) | 2005-09-28 |
JPWO2004070712A1 (ja) | 2006-05-25 |
US20050196644A1 (en) | 2005-09-08 |
CN1288636C (zh) | 2006-12-06 |
WO2004070712A1 (ja) | 2004-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7112377B2 (en) | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, magnetic medium substrate employed in the magnetic recording medium, and magnetic storage unit | |
JP4292226B1 (ja) | 垂直磁気記録媒体、及びこれを用いた磁気記録再生装置 | |
WO2013172260A1 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2008123663A (ja) | パターン化磁気記録媒体及びその製造方法、垂直磁気記録システム | |
JP2014170611A (ja) | ハードディスクドライブ用垂直記録媒体 | |
JP4874526B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造法、並びに磁気記録再生装置 | |
US20090214897A1 (en) | Magnetic storage apparatus | |
JP4534711B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US9640213B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
JP2005276364A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法、並びにそれを用いた磁気記録再生装置 | |
US7462410B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
US8767350B2 (en) | Magnetic recording medium having recording regions and separating regions and methods of manufacturing the same | |
JP4951075B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法、並びにそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP2010146683A (ja) | 保護膜の形成方法、及び当該方法により得られた保護膜、並びに当該保護膜を含む磁気記録媒体 | |
KR100651005B1 (ko) | 자기 기록 매체 및 그 제조 방법, 자기 기록 매체에 사용되는 자기 매체 기판, 및 자기 기억 장치 | |
WO2003083842A1 (fr) | Support d'enregistrement magnetique vertical, enregistreur magnetique comportant un tel support, procede de fabrication de support magnetique vertical, et appareil de fabrication de support magnetique vertical | |
JP2004014056A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記憶装置 | |
JP4032056B2 (ja) | 多孔性アルミナ膜の形成方法 | |
JP2009223989A (ja) | ナノホール構造体及び磁気記録媒体 | |
JP2005174531A (ja) | 粒状垂直記録用途の非反応処理のための磁性体 | |
JP3451079B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記憶装置 | |
JP2008097783A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録装置 | |
JP2006048906A (ja) | 垂直磁気記録媒体とその製造方法および装置、並びに磁気記録装置 | |
JP4535666B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2005523550A (ja) | 垂直型磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070313 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070807 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |