JP2003110001A - 搬入出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロードロック室である搬入室１６等に対して
処理対象物を搬入出する回数を減少させる。 【解決手段】 外部環境とは異なる処理環境に設定され
る処理室に対して気密状態に開閉可能に連結された搬入
室１６等に設けられ、搬入室１６等および処理室間にお
ける基板８の搬入出を行うものである。基板８を所定の
高さ位置で水平方向に直線的に搬送することにより基板
８の搬入出を行う第１コンベア２４と、基板８を複数段
で載置可能にされ、第１コンベア２４を下方から内部に
進入させるように第１コンベア２４による基板８の搬送
経路に重なる側面と底面とが開放された基板ケース２０
と、基板ケース２０の各段に対して基板８を水平方向に
搬入出可能にするように、基板ケース２０を任意の高さ
位置に位置決め可能に昇降させるケース昇降機構２５と
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、基板を処理室に搬
入出する搬入出装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】例えば半導体製造装置のように高真空や
不活性ガスで充満された特別の処理環境下で処理対象物
を処理する装置においては、処理環境を出現させるよう
に気密状態に外部から隔離された処理室と、処理室に気
密状態に開閉可能に連結されたロードロック室とを備え
ている。そして、従来、このロードロック室には、着脱
位置と処理室への受渡し位置とに旋回可能なハンド部を
備えた搬入出装置が設けられており、オペレータが着脱
位置のハンド部に対して処理対象物の着脱作業を行え
ば、ロードロック室内における搬入出作業が搬入出装置
により自動で行われるようになっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、処理が終了する度に、オペレータがハン
ド部に対して処理対象物を着脱する必要があるため、オ
ペレータに大きな負担がかかるという問題がある。さら
に、ロードロック室を外部に開放して処理対象物の着脱
作業を行うと、ロードロック室が外部環境になるため、
着脱作業の終了後に真空排気等を行ってロードロック室
を処理環境に戻す必要がある。この結果、処理が終了す
る度に、着脱作業の時間とロードロック室を処理環境に
戻す時間とが必要となるため、処理を終了してから次の
処理を開始するまでの待ち時間が長くなって生産性が低
いという問題がある。 【０００４】従って、本発明は、ロードロック室に対し
て処理対象物を搬入出する回数を減少させることによっ
て、オペレータの負担を軽減すると共に生産性を高める
ことができる搬入出装置を提供するものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、外部環境とは異なる処理環境に
設定される処理室に対して気密状態に開閉可能に連結さ
れたロードロック室に設けられ、該ロードロック室およ
び処理室間における基板の搬入出を行う搬入出装置にお
いて、前記基板を所定の高さ位置で水平方向に直線的に
搬送することにより該基板の搬入出を行うコンベア装置
と、前記基板を複数段で載置可能にされ、前記コンベア
装置を下方から内部に進入させるように該コンベア装置
による基板の搬送経路に重なる側面と底面とが開放され
た基板ケースと、前記基板ケースの各段に対して基板を
水平方向に搬入出可能にするように、前記基板ケースを
任意の高さ位置に位置決め可能に昇降させるケース昇降
機構とを有することを特徴としている。 【０００６】上記の構成によれば、オペレータが基板ケ
ースをロードロック室に対して搬入出すれば、基板ケー
スに収容された複数の基板を一括して搬入出することが
できる。そして、一旦、このようにして複数の基板を搬
入すれば、これらの全ての基板に対して処理が終了する
まで、ロードロック室を外部に開放する必要がない。こ
れにより、オペレータがロードロック室に基板を搬入出
する回数を減少させることができると共に、ロードロッ
ク室を処理環境に戻す回数を減少させることができる。
この結果、オペレータの負担を軽減させることができる
と共に、処理を終了してから次の処理を開始するまでの
待ち時間を短縮して生産性を高めることが可能になる。 【０００７】さらに、基板の搬送経路に対応する基板ケ
ースの側面および底面が開放されているため、基板ケー
スをケース昇降機構により昇降させれば、コンベア装置
を基板ケース内に下方から進入させ、基板ケースの各段
に対して基板を搬入出可能な位置に位置決めすることが
できる。これにより、基板ケースからコンベア装置に基
板を取り出して載置したり、コンベア装置から基板を取
り外して基板ケースの各段に載置する操作を簡単な動作
と構成部材とで実現することができる。 【０００８】 【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１ないし
図５に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係る搬
入出装置は、図２に示すように、例えば半導体製造装置
や鋼板処理装置、ガラス板処理装置等の各種の処理装置
に適用される。処理装置は、処理室２を形成する真空タ
ンク３と、真空タンク３に基板８を搬入する搬入出装置
である基板搬入装置１５と、真空タンク３から基板８を
搬出する搬入出装置である基板搬出装置３７とを備えた
処理装置本体１と、処理装置本体１の動作を制御する図
４の制御装置５１とを有している。 【０００９】上記の真空タンク３には、図示しないバル
ブを介してアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを収
容したガスボンベが接続されており、不活性ガスが処理
室２に任意の濃度となるように供給可能にされている。
また、真空タンク３には、図示しないバルブを介して真
空ポンプも接続されており、処理室２の空気が任意の圧
力（真空度）となるように外部に排気可能にされてい
る。これにより、真空タンク３内の処理室２は、外部環
境とは異なる所望の真空度や不活性ガス濃度の処理環境
を出現可能にされている。そして、真空タンク３には、
図４に示すように、処理室２の温度を検出する温度セン
サ６１や処理室２の圧力を検出する圧力センサ６２、コ
ンベア９・１０で搬送される基板８を検出する光センサ
からなる基板検出センサ６３等の各種のセンサが設けら
れている。 【００１０】上記の処理室２の中心部である処理位置に
は、図２に示すように、支持部材６が設けられている。
支持部材６の上面には、基板８を保持する載置台７が設
けられている。尚、基板８は、進行方向の両端にかけて
長方形状の凸状係合部８ａを下面に突出させた形状に形
成されており、基板８自体が処理対象物として使用され
たり、基板８の上面に処理対象物を載置して使用される
ようになっている。 【００１１】上記の載置台７は、耐腐食性に優れたステ
ンレス等の金属材料や、耐腐食性および耐火性に優れた
アルミナ等のセラミックス材料、カーボン材料等で形成
されている。この載置台７の上面部には、図３（ａ）・
（ｂ）に示すように、溝状係合部７ａが形成されてい
る。溝状係合部７ａは、基板８の進行方向（左右方向）
の両端にかけて形成されており、縦断面が長方形状に形
成されている。そして、載置台７は、溝状係合部７ａに
基板８の凸状係合部８ａを摺動自在に嵌合させることに
よって、基板８を進行方向に対して直行方向に位置決め
可能にしている。 【００１２】上記の載置台７の搬入側（図中右側）およ
び搬出側（図中左側）には、第２コンベア９と第３コン
ベア１０とがそれぞれ設けられている。これらのコンベ
ア９・１０は、基板８を載置するコンベア部が耐火物で
形成されている。第２コンベア９は、図２に示すよう
に、載置台７と搬入扉４との間に設けられている一方、
第３コンベア１０は、載置台７と搬出扉５との間に設け
られている。これらの第２および第３コンベア９・１０
は、両端部が駆動ローラ９ａ・１０ａと従動ローラ９ｂ
・１０ｂとで張設されながら水平配置されている。駆動
ローラ９ａ・１０ａは、図示しない駆動軸が真空タンク
３の隔壁を貫通された後、真空タンク３の外部に設けら
れた駆動機構に連結されている。また、第２および第３
コンベア９・１０は、基板８を載置する上面の高さ位置
が載置台７上面の高さ位置、即ち、載置台７の溝状係合
部７ａと基板８の凸状係合部８ａとが水平方向に一致す
る高さ位置に設定されている。これにより、第２コンベ
ア９は、図示しない駆動機構により回転駆動されること
によって、搬入扉４側から載置台７側に基板８を搬送す
るようになっている一方、第３コンベア１０は、載置台
７側から搬出扉５側に基板８を搬送するようになってい
る。 【００１３】また、図３（ａ）に示すように、第２コン
ベア９の側方には、この２コンベア９により基板８が載
置台７に搬送されるときに、載置台７の手前側から基板
８を載置台７の所定位置に押し出す基押出機構１１が設
けられている。押出機構１１は、シリンダロッド１２ａ
を任意の進出量で高精度に進退移動可能な押出シリンダ
１２と、押出シリンダ１２のシリンダロッド１２ａの先
端部に設けられた押出板１３と、押出機構１１の基端部
に連結された旋回機構１４とを備えている。旋回機構１
４は、図２にも示すように、押出板１３が第２コンベア
９上の基板８の側面に当接する高さ位置において押出シ
リンダ１２を水平方向に回動可能に支持している。 【００１４】これにより、押出機構１１は、図示実線の
押出方向位置と図示二点鎖線の退避位置とに旋回可能に
されている。そして、第２コンベア９により基板８が搬
送されるときには、押出板１３が基板８の搬送の障害と
ならないように、押出シリンダ１２が退避位置に旋回さ
れる。一方、基板８が第２コンベア９の先端部である搬
入先頭位置（載置台７の手前側）に到達したときには、
押出シリンダ１２が旋回機構１４により図示実線の押出
方向位置に旋回された後、シリンダロッド１２ａが進出
されることによって、押出板１３により基板８が載置台
７に押し出されてセットされる。尚、搬入先頭位置の基
板は、この位置を検出領域とする図４の基板検出センサ
３３により検出されるようになっている。 【００１５】上記のように構成された真空タンク３の搬
入側（図中右側）には、図２に示すように、基板搬入装
置１５が設けられている。基板搬入装置１５は、複数の
基板８を保持可能な基板ケース２０が収容される搬入室
１６を有している。搬入室１６は、収容隔壁１７により
形成されており、上述の処理室２とは独立して真空排気
や不活性ガスの供給を受けて処理環境を出現可能にされ
ている。 【００１６】上記の収容隔壁１７の上面には、基板ケー
ス２０の出し入れに使用される開口部１７ａが形成され
ている。開口部１７ａには、蓋部材１９が気密状態に着
脱可能に設けられている。また、基板ケース２０は、図
１に示すように、長方体形状の支持枠体２１を有してい
る。支持枠体２１は、基板８の搬送経路に重なる側面、
即ち、基板８の搬送方向に対して前面側および背面側が
開放状態にされていると共に、底面側が開放状態にされ
ている。また、支持枠体２１の上面壁の外側面には、搬
入室１６に対して支持枠体２１を出し入れする際に使用
される把持部材２２が設けられている。また、支持枠体
２１における左右の側面壁の内側面には、基板８を水平
方向に支持するように対向配置された複数の支持部材２
３が設けられている。これらの支持部材２３は、基板８
を一定間隔を隔てて積層するように上下方向に等間隔に
配置されている。 【００１７】さらに、基板搬入装置１５は、基板ケース
２０内に下方から進入可能にされ、基板ケース２０に保
持された基板８を搬送する第１コンベア２４と、第１コ
ンベア２４上に基板８を載置させるように基板ケース２
０の高さ位置を調整するケース昇降機構２５とを備えて
いる。第１コンベア２４は、図２に示すように、上述の
第２コンベア９と同様に、コンベア部が耐火物で形成さ
れていると共に駆動ローラ２４ａと従動ローラ２４ｂと
で水平方向に張設されており、基板ケース２０の基板８
を搬入扉４側に搬送可能にされている。 【００１８】また、ケース昇降機構２５は、図１に示す
ように、支持枠体２１の側面壁下端に当接するように配
置された一対のケース支持板２６・２６と、各ケース支
