JP2010194544A - 複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 - Google Patents
複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010194544A JP2010194544A JP2009038771A JP2009038771A JP2010194544A JP 2010194544 A JP2010194544 A JP 2010194544A JP 2009038771 A JP2009038771 A JP 2009038771A JP 2009038771 A JP2009038771 A JP 2009038771A JP 2010194544 A JP2010194544 A JP 2010194544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- welding
- vacuum chamber
- workpiece
- standby
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims abstract description 228
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】真空チャンバ100と、真空チャンバ100に併設された待機チャンバ装置200と、真空チャンバ100内に配設され、待機チャンバ装置200からワークトレイ40を搬入してX方向に移動する第1テーブル20及び第2テーブル30と、真空チャンバ100内に配設され、第1テーブル20及び第2テーブル30上において、X方向と直角なY方向に移動する溶接ヘッド装置10と、溶接ヘッド装置10に搭載されてX方向及びY方向と直角な方向に相対移動する可動部材と、可動部材に搭載されてワークトレイ40を溶接する溶接ローラとを備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
次に、ワークトレイ40Bをシーム溶接している間に、大気開放した待機チャンバ200に、ワークトレイ40Bの後にシーム溶接するワークトレイ40Cを搬入する。そして、待機チャンバ200の全ての扉(待機チャンバ側扉204A、204B及び搬入出側扉206A、206B)を閉じて、真空ポンプ220により真空チャンバ100と同程度の真空圧状態にする(図8参照)。
10 溶接ヘッド装置
12 レール
14 リニアモータ
16 Z方向可動部材
18 溶接ローラ
20 第1テーブル
30 第2テーブル
40 ワークトレイ
60 セラミック容器
70 リッド
100 真空チャンバ
110、112 真空チャンバ側扉
120、220 真空ポンプ
130、230 大気開放弁
200 待機チャンバ装置
204A、204B 待機チャンバ側扉
206A、206B 搬入出側扉
210、240 搬送装置
300、320 搬送装置
Claims (10)
- 自身の内部を真空状態に保つ真空チャンバと、
前記真空チャンバに併設され、自身の内部を真空状態に保つ待機チャンバ装置と、
前記真空チャンバ内に配設され、前記待機チャンバ装置からワークを搬入してX方向に移動する第1テーブルと、
前記真空チャンバ内に配設され、前記待機チャンバ装置からワークを搬入してX方向に移動する第2テーブルと、
前記真空チャンバ内に配設され、前記第1テーブル及び前記第2テーブル上において、前記X方向と直角なY方向に移動する溶接ヘッド装置と、
前記溶接ヘッド装置に搭載されて前記X方向及び前記Y方向と直角なZ方向に相対移動するZ方向可動部材と、
前記Z方向可動部材に搭載されて前記ワークを溶接する溶接ローラと、
を備えることを特徴とする、複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記第1テーブルに載置される前記ワークが前記真空チャンバ内で溶接されている間に、前記第2テーブルが、前記待機チャンバ装置から前記真空チャンバ内に前記ワークを搬入することを特徴とする、
請求項1に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記待機チャンバ装置は、自身の内部空間を前記真空チャンバ側と連通させる待機チャンバ開閉手段を備え、
前記待機チャンバ装置は、前記真空チャンバとの間で前記ワークを搬入又は搬出する場合に、自身を真空に保った状態で前記待機チャンバ開閉手段を開いて前記真空チャンバと連通させることを特徴とする、
請求項1又は2に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記待機チャンバ装置は、
前記真空チャンバの前記第1テーブルに対して前記ワークを供給する第1供給手段と、
前記真空チャンバの前記第2テーブルに対して前記ワークを供給する第2供給手段と、
を備えることを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記待機チャンバ装置は、
溶接前のワークを収容するとともに、自身を真空状態にした後、前記溶接前のワークを前記真空チャンバの前記第1及び第2テーブルに供給する搬入側チャンバと、
自身を真空状態にした後、前記真空チャンバの前記第1及び第2テーブルから溶接後のワークを受け取って、外部へ搬出する搬出側チャンバと、を備えて構成されていることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記待機チャンバ装置は、
溶接前のワークを収容するとともに、自身を真空状態にした後、前記溶接前のワークを前記真空チャンバの前記第1テーブルに搬送する搬入側第1チャンバと、
自身を真空状態にした後、前記真空チャンバの前記第1テーブルから溶接後のワークを受け取って、外部へ搬送する搬出側第1チャンバと、
溶接前のワークを収容するとともに、自身を真空状態にした後、前記溶接前のワークを前記真空チャンバの前記第2テーブルに搬送する搬入側第2チャンバと、
自身を真空状態にした後、前記真空チャンバの前記第2テーブルから溶接後のワークを受け取って、外部へ搬送する搬出側第2チャンバと、を備えて構成されていることを特徴とする、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記搬入側第1チャンバ、前記真空チャンバ及び前記搬出側第1チャンバは、略同一直線方向に配置され、
前記搬入側第2チャンバ、前記真空チャンバ及び前記搬出側第2チャンバは、略同一直線方向に配置されていることを特徴とする、
