JPWO2017047041A1 - 化学物質濃縮器および化学物質検出装置 - Google Patents

化学物質濃縮器および化学物質検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2017047041A1
JPWO2017047041A1 JP2017540487A JP2017540487A JPWO2017047041A1 JP WO2017047041 A1 JPWO2017047041 A1 JP WO2017047041A1 JP 2017540487 A JP2017540487 A JP 2017540487A JP 2017540487 A JP2017540487 A JP 2017540487A JP WO2017047041 A1 JPWO2017047041 A1 JP WO2017047041A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical substance
adsorbent
electrode
concentrator according
substance concentrator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017540487A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6750628B2 (ja
Inventor
厚夫 中尾
厚夫 中尾
陽介 花井
陽介 花井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Publication of JPWO2017047041A1 publication Critical patent/JPWO2017047041A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6750628B2 publication Critical patent/JP6750628B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/40—Concentrating samples
    • G01N1/405—Concentrating samples by adsorption or absorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
    • B01D53/0438—Cooling or heating systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B01J20/06—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising oxides or hydroxides of metals not provided for in group B01J20/04
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
    • B01J20/20—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising free carbon; comprising carbon obtained by carbonising processes
    • B01J20/205—Carbon nanostructures, e.g. nanotubes, nanohorns, nanocones, nanoballs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28002—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
    • B01J20/28004—Sorbent size or size distribution, e.g. particle size
    • B01J20/28007—Sorbent size or size distribution, e.g. particle size with size in the range 1-100 nanometers, e.g. nanosized particles, nanofibers, nanotubes, nanowires or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28002—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
    • B01J20/28011—Other properties, e.g. density, crush strength
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/30—Processes for preparing, regenerating, or reactivating
    • B01J20/32—Impregnating or coating ; Solid sorbent compositions obtained from processes involving impregnating or coating
    • B01J20/3231—Impregnating or coating ; Solid sorbent compositions obtained from processes involving impregnating or coating characterised by the coating or impregnating layer
    • B01J20/3234—Inorganic material layers
    • B01J20/3236—Inorganic material layers containing metal, other than zeolites, e.g. oxides, hydroxides, sulphides or salts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/30—Processes for preparing, regenerating, or reactivating
    • B01J20/32—Impregnating or coating ; Solid sorbent compositions obtained from processes involving impregnating or coating
    • B01J20/3291—Characterised by the shape of the carrier, the coating or the obtained coated product
    • B01J20/3293—Coatings on a core, the core being particle or fiber shaped, e.g. encapsulated particles, coated fibers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
    • G01N1/2214—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling by sorption
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G01N33/0019—Sample conditioning by preconcentration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10—Inorganic adsorbents
    • B01D2253/102—Carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10—Inorganic adsorbents
    • B01D2253/112—Metals or metal compounds not provided for in B01D2253/104 or B01D2253/106
    • B01D2253/1124—Metal oxides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/25—Coated, impregnated or composite adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
    • B01D2253/302—Dimensions
    • B01D2253/304—Linear dimensions, e.g. particle shape, diameter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/06—Polluted air
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N2001/2282—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with cooling means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

本開示に係る化学物質濃縮器は、化学物質を含む気体試料が流れる流路（１１）と、流路（１１）の第一の内壁に設けられる第一の電極（１２）と、第一の電極（１２）と離間して第一の内壁に設けられる第二の電極（１３）と、第一の電極（１２）、第二の電極（１３）、および前記第一の内壁のそれぞれに接触して設けられる導電性の吸着材（１４）とを備える。

Description

本開示は、気体中の化学物質を分析および検出する技術に関する。
気体中の化学物質を分析する技術は、例えば、特許文献１と特許文献２に開示されている。特許文献１は、電力機器内部ガス中の有機物質を分析する装置を開示している。この装置では、トラップの温度を一定に保持しながら配管にガスを通過させ、ガス中の有機物質を吸着材に吸着させた後、トラップを加熱して、吸着した有機物質を検出器に導入する。また特許文献２は、分析物を吸着する能力と濃縮された分析物を脱着する能力を持つ吸着材物質を用いた、極微量の分析物の検出装置を開示している。
特開２００１−２９６２１８号公報 特表２００２−５１８６６８号公報
本開示に係る化学物質濃縮器は、化学物質を含む気体試料が流れる流路と、流路の第一の内壁に設けられる第一の電極と、第一の電極と離間するように第一の内壁に設けられる第二の電極と、第一の電極、第二の電極および第一の内壁のそれぞれに接触して設けられる導電性の吸着材と、を備える。
また、本開示に係る化学物質検出装置は、化学物質濃縮器と、化学物質濃縮器によって濃縮された化学物質を検出する検出部とを備え、化学物質濃縮器は、化学物質を含む気体試料が流れる流路と、流路の第一の内壁に設けられる第一の電極と、第一の電極と離間するように第一の内壁に設けられる第二の電極と、第一の電極、第二の電極および第一の内壁のそれぞれに接触して設けられる導電性の吸着材と、を備える。
本開示に係る化学物質濃縮器および化学物質検出装置は、吸着した化学物質を、効率よく脱離することができる。
図１は、本実施の形態における化学物質濃縮器を模式的に示す斜視図である。 図２は、本実施の形態における化学物質濃縮器を模式的に示す断面図である。 図３は、本実施の形態における化学物質濃縮器の別の例を示す断面図である。 図４は、本実施の形態における化学物質濃縮器の別の例を示す断面図である。 図５は、本実施の形態における吸着材の配置例を示す上面図である。 図６は、本実施の形態における吸着材の別の配置例を示す上面図である。 図７は、本実施の形態における吸着材の別の配置例を示す上面図である。 図８は、本実施の形態における化学物質検出装置を模式的に示す上面斜視図である。
上述したような従来の構成によると、吸着した化学物質を検出器へ導入する際、外部ヒーターのような外付けの加熱手段を用いる必要がある。もし加熱手段を用いずに化学物質を脱離させる場合には、脱離が不十分となる。
しかしながら、外部ヒーターを用いて吸着材を加熱する際、外部ヒーターが発する熱の一部は、周囲に拡散してしまい吸着材に伝わらない。つまり、外部ヒーターを用いる従来の構成は、外部ヒーターの熱損失が大きいため、効率よく吸着材を加熱することができない。吸着材の加熱効率は、吸着した物質の脱離のしやすさに影響する。
このように、従来の構成は、吸着した化学物質を効率よく脱離できないという課題がある。
以下では、本開示の実施の形態に係る化学物質濃縮器および化学物質検出装置について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態などは、一例であり、本開示を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構造については同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化している。
（実施の形態）
本開示の一態様にかかる化学物質濃縮器および化学物質検出装置について、図１および図２を参照して説明する。
図１は、化学物質濃縮器２０を模式的に示す上面斜視図である。図２は、図１における化学物質濃縮器２０の２−２断面を模式的に示す断面図である。
化学物質濃縮器２０は、流入される気体試料に含まれる化学物質の濃縮を行う。化学物質濃縮器２０で濃縮された化学物質は、例えば、化学物質濃縮器２０の下流に設けられる検出部２１で検出される。
気体試料としては、例えば、ヒトや動物の呼気、車や工場の排気ガス等がある。化学物質としては、例えば、ケトン類、アミン類、アルコール類、芳香族炭化水素類、アルデヒド類、エステル類、有機酸、硫化水素、メチルメルカプタン、ジスルフィドなどの揮発性有機化合物がある。
化学物質濃縮器２０は、化学物質を含む気体試料が流れる流路１１と、流路１１の第一の内壁１１１Ａに設けられる第一の電極１２と、第一の電極１２と離間するように第一の内壁１１１Ａに設けられる第二の電極１３と、第一の電極および第二の電極に接触するように第一の内壁１１１Ａに設けられる吸着材１４と、吸着材１４を冷却する冷却部１５とを有する。
流路１１は、例えば、溝が設けられた下基板１１１と上基板１１２とで形成される。流路１１に面する第一の内壁１１１Ａは、下基板１１１に形成された溝の底面である。第２の内壁１１１Ｂは溝の一方の側面である。第３の内壁１１１Ｃは溝の他方の側面である。第４の内壁１１２Ａは溝の上端を塞ぐ上基板１１２の下面である。なお、流路１１は、流路１１の延伸方向に沿った第１の内壁１１１Ａ、第２の内壁１１１Ｂ、第３の内壁１１１Ｃ、第４の内壁１１２Ａで囲まれた四角柱形状であるが、さらなる内壁面を加えた多角柱形状としてもよい。下基板１１１および上基板１１２は、例えば、樹脂や金属等からなる基板である。
第一の電極１２は、流路１１内の第一の内壁１１１Ａに設けられる。第一の電極１２の材料は、例えば、金、銅、白金、カーボン等が用いられる。
第二の電極１３は、流路１１内の第一の内壁１１１Ａに設けられる。第二の電極１３の材料は、例えば、金、銅、白金、カーボン等が用いられる。第一の電極１２と第二の電極１３とは、同じ材料としてもよい。
第一の電極１２と第二の電極１３とは、流路１１内の同一面上に設けられる。第二の電極１３は、第一の電極１２は、直接接触しないように離間して配置される。また、第一の電極１２と第二の電極１３とは、気体試料の流れる方向に沿って並ぶように配置されている。
なお、第一の電極１２および第二の電極１３は、気体試料の流れに対して垂直な方向に並ぶように配置されていてもよい。
吸着材１４は、気体試料に含まれる化学物質を吸着する。
吸着材１４は、流路１１内の第一の内壁１１１Ａに設けられる。また、吸着材１４は、第一の電極１２および第二の電極１３と接触するように配置される。吸着材１４は、第一の電極１２と第二の電極１３の間において第一の内壁１１１Ａと連続的に接触している。
吸着材１４は、導電性を有するナノワイヤ１４１の集合体である。つまり、吸着材１４は、導電性を有する複数のナノワイヤ１４１の群として構成される。ナノワイヤ１４１は、例えば、導電性の金属酸化物で形成される。ナノワイヤの間には、空隙１４３が設けられている。気体試料に含まれる化学物質は、空隙１４３を通過する間に、ナノワイヤ１４１に吸着する。
導電性を有するナノワイヤ１４１としては、例えば、ＳｎＯ２，ＺｎＯ，Ｉｎ２Ｏ３，Ｉｎ２−ｘＳｎｘＯ３（例えば、０．１≦ｘ≦０．２），ＮｉＯ，ＣｕＯ，ＴｉＯ２，ＳｉＯ２などの金属酸化物、Ａｌ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔなどの金属、カーボン、または、シリコンなどの材料を用いればよい。カーボンからなるナノワイヤとしては、例えばカーボンナノチューブを用いてもよい。すなわち、吸着材１４は、導電性があり、かつ、ジュール効果による自己加熱が効果的に生じる程度の抵抗値を有している材料であればよい。
また、ナノワイヤ１４１は、表面が導電性の金属酸化物で覆われた樹脂等からなるワイヤでもよい。このように、導電性の金属酸化物で被覆することにより、吸着材１４は導電性を有する。
また、吸着材１４を形成するナノワイヤ１４１は、第一の内壁１１１Ａ側の根元の部分で隣接するナノワイヤ１４１と接合している。なお、接合する場所は、例えば、ナノワイヤ１４１の先端や中間部で、隣のナノワイヤ１４１と接合していてもよく、ナノワイヤ１４１の根元の部分と先端部や中間部の組合せにより隣のナノワイヤ１４１と接合してもよい。
このようにナノワイヤ１４１同士が接合していることにより、吸着材１４は、全体として電気伝導性を有する。第一の電極１２と第二の電極１３とは、吸着材１４を介して電気的に接続している。
第一の電極１２と第二の電極１３を用いて吸着材１４に電流を流すことにより、吸着材１４はジュール熱を発する。吸着材１４は、ジュール熱により自己加熱を生じる。吸着材１４に吸着した化学物質は、吸着材１４の発する熱により、吸着材１４より脱離する。導電性の吸着材１４は、化学物質を吸着する役割と同時に、加熱手段としての役割を有している。
吸着材１４が加熱手段としての役割を有することにより、化学物質濃縮器２０は、消費電力の大きい外部ヒーターを用いずに、吸着された化学物質を脱離させることができる。
吸着材１４が発する熱は、直接、吸着材１４に吸着した化学物質の脱離に利用される。つまり、化学物質濃縮器２０は、外部ヒーターを用いるデバイスに比べて、熱効率が良い。
一般的に、外部ヒーターを用いる場合、外部ヒーターが発する熱は、周囲に拡散するため、効率よく吸着材１４に伝わらない。また、熱効率が悪いと、吸着材１４を加熱するために余分な電力が必要となる。そのため、デバイスの消費電力が大きくなるという課題がある。
本実施の形態にかかる、化学物質濃縮器２０は、吸着材１４が発する熱を化学物質の脱離に用いるため、吸着材１４の加熱に対する熱損失が小さい。したがって、化学物質濃縮器２０は、効率よく化学物質を濃縮することができる。
また、外部ヒーターを用いる場合、数十〜数百ｍＷ程度の電力が必要である。また、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術において、例えばＰｔ線抵抗加熱ヒーターを用いる場合、数ｍＷ以上の消費電力が必要になる。一方、本実施の形態にかかる化学物質濃縮器２０では、例えば、１０μＷ以下の電力で、化学物質を脱離させることができる。
したがって、化学物質濃縮器２０は、低消費電力で化学物質の濃縮を行うことができる。さらに、外部ヒーターを用いる必要がないため、化学物質濃縮器２０を小型化することができる。
第一の電極１２および第二の電極１３には、吸着材１４に電流を供給する電流供給部２２が接続されている。また、吸着材１４に流れる電流を制御する制御部２３が、電流供給部２２に接続されている。
冷却部１５は、吸着材１４を冷却する。吸着材１４は、冷却されることにより、化学物質をより効率よく吸着できる。
冷却部１５は、下基板１１１の第一の内壁１１１Ａに背向する面に設けられる。冷却部１５は、例えば、ペルチェ素子等である。このとき、冷却部１５に接続される制御部２３は、吸着材１４の冷却を制御する。
なお、冷却部１５は、吸着材１４を冷却することができれば、どこに設けられていてもよい。例えば、冷却部１５は、流路１１の内部に設けられていてもよい。また、冷却部１５は、第一の電極１２または第二の電極１３上に設けてもよい。各電極は、熱伝導の良い金属であるため効率良く吸着材１４を冷却することができる。冷却部１５を第一の電極１２上に設ける場合は、冷却部１５と第一の電極１２の間に絶縁層を設けてもよい。同様に、冷却部１５を第二の電極１３上に設ける場合は、冷却部１５と第二の電極１３の間に絶縁層を設けてもよい。
また、吸着材１４に対して化学物質が十分吸着する場合、冷却部１５を設けなくてもよい。
本実施の形態において吸着材１４としてナノワイヤ１４１を用いた理由は、吸着材１４の比表面積が大きく、高い濃縮（吸着）効率を得られるためである。また、ナノワイヤ１４１は、熱容量が非常に小さいため、低消費電力で大きな温度変化が生じるからである。
なお、吸着材１４は、ナノワイヤ１４１に限られない。吸着材１４は、図３の化学物質濃縮器２０Ａに示すように、気体試料が通過できる空隙１４３を有する多孔質体１４２であってもよい。多孔質体１４２は、導電性を有する金属酸化物などといったナノワイヤ１４１と同じ材料で構成される。なお、多孔質体１４２は、多数の空隙１４３がランダムに配置された構造である。したがって、第一の電極１２と第二の電極１３の間の導電経路は、第一の内壁１１１Ａと接触する部分で形成される導電経路の他にも多くの導電経路を有する。多孔質体１４２は、多くの導電経路を有するので、加熱時における多孔質体１４２の場所による温度ばらつきが小さい。
また、多孔質体１４２は、カーボンや樹脂で形成した多孔質の構造体の表面を導電性の金属酸化物等で被覆したものでもよい。化学物質が吸着する多孔質体１４２の表面を加熱する構造となるため、効率よく化学物質を脱離させることができる。また、導電性の材料を被覆した多孔質体１４２とすることにより、多孔質体１４２が有する導電性の材料の体積は、小さくなる。これにより、多孔質体１４２は、ジュール効果による自己加熱で消費する電力を抑えることができる。
図４は、化学物質濃縮器２０の別の例を模式的に示す断面図である。
化学物質濃縮器２０Ｂは、流路１１の第一の内壁１１１Ａにおける吸着材１４と接触する表面の層に、断熱層１６を有する。断熱層１６は、吸着材１４で生じる熱が下基板１１１を介して外部に逃げることを抑制することができる。断熱層１６は、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネートなどの樹脂材料が用いられる。また、断熱層１６は、例えば、ＺｒＯ２、Ａｌ２ＴｉＯ５などの金属酸化物材料、ガラス材料、または、シリカエアロゲル、発泡性ポリマーなどの多孔質材料が用いられてもよい。
さらに、吸着材１４は、上基板１１２との間に隙間を有する。吸着材１４と上基板１１２との間に隙間を設けることにより、吸着材１４で生じる熱が上基板１１２に逃げることを抑制することができる。
なお、吸着材１４は、上基板１１２と接触していてもよい。このとき、吸着材１４と接触する上基板１１２の表面の層にも断熱層が形成されてもよい。これにより、吸着材１４と上基板１１２とが接触していても、吸着材１４で生じる熱が上基板１１２に逃げることを抑制することができる。
図５は、吸着材１４の配置例を模式的に示す図である。
化学物質濃縮器２０Ｃは、複数の流路１１ａ、１１ｂ、１１ｃを有する。複数の流路１１ａ、１１ｂ、１１ｃのそれぞれの内部に吸着材１４ａ、１４ｂ、１４ｃが配置されている。吸着材１４ａには、第一の電極１２ａおよび第二の電極１３ａが接続されている。吸着材１４ｂには、第一の電極１２ｂおよび第二の電極１３ｂが接続されている。吸着材１４ｃには、第一の電極１２ｃおよび第二の電極１３ｃが接続されている。
図６は、吸着材１４の別の配置例を模式的に示す図である。
化学物質濃縮器２０Ｄは、複数の吸着材１４ｄ、１４ｅ、１４ｆ、１４ｇを有する。複数の吸着材１４ｄ〜１４ｇは、それぞれ第一の電極１２ｄ〜１２ｇおよび第二の電極１３ｄ〜１３ｇに接続されている。
つまり、吸着材１４ｄ〜１４ｇは、一つの流路１１内において互いに分かれて配置されている。吸着材１４ｄ〜１４ｇは、気体試料の流れる方向に沿って並んで配置されている。
図７は、吸着材１４のさらに別の配置例を模式的に示す図である。
化学物質濃縮器２０Ｅは、複数の吸着材１４ｈ、１４ｉ、１４ｊを有する。複数の吸着材１４ｈ〜１４ｊは、それぞれ第一の電極１２ｈ〜１２ｊおよび第二の電極１３ｈ〜１３ｊに接続されている。
つまり、吸着材１４ｈ〜１４ｊは、一つの流路１１内において互いに分かれて配置されている。吸着材１４ｈ〜１４ｊは、気体試料の流れる方向に対して垂直な方向に並んで配置されている。
吸着材１４ａ〜１４ｊに接続される第一の電極１２ａ〜１２ｊおよび第二の電極１３ａ〜１３ｊは、それぞれ、電流供給部２２に電気的に接続されている。電流供給部２２は、吸着材１４ａ〜１４ｊのそれぞれに接続された第一の電極１２ａ〜１２ｊおよび前記第二の電極１３ａ〜１３ｊに対して選択的に電流を供給することができる。
ここで、図６に示すように、複数の吸着材１４ｄ〜１４ｇが互いに分かれて一つの流路１１内に設けられている場合には、複数の吸着材１４ｄ〜１４ｇが、互いに異なる材料または互いに異なる表面の修飾状態であってもよい。これにより、それぞれの吸着材１４ｄ〜１４ｇは、異なる化学物質を吸着することができる。したがって、化学物質濃縮器２０Ｄは、気体試料に含まれる化学物質を選択的に、吸着し濃縮することができる。また、図７に示すように、複数の吸着材１４ｈ〜１４ｊが互いに分かれて一つの流路１１内に設けられている場合には、複数の吸着材１４ｈ〜１４ｊが、互いに異なる材料または互いに異なる表面の修飾状態であってもよい。これにより、それぞれの吸着材ブロック１４ｈ〜１４ｊは、異なる化学物質を吸着することができる。したがって、化学物質濃縮器２０Ｅは、気体試料に含まれる化学物質を選択的に、吸着し濃縮することができる。
例えば、化学物質は、同じ極性を有するものに対して吸着しやすいという特徴を有する。したがって、高極性分子の化学物質は、高極性の表面を有する吸着材１４に吸着しやすい。また、無極性分子の化学物質は、無極性の表面を有する吸着材１４に吸着しやすい。このように、吸着材１４は、材料によって、化学物質の吸着し易さが異なる。
材料や表面修飾等により吸着材１４の性質を変えることで、化学物質濃縮器２０Ｃは、複数の化学物質を複数の吸着材１４ａ〜１４ｃに分けて選択的に吸着させることができる。化学物質濃縮器２０Ｄは、複数の化学物質を複数の吸着材１４ｄ〜１４ｇに分けて選択的に吸着させることができる。化学物質濃縮器２０Ｅは、複数の化学物質を複数の吸着材１４ｈ〜１４ｊに分けて選択的に吸着させることができる。
複数の吸着材１４ａ〜１４ｃが互いに分かれて設けられている化学物質濃縮器２０Ｃでは、吸着材１４ａ〜１４ｃに電流を供給する電流供給部２２は、各吸着材１４ａ〜１４ｃに設けられた第一の電極１２ａ〜１２ｃおよび第二の電極１３ａ〜１３ｃに対して、選択的に電流を供給してもよい。同様に、化学物質濃縮器２０Ｄでは、吸着材１４ｄ〜１４ｇに電流を供給する電流供給部２２は、各吸着材１４ｄ〜１４ｇに設けられた第一の電極１２ｄ〜１２ｇおよび第二の電極１３ｄ〜１３ｇに対して、選択的に電流を供給してもよい。同様に、化学物質濃縮器２０Ｅでは、吸着材１４ｈ〜１４ｊに電流を供給する電流供給部２２は、各吸着材１４ｈ〜１４ｊに設けられた第一の電極１２ｈ〜１２ｊおよび第二の電極１３ｈ〜１３ｊに対して、選択的に電流を供給してもよい。
これにより、各吸着材１４ａ〜１４ｃ、１４ｄ〜１４ｇ、１４ｈ〜１４ｊに吸着した化学物質を脱離するタイミングを、吸着材毎に制御することができる。したがって、化学物質濃縮器２０Ｃ〜Ｅは、検出対象の化学物質のみを吸着材１４ａ〜１４ｃ、１４ｄ〜１４ｇ、１４ｈ〜１４ｊから脱離させ、検出部２１に送ることが可能になる。
また、吸着材１４は、化学物質の吸着により電気抵抗が変化する。したがって、この電気抵抗の変化を検出することで化学物質を特定することができる。そして、吸着材１４に吸着された化学物質が特定される場合には、後段の検出部２１として精密な分析装置を用いる必要がない。したがって、より一層の装置の小型化を実現することができる。
なお、複数の吸着材１４ａ〜１４ｃ、１４ｄ〜１４ｇ、１４ｈ〜１４ｊに接続される第一の電極１２ａ〜１２ｃ、１２ｄ〜１２ｇ、１２ｈ〜１２ｊおよび第二の電極１３ａ〜１３ｃ、１３ｄ〜１３ｇ、１３ｈ〜１３ｊは、別々の電極でなくてもよい。例えば、１つの第一の電極１２および１つの第二の電極１３に、複数の吸着材１４ａ〜１４ｃ、１４ｄ〜１４ｇ、１４ｈ〜１４ｊを分けて接続するように配置してもよい。
図８は、本実施の形態における化学物質検出装置４０を模式的に示す上面斜視図である。気体試料は矢印の方向に流れる。
化学物質検出装置４０は、化学物質濃縮器２０の後段、つまり下流側に検出部２１を備える。検出部２１は、流路１１内に検出素子２１１を備える。
検出素子２１１は、例えば、半導体式センサ、電気化学式センサ、表面弾性波素子または電界効果トランジスタを用いたバイオセンサ、または、光学センサなどを用いることができる。
化学物質検出装置４０は、化学物質濃縮器２０で気体試料中の化学物質を濃縮し、この濃縮された化学物質を検出部２１で検出する。したがって、化学物質検出装置４０は、感度良く化学物質を検出することができる。
また、本実施の形態における化学物質濃縮器２０を用いて、化学物質を検出することもできる。
本実施の形態の化学物質濃縮器２０において、電流供給部２２は、吸着材１４に電流を流す。そのため、吸着材１４の電気抵抗をモニタリングすることが可能である。一方、吸着材１４は、化学物質が吸着することによって電気抵抗が変化すると考えられる。例えば、吸着材１４が金属酸化物によって形成されている場合、その表面に存在する酸素の量が化学物質の吸着に応じて変化する。これにより、吸着材１４の電気抵抗が変化する。あるいは、吸着材１４がシリコンなどの金属酸化物以外の材料によって形成されている場合であっても、吸着する化学物質が極性を有している場合、化学物質の吸着量に応じて電気抵抗が変化する。したがって、本実施の形態における化学物質濃縮器２０は、吸着材１４に吸着した化学物質を検出することができる。
また、化学物質濃縮器２０は、吸着材１４に吸着した化学物質の量を、吸着材１４の電気抵抗値の変化に基づいて推定する吸着量推定部を備えていてもよい。例えば、図１の電流供給部２２は、吸着材１４に流れる電流値を計測する計測部としての機能を有してもよい。また、制御部２３は、吸着量推定部として動作してもよい。
このとき、制御部２３は、予め学習した化学物質の吸着量と吸着材１４の電気抵抗の変化との関係を記憶している。そして、吸着材１４の電気抵抗の変化は、計測部で計測した吸着材１４に流れる電流値から求められる。制御部２３は、電気抵抗の変化に基づいて、予め記憶している化学物質の吸着量と電気抵抗の変化との関係を参照して、吸着材１４に吸着された化学物質の量を推定する。吸着量推定部を設けることにより、例えば、吸着した化学物質を脱離させるタイミングをより的確に制御することができる。
以上、一つまたは複数の態様に係る化学物質濃縮器および化学物質検出装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
本開示における化学物質濃縮器は、例えば、身の回りの揮発性有機化合物を検出可能な超小型化学センサを実現するのに有用である。
１１ 流路
１１１ 下基板
１１１Ａ 第一の内壁
１１２ 上基板
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈ，１２ｉ 第一の電極
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ 第二の電極
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ，１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ 吸着材
１４１ ナノワイヤ
１４２ 多孔質体
１４３ 空隙
１５ 冷却部
１６ 断熱層
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅ 化学物質濃縮器
２１ 検出部
２１１ 検出素子
２２ 電流供給部
２３ 制御部
４０ 化学物質検出装置

Claims (13)

  1. 化学物質を含む気体試料が流れる流路と、
    前記流路の第一の内壁に設けられる第一の電極と、
    前記第一の電極と離間して前記第一の内壁に設けられる第二の電極と、
    前記第一の電極、前記第二の電極、および前記第一の電極と前記第二の電極との間の前記第一の内壁のそれぞれに接触して設けられる導電性の吸着材と、を備える、
    化学物質濃縮器。
  2. 前記吸着材は導電性のナノワイヤである、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  3. 前記ナノワイヤは、金属酸化物で構成される、
    請求項２に記載の化学物質濃縮器。
  4. 前記ナノワイヤは、金属酸化物で覆われたカーボンナノチューブである、
    請求項２に記載の化学物質濃縮器。
  5. 前記吸着材は導電性の多孔質体である、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  6. 前記吸着材を冷却する冷却部と、をさらに備える、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  7. 前記第一の内壁は、前記吸着材と接する層として断熱層を備える、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  8. 前記流路は、複数の内壁により形成され、前記第一の内壁は前記複数の内壁のうちの一つである、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  9. 前記吸着材は、前記流路内に複数分かれて配置されている、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  10. 前記複数の吸着材は、材料または表面の修飾状態が、互いに異なる、
    請求項９に記載の化学物質濃縮器。
  11. 前記第一の電極および前記第二の電極は、前記複数の吸着材のそれぞれに設けられており、
    前記複数の吸着材に設けられる前記第一の電極および前記第二の電極のそれぞれに対して選択的に電流を供給する電流供給部をさらに備える、
    請求項９または１０に記載の化学物質濃縮器。
  12. 前記吸着材に流れる電流値を計測する計測部と、
    前記電流値から前記吸着材の電気抵抗値の変化を求めることにより、前記吸着材に吸着された前記化学物質の吸着量を推定する吸着量推定部と、をさらに備える、
    請求項１に記載の化学物質濃縮器。
  13. 請求項１に記載の化学物質濃縮器と、
    前記化学物質濃縮器によって濃縮された前記化学物質を検出する検出部と、を備える、
    化学物質検出装置。
JP2017540487A 2015-09-18 2016-09-06 化学物質濃縮器および化学物質検出装置 Active JP6750628B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015184559 2015-09-18
JP2015184559 2015-09-18
PCT/JP2016/004053 WO2017047041A1 (ja) 2015-09-18 2016-09-06 化学物質濃縮器および化学物質検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2017047041A1 true JPWO2017047041A1 (ja) 2018-07-05
JP6750628B2 JP6750628B2 (ja) 2020-09-02

Family

ID=58288439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017540487A Active JP6750628B2 (ja) 2015-09-18 2016-09-06 化学物質濃縮器および化学物質検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20180149565A1 (ja)
EP (1) EP3351920B1 (ja)
JP (1) JP6750628B2 (ja)
CN (1) CN107683407B (ja)
WO (1) WO2017047041A1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10501316B2 (en) 2010-11-15 2019-12-10 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Nanowire arrays for trace vapor preconcentration
US20170212069A1 (en) * 2014-12-22 2017-07-27 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Chemical substance concentrator and chemical substance detecting device
EP3391955B1 (en) * 2015-12-14 2020-06-17 Panasonic Corporation Chemical substance concentrator and chemical substance detector
WO2018079174A1 (ja) * 2016-10-31 2018-05-03 パナソニック株式会社 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
JP2020520445A (ja) * 2017-04-18 2020-07-09 ザ ガバメント オブ ザ ユナイテッド ステイツ オブ アメリカ，アズ リプレゼンテッド バイ ザ セクレタリー オブ ザ ネイビー 微量蒸気予備濃縮のためのナノワイヤアレイ
US20200096490A1 (en) * 2017-05-11 2020-03-26 Panasonic Corporation Method for analyzing gas and device for analyzing gas
JP2019132814A (ja) * 2018-02-02 2019-08-08 パナソニック株式会社 吸着器、濃縮器及び検出装置
WO2019151129A1 (ja) * 2018-02-02 2019-08-08 パナソニック株式会社 吸着器、濃縮器及び検出装置
WO2020032029A1 (ja) * 2018-08-08 2020-02-13 パナソニック株式会社 検出装置の検出方法、制御システム、検出システム、及びプログラム
JP7291012B2 (ja) * 2019-06-25 2023-06-14 パナソニックホールディングス株式会社 吸着材の製造方法
EP3872487B1 (en) 2020-02-25 2022-10-05 Carrier Corporation Volatile alkene sensing device and method of using

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61286742A (ja) * 1985-06-14 1986-12-17 Nisshinbo Ind Inc 水の検出方法および水センサ
JPH10227725A (ja) * 1997-02-12 1998-08-25 Suzuki Motor Corp 呼気分析装置
JP2004148211A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 汚染物を含有するガスを清浄化するための方法及び装置
US20050245836A1 (en) * 2003-09-05 2005-11-03 Nanomix, Inc. Nanoelectronic capnometer adapter
JP2006187857A (ja) * 2004-12-20 2006-07-20 Palo Alto Research Center Inc 垂直方向に配列されたナノロッドおよびその配列への電気接点をつくるためのシステムおよび方法
US20080093226A1 (en) * 2005-10-27 2008-04-24 Mikhail Briman Ammonia nanosensors, and environmental control system
US20090100269A1 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Compagnie Industrielle Et Financiere D'ingenierie "Ingenico" Biometric authentication method, computer program, authentication server, corresponding terminal and portable object
WO2009104202A1 (en) * 2008-02-19 2009-08-27 Indian Institute Of Technology Device and method to use single walled carbon nanotube composites for gas sensing applications
JP2010197387A (ja) * 2009-02-20 2010-09-09 Qinghua Univ カーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法
JP2013545102A (ja) * 2010-11-15 2013-12-19 アメリカ合衆国 垂直ナノワイヤアレイ上の穿孔コンタクト電極
JP2014504740A (ja) * 2011-02-07 2014-02-24 ファースト ディテクト コーポレイション 化学分析装置内へ分析物を導入する方法
WO2016103561A1 (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
WO2017104120A1 (ja) * 2015-12-14 2017-06-22 パナソニック株式会社 化学物質濃縮器および化学物質検出器

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11287743A (ja) * 1998-04-03 1999-10-19 Ulvac Corp ウエハプロセスモニタ用の熱脱離分析室
WO1999066304A1 (en) * 1998-06-19 1999-12-23 California Institute Of Technology Trace level detection of analytes using artificial olfactometry
US6713519B2 (en) * 2001-12-21 2004-03-30 Battelle Memorial Institute Carbon nanotube-containing catalysts, methods of making, and reactions catalyzed over nanotube catalysts
US6949931B2 (en) * 2002-11-26 2005-09-27 Honeywell International Inc. Nanotube sensor
CN1720438A (zh) * 2002-11-29 2006-01-11 日本电气株式会社 分离设备和分离方法
CN1621822A (zh) * 2003-11-28 2005-06-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 测量碳纳米管储氢量的方法
US7291271B2 (en) * 2003-12-09 2007-11-06 Separation Design Group, Llc Meso-frequency traveling wave electro-kinetic continuous adsorption system
US8430999B2 (en) * 2005-09-02 2013-04-30 Arkray, Inc. Method for detecting sample supply condition, and analyzer
WO2007146769A2 (en) * 2006-06-13 2007-12-21 Georgia Tech Research Corporation Nano-piezoelectronics
US8268720B2 (en) * 2007-04-30 2012-09-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of positioning catalyst nanoparticle and nanowire-based device employing same
CN101701927B (zh) * 2009-10-14 2013-05-01 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 碳纳米管阵列有机污染物传感器及用途
CN102608171A (zh) * 2012-03-09 2012-07-25 桂林理工大学 一种基于液滴界面反应的纳米金自组装膜气体传感器
WO2013138446A1 (en) * 2012-03-13 2013-09-19 Brooks Automation, Inc. Trace gas concentration in art ms traps
CN202928977U (zh) * 2012-10-19 2013-05-08 天津大学 一种氮氧化物气敏传感器元件
CN104614401B (zh) * 2013-11-05 2017-12-29 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 气体传感器及其形成方法
CN203981648U (zh) * 2014-03-03 2014-12-03 哈尔滨理工大学 纳米碳管共振传感器

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61286742A (ja) * 1985-06-14 1986-12-17 Nisshinbo Ind Inc 水の検出方法および水センサ
JPH10227725A (ja) * 1997-02-12 1998-08-25 Suzuki Motor Corp 呼気分析装置
JP2004148211A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 汚染物を含有するガスを清浄化するための方法及び装置
US20050245836A1 (en) * 2003-09-05 2005-11-03 Nanomix, Inc. Nanoelectronic capnometer adapter
JP2006187857A (ja) * 2004-12-20 2006-07-20 Palo Alto Research Center Inc 垂直方向に配列されたナノロッドおよびその配列への電気接点をつくるためのシステムおよび方法
US20080093226A1 (en) * 2005-10-27 2008-04-24 Mikhail Briman Ammonia nanosensors, and environmental control system
US20090100269A1 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Compagnie Industrielle Et Financiere D'ingenierie "Ingenico" Biometric authentication method, computer program, authentication server, corresponding terminal and portable object
WO2009104202A1 (en) * 2008-02-19 2009-08-27 Indian Institute Of Technology Device and method to use single walled carbon nanotube composites for gas sensing applications
JP2010197387A (ja) * 2009-02-20 2010-09-09 Qinghua Univ カーボンナノチューブアレイを利用したセンサー及びその製造方法
JP2013545102A (ja) * 2010-11-15 2013-12-19 アメリカ合衆国 垂直ナノワイヤアレイ上の穿孔コンタクト電極
JP2014504740A (ja) * 2011-02-07 2014-02-24 ファースト ディテクト コーポレイション 化学分析装置内へ分析物を導入する方法
WO2016103561A1 (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
WO2017104120A1 (ja) * 2015-12-14 2017-06-22 パナソニック株式会社 化学物質濃縮器および化学物質検出器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KEAT GHEE ONG: "A Wireless, Passive Carbon Nanotube-Based Gas Sensor", IEEE SENSORS JOURNAL, vol. 2, no. 2, JPN6020015264, April 2002 (2002-04-01), pages 82 - 88, XP011065645, ISSN: 0004304430 *

Also Published As

Publication number Publication date
US20180149565A1 (en) 2018-05-31
CN107683407A (zh) 2018-02-09
EP3351920B1 (en) 2023-11-01
JP6750628B2 (ja) 2020-09-02
EP3351920A4 (en) 2018-10-17
CN107683407B (zh) 2021-06-18
EP3351920A1 (en) 2018-07-25
WO2017047041A1 (ja) 2017-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6750628B2 (ja) 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
WO2016103561A1 (ja) 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
JP6939806B2 (ja) 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
JP5221954B2 (ja) イオン移動度分光計
US10788470B2 (en) Compact gas sensor with enhanced selectivity
US10788406B2 (en) Chemical substance concentrator and chemical substance detector
US10942141B2 (en) Multi-parametric sensor with bridge structure
US8720251B2 (en) Gas sensing system
JP2009531698A (ja) 予濃縮器および検出装置
JP2020024130A (ja) Ｍｅｍｓ型半導体式ガス検知素子
US11906490B2 (en) Micro gas chromatography system
JP2018072168A (ja) 化学物質濃縮器および化学物質検出装置
KR20170035960A (ko) 가스의 적어도 하나의 성분을 흡착/탈착하기 위한 사전농축기
KR20200086555A (ko) 내열성 면상발열체가 접착된 시료농축튜브와 이를 포함하는 분석 장치 및 이를 이용한 분석 방법
KR101539560B1 (ko) 탄소나노튜브 폼, 이의 제조방법 및 이를 이용한 마이크로 전농축기 모듈
JP2017015625A (ja) 吸着装置及び分析装置
JP6225369B2 (ja) ガス検知ユニット
TWI359946B (en) Electrochemical sensor
JP5048213B2 (ja) 半導体式ガス検知素子
CN112543866A (zh) 检测设备的检测方法、控制系统、检测系统及程序
JP2011220716A (ja) フィルタ、ガスセンサ及びガス検出器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190827

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200512

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20200611

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200629

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200714

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200727

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6750628

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150