JP2010212446A - 発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaAs基板1と、GaAs基板1上に設けられた発光部2と、発光部2上に設けられた歪調整層3とを備え、発光部2は、組成式(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦0.1、0.37≦Y≦0.46)からなる歪発光層7を有し、歪調整層3は、発光波長に対して透明であると共にGaAs基板1の格子定数よりも小さい格子定数を有することを特徴とする発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ10を採用する。
【選択図】図1
Description
特に、植物育成用の照明に適する660nmの波長帯のLEDは、従来のAlGaAsからなる発光層を備えたLEDでは発光出力が不足しているため、高出力化・高効率化の実現が可能なLEDの開発が望まれていた。
(1) GaAs基板と、前記GaAs基板上に設けられたpn接合型の発光部と、前記発光部上に設けられた歪調整層とを備え、前記発光部は、組成式(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦0.1、0.37≦Y≦0.46)からなる歪発光層を有し、前記歪調整層は、発光波長に対して透明であると共に前記GaAs基板の格子定数よりも小さい格子定数を有することを特徴とする発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(2) 前記歪発光層の組成式が、GaXIn1−XP(0.37≦X≦0.46)であることを特徴とする前項1に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(3) 前記歪発光層の厚さが、8〜30nmの範囲であることを特徴とする前項1又は2に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(4) 前記歪調整層の組成式が、(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦1、0.6≦Y≦1)であることを特徴とする前項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(5) 前記歪調整層の組成式が、AlXGa1−XAs1−YPY(0≦X≦1、0.6≦Y≦1)であることを特徴とする前項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(6) 前記歪調整層が、GaPであることを特徴とする前項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(7) 前記歪調整層の厚さが、0.5〜20μmの範囲であることを特徴とする前項1乃至6のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(8) 前記発光部は、前記歪発光層とバリア層との積層構造を有しており、歪発光層が8〜40層含まれていることを特徴とする前項1乃至7のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(9) 前記バリア層の組成式が、(AlXGa1-X)YIn1−YP(0.3≦X≦0.7、0.49≦Y≦0.52)であることを特徴とする前項1乃至8のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(10) 前記発光部の上面及び下面の一方又は両方にクラッド層を備え、前記クラッド層の組成式が(AlXGa1-X)YIn1−YP(0.5≦X≦1、0.48≦Y≦0.52)であることを特徴とする前項1乃至9のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(11) 前記GaAs基板の面方位の範囲が、(100)方向から(0−1−1)方向に15°オフ±5°であることを特徴とする前項1乃至10のいずれかに記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(12) 前記GaAs基板の直径が、75mm以上であることを特徴とする前項1乃至11のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(13) 反り量が、200μm以下であることを特徴とする前項12に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(14) 植物育成の光合成の促進に使用する発光ダイオード用エピタキシャルウェーハであって、前記歪発光層のピーク発光波長が、655〜675nmの範囲であることを特徴とする前項1乃至13のいずれかに記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
(15) 前記歪発光層の発光波長700nmにおける発光強度が、前記ピーク発光波長における発光強度の10%未満であることを特徴とする前項14に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
また、本発明の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハには、発光部上に歪調整層が設けられている。この歪調整層は、発光波長に対して透明であるため、このエピタキシャルウェーハを用いてLEDを作製した際に、発光部からの発光を吸収することがない。さらに、この歪調整層は、GaAs基板の格子定数よりも小さい格子定数を有しているため、このエピタキシャルウェーハ全体の反りの発生を低減することができる。これにより、歪発光層への欠陥の発生を抑制することができる。
したがって、本発明の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハによれば、発光波長655nm以上の、高出力・高効率のLEDを量産可能なエピタキシャルウェーハを提供することができる。また、本発明のエピタキシャルウェーハを用いて発光ダイオードを作製した際には、従来のAlGaAs系の発光層を採用した発光ダイオード(LED)と比較して、3倍以上の発光効率を有する高出力発光ダイオードを提供することができる。
