JP2010202420A - クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 - Google Patents
クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010202420A JP2010202420A JP2009046494A JP2009046494A JP2010202420A JP 2010202420 A JP2010202420 A JP 2010202420A JP 2009046494 A JP2009046494 A JP 2009046494A JP 2009046494 A JP2009046494 A JP 2009046494A JP 2010202420 A JP2010202420 A JP 2010202420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chlorosilanes
- closed system
- gas
- replacement
- closed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
【解決手段】 クロロシラン類を使用し且つ外気から遮断されたクローズト系の運転開始前に当該クローズド系内へクロロシラン類を充填するに当たり、クローズド系内を乾燥した不活性ガスで加圧置換する。加圧置換操作完了から1時間以上経過した時点の系内ガスの露点が−20℃以下であることを確認した後に、クローズド系内へのクロロシラン類の充填を開始する。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- クロロシラン類を使用し且つ外気から遮断されたクローズド系の運転開始前に当該クローズド系内へクロロシラン類を充填するに当たり、クローズド系内を不活性ガスで加圧置換し、その加圧置換から1時間以上経過した時点の系内ガスの露点が−20℃以下であることを確認した後に、クローズド系内へのクロロシラン類の充填を開始することを特徴とするクロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法。
- 請求項1に記載のクローズド系の洗浄方法において、クローズド系が多結晶シリコン製造系であるクローズド系の洗浄方法。
- 請求項1又は2に記載の洗浄方法において、運転停止中に大気開放された箇所にのみ不活性ガス置換を行い、クロロシラン類の再充填を行うクローズド系の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009046494A JP5403658B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009046494A JP5403658B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010202420A true JP2010202420A (ja) | 2010-09-16 |
JP5403658B2 JP5403658B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=42964300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009046494A Expired - Fee Related JP5403658B2 (ja) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5403658B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193941A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Osaka Titanium Technologies Co Ltd | クロロシラン類の製造方法及び製造装置 |
JP2020164348A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 高純度多結晶シリコンの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002241120A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン製造用反応炉及び多結晶シリコン製造方法 |
JP2003095635A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン製造装置 |
JP2003306321A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン及びその製造方法 |
JP2008143774A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-06-26 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造方法および多結晶シリコン製造設備 |
-
2009
- 2009-02-27 JP JP2009046494A patent/JP5403658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002241120A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン製造用反応炉及び多結晶シリコン製造方法 |
JP2003095635A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン製造装置 |
JP2003306321A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Sumitomo Titanium Corp | 多結晶シリコン及びその製造方法 |
JP2008143774A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-06-26 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造方法および多結晶シリコン製造設備 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193941A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Osaka Titanium Technologies Co Ltd | クロロシラン類の製造方法及び製造装置 |
JP2020164348A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 高純度多結晶シリコンの製造方法 |
JP7165304B2 (ja) | 2019-03-28 | 2022-11-04 | 三菱マテリアル株式会社 | 高純度多結晶シリコンの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5403658B2 (ja) | 2014-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4576312B2 (ja) | 四フッ化ケイ素の製造方法、及びそれに用いる製造装置 | |
JP6169668B2 (ja) | フッ素供給方法 | |
JPWO2011162023A1 (ja) | ガス処理システム | |
CN101628710B (zh) | 含氯硅烷的氯化氢气体生产高纯度浓盐酸的方法 | |
US20180078976A1 (en) | Chamber cleaning method using f2 and a process for manufacture of f2 for this method | |
JPH0929002A (ja) | ガス回収装置 | |
US11242253B2 (en) | Method for producing polycrystalline silicon | |
JP5403658B2 (ja) | クロロシラン類を使用するクローズド系の洗浄方法 | |
CN1668780A (zh) | 生产氟的设备和方法 | |
WO2013145955A1 (ja) | フッ素ガスの製造方法とその装置 | |
KR20090051203A (ko) | 육불화황 재순환 시스템 및 육불화황 재순환 방법 | |
JP6446163B2 (ja) | 多結晶シリコンの製造方法 | |
JP2016521238A (ja) | シーメンス炉用のガス分配器 | |
US11260433B2 (en) | Cleaning method of substrate processing apparatus and substrate processing apparatus | |
JP4230169B2 (ja) | フッ素の発生方法 | |
US20170001869A1 (en) | Method for producing polycrystalline silicon | |
CN202078767U (zh) | 多晶硅生产系统和废气回收利用装置 | |
CN211056728U (zh) | 还原尾气的无定形硅处理系统 | |
JP5402605B2 (ja) | フッ素ガス生成装置 | |
CN103632952B (zh) | 多层复合膜中悬空台阶的消除方法 | |
JP4854323B2 (ja) | 高純度硫酸の製造方法 | |
JPH0930803A (ja) | 高純度硫酸の製造方法 | |
KR20210013786A (ko) | 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 초고순도 불화수소로 정제하는 시스템 | |
EP2555850B1 (en) | Method for the manufacture of electronic devices with purified fluorine | |
JPH05253578A (ja) | フッ素含有水の処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5403658 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |