JP2005331417A - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被処理物をトレイに収容し、トレイ内に不活性ガスを充填し、該トレイ内の被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、トレイ内への不活性ガス充填を確実化し、さらには効率よく行う。
【解決手段】被照射物Ｗを収容し、シートＳで閉じたトレイ７を、トレイ搬入装置５により、電子線照室２外の外部トレイ台６から照射室２内のトレイ台３の上方へ移動させ、その後にトレイ台３へ下降させて載置し、それによりトレイ台３に設けた開閉弁３１をトレイ側の押圧部材７３で押し開き、トレイ７内へ不活性ガスを導入充填し、このトレイ７をトレイ台３ごと電子線照射領域で移動させる。或いはさらに外部トレイ台６ａにおいて待機中のトレイ７にも不活性ガスを充填する。
【選択図】図１

Description

本発明は電子線照射装置、特に酸素含有雰囲気中での電子線照射を避けたい被照射物に対する電子線照射装置に関する。

電子線照射処理対象の被照射物によっては、酸素含有雰囲気（例えば空気）中での電子線照射が好ましくないものがある。例えば、被処理物表面の塗膜のキャアリングのために該塗膜に電子線照射処理を施す場合において、酸素雰囲気が該塗膜キュアリングの妨げになるような場合には、酸素含有雰囲気での電子線照射は好ましくない。

このような被照射物については、電子線照射装置本体を付設した電子線照射室内を不活性ガス雰囲気とし、該照射室内で電子線照射が行われてきた。しかし、該照射室内での電子線照射が終了し、次の被照射物に照射室内で電子線照射する場合、照射室を一旦開いて、電子線照射済みの物を新たな被照射物と交換し、その後に照射室を閉じ、室内に不活性ガスを充填しなければならない。このようにして室内に不活性ガス雰囲気を得るには時間がかかり、これが被照射物の生産性向上の妨げとなるとともに、大量の不活性ガスを必要とした。特にバッチ方式で被照射物に電子線照射を行う場合、かかる照射室全体を不活性ガスで満たす方式はきわめて生産性の低いものであった。

そこで、特開平１０−３１２７６４号公報に記載されているように、照射室全体を不活性ガス雰囲気とするのではなく、被照射物をトレイに収容し、該トレイ開口をシートで閉じ、該トレイ内に不活性ガスを供給することが提案されるようになった。

さらに言えば、不活性ガス供給装置に接続された不活性ガス供給弁を搭載したトレイ台を照射室内に配置し、且つ、該トレイ台をトレイ台搬送装置により電子線照射領域で移動させ得るようにし、前記の被照射物を収容し、シートで閉じられたトレイを該トレイ台に載置し、それにより該トレイ台の不活性ガス供給弁を開いてトレイ内に不活性ガスを供給する方式である。

この場合、特開平１０−３１２７６４号公報には、不活性ガス供給用の弁として、弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能の開閉弁を採用し、トレイには不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を設けておき、トレイを該トレイ台に載置すると、該トレイの不活性ガス導入口がトレイ台の開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して開き、それによりトレイ内への不活性ガス導入を可能にすることが開示されている。

特開平１０−３１２７６４号公報

しかしながら、特開平１０−３１２７６４号公報に記載のトレイにはトレイ下面から下方へ突出するリング状の突出部が形成されており、これが不活性ガス導入口とされており、該リング状突出部の内側領域に前記の弁体押圧部材が架設されている。このリング状突出部はトレイが電子線照射室内のトレイ台に載置され、該突出部がトレイ台の不活性ガス供給弁に対応する位置に置かれると、該弁に嵌合し、該押圧部材が該弁の弁体を下方へ押圧して開くようになっている。

また、トレイは照射室外からトレイ搬入装置により照射室内のトレイ台上へ搬入されるが、該トレイ搬入装置として水平搬送装置が採用されており、トレイは該搬送装置により水平移動されつつ照射室内のトレイ台上へ横滑り状態で押し込まれる。
従って、トレイがトレイ台上に横滑り状態で押し込まれるとき、トレイ下面から突出する不活性ガス導入口である突出部がトレイ台面で抵抗を受けてトレイの姿勢が狂い、そのためにトレイの該突出部がうまくトレイ台の開閉弁に嵌合しないとともに弁体押圧部材が該開閉弁をうまく押し開けられない恐れがある。

そこで本発明は、電子線照射装置本体を付設した電子線照射室、被照射物を収容するトレイ、該トレイを載置する該電子線照射室内のトレイ台、該トレイ台を電子線照射室内の電子線照射領域で搬送するトレイ台搬送装置、該トレイを該トレイ台へ搬入するトレイ搬入装置及び不活性ガス供給装置を含み、前記トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、前記不活性ガス供給装置は該開閉弁に接続されており、前記トレイは不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を備えている電子線照射装置であって、トレイへの不活性ガス導入を従来より確実に行える電子線照射装置を提供することを課題とする。

また本発明は、かかる電子線照射装置であって、さらに、被照射物への電子線照射を効率よく行える電子線照射装置を提供することを課題とする。

かかる課題を解決するため、本発明は、電子線照射装置本体を付設した電子線照射室、被照射物を収容するトレイ、該トレイを載置する該電子線照射室内のトレイ台、該トレイ台を電子線照射室内の電子線照射領域で搬送するトレイ台搬送装置、該トレイを該トレイ台へ搬入するトレイ搬入装置及び不活性ガス供給装置を含み、前記トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、前記不活性ガス供給装置は該開閉弁に接続されており、前記トレイは不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を備えている電子線照射装置であって、次の電子線照射装置を提供する。

（１）前記トレイ搬入装置は前記トレイを前記電子線照室外の位置から前記トレイ台の上方へ移動させ、該トレイ台へ下降させて載置するものであり、
前記トレイが前記トレイ搬入装置により前記トレイ台に載置されることで該トレイの不活性ガス導入口が該トレイ台の前記開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入を可能にする電子線照射装置。

（２）前記トレイ搬入装置は、前記電子線照射室外に設置された外部トレイ台上に載置される前記トレイを前記電子線照室内のトレイ台の上方へ移動させ、該トレイ台へ下降させて載置するものであり、
前記外部トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、該開閉弁にも不活性ガス供給装置が接続されており、
前記トレイは該トレイの不活性ガス導入口が前記外部トレイ台の開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入を可能にするように該外部トレイ台に載置可能であり、
前記トレイ搬入装置により該トレイが前記電子線照射室内のトレイ台に載置されることで該トレイの不活性ガス導入口が該トレイ台の前記開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入が可能になる電子線照射装置。

本発明に係る上記（１）、（２）のいずれの電子線照射装置においても、被照射物を収容するトレイとしては、前記不活性ガス導入口からトレイ内へ導入される不活性ガスにて該トレイ内の既存ガス（例えば空気）の押し退け排出を可能にする蓋部材で閉じることができるものを採用すればよい。

かかる蓋部材としては、例えば、不活性ガス導入口からトレイ内へ導入される不活性ガスに該トレイ内の既存ガスを押し退け排出させつつ該トレイ内に不活性ガスを充満させ得るシート部材、例えば小さい通気孔を形成したシートや、トレイに通気隙間を残して被着されるシートを挙げることができる。勿論、該シートは電子線が透過し得るものとする。

本発明に係る上記（１）、（２）のいずれの電子線照射装置においても、電子線照射室外に位置するトレイは、トレイ搬入装置により、そのままの姿勢で、照射室内のトレイ台の上方へ搬送され、その後に該トレイ台へ下ろして載置される。従って、トレイはその不活性ガス導入口がトレイ台の不活性ガス供給用の開閉弁にうまく合致するように、且つ、トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該弁を開くことができるようにトレイ台に載置できる。

かくして、トレイ内に不活性ガスが充填され、照射室内への搬入前に予めトレイ内に収容された被照射物は不活性ガス雰囲気中で電子線照射処理を受ける。
なお、かかるトレイ搬入装置としては、例えばトレイを支持して昇降させるトレイ昇降装置と該トレイ昇降装置を水平移動させる装置とを含んでいるものを挙げることができる。

前記（２）の電子線照射装置では、電子線照射室内のトレイ台へ搬入される前の待機中のトレイを該室外に設置された外部トレイ台に載置することができ、且つ、該トレイの不活性ガス導入口が外部トレイ台の開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入を可能にするように該外部トレイ台に載置することができるので、該待機中トレイ内へ予め不活性ガスを充填しておくことができ、それだけ電子線照射室内でのトレイへの不活性ガス充填に要する時間を節約して、電子線照射処理を効率よく、生産性よく行える。

以上説明したように、本発明によると、電子線照射装置本体を付設した電子線照射室、被照射物を収容するトレイ、該トレイを載置する該電子線照射室内のトレイ台、該トレイ台を電子線照射室内の電子線照射領域で搬送するトレイ台搬送装置、該トレイを該トレイ台へ搬入するトレイ搬入装置及び不活性ガス供給装置を含み、前記トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、前記不活性ガス供給装置は該開閉弁に接続されており、前記トレイは不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を備えている電子線照射装置であって、トレイへの不活性ガス導入を従来より確実に行える電子線照射装置を提供することができる。

また本発明によると、かかる電子線照射装置であって、さらに、被照射物への電子線照射を効率よく行える電子線照射装置を提供することができる。

以下図面を参照して本発明の実施形態に係る電子線照射装置を説明する。
図１に本発明の第１実施形態に係る電子線照射装置Ａを示す。
図１に示す電子線照射装置Ａは電子線照射装置本体１を備えた電子線照射室２を含んでいる。照射室２はトレイ入口２１及びトレイ出口２３を有しており、入口２１は開閉扉２２で開閉可能であり、出口２３は開閉扉２４で開閉可能である。

照射室２内にはトレイ台３が配置されており、該トレイ台は照射室内のトレイ台搬送装置４で水平方向に往復動させることができる。さらに言えば、電子線照射装置本体１の照射窓１１下方の電子線照射領域で水平方向に往復動させることができる。トレイ台搬送装置４は、一対のコンベア４１を含み、該一対のコンベア４１は、平行に配置され、同期して連動駆動される（図１には片方のみ図示）。該一対のコンベア４１に渡し設けた部材４２にトレイ台３が取り付けられ、支持されている。

照射室２の入口２１の外側にはトレイ搬入装置５が設置されている。トレイ搬入装置５は一対のピストンシリンダ装置５１（図２も参照）を備えており、各ピストンシリンダ装置５１はそのピストンロッド５１１でトレイ支持アーム５２を水平姿勢で片持ち支持しており、アーム５２を昇降させることができる。各アーム５２は照射室２の方へ延びている。

一対のピストンシリンダ装置５１は図２に示すようにシリンダチューブ５１２の部分でベース部材５３に立設されており、該ベース部材は水平往復駆動装置５４で照射室２側へ又はその反対方向へ往復動させることができる。かくして、該駆動装置５４でベース部材５３及びそれに立設されたピストンシリンダ装置５１を動かしてトレイ支持アーム５２を照射室２側へ又はその反対方向へ往復動させることができる。なお、駆動装置５４はその詳細の図示を省略してあるが、例えば電動モータ駆動可能のボールネジ機構等からなるもを採用できる。

また、搬入装置５のトレイ支持アーム５２の間の空間の定位置に外部トレイ台６が設けられており、ここに被処理物Ｗを収容するトレイ７を載置することができる。
外部トレイ台６は、図示を省略した部材により、トレイ搬入装置５のピストンシリンダ装置５１、トレイ支持アーム５２等の動作に支障のないように支持されている。

前記のトレイ台３は図３に示すように不活性ガス供給用の開閉弁３１を備えている。開閉弁３１は、図１に示すように照射室２の外側に設置した不活性ガス（アルゴンガス等でもよいが本例では窒素ガス）供給装置８にフレキシブルホース８１を介して接続されている。開閉弁３１は、トレイ台３の上下方向の貫通孔に嵌着した筒形状の弁ケース３１１の上端通気口を上下方向に可動の弁体３１２で開閉できるようにしたものである。弁体３１２はホース８１から供給される不活性ガスの圧力で上方へ持ち上げられ、上端通気口を閉じることができるが（図３（Ａ）参照）、上方から下方への押圧力を加え、ガス圧に抗して下降させ、弁ケース上端通気口を開き、そこから不活性ガスを放出させることができる（図３（Ｂ）参照）。なお、弁３１には弁体３１２を閉じ位置へ付勢するバネをもうけてもよい。

一方、トレイ７には図３に示すようにトレイ台３の開閉弁３１に対応する位置に不活性ガス導入口７２が設けられている。導入口７２はトレイ７の底に形成した貫通孔に嵌着された筒状部材からなっており、該筒状部材の上端開口の中央部に十字形部材を介して弁体押圧部材７３が架設されている。また、トレイ７はその搬送方向に直交する方向に張り出した一対の部分７１を有している（図２も参照）。

以上説明した電子線照射装置Ａによると、次のようにして被照射物Ｗに電子線照射処理を施すことができる。
当初、トレイ搬入装置５のピストンシリダ装置５１及びこれに支持されたトレイ支持アーム５２は図１に実線で示す初期の後退位置に配置し、且つ、トレイ支持アーム５２は下降位置に置く。このとき、トレイ支持アーム５２は外部トレイ台６の両外側に位置する。

また、トレイ７内に被照射物Ｗを収容し、トレイ開口を、本例ではトレイ内の既存ガス（主として空気）を排出させ得る小さい通気孔を形成したシートＳ（例えばポリエチレンテレフタレートシートやポリエチレンシート等）を被せて閉じ、このトレイ７を外部トレイ台６上の所定位置に所定姿勢（トレイ張出部７１がアーム５２の上方に位置する姿勢）で載置する。トレイ台６上へのトレイ７の載置は人手で行ってもよいし、図示していない別途のトレイ搬送装置で行ってもよい。

いずれにしても、外部トレイ台６には、必要に応じ、該台の所定位置にトレイ７をセットするための定規部材（例えばトレイ７の互いに直交する２側面をこれに当接させて位置決めするための定規部材）を設けてもよく、或いは前記別途のトレイ搬送装置に、外部トレイ台６の所定位置にトレイ７を載置させるようにしてもよい。

かかる外部トレイ台６におけるトレイ７の所定の載置位置は、後述するように、外部トレイ台６上のトレイ７を搬入装置５のトレイ支持アーム５２で持ち上げ、照射室２内の待機位置のトレイ台３（図１に実線で示す位置にあるトレイ台３）の上方の所定位置へ搬入し、次いで降ろしてトレイ台３に載置したとき、図３（Ｂ）に示すようにトレイ７の筒形部材からなる不活性ガス導入口７２がトレイ台３の開閉弁３１の筒形弁ケース３１１に外嵌し、トレイ７の弁体押圧部材７３が開閉弁３１の弁体３１２を押圧して開くことを可能にする位置である。

以上説明したようにトレイ７が外部トレイ台６の所定位置に載置されると、搬入装置５のピストンシリンダ装置５１にてトレイ支持アーム５２を上昇させ、該アームでトレイ７の張出部７１を下方から支持しつつトレイ７を持ち上げ、次いで、ピストンシリンダ装置５１を駆動装置５４にて照射室２側へ前進させ、照射室入口２１から照射室内待機位置のトレイ台３の上方所定位置へ搬入する。次いで、トレイ支持アーム５２を下降させてトレイ７をトレイ台３に載置する。その後トレイ支持アーム５２を初期位置へ戻すとともに照射室入口の扉２２を閉じる。

トレイ７がトレイ台３に載置されると、図３（Ｂ）に示すように、トレイ７の筒形部材からなる不活性ガス導入口７２がトレイ台３の開閉弁３１の筒形弁ケース３１１に外嵌し、トレイ７の弁体押圧部材７３が開閉弁３１の弁体３１２を押圧して開く。かくして不活性ガスがトレイ７内へ導入され、且つ、トレイ内の既存ガス（主として空気）がシートＳの孔から排出され、トレイ内が不活性ガスで充填される。

このようにトレイ７内が不活性ガスで満たされると、トレイ台搬送装置４にてトレイ台３を、従ってそれに載置されたトレイ７を電子線照射領域で移動させ、また、必要に応じ１又は複数回往復移動させて、トレイ内被照射物Ｗに不活性ガス雰囲気のもとで電子線照射を行う。この処理中もトレイ７へ不活性ガスを供給し続けることができる。その後は、照射室出口扉２４を開いてトレイ７を取り出せばよい。このとき、トレイ７をトレイ台３から持ち上げることで、図３（Ａ）に示すように、開閉弁３１は閉じる。

本例では、照射室出口２３の外側に、前記トレイ搬入装置５と同じで、装置５と向きを正反対にしたトレイ搬出装置５’及び外部トレイ台６と同様の搬出側外部トレイ台６’を設けてあり、これらを用いて、照射室２内から電子線照射済のトレイ７を取り出す。

電子線照射装置Ａによると、電子線照射室２外の外部トレイ台６上に位置するトレイ７は、トレイ搬入装置５により、そのままの姿勢で、照射室２内の待機位置にあるトレイ台３の上方の所定位置へ搬送され、その後にトレイ台３へ下ろして載置される。従って、トレイ７はその不活性ガス導入口７２がトレイ台３の不活性ガス供給用の開閉弁３１にうまく合致するように、且つ、トレイ７の弁体押圧部材７３が該開閉弁３１の弁体３１２を確実に押圧して該弁を開くことができるようにトレイ台３に載置できる。

かくして、トレイ３内に確実に不活性ガスが充填され、照射室２内への搬入前に予めトレイ７内に収容された被照射物Ｗは不活性ガス雰囲気中で電子線照射処理を受ける。

以上説明した装置Ａでは、トレイ７内への不活性ガスの充填は、トレイ７が照射室２内のトレイ台３へ載置されて始めて行われる。そこで、先行する被照射物Ｗに照射室２内で電子線照射処理を施している間に、照射室外部トレイ台６に次の被照射物Ｗを収容したトレイ７を載置、予めここでもトレイ７内に不活性ガスを充填すれば、照射室２内でのトレイ７への不活性ガス充填に要する時間をそれだけ節約でき、電子線照射処理を効率よく行え、被処理物の生産性が向上する。本発明の第２実施形態の電子線照射装置は前記装置Ａをそのように改良したものである。

第２実施形態の電子線照射装置は、前記装置Ａにおける外部トレイ台６を外部トレイ台６ａに置き換え、これにも不活性ガス供給装置８を接続したものである。それ以外の点は装置Ａと同様である。
第２実施形態の電子線照射装置における外部トレイ台６ａは、図４（Ａ）に示すように、前記装置Ａにおける照射室内トレイ台３におけるものと同じ不活性ガス供給用開閉弁３１を有している。それにはフレキシブルホース８１’を介してガス供給装置８を接続してある。

この外部トレイ台６ａ上の所定位置にトレイ７を載置すると、図４（Ｂ）に示すように、トレイ７の筒形部材からなる不活性ガス導入口７２がトレイ台３の開閉弁３１の筒形弁ケース３１１に外嵌し、トレイ７の弁体押圧部材７３が開閉弁３１の弁体３１２を押圧して開く。かくして不活性ガスがトレイ７内へ導入され、且つ、トレイ内の既存ガス（主として空気）がシートＳの孔から排出され、トレイ内が不活性ガスで充填される。

このように外部トレイ台６ａにおいても待機中のトレイ７に不活性ガスを充填することで、照射室２内でのトレイ７への不活性ガス充填に要する時間を節約でき、それだけ電子線照射処理を効率よく行え、被処理物の生産性が向上する。

本発明の電子線照射装置は酸素含有雰囲気での電子線照射が好ましくない被照射物に対する電子線照射処理に利用できる。

本発明の第１実施形態に係る電子線照射装置の構成を概略的に示す図である。 図１の電子線照射装置におけるトレイ搬入装置、外部トレイ台及びそれに載置されたトレイの部分の平面図である。 図３（Ａ）は照射室内トレイ台の上方にトレイを配置した状態の断面図であり、図３（Ｂ）は該トレイ台にトレイを載置した状態の断面図である。 本発明の第２実施形態に係る電子線照射装置の一部を示すもので、図４（Ａ）は不活性ガス供給用開閉弁を設けた外部トレイ台の上方にトレイを配置した状態の断面図であり、図４（Ｂ）は該外部トレイ台にトレイを載置した状態の断面図である。

符号の説明

Ａ 電子線照射装置
１ 電子線照射装置本体
１１ 電子線照射窓
２ 電子線照射室
２１ トレイ入口
２２ 入口開閉扉
２３ トレイ出口
２４ 出口開閉扉
３ トレイ台
３１ 開閉弁
３１１ 筒形弁ケース
３１２ 可動弁体
４ トレイ台搬送装置
４１ コンベア
４２ コンベアに渡し設けた部材
５ トレイ搬入装置
５１ ピストンシリンダ装置
５１１ ピストンロッド
５１２ シリンダチューブ
５２ トレイ支持アーム
５３ ベース部材
５４ ベース部材水平往復駆動装置
６、６ａ 照射室入口側の外部トレイ台
５’ トレイ搬出装置
６’ 照射室出口側の外部トレイ台
７１ トレイの張出部分
７２ 筒形部材からなる不活性ガス導入口
７３ 弁体押圧部材
Ｗ 被処理物
Ｓ シート
８ 不活性ガス供給装置
８１、８１’ フレキシブルホース

Claims (4)

1. 電子線照射装置本体を付設した電子線照射室、被照射物を収容するトレイ、該トレイを載置する該電子線照射室内のトレイ台、該トレイ台を電子線照射室内の電子線照射領域で搬送するトレイ台搬送装置、該トレイを該トレイ台へ搬入するトレイ搬入装置及び不活性ガス供給装置を含み、前記トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、前記不活性ガス供給装置は該開閉弁に接続されており、前記トレイは不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を備えているとともに該不活性ガス導入口からトレイ内へ導入される不活性ガスにて該トレイ内の既存ガスの押し退け排出を可能にする蓋部材で閉じることができる電子線照射装置であって、
   前記トレイ搬入装置は前記トレイを前記電子線照室外の位置から前記トレイ台の上方へ移動させ、該トレイ台へ下降させて載置するものであり、
   前記トレイが前記トレイ搬入装置により前記トレイ台に載置されることで該トレイの不活性ガス導入口が該トレイ台の前記開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入を可能にすることを特徴とする電子線照射装置。
2. 電子線照射装置本体を付設した電子線照射室、被照射物を収容するトレイ、該トレイを載置する該電子線照射室内のトレイ台、該トレイ台を電子線照射室内の電子線照射領域で搬送するトレイ台搬送装置、該トレイを該トレイ台へ搬入するトレイ搬入装置及び不活性ガス供給装置を含み、前記トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、前記不活性ガス供給装置は該開閉弁に接続されており、前記トレイは不活性ガス導入口及び弁体押圧部材を備えているとともに該不活性ガス導入口からトレイ内へ導入される不活性ガスにて該トレイ内の既存ガスの押し退け排出を可能にする蓋部材で閉じることができる電子線照射装置であって、
   前記トレイ搬入装置は、前記電子線照射室外に設置された外部トレイ台上に載置される前記トレイを前記電子線照室内のトレイ台の上方へ移動させ、該トレイ台へ下降させて載置するものであり、
   前記外部トレイ台は不活性ガス供給用の開閉弁であって弁体の押圧により開き、該押圧の解除により閉成可能である開閉弁を有しており、該開閉弁にも不活性ガス供給装置が接続されており、
   前記トレイは該トレイの不活性ガス導入口が前記外部トレイ台の開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入を可能にするように該外部トレイ台に載置可能であり、
   前記トレイ搬入装置により該トレイが前記電子線照射室内のトレイ台に載置されることで該トレイの不活性ガス導入口が該トレイ台の前記開閉弁に臨むとともに該トレイの弁体押圧部材が該開閉弁の弁体を押圧して該開閉弁を開き、トレイへの不活性ガス導入が可能になることを特徴とする電子線照射装置。
3. 前記トレイを閉じる蓋部材はシートからなっている請求項１又は２記載の電子線照射装置。
4. 前記トレイ搬入装置は前記トレイを支持して昇降させるトレイ昇降装置と該トレイ昇降装置を水平移動させる装置とを含んでいる請求項１、２又は３記載の電子線照射装置。