請求項6に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記溶接ヘッド装置は、前記第1テーブル及び前記第2テーブル上において、前記X方向と直角な方向に移動する、第1溶接ヘッド装置及び第2溶接ヘッド装置を備えて構成されていることを特徴とする、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - 前記第1溶接ヘッドの移動軸と前記第2溶接ヘッドの移動軸は平行に設けられ、
前記第1溶接ヘッドと前記第2溶接ヘッドは、前記X軸と直角な方向に個別に移動できることを特徴とする、
請求項8に記載の複数テーブル方式シーム溶接装置。 - ワークをシーム溶接する真空チャンバを真空状態にし、
溶接前のワークを前記真空チャンバに併設される待機チャンバ装置に搬送し、
待機チャンバ装置内を真空状態にし、
溶接前の前記ワークを前記待機チャンバ装置から前記真空チャンバの第1テーブルに搬送し、
前記真空チャンバに内設される溶接ヘッド装置により、前記第1テーブルに載置される前記ワークをシーム溶接し、
前記ワークをシーム溶接している間に、前記待機チャンバ装置内を大気開放し、
前記ワークをシーム溶接している間に、溶接前の他のワークを前記待機チャンバ装置に搬送し、
前記ワークをシーム溶接している間に、前記待機チャンバ装置内を真空状態にし、
前記ワークをシーム溶接している間に、溶接前の前記他のワークを前記待機チャンバ装置から前記真空チャンバの第2テーブルへ搬送し、
前記第1テーブルに載置される前記ワークのシーム溶接が終了した後、前記溶接ヘッド装置を前記第1テーブルから前記第2テーブルへ移動し、
前記溶接ヘッド装置が前記第2テーブルに載置される前記ワークをシーム溶接している間に、前記第1テーブルに載置される溶接後のワークを前記真空チャンバから前記待機チャンバ装置に搬送し、
前記待機チャンバを大気開放した後、溶接後の前記ワークを前記待機チャンバから外部に搬送し、
前記第2テーブルに載置される前記ワークをシーム溶接している間に、前記待機チャンバ装置に、次に溶接するワークを搬入して、該待機チャンバ装置内を真空状態にし、
前記第2テーブルに載置される前記ワークをシーム溶接している間に、次に溶接する前記ワークを前記待機チャンバ装置から前記真空チャンバの前記第1テーブルに搬送し、
前記第2テーブルに載置される前記ワークのシーム溶接が終了した後、前記溶接ヘッド装置を前記第2テーブルから前記第1テーブルへ移動することを特徴とする、シーム溶接方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009038771A JP5286593B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-02-23 | 複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009038771A JP5286593B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-02-23 | 複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010194544A true JP2010194544A (ja) | 2010-09-09 |
JP5286593B2 JP5286593B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=42819833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009038771A Active JP5286593B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-02-23 | 複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5286593B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103028830A (zh) * | 2011-10-07 | 2013-04-10 | 亚企睦自动设备有限公司 | 焊接装置 |
JP2013081976A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Akim Kk | 溶接方法および装置 |
JP2014217845A (ja) * | 2013-05-01 | 2014-11-20 | アキム株式会社 | シーム溶接ローラ保持ユニットおよびシーム溶接装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05245649A (ja) * | 1992-03-10 | 1993-09-24 | Kobe Steel Ltd | 真空シーム溶接装置 |
JPH067946A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-01-18 | Origin Electric Co Ltd | シーム溶接装置および電子部品製造設備 |
JPH06112340A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Nippon Avionics Co Ltd | シーム接合装置 |
JP2000040761A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Fujitsu Quantum Device Kk | パッケージ組立装置 |
JP2002359311A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Origin Electric Co Ltd | シーム接合方法及び装置 |
JP2003046009A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Origin Electric Co Ltd | 抵抗溶接装置 |
JP2005005543A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Nippon Avionics Co Ltd | 真空チャンバ内の位置決め機構 |
JP2006114710A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Nippon Avionics Co Ltd | パッケージの封止方法 |
JP2009010243A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Nippon Avionics Co Ltd | 真空シーム接合装置 |
JP2009147097A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Akim Kk | 真空内溶接処理装置 |
-
2009
