CN212582004U - 电池片镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种电池片镀膜设备，包括：多个真空腔体；多个真空门阀，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀相连；运料装置，用于向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片；载板，可流转地设于多个真空腔体内，载板用于承载电池片；第一电池片升降机构，用于在运料装置和载板之间传输电池片；第一传输装置，每个真空腔体内设有第一传输装置，其中，第一传输装置用于在多个真空腔体之间传输载板和/或传输运料装置。通过本实用新型的技术方案，减少了载板和大气的接触，有利于保持载板温度的稳定性和减少水气、杂质的积累，从而可以提升电池片温度的稳定性和洁净度，进而提升电池片的工艺处理效果。

Description

电池片镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及电池片镀膜技术领域，具体而言，涉及一种电池片镀膜设备。

背景技术

传统PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜设备中，承载电池片的载板需要频繁进入真空腔体或大气环境，这会使载板的温度不断波动而导致电池片温度很难控制，同时载板频繁暴露在空气中，也容易附着水气和杂质累积，从而污染电池片；电池片的污染和温度的不均匀不稳定，最终会对电池片的工艺效果产生很大影响。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种电池片镀膜设备。

本实用新型的另一个目的在于提供一种电池片镀膜方法。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面的技术方案提供了一种电池片镀膜设备，包括：多个真空腔体；多个真空门阀，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀相连；运料装置，用于向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片；载板，可流转地设于多个真空腔体内，载板用于承载电池片；电池片升降装置，用于在运料装置和载板之间传输电池片；第一传输装置，每个真空腔体内设有第一传输装置，其中，第一传输装置用于在多个真空腔体之间传输载板和/或传输运料装置。

在该技术方案中，通过设置多个真空腔体，并设置运料装置向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片，而载板通过第一传输装置可流转地设于真空腔体内，即载板可以始终留在真空腔体内，不需要进入大气环境中，有利于载板保持较为稳定的温度，还可以避免因为暴露在空气中而附着水气和杂质，从而有利于电池片温度的控制，减少电池片受到的污染，进而提升电池片的工艺处理效果和加工质量；可以理解，第一传输装置用于传输载板，使载板能够在不同的真空腔体之间流转，以便电池片进行不同的工艺处理。

在上述技术方案中，多个真空腔体包括：相互连接的第一真空腔体和第二真空腔体，第一真空腔体远离第二真空腔体的一端设有第一大气门阀；第一大气门阀开启，以供运料装置出入第一真空腔体；第一大气门阀关闭，以供第一真空腔体内进行抽真空；运料装置可通过第一传输装置在第一真空腔体和第二真空腔体之间往复运动。

在上述技术方案中，第二真空腔体内的第一传输装置可伸缩地设置；电池片升降装置包括第一电池片升降机构，设于第二真空腔体内；第二真空腔体内还设有第一载板顶升机构，第一载板顶升机构用于升降载板。

在上述技术方案中，第一电池片升降机构上设有多个升降立柱；载板上设有通孔，通孔用于避让升降立柱。

在上述任一项技术方案中，多个真空腔体还包括：第三真空腔体，与第二真空腔体连接，第三真空腔体用于电池片进行第一工序；第三真空腔体内还设有第一加热器和第一加热器顶升机构，第一加热器用于加热载板，第一加热器顶升机构用于顶升第一加热器，且第一加热器和第一传输装置错位设置；载板通过第一传输装置，从第二真空腔体运动至第三真空腔体内。

在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：过渡真空腔体，与第三真空腔体连接；载板通过第一传输装置，从第三真空腔体运动至过渡真空腔体内。

在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第四真空腔体，与过渡真空腔体连接，第四真空腔体用于电池片执行第二工序；第四真空腔体内还设有第二加热器和第二加热器顶升机构，第二加热器用于加热载板，第二加热器顶升机构用于顶升第二加热器，且第二加热器和第一传输装置错位设置；载板通过第一传输装置从过渡真空腔体运动至第四真空腔体内。

在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第五真空腔体，与第四真空腔体连接；第五真空腔体内可伸缩地设有第一传输装置，载板通过第一传输装置从第四真空腔体运动至第五真空腔体内；电池片升降装置还包括第二电池片升降机构，设于第五真空腔体内，第二电池片升降机构上设有升降立柱；第五真空腔体内还设有第二载板顶升机构，第二载板顶升机构用于升降载板；运料装置还通过第一传输装置出入第五真空腔体；第二电池片升降机构用于在运料装置和载板之间传输加工完成的电池片。

在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第六真空腔体，与第五真空腔体连接，第六真空腔体远离第五真空腔体的一端设有一个第二大气门阀；运料装置可通过第一传输装置在第五真空腔体和第六真空腔体之间往复运动，运料装置还通过第二大气门阀的开启出入第六真空腔体。

在上述任一项技术方案中，电池片镀膜设备还包括：第二传输装置，设于多个真空腔体内，第二传输装置与第一传输装置错位设置，且第二传输装置用于传输空载的载板。

本实用新型第二方面的技术方案提供了一种电池片镀膜方法，用于上述第一方面中任一项技术方案的电池片镀膜设备，包括：获取电池片镀膜指令；根据电池片镀膜指令，开启第一大气门阀，控制运料装置运载电池片进入第一真空腔体；关闭第一真空腔体的第一大气门阀，抽真空后，开启第一真空腔体和第二真空腔体之间的真空门阀；控制第一传输装置将运料装置送入第二真空腔体；控制第二真空腔体内的第一电池片升降机构上升，取下运料装置上的电池片；控制一传输装置将运料装置送回第一真空腔体，并关闭真空门阀，开启第一大气门阀，送出运料装置；控制第一电池片升降机构下降，并控制第一载板顶升机构带动载板上升，使第一电池片升降机构上的电池片落至载板上；控制第二真空腔体内的第一传输装置避让载板，并控制第一载板顶升机构带动载板上升至第一传输装置上方；控制第二真空腔体内的第一传输装置复位，并将带有电池片的载板送入第三真空腔体；控制第三真空腔体内的第一加热器顶升机构上升，带动载板上升至第一预设高度，执行第一工序；完成第一工序之后，控制第一加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；控制第一传输装置将载板经过渡真空腔体送入第四真空腔体；控制第四真空腔体内的第二加热器顶升机构上升，带动载板上升至第二预设高度，执行第二工序；完成第二工序之后，控制第二加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；控制第一传输装置将载板送入第五真空腔体；控制第二电池片升降机构上升，顶起载板上的电池片；控制第二载板顶升机构上升，承接载板后下降，并控制第五真空腔体内的第一传输装置避让载板，使载板落至第一传输装置下方的第二传输装置上；控制第二传输装置将空载的载板经第四真空腔体、过渡真空腔体、第三真空腔体，回到第二真空腔体内；控制第五真空腔体内的第一传输装置复位，将空载的运料装置从第六真空腔体送入第五真空腔体；控制空载的运料装置取下第二电池片升降机构顶起的电池片；控制第一传输装置将载有电池片的运料装置送入第六真空腔体；控制第五真空腔体和第六真空腔体之间的真空门阀关闭，开启第二大气门阀，将运料装置送出第六真空腔体。

在该技术方案中，通过采用运料装置在大气环境和真空腔体之间运输电池片，载板带着电池片在各个真空腔体之间流转，并在电池片镀膜完成后，还可以反向流转，承接待加工的电池片，使载板不需要和外界的空气接触，一直在真空环境中流转，这样有利于保持载板温度的稳定性和和清洁度，从而有利于保持载板上的电池片的温度稳定性和清洁度，有利于提升电池片的加工质量和工艺效果。

可以理解，运料装置可以在第一真空腔体的外侧设置一个，在第六真空腔体的外侧也设置一个，即电池片的进出各自采用一个运料装置；也可以仅采用一个运料装置，既运载待加工的电池片进入第一真空腔体，也在退出第一真空腔体后，进入第六真空腔体，从第六真空腔体运出加工完成的电池片。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型的一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图2是本实用新型的另一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图3是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图4是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图5是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图6是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图7是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图8是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图9是本实用新型的又一个实施例的电池片镀膜设备的主视结构示意图；

图10是本实用新型的一个实施例的电池片镀膜方法的流程示意图。

其中，图1至图9中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1电池片，10第一真空腔体，100第一挂钩装置，20第二真空腔体，200第一电池片升降机构，202第一载板顶升机构，30第三真空腔体，300第一加热器，302第一加热器顶升机构，40第四真空腔体，400第二加热器，402第二加热器顶升机构，50第五真空腔体，500第二电池片升降机构，502第二载板顶升机构，60第六真空腔体，600第二挂钩装置，70过渡真空腔体，80载板，90第一大气门阀，91第二大气门阀，92真空门阀，94第一滚轮，96第二滚轮。

具体实施方式

为了可以更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图10描述本实用新型的一些实施例。

如图1至图9所示，根据本实用新型第一方面提出的一个实施例的电池片镀膜设备，包括：多个真空腔体；多个真空门阀92，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀92相连；运料装置，运料装置包括第一挂钩装置100，第一挂钩装置100用于向真空腔体内输入电池片1；载板80，可流转地设于真空腔体内，载板80用于承载电池片1；电池片升降装置，包括第一电池片升降机构200，第一电池片升降机构200用于在第一挂钩装置100和载板80之间传输电池片1；第一滚轮94，也就是第一传输装置，每个真空腔体内设有第一滚轮94，其中，第一滚轮94用于在多个真空腔体之间传输载板80和/或传输第一挂钩装置100。

在该实施例中，通过设置多个真空腔体，并设置第一挂钩装置100向真空腔体内输入电池片1，而载板80可流转地设于真空腔体内，即载板80可以始终留在真空腔体内，不需要进入大气环境中，有利于载板80保持较为稳定的温度，还可以避免因为暴露在空气中而附着水气和杂质，从而有利于电池片1温度的控制，减少电池片1受到的污染，进而提升电池片1的工艺处理效果和加工质量。

可以理解，在另一些实施例中，运料装置不仅可以包括第一挂钩装置，还可以包括第一皮带轮装置、第一机械手装置、第一真空吸盘装置等，均可以实现电池片的传输；同样地，第一传输装置可以是第一滚轮94，也可以是第一机械手装置、第一皮带轮装置等，均可以实现载板80的运输。

如图1所示，在上述实施例中，多个真空腔体包括：相互连接的第一真空腔体10和第二真空腔体20，第一真空腔体10远离第二真空腔体20的一端设有第一大气门阀90；第一大气门阀90开启，以供第一挂钩装置100出入第一真空腔体10；第一大气门阀90关闭，以供第一真空腔体10内进行抽真空；第一挂钩装置100通过第一滚轮94在第一真空腔体10和第二真空腔体20之间往复运动。

在该实施例中，第一真空腔体10设有第一大气门阀90，第一挂钩装置100可通过第一大气门阀90出入第一真空腔体10，且第一挂钩装置100通过第一滚轮94在第一真空腔体10和第二真空腔体20之间往复运动，这样第一挂钩装置100能够将电池片1从外部送入真空腔体内，并且在送入第一真空腔体10后，还可以先关闭第一大气门阀90进行抽真空，然后再进入第二真空腔体20，即第一挂钩装置100可以将电池片1输送至第二真空腔体20再退出，而第二真空腔体20的两侧都是真空门阀92，使得载板80可以始终在真空腔体内而不与外界接触，不需要载板80暴露在大气中，也不会和第一大气门阀90打开时进入的大气接触。

可以理解，由于第一真空腔体10和第二真空腔体20之间设有真空门阀92，因此，第一真空腔体10起到了过渡作用，在第一大气门阀90被打开时，可以关闭第一真空腔体10和第二真空腔体20之间的真空门阀92，避免外部空气进入第二真空腔体20，通过对第一真空腔体10抽真空之后，再打开真空门阀92，大幅减少了外部空气进入真空腔体的可能，从而减少了载板80与外部空气接触的机会，有利于提升载板80温度的稳定性和载板80的洁净度，从而有利于电池片1温度的控制，减少电池片1受到的污染；另外，第一挂钩装置100可通过第一滚轮94在第一真空腔体10和第二真空腔体20之间往复运动，还可以在将电池片1传输给载板80后，从第一大气门阀90再退出第一真空腔体10，从而进行新的运输，保证传输工作的连续性。

在上述实施例中，第二真空腔体20内的第一滚轮94可伸缩地设置；电池片升降装置包括第一电池片升降机构200，设于所述第二真空腔体20内；第二真空腔体20内还设有第一载板顶升机构202，第一载板顶升机构202用于升降载板80。

如图2所示，在该实施例中，第二真空腔体20内的第一滚轮94可伸缩地设置，便于避让载板80，第一挂钩装置100进入第二真空腔体20后，通过第一电池片升降机构200升起，可以将第一挂钩装置100上的电池片1顶起，使电池片1和第一挂钩装置100脱离，然后第一挂钩装置100通过第一滚轮94的带动，重新回到第一真空腔体10，此时封闭第一真空腔体10和第二真空腔体20之间的真空门阀92，再打开第一大气门阀90，使第一挂钩装置100可以从第一真空腔体10回到外部，重新装载电池片1；由于真空门阀92关闭，使得第一大气门阀90打开时进入到第一真空腔体10内的大气不会进入第二真空腔体20，并可以通过抽真空排放大气；第一挂钩装置100退出第二真空腔体20后，第一电池片升降机构200带着电池片1下降，同时，第一载板顶升机构202带着载板80上升，伸缩设置的第一滚轮94收缩以避让载板80；第一电池片升降机构200和第一载板顶升机构202等高时，电池片1受到载板80的阻挡，与第一电池片升降机构200自然分离，并落到载板80上，完成电池片1由第一挂钩装置100转载到载板80上的过程。

可以理解，第一挂钩装置100上的挂钩和第一滚轮94做了避让设计，避免挂钩和第一滚轮94发生干涉。

进一步地，在电池片1转载到载板80上之后，载板80随第一载板顶升机构202继续上升至第一滚轮94上方，此时，第一滚轮94重新伸出，对载板80形成支撑，以便对载板80进行下一次的传递；此时，第一载板顶升机构202下降，与载板80脱离。

在另一些实施例中，第一传输装置未采用第一滚轮94，而是采用了机械手或皮带运输装置，机械手或皮带运输装置可以移动，以便避让载板80。

如图3所示，在上述实施例中，第一电池片升降机构200上设有多个升降立柱；载板80上设有通孔，通孔用于避让升降立柱。

在该实施例中，载板80上设有通孔以避让升降立柱，结构简单，便于生产，还可以保证载板80的整体性和强度，并确保升降立柱按照预定轨迹升降；升降立柱的设置，便于托举电池片1，使电池片1脱离第一挂钩装置100，还便于将电池片1传递到载板80上。

如图4所示，在上述任一项实施例中，多个真空腔体还包括：第三真空腔体30，与第二真空腔体20连接，第三真空腔体30用于电池片1进行第一工序；第三真空腔体30内还设有第一加热器300和第一加热器顶升机构302，第一加热器300用于加热载板80，第一加热器顶升机构302用于顶升第一加热器300，且第一加热器300和第一滚轮94错位设置；载板80通过第一滚轮94从第二真空腔体20运动至第三真空腔体30内。

在该实施例中，在第三真空腔体30中设置第一加热器300，便于在电池片1在进行第一工序之前进行预热，提升工艺处理效果；第三真空腔体30中设置第一滚轮94，便于接收第二真空腔体20中传输过来的载板80；第一加热器300设置在第一加热器顶升机构302上，便于进行升降，以便在载板80进入时，降低第一加热器300，避免和载板80发生干涉而影响载板80进入第三真空腔体30；载板80进入第三真空腔体30并被第三真空腔体30内的第一滚轮94支撑之后，如图4所示，第一加热器顶升机构302带动第一加热器300上升，顶起载板80，并带动载板80一同上升，以便进行电池片1的第一工序；由于第一加热器300在载板80底部一起上升，因此可以持续对载板80和电池片1加热，提升电池片1的温度稳定性和均匀性。

第一加热器300和第一滚轮94错位设置，以便于第一加热器顶升机构302带动第一加热器300上升时，不会和第一滚轮94发生干涉导致第一加热器300和载板80无法上升。

进一步地，在第一工序完成后，第一加热器顶升机构302可以带动第一加热器300和载板80下降，使载板80重新回到第一滚轮94上，以便进行下一个真空腔体的传输。

在上述实施例中，多个真空腔体还包括：过渡真空腔体70，过渡真空腔体70与第三真空腔体30连接，载板80通过第一滚轮94从第三真空腔体30运动至过渡真空腔体70内。

如图5所示，在上述实施例中，多个真空腔体还包括：第四真空腔体40，与过渡真空腔体70连接，第四真空腔体40用于电池片1执行第二工序；第四真空腔体40内还设有第二加热器400和第二加热器顶升机构402，第二加热器400用于加热载板80，第二加热器顶升机构402用于顶升第二加热器400，且第二加热器400和第一滚轮94错位设置；载板80通过第一滚轮94从过渡真空腔体70运动至第四真空腔体40内。

在该实施例中，在第四真空腔体40中设置第二加热器400，便于在电池片1在进行第二工序之前进行预热，提升工艺处理效果；第四真空腔体40中设置第一滚轮94，便于接收过渡真空腔体70中传输过来的载板80；第二加热器400设置在第二加热器顶升机构402上，便于进行升降，以便在载板80进入时，降低第二加热器400，避免和载板80发生干涉而影响载板80进入第四真空腔体40；载板80进入第四真空腔体40并被第四真空腔体40内的第一滚轮94支撑之后，第二加热器顶升机构402带动第二加热器400上升，顶起载板80，并带动载板80一同上升，以便进行电池片1的第二工序；由于第二加热器400在载板80底部一起上升，因此可以持续对载板80和电池片1加热，提升电池片1的温度稳定性和均匀性。

第二加热器400和第四真空腔体40内的第一滚轮94错位设置，以便于第二加热器顶升机构402带动第二加热器400上升时，不会和第一滚轮94发生干涉导致第二加热器400和载板80无法上升。

进一步地，在第二工序完成后，第二加热器顶升机构402可以带动第二加热器400和载板80下降，使载板80重新回到第一滚轮94上，以便进行下一个真空腔体的传输。

在第三真空腔体30和第四真空腔体40之间设置过渡真空腔体70，可以通过过渡真空腔体70隔离第三真空腔体30和第四真空腔体40，即执行第一工序的第三真空腔体30和执行第二工序的第四真空腔体40之间隔离，有利于减少交叉污染，减少第一工序和第二工序的相互影响，提升电池片的加工质量；相应地，过渡真空腔体70两端的真空门阀不同时开启，即第三真空腔体30和过渡真空腔体70之间的真空门阀开启时，第四真空腔体40和过渡真空腔体70之间的真空门阀关闭；而第三真空腔体30和过渡真空腔体70之间的真空门阀关闭时，第四真空腔体40和过渡真空腔体70之间的真空门阀开启。

如图6所示，在上述实施例中，多个真空腔体还包括：第五真空腔体50，与第四真空腔体40连接；第五真空腔体50内可伸缩地设有第一滚轮94(即第一传输装置)，载板80通过第一滚轮94从第四真空腔体40运动至第五真空腔体50内；电池片升降装置还包括第二电池片升降机构500，设于第五真空腔体50内，第二电池片升降机构500上设有升降立柱；第五真空腔体50内还设有第二载板顶升机构502，第二载板顶升机构502用于升降载板80；运料装置还包括第二挂钩装置600，第二挂钩装置600通过第一滚轮94出入第五真空腔体50；第二电池片升降机构500用于在第二挂钩装置600和载板80之间传输电池片1，第二挂钩装置600用于从真空腔体内输出电池片1。

在该实施例中，通过设置第五真空腔体50和第二挂钩装置600，第二挂钩装置600能够出入第五真空腔体50，便于和载板80在此进行电池片1交接，即完成第一工序、第二工序的电池片1可以在第五真空腔体50转载到第二挂钩装置600上，确保载板80不需要接触外部空气，避免载板80的温度发生较大的波动，也可以避免载板80上附着水气和杂质。

如图7和图8所示，第五真空腔体50内设置第二电池片升降机构500和第二载板顶升机构502，便于在载板80通过第一滚轮94进入第五真空腔体50之后，升起第二载板顶升机构502和第二电池片升降机构500，第二载板顶升机构502升起后支撑载板80，第二电池片升降机构500升起后，升降立柱托举电池片1，然后，第五真空腔体50内伸缩设置的第一滚轮94收缩，使载板80完全由第二载板顶升机构502支撑，然后，第二载板顶升机构502下降，第一滚轮94重新伸出，第二挂钩装置600通过伸出的第一滚轮94进入第五真空腔体50，第二挂钩装置600就位后，第二电池片升降机构500下降，使电池片1和升降立柱分离，并落在第二挂钩装置600上，完成电池片1从载板80到第二挂钩装置600的转载。

如图9所示，在上述实施例中，电池片镀膜设备还包括：多个真空腔体还包括：第六真空腔体60，与第五真空腔体50连接，第六真空腔体60远离第五真空腔体50的一端设有一个第二大气门阀91；第二挂钩装置600可通过第一滚轮94在第五真空腔体50和第六真空腔体60之间往复运动，第二挂钩装置600还通过第二大气门阀91的开启出入第六真空腔体60。

在该实施例中，第六真空腔体60远离第五真空腔体50的一端设有第二大气门阀91，便于第二挂钩装置600通过该第二大气门阀91出入第六真空腔体60，从而将电池片1送出真空腔体，同时，由于第六真空腔体60和第五真空腔体50之间设有真空门阀92，使得第六真空腔体60的第二大气门阀91打开时，外部大气不能进入第五真空腔体50，从而对第五真空腔体50内的载板80形成了保护，避免载板80附着水气或杂质。

在上述任一项实施例中，电池片镀膜设备还包括：第二滚轮96，也就是第二传输装置，设于多个真空腔体内，第二滚轮96与第一滚轮94错位设置，且第二传输装置96用于传输空载的载板80。

在该实施例中，通过设置第二滚轮96，并与第一滚轮94错位设置，便于通过第一滚轮94传输带有电池片1的载板80，而通过第二滚轮96传输空载的载板80，从而在第二真空腔体20、第三真空腔体30、过渡真空腔体70、第四真空腔体40、第五真空腔体50之间形成循环而连续的载板80传输，使得载板80不需要原路返回，有利于提升生产加工效率。

可以理解，第一滚轮94和第二滚轮96上下错位设置，并且在第二真空腔体20和第五真空腔体50中的第一滚轮94都是可伸缩地设置，从而在第二真空腔体20内第二滚轮96上的空载载板80，能够在第一滚轮94收缩时，通过第一载板顶升机构202顶升至第一滚轮94上方，待第一滚轮94伸出后，第一载板顶升机构202下降，使空载载板80落在第一滚轮94上，以便接收第一挂钩装置100上的电池片1；在第五真空腔体50内的第一滚轮94上的载板80，能够被第二载板顶升机构502顶起，待第一滚轮94收缩后，通过第二载板顶升机构502的下降而落到第二滚轮96上，再通过第五真空腔体50、第四真空腔体40、过渡真空腔体70、第三真空腔体30、第二真空腔体20内的第二滚轮96，回到第二真空腔体20而等待接收新的电池片1，形成循环。

如图3所示，在第二真空腔体20中，一块载板80位于第一滚轮94上，准备向第三真空腔体30传输；在第五真空腔体50中，另一块载板80为空载，位于第二滚轮96上，准备向第四真空腔体40传输，以便再经过渡真空腔体70、第三真空腔体30，回到第二真空腔体20内，等待承载新的电池片1；这样第一滚轮94、第二滚轮96分别运输带有电池片1的载板80和空载的载板80，互不干扰，从而有利于提升电池片镀膜效率。

在一些实施例中，运料装置只有一个，运料装置在将电池片送入第二真空腔体20，并退出第一真空腔体10之后，运动至第六真空腔体60外侧，并进入第六真空腔体60中等待加工完成的电池片。

根据本申请提出的一个具体实施例的电池片镀膜设备，载板80会一直在真空腔体中传输，温度稳定，而且没有大气中水气、杂质等物质累积，使工艺效果得到很大改善。

具体地，电池片镀膜设备包括带有双层滚轮的腔体，上层安装传输滚轮的磁力转轴装置具备伸缩功能，当位于上层的第一滚轮94需要传输载板80时，磁力转轴伸长为载板80提供前进动力；当位于下层的载板80需要上升时，上层磁力转轴缩短，使第一滚轮94收缩，避让载板80，为载板80上升提供足够空间，配合升降机构实现载板80在腔体内的升降动作，最终实现载板80在多个真空腔体间的传输、循环使用。

另外，本具体实施例使用特殊的挂钩装置，挂着一排排电池片1，从大气进入真空腔体，通过2套升降装置的配合，快速实现挂钩和载板80间的电池片1传递。

下面结合实施例和附图对本具体实施例进行详细说明：

如图1所示，电池片镀膜设备包括：第一大气门阀90、第二大气门阀91和多个真空门阀92；依次连接的第一真空腔体10、第二真空腔体20、第三真空腔体30、过渡真空腔体70、第四真空腔体40、第五真空腔体50、第六真空腔体60，各个真空腔体之间通过真空门阀92相连，且第一真空腔体10的外侧设有第一大气门阀90，第六真空腔体60的外侧设有第二大气门阀91；电池片镀膜设备还包括：载板80；第一滚轮94，设置在在各个真空腔体中，并位于上层，且第二真空腔体20和第五真空腔体50中的第一滚轮94可伸缩地设置，以避让载板80；运料装置，包括第一挂钩装置100，可出入第一真空腔体10和第二真空腔体20；第一载板顶升机构202和第一电池片升降机构200，设于第二真空腔体20中；第一加热器顶升机构302和第一加热器300，设于第三真空腔体30中；第二加热器顶升机构402和第二加热器400，设于第四真空腔体40中；第二载板顶升机构502和第二电池片升降机构500，设于第五真空腔体50中；运料装置还包括第二挂钩装置600，可出入第五真空腔体50和第六真空腔体60。

电池片升降装置包括第一电池片升降机构200和第二电池片升降机构500，均设置有多个升降立柱，每个升降立柱对应一张电池片1，通过第一电池片升降机构200的升降，使电池片1在载板80和第一挂钩装置100间换位，通过第二电池片升降机构500的升降，使电池片1在载板80和第二挂钩装置600间换位。

可以理解，在第二真空腔体20和第六真空腔体60内，载板顶升装置的横向尺寸小于传输装置之间的间距，以便相互避让，即第一载板顶升机构202的横向尺寸小于相邻第一滚轮94之间的间距，第二载板顶升机构502的横向尺寸小于相邻第一滚轮94之间的间距；载板80的宽度大于传送装置的间距，即载板80的宽度大于相邻第一滚轮94之间的间距，以确保第一滚轮94能够支持载板80；另外，第一载板顶升机构202、第二载板顶升机构502在带着载板80的上升或下降过程中，需要第一滚轮94的收缩，以便避让载板80，并在载板80运动到位后，重新伸出，以承接载板80。

如图10所示，根据本实用新型的第二方面的实施例，提出了一种电池片镀膜方法，用于上述具体实施例的电池片镀膜设备，包括：

步骤S100：获取电池片镀膜指令；

步骤S102：根据电池片镀膜指令，开启第一大气门阀，控制运料装置运载电池片进入第一真空腔体；

步骤S104：关闭第一大气门阀，抽真空后，开启第一真空腔体和第二真空腔体之间的真空门阀；

步骤S106：控制第一传输装置将运料装置送入第二真空腔体；

步骤S108：控制第二真空腔体内的第一电池片升降机构上升，取下运料装置上的电池片；

步骤S110：控制第一传输装置将运料装置送回第一真空腔体，并关闭真空门阀，开启第一大气门阀，送出运料装置；

步骤S112：控制第一电池片升降机构下降，并控制第一载板顶升机构带动载板上升，使第一电池片升降机构上的电池片落至载板上；

步骤S114：控制第二真空腔体内的第一传输装置避让载板，并控制第一载板顶升机构带动载板上升至第一传输装置上方；

步骤S116：控制第一传输装置复位，并将带有电池片的载板送入第三真空腔体；

步骤S118：控制第三真空腔体内的第一加热器顶升机构上升，带动载板上升至第一预设高度，执行第一工序；

步骤S120：完成第一工序之后，控制第一加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；

步骤S122：控制第一传输装置将载板经过渡真空腔体送入第四真空腔体；

步骤S124：控制第四真空腔体内的第二加热器顶升机构上升，带动载板上升至第二预设高度，执行第二工序；

步骤S126：完成第二工序之后，控制第二加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；

步骤S128：控制第一传输装置将载板送入第五真空腔体；

步骤S130：控制第二电池片升降机构上升，顶起载板上的电池片；

步骤S132：控制第二载板顶升机构上升，承接载板后下降，并控制第五真空腔体内的第一传输装置避让载板，使载板落至第一传输装置下方的第二传输装置上；

步骤S134：控制第二传输装置将空载的载板经第四真空腔体、过渡真空腔体、第三真空腔体，回到第二真空腔体内；

步骤S136：控制第五真空腔体内的第一传输装置复位，并将空载的运料装置经第二大气门阀、第六真空腔体送入第五真空腔体；

步骤S138：控制空载的运料装置取下第二电池片升降机构顶起的电池片；

步骤S140：控制第一传输装置将载有电池片的运料装置送入第六真空腔体；

步骤S142：控制第五真空腔体和第六真空腔体之间的真空门阀关闭，开启第六真空腔体的第二大气门阀，将运料装置送出第六真空腔体。

具体地，如图1所示，对应于步骤S100和步骤S102，第一真空腔体10上的第一大气门阀90打开，运料装置中的第一挂钩装置100带着大量的电池片1，通过第一滚轮94(即第一传输装置)，进入第一真空腔体10；对应于步骤S104和步骤S106，第一大气门阀90关闭，第一真空腔体10内开始抽真空至本底压力，此时，第一真空腔体10和第二真空腔体20之间的真空门阀92关闭；如图2所示，第一真空腔体10和第二真空腔体20之间的真空门阀92打开，第一挂钩装置100带着大量的电池片1，通过第一滚轮94进入第二真空腔体20；对应于步骤S108，第一电池片升降机构200上升，把所有电池片1顶起，使电池片1和第一挂钩装置100分离。

如图3所示，对应于步骤S110，第一挂钩装置100，在空载状态下，通过第一滚轮94，从第二真空腔体20返回第一真空腔体10，第一真空腔体10和第二真空腔体20之间的真空门阀92关闭；第一真空腔体10上的第一大气门阀90开启，第一挂钩装置100退出第一真空腔体10，在大气端继续取放等待工艺处理的新电池片1。

对应于步骤S112和步骤S114，第二真空腔体20内两侧的第一滚轮94(即第一传输装置)收缩，然后第一载板顶升机构202上升，带着载板80向上移动至第一滚轮94上方，同时第一电池片升降机构200下降，此时电池片1落在载板80上；步骤S112和步骤S114顺序可以互换。

对应于步骤S116，第一真空腔体10两侧的第一滚轮94重新伸出，第一载板顶升机构202带着载板80下降，使载板80落至第一滚轮94上；如图4所示，载板80通过第二真空腔体20内的第一滚轮94传输至第三真空腔体30。

对应于步骤S118，第三真空腔体30内的第一加热器顶升机构302带着第一加热器300和载板80，上升至第一预设高度，进行第一工序的工艺反应。

对应于步骤S120，如图5所示，当在第三真空腔体30内的工艺反应结束后，第一加热器顶升机构302带着第一加热器300和载板80下降，使载板80落至第一滚轮94上；对应于步骤S122和步骤S124，然后通过第一滚轮94，经过渡真空腔体70，传输至第四真空腔体40，再通过第二加热器顶升机构402上升，使载板80上升至一定高度，进行第二工序的工艺反应。

对应于步骤S126和步骤S128，如图6所示，完成第二工序后，载板80通过第一滚轮94，传输至第五真空腔体50中，对应于步骤S130和步骤S132，然后第二载板顶升机构502上升，把载板80顶起一段距离，然后第五真空腔体50中的第一滚轮94收缩，此时第二载板顶升机构502带着载板80下降，使载板80落至第五真空腔体50下层的第二滚轮96(即第二传输装置)上；第二电池片升降机构500上升，把电池片1顶起，使电池片1脱离载板80，到达一定高度；对应于步骤S136，然后第二挂钩装置600，从第六真空腔体60通过第一滚轮94传输至第五真空腔体50内，如图7所示。

如图8所示，对应于步骤S138和步骤S140、步骤S142，在第五真空腔体50内，第二电池片升降机构500下降，使电池片1落在第二挂钩装置600上，然后第二挂钩装置600带着电池片1，通过第一滚轮94传输进入右侧的第六真空腔体60、再进入大气端；对应于步骤S134，同时载板80通过各个真空腔体内下层的第二滚轮96(即第二传输装置)向左传输至第二真空腔体20中，如图1所示，此载板80进入下一个循环。

可以理解，步骤S134和步骤S136、步骤S138的顺序可以互换，或者同步进行。

以上结合附图详细说明了本实用新型的技术方案，通过本实用新型的技术方案，减少了载板和大气的接触，有利于保持载板温度的稳定性和减少水气、杂质的积累，从而可以提升电池片温度的稳定性和洁净度，进而提升电池片的工艺处理效果。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种电池片镀膜设备，其特征在于，包括：

多个真空腔体；

多个真空门阀，相邻的两个所述真空腔体之间通过一个所述真空门阀相连；

运料装置，用于向所述真空腔体内输入电池片或从所述真空腔体内运出电池片；

载板，可流转地设于多个所述真空腔体内，所述载板用于承载所述电池片；

电池片升降装置，用于在所述运料装置和所述载板之间传输所述电池片；

第一传输装置，每个所述真空腔体内设有所述第一传输装置，

其中，所述第一传输装置用于在多个所述真空腔体之间传输所述载板和/或传输所述运料装置。

2.根据权利要求1所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体包括：相互连接的第一真空腔体和第二真空腔体，所述第一真空腔体远离所述第二真空腔体的一端设有第一大气门阀；

所述第一大气门阀开启，以供所述运料装置出入所述第一真空腔体；

所述第一大气门阀关闭，以供所述第一真空腔体内进行抽真空；

所述运料装置可通过所述第一传输装置在所述第一真空腔体和所述第二真空腔体之间往复运动。

3.根据权利要求2所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述第二真空腔体内的所述第一传输装置可伸缩地设置；

所述电池片升降装置包括第一电池片升降机构，设于所述第二真空腔体内；

所述第二真空腔体内还设有第一载板顶升机构，所述第一载板顶升机构用于升降所述载板。

4.根据权利要求3所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述第一电池片升降机构上设有多个升降立柱；

所述载板上设有通孔，所述通孔用于避让所述升降立柱。

5.根据权利要求3或4所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体还包括：第三真空腔体，与所述第二真空腔体连接，所述第三真空腔体用于所述电池片进行第一工序；

所述第三真空腔体内还设有第一加热器和第一加热器顶升机构，所述第一加热器用于加热所述载板，所述第一加热器顶升机构用于顶升所述第一加热器，且所述第一加热器和所述第一传输装置错位设置；

所述载板通过所述第一传输装置，从所述第二真空腔体运动至所述第三真空腔体内。

6.根据权利要求5所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体还包括：过渡真空腔体，所述过渡真空腔体与所述第三真空腔体连接；

所述载板通过所述第一传输装置，从所述第三真空腔体运动至所述过渡真空腔体内。

7.根据权利要求6所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体还包括：第四真空腔体，与所述过渡真空腔体连接，所述第四真空腔体用于所述电池片执行第二工序；

所述第四真空腔体内还设有第二加热器和第二加热器顶升机构，所述第二加热器用于加热所述载板，所述第二加热器顶升机构用于顶升所述第二加热器，且所述第二加热器和所述第一传输装置错位设置；

所述载板通过所述第一传输装置从所述过渡真空腔体运动至所述第四真空腔体内。

8.根据权利要求7所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体还包括：第五真空腔体，与所述第四真空腔体连接；

所述第五真空腔体内可伸缩地设有所述第一传输装置，载板通过所述第一传输装置从所述第四真空腔体运动至所述第五真空腔体内；

所述电池片升降装置还包括第二电池片升降机构，设于所述第五真空腔体内，所述第二电池片升降机构上设有升降立柱；

所述第五真空腔体内还设有第二载板顶升机构，所述第二载板顶升机构用于升降所述载板；

所述运料装置还通过所述第一传输装置出入所述第五真空腔体；

所述第二电池片升降机构用于在所述运料装置和所述载板之间传输加工完成的所述电池片。

9.根据权利要求8所述的电池片镀膜设备，其特征在于，

所述多个真空腔体还包括：第六真空腔体，与所述第五真空腔体连接，所述第六真空腔体远离所述第五真空腔体的一端设有第二大气门阀；

所述运料装置可通过所述第一传输装置在所述第五真空腔体和所述第六真空腔体之间往复运动，所述运料装置还通过所述第二大气门阀的开启出入所述第六真空腔体。

10.根据权利要求2至4中任一项所述的电池片镀膜设备，其特征在于，还包括：

第二传输装置，设于多个所述真空腔体内，所述第二传输装置与所述第一传输装置错位设置，且所述第二传输装置用于传输空载的所述载板。

Images