図1は、本発明を適用した一実施形態である発光ダイオード用エピタキシャルウェーハの構造を説明するための断面模式図である。図1に示すように、本実施形態の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ10(以下、エピウェーハ10と記す)は、GaAs基板1と、GaAs基板1上に設けられたpn接合型の発光部2と、発光部2上に設けられた歪調整層3とを少なくとも備えて概略構成されている。具体的には、エピウェーハ10は、GaAs基板1の表面上に、GaAsからなる緩衝層4、下部クラッド層5、発光部2、上部クラッド層6、歪調整層3が順次積層された素子構造を有している。なお、本実施形態では、緩衝層4、下部クラッド層5、発光部2、上部クラッド層6及び歪調整層3を合わせて、エピタキシャル成長層という場合がある。
一方、700nm以上の長波長領域の光を利用すると、植物の育成を抑制する反応が起こる為、長波長域の光量は少ない方が望ましい。従って、効率的に植物育成する為には、光合成反応に対して最適な655〜675nmの波長領域の光が強く、700nm以上の超波長領域の光を含まない赤色光源が最も好ましい。
また、歪発光層7の発光波長700nmにおける発光強度が、上記ピーク発光波長における発光強度の10%未満であることが好ましい。このような特性の歪発光層7を有するエピウェーハ10を用いて作製された発光ダイオードは、植物育成の光合成の促進に使用する照明として好適に用いることができる。また、歪発光層7の構成は、上記特性を充足するように組成、層厚、層数を選択することができる。
次に、図5(2)に示すように、エピウェーハ10をGaAs基板2が上側となるように、すなわちエピタキシャル成長層を下側となるように平坦面に載置する。このとき、エピウェーハ10は下向きに凸となっている。そして、このエピウェーハ10の中央部分の平坦面と接している部分の高さ(すなわち、エピウェーハ10の厚さ)Bを測定する。
最後に、高さAの値から高さBの値を差し引いた値を算出する。この値が、本実施形態におけるエピウェーハ10の反り量と定義される
図6に示すように、歪調整層3の格子定数は、基準となるGaAs基板1の格子定数より小さい側にある。この状態を−(マイナス)歪とする。これに対して、発光部2における歪発光層7の格子定数は、基準となるGaAs基板1の格子定数よりも大きい側にある。これを+(プラス)歪とする。本発明は、歪調整層3に起因する−歪の存在が、長波長化するために歪発光層7に導入が必要な+歪のバラツキを小さくする効果があることを見出した。上述したように、歪発光層7の発光波長は、歪発光層7の層厚、組成及び歪量によって決定される。このように、歪発光層7の発光波長に影響を与える要素が多いため、各要素のばらつきの相乗効果によって波長のバラツキが大きくなりやすい傾向がある。
次に、本実施形態の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ10(エピウェーハ10)の製造方法について説明する。
本実施形態の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ10(エピウェーハ10)を素子とした場合について説明する。
図3及び図4に示すように、発光ダイオード20は、エピウェーハ10を用いて上下に電流を流す素子構造を有している。具体的には、発光ダイオード20は、歪調整層3の上面及びGaAs基板1の下面に、所望の形状に加工されたオーミック電極9A,9Bが設けられている。このオーミック電極9A,9Bとしては、公知の電極材料を用いることができる。例えば、n型電極には、AuGe等、p型電極には、AuBe等を用いることができる。
実施例1の発光ダイオードは、先ず、Siをドープしたn型のGaAs単結晶からなる半導体基板上に、エピタキシャル成長層を順次積層してエピタキシャルウェーハを作製した。GaAs基板は、(100)面から(0−1−1)方向に15°傾けた面を成長面とし、キャリア濃度を2×1018cm−3とした。エピタキシャル成長層とは、Siをドープしたn型のGaAsからなる緩衝層、Siをドープしたn型の(Al0.5Ga0.5)0.5In0.5Pからなる低抵抗層、Siをドープしたn型のAl0.5In0.5Pからなる下部クラッド層、アンドープのGa0.44In0.56P/(Al0.53Ga0.47)0.5In0.5Pの対からなる歪発光層/バリア層、Mgをドープしたp型のAl0.5In0.5Pからなる上部クラッド層、(Al0.6Ga0.4)0.5In0.5Pからなる薄膜の中間層、Mgドープしたp型GaPからなる歪調整層である。
次に、GaAs基板の裏面に、AuGe、Ni合金を0.5μm、Auを1μmとなるように真空蒸着法を用いてn形オーミック電極を形成した。
実施例2の発光ダイオードは、実施例1の発光ダイオードにおける歪発光層及びバリア層の構成だけを変更したものである。ここで、実施例2の発光ダイオードは、上記実施例1における歪発光層をアンドープで層厚が約10nmのGa0.42In0.58Pに変更し、上記実施例1におけるバリア層をアンドープで層厚が約30nmの(Al0.53Ga0.47)0.5In0.5Pに変更し、歪発光層とバリア層とを交互に20対積層した。
実施例3の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、実施例3の発光ダイオードは、上記実施例2における歪発光層をアンドープで層厚が約15nmのGa0.41In0.59Pに変更した。
実施例4の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、実施例4の発光ダイオードは、上記実施例2における井戸層をアンドープで層厚が約25nmのGa0.45In0.55Pに変更した。
実施例5の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、実施例5の発光ダイオードは、上記実施例2における歪発光層をアンドープで層厚が約10nmのGa0.39In0.61Pに変更した。
比較例1の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける表面層を歪のない層に変更したものである。ここで、比較例1の発光ダイオードは、上記実施例2における歪調整層を(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層に変更した。
比較例2の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、比較例2の発光ダイオードは、上記実施例1における歪発光層をアンドープで層厚が約5nmのGa0.38In0.62Pに変更した。
比較例3の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、比較例3の発光ダイオードは、上記実施例2における歪発光層の組成をGa0.37In0.63Pに変更した。
比較例4の発光ダイオードは、実施例1の発光ダイオードにおける歪発光層の構成だけを変更したものである。ここで、比較例4の発光ダイオードは、上記実施例1における歪発光層の組成をGa0.48In0.52Pに変更した。
比較例5の発光ダイオードは、実施例2の発光ダイオードにおける歪発光層及びバリア層の構成だけを変更したものである。ここで、比較例5の発光ダイオードは、上記実施例2における歪発光層をアンドープで層厚が約30nmのGa0.44In0.56Pに変更し、上記実施例1におけるバリア層をアンドープで層厚が約30nmの(Al0.53Ga0.47)0.5In0.5Pに変更し、歪発光層とバリア層とを交互に12対積層した。
比較例6の発光ダイオードは、従来技術である液相エピタキシャル法で形成した。GaAs基板にAl0.35Ga0.65As発光層とし、上下クラッド層をAl0.7Ga0.3Asとするダブルヘテロ構造の発光部を有する発光ダイオードに変更したものである。
2・・・発光部
3・・・歪調整層
4・・・緩衝層
5・・・下部クラッド層
6・・・上部クラッド層
7・・・歪発光層
8・・・バリア層
9A,9B・・・オーミック電極
10・・・発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ(エピウェーハ)
20・・・発光ダイオード
Claims (15)
- GaAs基板と、前記GaAs基板上に設けられたpn接合型の発光部と、前記発光部上に設けられた歪調整層とを備え、
前記発光部は、組成式(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦0.1、0.37≦Y≦0.46)からなる歪発光層を有し、
前記歪調整層は、発光波長に対して透明であると共に前記GaAs基板の格子定数よりも小さい格子定数を有することを特徴とする発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。 - 前記歪発光層の組成式が、GaXIn1−XP(0.37≦X≦0.46)であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記歪発光層の厚さが、8〜30nmの範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記歪調整層の組成式が、(AlXGa1−X)YIn1−YP(0≦X≦1、0.6≦Y≦1)であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記歪調整層の組成式が、AlXGa1−XAs1−YPY(0≦X≦1、0.6≦Y≦1)であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記歪調整層が、GaPであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記歪調整層の厚さが、0.5〜20μmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記発光部は、前記歪発光層とバリア層との積層構造を有しており、
前記歪発光層が8〜40層含まれていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。 - 前記バリア層の組成式が、(AlXGa1-X)YIn1−YP(0.3≦X≦0.7、0.49≦Y≦0.52)であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記発光部の上面及び下面の一方又は両方にクラッド層を備え、
前記クラッド層の組成式が(AlXGa1-X)YIn1−YP(0.5≦X≦1、0.48≦Y≦0.52)であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。 - 前記GaAs基板の面方位の範囲が、(100)方向から(0−1−1)方向に15°オフ±5°であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 前記GaAs基板の直径が、75mm以上であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 反り量が、200μm以下であることを特徴とする請求項12に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
- 植物育成の光合成の促進に使用する発光ダイオード用エピタキシャルウェーハであって、
前記歪発光層のピーク発光波長が、655〜675nmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。 - 前記歪発光層の発光波長700nmにおける発光強度が、前記ピーク発光波長における発光強度の10%未満であることを特徴とする請求項14に記載の発光ダイオード用エピタキシャルウェーハ。
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