JP2010197387A - カーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法は、第一電極と、第二電極と、カーボンナノチューブアレイと、少なくとも1つの第一導電金属層と、少なくとも1つの第二導電金属層と、を備える。カーボンナノチューブアレイは、第一電極と第二電極の間に配置されていて、且つカーボンナノチューブアレイの第一端部が少なくとも1つの第一導電金属層を通じて第一電極に電気的に接続され、カーボンナノチューブアレイの第二端部が少なくとも1つの第二導電金属層を通じて第二電極に電気的に接続される。カーボンナノチューブアレイの第一端部と第二端部に、それぞれ第一金属親和性膜と第二金属親和性膜が形成されていて、第一金属親和性膜が第一導電金属層に接触し、第二金属親和性膜が第二導電金属層に接触する。
【選択図】図1
Description
図1を参照すると、本実施形態のカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー10は、第一電極11と、第二電極12と、カーボンナノチューブアレイ13と、第一導電金属層14と、第二導電金属層15と、を備える。前記第一電極11と第二電極12は、所定の距離により互いに対向して配置される。前記第一導電金属層14は、前記第一電極11の前記第二電極12に対向する表面に配置される。前記第二導電金属層15は、前記第二電極12の前記第一電極11に対向する表面に配置される。前記カーボンナノチューブアレイ13は、前記第一導電金属層14と前記第二導電金属層15の間に配置されている。
図4を参照すると、本実施形態のカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー20は、第一電極21と、第二電極22と、カーボンナノチューブアレイ23と、複数の第一導電金属層24と、複数の第二導電金属層25と、を備える。前記第一電極21と第二電極22は、互いに対向して配置される。前記第一導電金属層24、カーボンナノチューブアレイ23、第二導電金属層15は、前記第一電極21と第二電極22の間に配置されている。
11、21 第一電極
12、22 第二電極
14、24 第一導電金属層
136、236 第一金属親和性膜
138、238 第二金属親和性膜
13、23 カーボンナノチューブアレイ
130、230 カーボンナノチューブ
15、25 第二導電金属層
16、26 スペーサー
134、234 第二端部
132、232 第一端部
Claims (3)
- 第一電極と、第二電極と、カーボンナノチューブアレイと、少なくとも1つの第一導電金属層と、少なくとも1つの第二導電金属層と、を備えるカーボンナノチューブアレイを利用したセンサーであって、
前記カーボンナノチューブアレイは、複数のカーボンナノチューブを含み、前記カーボンナノチューブアレイが、前記カーボンナノチューブの縦軸方向に沿って対向する第一端部と第二端部を含み、
前記カーボンナノチューブアレイは、第一電極と第二電極の間に配置されていて、且つ前記カーボンナノチューブアレイの第一端部が前記少なくとも1つの第一導電金属層を通じて前記第一電極に電気的に接続され、前記カーボンナノチューブアレイの第二端部が前記少なくとも1つの第二導電金属層を通じて前記第二電極に電気的に接続され、
さらに、前記カーボンナノチューブアレイの第一端部と第二端部に、それぞれ第一金属親和性膜と第二金属親和性膜が形成されていて、前記第一金属親和性膜が前記第一導電金属層に接触し、前記第二金属親和性膜が前記第二導電金属層に接触することを特徴とするカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー。 - 前記第一導電金属層の融点が前記第一電極の融点より低く、前記第二導電金属層の融点が前記第二電極の融点より低いことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブアレイを利用したセンサー。
- 縦軸方向に沿って対向した第一端部と第二端部を含む複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイを提供する第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイの各々のカーボンナノチューブの第一端部にそれぞれ第一金属親和性膜を形成する第二ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイの第一金属親和性膜が形成された第一端部に少なくとも1つの第一導電金属層と第一電極を形成する第三ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイの各々のカーボンナノチューブの第二端部にそれぞれ第二金属親和性膜を形成する第四ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイの第二金属親和性膜が形成された第一端部に少なくとも1つの第二導電金属層と第二電極を形成する第五ステップと、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブアレイを利用したセンサーの製造方法。
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