持板２６の下面両端部に連結され、収容隔壁１７を気密
状態に昇降自在に貫通された一対の棒状部材２７・２７
と、両棒状部材２７・２７を連結する連結部材２８と、
連結部材２８の中心部に固設されたナット部材２９と、
ナット部材２９が螺合され、軸心が上下方向に設定され
た棒状のネジ部材３０と、ネジ部材３０の上端部および
下端部を回転自在に軸支するベアリング３１・３１と、
ネジ部材３０を正方向および逆方向に任意の回転角度で
回転可能な回転駆動機構３２とを有している。 【００１９】上記の回転駆動機構３２は、ネジ部材３０
の下部に設けられたギア３３と、図４のエンコーダ３４
ａ付きの昇降モータ３４と、昇降モータ３４の回転軸に
連結されたギア３５と、全ギア３３・３３・３５に噛合
された歯付きベルト３６とを有している。そして、この
ように構成されたケース昇降機構２５は、昇降モータ３
４を所定の回転角度で正方向または逆方向に回転させる
ことによって、この回転角度と回転方向とに応じた高さ
位置となるように基板ケース２０を昇降可能になってい
る。 【００２０】一方、図２に示すように、真空タンク３の
搬出側（図中左側）には、基板搬入装置１５と略同一構
成の基板搬出装置３７が設けられている。即ち、基板搬
出装置３７は、処理室２とは独立して処理環境を出現可
能な搬出室３８を備えた収容隔壁３９と、駆動ローラ４
０ａおよび従動ローラ４０ｂで水平方向に張設された第
４コンベア４０と、基板ケース２０を任意の高さ位置に
位置決め可能に昇降させるケース昇降機構２５とを備え
ている。尚、基板搬出装置３７の各部材の詳細は、上述
の基板搬入装置１５と略同一であるので、その説明を省
略する。 【００２１】上記のように構成された処理装置本体１
は、図４に示すように、制御装置５１により動作が制御
されるようになっている。制御装置５１は、各種のプロ
グラムを実行する演算部５２と、処理内容や基板８の処
理数等の管理を行う情報処理装置６０に対してデータ通
信可能に接続された通信部５３と、図５の基板搬送ルー
チン等の各種のプログラムやデータを格納するメモリ５
４と、処理装置本体１の各駆動機器やセンサに接続され
た入力出部５５と、温度センサ６１や圧力センサ６２等
に接続されたＡＤコンバータ５６と、これら部材を双方
向にデータ通信可能に接続した信号バス５７とを備えて
いる。 【００２２】上記の構成において、処理装置の動作を通
じて搬入出装置である基板搬入装置１５および基板搬出
装置３７の動作について説明する。 【００２３】制御装置５１および処理装置本体１に電源
が投入されて作動状態にされると、続いて制御装置５１
が運転開始指令の受け付け状態となって待機する。そし
て、オペレータが運転開始指令をボタン操作等により発
すると、この指令を受けた制御装置５１が基板処理ルー
チンを実行することによって、真空タンク３内の処理室
２を所望の圧力や不活性ガス濃度の環境に設定する。ま
た、タイムシェアリングにより処理ルーチンと基板搬送
ルーチンとを見掛け上並行しながら実行することによっ
て、図５のフローチャートに従って処理室２に対する基
板８の搬入出を行う。 【００２４】即ち、図２に示すように、先ず、基板搬入
装置１５の搬入室１６および基板搬出装置３７の搬出室
３８に基板ケース２０が処理動作を開始可能な適正な状
態にセットされているか否かが確認され（Ｓ１）、適正
にセットされていない場合には（Ｓ１，ＮＯ）、その旨
が報知される（Ｓ１８）。そして、この場合には、オペ
レータが蓋部材１９を開いて各室２・３８内の基板ケー
ス２０を交換したり、空状態の各室２・３８に基板ケー
ス２０を搬入することになる。尚、基板ケース２０のセ
ット作業は、図１に示すように、基板ケース２０をケー
ス支持板２６に載置することで完了するため、オペレー
タへの負担は極めて小さなものである。 【００２５】一方、基板ケース２０が適正にセットされ
ている場合には（Ｓ１，ＹＥＳ）、基板搬入装置１５に
おいて、基板８を第１コンベア２４に載置して搬送可能
な状態にする搬入側セット処理が行われる。即ち、図４
のエンコーダ３４ａのパルス数が計数されることによっ
て、基板ケース２０の昇降量（高さ位置）が監視されな
がら、ケース昇降機構２５により基板ケース２０が下降
される。これにより、第１コンベア２４が基板ケース２
０内に下側から進入することになり、基板ケース２０の
最下段に保持された基板８が第１コンベア２４上に載置
された状態になる高さ位置となったときに、基板ケース
２０の昇降動作が停止される（Ｓ２）。尚、ここで言う
『最下段』とは、基板ケース２０に複数の基板８が保持
されていれば、これらの基板８の中で最も下側に位置す
る基板８の段のことであり、単数の基板８が保持されて
いれば、この基板８の段のことである。 【００２６】また、基板搬出装置３７においては、基板
８を第４コンベア４０で基板ケース２０内に保持可能に
する搬出側セット処理が行われる。即ち、図４のエンコ
ーダ３４ａのパルス数が計数されることによって、基板
ケース２０の昇降量（高さ位置）が監視されながら、ケ
ース昇降機構２５により基板ケース２０が下降される。
これにより、第４コンベア４０が基板ケース２０内に下
側から進入することになり、基板ケース２０の最上段の
支持部材２３に基板８を搬入可能な第４コンベア４０の
高さ位置となったときに、基板ケース２０の昇降動作が
停止される（Ｓ３）。尚、ここで言う『最上段』とは、
基板ケース２０に保持された最も下側に位置する基板８
の段の次の下側の段のことである。 【００２７】次に、基板搬入装置１５の搬入室１６およ
び基板搬出装置３７の搬出室３８に対して排気処理や不
活性ガスの供給処理が施されることによって、両室１６
・３８の環境が処理室２と同一の処理環境に設定される
（Ｓ４）。この後、搬入扉４および搬出扉５がそれぞれ
開かれ、全室１６・２・３８が連通状態にされる（Ｓ
５）。 【００２８】上記のようにして基板８の搬送が開始可能
な状態になると、先ず、図３に示すように、押出機構１
１が基板８の搬送の障害とならないように、押出シリン
ダ１２が図示実線の押出方向位置から図示二点鎖線の退
避位置に旋回されることにより退避される（Ｓ６）。こ
の後、図２に示すように、第１コンベア２４および第２
コンベア９が回転駆動されることによって、基板ケース
２０の基板８が第１コンベア２４により搬入扉４側に搬
送され、搬入扉４を介して第２コンベア９に受け渡され
た後、第２コンベア９により載置台７側に搬送される
（Ｓ７）。 【００２９】上記のようにして基板８が搬送されると、
図４の基板検出センサ６３の検出信号に基づいて基板８
が載置台７に近接した搬入先頭位置に到達したか否かが
判定される（Ｓ８）。基板検出センサ６３により基板８
が検出されなければ、基板８が搬入先頭位置に到達して
いないと判定され（Ｓ８，ＮＯ）、Ｓ７における載置台
７の搬送が継続される。一方、基板検出センサ６３によ
り基板８が検出されることによって、基板８が搬入先頭
位置に到達したと判定された場合には（Ｓ８，ＹＥ
Ｓ）、第１コンベア２４および第２コンベア９が停止さ
れる（Ｓ９）。 【００３０】この後、図３に示すように、押出機構１１
の押出シリンダ１２が図示実線の押出方向位置に復帰さ
れる（Ｓ１０）。押出シリンダ１２がシリンダロッド１
２ａを進出させ、押出板１３により基板８を載置台７方
向に水平に押し出すことによって、載置台７の溝状係合
部７ａに基板８の凸状係合部８ａを係合させてセットす
る（Ｓ１１）。尚、このセット作業においては、押出シ
リンダ１２によるシリンダロッド１２ａの進出量を高精
度に制御することによって、基板８を所定位置に位置決
めしても良いし、押出板１３を載置台７の側面に当接さ
せることによって、基板８を所定位置に位置決めしても
良い。 【００３１】次に、基板８に対する処理動作が開始され
る。この際、載置台７に処理済みの基板８がセットされ
ていた場合には、この基板８が押出機構１１で送出され
た基板８により第３コンベア１０上へ押し出される。従
って、第３コンベア１０上に押し出された基板８が存在
するか否かが確認され（Ｓ１２）、存在する場合には
（Ｓ１２，ＹＥＳ）、図２に示すように、第３コンベア
１０および第４コンベア４０が回転駆動されることによ
って、処理済の基板８が基板搬出装置３７の搬出室３８
に搬出される。この結果、搬出室３８にセットされた基
板ケース２０内に基板８が挿入および保持されることに
なる（Ｓ１３）。この後、次の下側の段で基板８を保持
可能にするように、上述の基板ケース２０に対する搬出
側セット処理が行われる（Ｓ１４）。 【００３２】次に、第３コンベア１０上に基板８が存在
しなかった場合（Ｓ１２，ＮＯ）や、Ｓ１４で搬出側セ
ット処理が完了すると、Ｓ１１で載置台７にセットした
基板８に対する処理動作が完了したか否かが判定される
（Ｓ１５）。処理動作が完了していなければ（Ｓ１５，
ＮＯ）、Ｓ１５における処理動作の判定が繰り返され、
処理動作が完了すれば（Ｓ１５，ＹＥＳ）、続いて基板
ケース２０に保持された全基板８に対して処理動作が完
了した否かが判定される（Ｓ１６）。全基板８の処理動
作が完了していなければ（Ｓ１６，ＮＯ）、Ｓ１６から
再実行され、次の基板８に対する搬送および処理動作が
行われる。一方、全基板８の処理動作が完了していれば
（Ｓ１６，ＹＥＳ）、基板ケース２０の交換を促すた
め、その旨をオペレータに報知し（Ｓ１７）、本ルーチ
ンを終了する。 【００３３】以上のように、本実施形態の搬入出装置
（基板搬入装置１５、基板搬出装置３７）は、図１に示
すように、外部環境とは異なる処理環境に設定される処
理室２に対して気密状態に開閉可能に連結されたロード
ロック室（搬入室１６、搬出室３８）に設けられ、ロー
ドロック室および処理室２間における基板８の搬入出を
行うものであり、基板８を所定の高さ位置で水平方向に
直線的に搬送することにより基板８の搬入出を行うコン
ベア装置（第１コンベア２４、第４コンベア４０）と、
基板８を複数段で載置可能にされ、コンベア装置を下方
から内部に進入させるようにコンベア装置による基板８
の搬送経路に重なる側面と底面とが開放された基板ケー
ス２０と、基板ケース２０の各段に対して基板８を水平
方向に搬入出可能にするように、基板ケース２０を任意
の高さ位置に位置決め可能に昇降させるケース昇降機構
２５とを有した構成にされている。 【００３４】上記の構成によれば、オペレータが基板ケ
ース２０をロードロック室に対して搬入出すれば、基板
ケース２０に収容された複数の基板８を一括して搬入出
することができる。そして、一旦、このようにして複数
の基板８を搬入すれば、これらの全ての基板８に対して
処理が終了するまで、ロードロック室を外部に開放する
必要がない。これにより、オペレータがロードロック室
に基板８を搬入出する回数を減少させることができると
共に、ロードロック室を処理環境に戻す回数を減少させ
ることができる。この結果、オペレータの負担を軽減さ
せることができると共に、処理を終了してから次の処理
を開始するまでの待ち時間を短縮して生産性を高めるこ
とが可能になる。 【００３５】さらに、基板８の搬送経路に対応する基板
ケース２０の側面および底面が開放されているため、基
板ケース２０をケース昇降機構２５により昇降させれ
ば、コンベア装置を基板ケース２０内に下方から進入さ
せ、基板ケース２０の各段に対して基板８を搬入出可能
な位置に位置決めすることができる。これにより、基板
ケース２０からコンベア装置に基板８を取り出して載置
したり、コンベア装置から基板８を取り外して基板ケー
ス２０の各段に載置する操作を簡単な動作と構成部材と
で実現することができるようになっている。 【００３６】以上、本発明を好適な実施の形態に基づい
て説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲におい
て変更が可能である。例えば本実施形態における載置台
７に対する基板８のセット作業は、縦断面が長方形状の
基板８の凸状係合部８ａを載置台７の溝状係合部７ａに
嵌合することで行っているが、これに限定されるもので
はなく、縦断面が正方形状や湾曲形状、半円形状にされ
ていても良い。また、本実施形態においては、ケース昇
降機構２５をネジ部材３０の回転により昇降させる構成
としているが、これに限定されるものでもなく、シンリ
ンダ装置を用いて昇降するように構成されていても良
い。さらに、ケース昇降機構２５における昇降の位置決
めは、図４のエンコーダ３４ａにより検出した回転角度
に基づいて行っているが、各段毎に配置された検出セン
サで基板ケース２０の高さ位置を直接的に検出すること
により行われていても良い。 【００３７】 【発明の効果】請求項１の発明は、外部環境とは異なる
処理環境に設定される処理室に対して気密状態に開閉可
能に連結されたロードロック室に設けられ、該ロードロ
ック室および処理室間における基板の搬入出を行う搬入
出装置において、前記基板を所定の高さ位置で水平方向
に直線的に搬送することにより該基板の搬入出を行うコ
ンベア装置と、前記基板を複数段で載置可能にされ、前
記コンベア装置を下方から内部に進入させるように該コ
ンベア装置による基板の搬送経路に重なる側面と底面と
が開放された基板ケースと、前記基板ケースの各段に対
して基板を水平方向に搬入出可能にするように、前記基
板ケースを任意の高さ位置に位置決め可能に昇降させる
ケース昇降機構とを有する構成である。 【００３８】上記の構成によれば、オペレータが基板ケ
ースをロードロック室に対して搬入出すれば、基板ケー
スに収容された複数の基板を一括して搬入出することが
できる。そして、一旦、このようにして複数の基板を搬
入すれば、これらの全ての基板に対して処理が終了する
まで、ロードロック室を外部に開放する必要がない。こ
れにより、オペレータがロードロック室に基板を搬入出
する回数を減少させることができると共に、ロードロッ
ク室を処理環境に戻す回数を減少させることができる。
この結果、オペレータの負担を軽減させることができる
と共に、処理を終了してから次の処理を開始するまでの
待ち時間を短縮して生産性を高めることが可能になると
いう効果を奏する。 【００３９】さらに、基板の搬送経路に対応する基板ケ
ースの側面および底面が開放されているため、基板ケー
スをケース昇降機構により昇降させれば、コンベア装置
を基板ケース内に下方から進入させ、基板ケースの各段
に対して基板を搬入出可能な位置に位置決めすることが
できる。これにより、基板ケースからコンベア装置に基
板を取り出して載置したり、コンベア装置から基板を取
り外して基板ケースの各段に載置する操作を簡単な動作
と構成部材とで実現することができるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】 【図１】基板搬入装置の斜視図である。 【図２】処理装置本体の概略構成図である。 【図３】押出機構の動作状態を示す説明図である。 【図４】搬送装置のブロック図である。 【図５】基板搬送ルーチンのフローチャートである。 【符号の説明】 １ 処理装置本体 ２ 処理室 ３ 真空タンク ４ 搬入扉 ５ 搬出扉 ６ 支持部材 ７ 載置台 ７ａ 溝状係合部 ８ 基板 ８ａ 凸状係合部 ９ 第２コンベア １０ 第３コンベア １１ 押出機構 １２ 押出シリンダ １３ 押出板 １５ 基板搬入装置 １６ 搬入室 １７ 収容隔壁 ２０ 基板ケース ２１ 支持枠体 ２４ 第１コンベア ２５ ケース昇降機構 ３４ 昇降モータ ３７ 基板搬出装置 ３８ 搬出室 ３９ 収容隔壁 ４０ 第４コンベア ５１ 制御装置 ６１ 温度センサ ６２ 圧力センサ ６３ 基板検出センサ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】外部環境とは異なる処理環境に設定される
   処理室に対して気密状態に開閉可能に連結されたロード
   ロック室に設けられ、該ロードロック室および処理室間
   における基板の搬入出を行う搬入出装置において、前記
   基板を所定の高さ位置で水平方向に直線的に搬送するこ
   とにより該基板の搬入出を行うコンベア装置と、前記基
   板を複数段で載置可能にされ、前記コンベア装置を下方
   から内部に進入させるように該コンベア装置による基板
   の搬送経路に重なる側面と底面とが開放された基板ケー
   スと、前記基板ケースの各段に対して基板を水平方向に
   搬入出可能にするように、前記基板ケースを任意の高さ
   位置に位置決め可能に昇降させるケース昇降機構とを有
   することを特徴とする搬入出装置。