- 2009-02-23 JP JP2009038771A patent/JP5286593B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05245649A (ja) * | 1992-03-10 | 1993-09-24 | Kobe Steel Ltd | 真空シーム溶接装置 |
JPH067946A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-01-18 | Origin Electric Co Ltd | シーム溶接装置および電子部品製造設備 |
JPH06112340A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Nippon Avionics Co Ltd | シーム接合装置 |
JP2000040761A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Fujitsu Quantum Device Kk | パッケージ組立装置 |
JP2002359311A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Origin Electric Co Ltd | シーム接合方法及び装置 |
JP2003046009A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Origin Electric Co Ltd | 抵抗溶接装置 |
JP2005005543A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Nippon Avionics Co Ltd | 真空チャンバ内の位置決め機構 |
JP2006114710A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Nippon Avionics Co Ltd | パッケージの封止方法 |
JP2009010243A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Nippon Avionics Co Ltd | 真空シーム接合装置 |
JP2009147097A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Akim Kk | 真空内溶接処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103028830A (zh) * | 2011-10-07 | 2013-04-10 | 亚企睦自动设备有限公司 | 焊接装置 |
JP2013081976A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Akim Kk | 溶接方法および装置 |
KR101378835B1 (ko) | 2011-10-07 | 2014-03-28 | 아키무 가부시키가이샤 | 용접 장치 |
CN103028830B (zh) * | 2011-10-07 | 2015-12-09 | 亚企睦自动设备有限公司 | 焊接装置 |
JP2014217845A (ja) * | 2013-05-01 | 2014-11-20 | アキム株式会社 | シーム溶接ローラ保持ユニットおよびシーム溶接装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5286593B2 (ja) | 2013-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5330721B2 (ja) | 処理装置および処理方法 | |
EP2926927A2 (en) | Three-dimensional additive manufacturing device and three-dimensional additive manufacturing method | |
JP5482500B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101464039B1 (ko) | 기판 반송 용기의 개폐 장치, 덮개의 개폐 장치 및 반도체 제조 장치 | |
JP2009004661A (ja) | 基板処理装置および基板搬送装置 | |
JP5286593B2 (ja) | 複数テーブル方式シーム溶接装置及びシーム溶接方法。 | |
WO2009119580A1 (ja) | 処理装置および処理方法 | |
JP4280785B2 (ja) | 真空処理装置および真空処理方法 | |
JP5892828B2 (ja) | 真空処理装置 | |
JP5769861B1 (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
JP2022018902A (ja) | 基板処理システム、メンテナンス方法及び基板処理方法 | |
JP2009277996A (ja) | 搬送装置および処理装置 | |
CN112746155A (zh) | 气氛置换装置和热处理系统 | |
JP2005211865A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR101456783B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 | |
JP4839097B2 (ja) | 真空装置 | |
JP7207939B2 (ja) | 搬送装置、および、処理装置 | |
TWI831391B (zh) | 表面處理裝置 | |
KR101308333B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 로드 로크 장치 | |
JP2006108348A (ja) | 基板処理装置 | |
WO2010090283A1 (ja) | 真空装置 | |
JP2024078087A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2003110001A (ja) | 搬入出装置 | |
JP2005331417A (ja) | 電子線照射装置 | |
JP6097973B2 (ja) | 回転導入機構を備えた真空装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130411 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5286593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |