CN115881569A - 晶圆测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆测试系统。晶圆测试系统包括上下料装置、烘烤装置、转运装置和多个测试装置，通过上下料装置能够为多个测试装置进行晶圆上料，并在测试装置完成晶圆的检测和墨点标记后，将检测完成的晶圆转移至上下料装置的第二料盒的容置槽内，以实现对晶圆的分隔放置。上下料装置将标记完成的晶圆转移至转运装置处，转运装置将第二料盒转运至烘烤腔装置对晶片进行烘烤，墨点烘干后，即可实现后续对各晶圆的堆叠放置，从而提高空间利用率。相比于相关技术中将烘烤盘复合于测试装置上的方式，本申请的晶圆测试系统将墨点标记后的晶圆集中进行烘干，测试装置无需等待晶圆烘干完成即可继续下一晶圆的测试，晶圆的测试工序更加紧凑，效率更高。

Description

晶圆测试系统

技术领域

本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试系统。

背景技术

晶圆检测的步骤中，会对具有缺陷的晶圆进行墨点标记，为了避免未烘干的墨点涂抹到其他晶圆上，完成检测后的晶圆需要间隔放置。相关技术中，通过在晶圆检测装置设置有烘烤盘对单个检测完成后的晶圆进行墨点烘干，以实现晶圆之间的堆叠放置，使得单位空间内所能存放的晶圆的数量提高。但是烘烤盘对晶圆烘干需要一定的时间，对单个晶圆逐一进行烘干影响生产节拍，进而影响晶圆的生产效率，且烘烤盘的设置会增加晶圆检测装置的占地面积，不利于晶圆检测装置和转运装置等其他装置的排列布局。因此，有必要针对上述问题进行研究解决。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种晶圆测试系统，能够提高晶圆的生产效率。

本发明还提出一种具有上述晶圆测试系统。

根据本发明实施例的晶圆测试系统，包括：

多个测试装置，各所述测试装置沿第一方向排列，所述测试装置包括晶圆检测组件和标记组件，所述晶圆检测组件用于对晶圆进行检测，所述标记组件用于对晶圆的缺陷进行墨点标记；

烘烤装置，具有烘烤腔，用于烘干晶圆上的墨迹，所述烘烤装置和所述测试装置沿第一方向依次排列；

上下料装置，包括第一主体、上料组件、下料组件、第一料盒和第二料盒，所述第一主体能够沿第一方向运动，所述上料组件、所述下料组件、所述第一料盒和所述第二料盒分别安装于所述第一主体，所述第一料盒用于放置未检测的晶圆，所述上料组件用于将第一料盒内的晶圆转移至测试装置；所述第二料盒设置有多个间隔设置的容置槽，所述下料组件用于将完成墨点标记后的晶圆转移至所述容置槽内；

转运装置，用于将所述第二料盒转运至所述烘烤腔内。

根据本发明实施例的晶圆测试系统，至少具有如下有益效果：通过上下料装置，能够为多个测试装置进行晶圆上料，并在测试装置完成晶圆的检测和墨点标记后，将检测完成的晶圆转移至第二料盒的容置槽内，以实现对晶圆的分隔放置。上下料组件完成对墨点标记后的晶圆的收集后，沿第一方向运动至转运装置处，转运装置将第二料盒转运至烘烤腔内对晶片进行烘烤，墨点烘干后，即可实现后续对各晶圆的堆叠放置，从而提高空间利用率。相比于相关技术中将烘烤盘复合于测试装置上的方式，本申请实施例的晶圆测试系统将墨点标记后的晶圆集中进行烘干，测试装置无需等待晶圆烘干完成即可继续下一晶圆的测试，晶圆的测试工序更加紧凑，效率更高。且工作人员仅需对第一料盒进行上料，即可实现对多个测试装置的补料，补料更加方便快捷。后续对烘干完成后的晶圆进行叠片储存时，由于多个晶圆是随着第二料盒整盒进行烘干的，因此后续转运时晶圆更加集中，提高晶圆的转运效率，进而提高生产效率。

根据本发明的一些实施例，所述下料组件包括第一驱动器和承托盘，所述承托盘包括互相连接的承托部和连接部，所述承托部用于承载晶圆，所述连接部与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器用于驱使所述承托盘进行伸缩运动，所述承托部的至少部分能够伸入所述第二料盒内，所述上下料装置还包括第二驱动器，所述第二驱动器安装于所述第一主体，所述第二驱动器用于驱使所述第二料盒沿竖直方向运动。

根据本发明的一些实施例，所述上下料装置还包括限位杆，所述限位杆固定于所述第一主体，所述限位杆沿所述竖直方向延伸，所述限位杆设置于所述第二料盒与所述连接部之间，所述限位杆用于限制晶圆脱离所述容置槽的运动。

根据本发明的一些实施例，所述晶圆检测组件包括第一承载台，所述第一承载台用于承载晶圆，所述测试装置还包括顶升组件，所述顶升组件用于对所述第一承载台上的晶圆进行顶升；所述下料组件还包括第三驱动器，所述第三驱动器与所述承托盘连接，所述第三驱动器用于驱使所述承托盘旋转，所述承托盘设置有第一避让槽，所述第一避让槽用于避让所述顶升组件。

根据本发明的一些实施例，所述上下料装置还包括第二驱动器，所述第二驱动器包括互相连接的第二主体和驱动杆，所述第二主体安装于所述第一主体，所述驱动杆用于与所述第二料盒抵持并驱使所述第二料盒沿竖直方向运动；所述转运装置包括固定架和承载平台，所述承载平台连接于所述固定架，所述承载平台用于承载所述第二料盒，所述承载平台设置有第二避让槽，所述上下料装置能够运动至所述驱动杆进入所述第二避让槽内，且所述驱动杆能够在所述第二避让槽内沿所述竖直方向运动。

根据本发明的一些实施例，所述烘烤装置具有连通所述烘烤腔的入料口，在竖直方向上，所述入料口与所述第二避让槽相对设置，所述转运装置还包括第四驱动器，所述第四驱动器安装于所述固定架，所述第四驱动器用于驱使所述第二料盒沿竖直方向靠近或远离所述烘烤装置。

根据本发明的一些实施例，所述转运装置还包括第五驱动器，所述第五驱动器安装于所述固定架，所述第五驱动器与所述承载平台连接，所述第五驱动器用于驱使所述承载平台转动，所述承载平台设置有多个所述第二避让槽，各所述第二避让槽沿所述承载平台的转动方向分布。

根据本发明的一些实施例，所述转运装置设置有进料位、烘烤位、冷却位和出料位，沿所述承载平台的转动方向，所述进料位、所述烘烤位、所述冷却位和所述出料位依次设置，所述第二避让槽能够分别转动至所述进料位、所述烘烤位、所述冷却位和所述出料位的位置。

根据本发明的一些实施例，所述转运装置还包括第六驱动器，所述第六驱动器安装于所述固定架，所述第六驱动器用于驱使所述出料位的所述第二料盒沿竖直方向运动；所述第二料盒的底部设置有第三避让槽，所述晶圆测试系统还包括出料装置，所述出料装置包括第七驱动器、第八驱动器、第三主体、第三料盒和传送带，所述第七驱动器安装于所述固定架，所述第三主体与所述第七驱动器连接，所述第七驱动器用于驱使所述第三主体靠近或远离所述出料位，所述第八驱动器安装于所述第三主体，所述第八驱动器与所述第三料盒连接，所述第八驱动器用于驱使所述第三料盒沿竖直方向运动，所述传送带安装于所述第三主体，所述第三料盒设置于所述传送带的一端，所述传送带的另一端能够沿竖直方向在所述第三避让槽内运动，所述传送带用于将所述出料位处的所述第二料盒内的晶圆传送至所述第三料盒内。

根据本发明的一些实施例，所述晶圆测试系统还包括导轨，所述导轨沿所述第一方向延伸，所述第一主体还设置有导向块，所述导向块滑动连接于所述导轨。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：

图1为本发明实施例的晶圆检测系统的示意图；

图2为本发明实施例的上下料装置的示意图；

图3为本发明实施例的测试装置的示意图；

图4为图3中的第一承载台及顶升组件的示意图；

图5为本发明实施例的晶圆检测系统的部分示意图；

图6为图5中的转运装置及出料装置的示意图；

图7为图6中的转运装置及出料装置的另一视角的示意图。

附图标记：

晶圆测试系统100、晶圆110；

测试装置200、晶圆检测组件210、第一承载台211、标记组件220、顶升组件230；

上下料装置300、第一主体310、导向块311、上料组件320、下料组件330、第一驱动器331、承托盘332、承托部333、连接部334、第一避让槽335、第三驱动器336、第一料盒340、第二料盒350、容置槽351、第三避让槽352、第二驱动器360、第二主体361、驱动杆362、限位杆370；

转运装置400、固定架410、承载平台420、第二避让槽421、第四驱动器430、第五驱动器440、第六驱动器450、进料位460、烘烤位470、冷却位480、出料位490；

出料装置500、第七驱动器510、第八驱动器520、第三主体530、第三料盒540、传送带550；

烘烤装置600、入料口610；

导轨700。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

下面参照说明书附图描述本申请实施例的晶圆测试系统。需要说明的是，图7为了清楚表达结构，隐藏了固定架410，图3为了清楚表达结构，隐藏了测试装置200的部分壳体。图2中通过虚线简单示意了第二主体361和驱动杆362的一部分。

参照图1至图7，根据本发明实施例的晶圆测试系统100，包括上下料装置300、烘烤装置600、转运装置400和多个测试装置200，各测试装置200沿第一方向排列。烘烤装置600具有烘烤腔，用于烘干晶圆110上的墨迹，烘烤装置600和测试装置200沿第一方向依次排列。测试装置200包括晶圆检测组件210和标记组件220，晶圆检测组件210用于对晶圆110进行检测，标记组件220用于对晶圆110的缺陷进行墨点标记。上下料装置300包括第一主体310、上料组件320、下料组件330、第一料盒340和第二料盒350，第一主体310能够沿第一方向运动，上料组件320、下料组件330、第一料盒340和第二料盒350分别安装于第一主体310，第一料盒340用于放置未检测的晶圆110，上料组件320用于将第一料盒340内的晶圆110转移至测试装置200。第二料盒350设置有多个间隔设置的容置槽351，下料组件330用于将完成墨点标记后的晶圆110转移至容置槽351内。转运装置400用于将第二料盒350转运至烘烤腔(图中未示出)内。通过上下料装置300，能够为多个测试装置200进行晶圆110上料，并在测试装置200完成晶圆110的检测和墨点标记后，将检测完成的晶圆110转移至第二料盒350的容置槽351内，以实现对晶圆110的分隔放置。上下料组件330完成对墨点标记后的晶圆110的收集后，沿第一方向运动至转运装置400处，转运装置400将第二料盒350转运至烘烤腔内对晶片进行烘烤，墨点烘干后，即可实现后续对各晶圆110的堆叠放置，从而提高空间利用率。

相比于相关技术中将烘烤盘复合于测试装置200上的方式，本申请实施例的晶圆测试系统100的测试装置200占用空间较小，方便测试装置200的转移和装配，方便多个测试装置200的排列和位置布局。且本申请实施例的晶圆测试系统100将墨点标记后的晶圆110集中进行烘干，测试装置200无需等待晶圆110烘干完成即可继续下一晶圆110的测试，晶圆110的测试工序更加紧凑，效率更高。且工作人员仅需对第一料盒340进行上料，即可实现对多个测试装置200的补料，补料更加方便快捷。后续对烘干完成后的晶圆110进行叠片储存时，由于多个晶圆110是随着第二料盒350整盒进行烘干的，因此后续转运时晶圆110更加集中，提高晶圆110的转运效率，进而提高生产效率。

具体的，参照图3，晶圆检测组件210选择为本领域常规的晶圆检测仪器，标记组件220选择为本领域常规的墨点标记机械手，晶圆检测组件210和标记组件220分别安装于检测装置的机体上。其中，晶圆检测组件210包括第一承载台211，第一承载台211用于承载晶圆110，在一些实施例中，第一承载台211能够相对机体进行移动，以运动至合适的位置方便上下料装置300进行晶圆110的上下料，减少可能发生的干涉。烘烤装置600选择为本领域常规的烘箱。

上下料装置300中，第一主体310能够通过轮传动或者履带传动等方式实现上下料装置300的运动，为了指引第一主体310的运动方向，晶圆测试系统100还设置有导轨700，导轨700沿第一方向延伸，第一主体310上设置有导向块311，导向块311与导轨700滑动连接，通过导向块311和导轨700的配合，能够指引第一主体310的运动方向，并通过导轨700与各测试装置200和转运装置400的间距，控制第一主体310与各测试装置200和转运装置400的间距，进而降低上料组件320和下料组件330对晶圆110进行拾取或放置时的定位难度。上料组件320和下料组件330均可以选择为本领域常规的真空吸盘机械手或者夹爪机械手。转运装置400能够选择为本领域常规的转运机械手、传送带550或者转运机械手和传送带550的组合，从而实现将装载了晶圆110的第二料盒350转移至烘烤腔内进行烘干。

晶圆测试系统100的具体的测试流程如下：上下料装置300运动至对应的测试装置200处，上料组件320将第一料盒340内的晶圆110转移至晶圆检测组件210的承载台上，晶圆检测组件210对晶圆110进行检测，标记组件220对检测完成后的晶圆110进行墨点标记。其中，上下料装置300在完成对一台测试装置200的上料后，会运动至下一测试装置200进行上料，从而使得检测节拍更加紧凑，提高效率。晶圆110完成标记后，下料组件330将标记后的晶圆110转移至第二料盒350内进行放置。当第二料盒350的晶圆110装载至一定数量后，上下料装置300运动至转运装置400处，转运装置400将第二料盒350及其内的晶圆110转移至烘烤腔内进行烘烤，烘烤完成后的晶圆110即可进行后续的堆叠放置。

下料组件330将晶圆110放置于第二料盒350时，需要将晶圆110沿一定方向插入容置槽351，使用真空吸盘机械手或者夹爪机械手对晶圆110进行下料时，由于真空吸盘机械手和夹爪机械手的结构较为复杂，体积较大，容易与第二料盒350或者上下料组件330的其他部件发生干涉。为了解决上述问题，本申请还提供了一种改进。参照图2，下料组件330包括第一驱动器331和承托盘332，承托盘332包括互相连接的承托部333和连接部334，承托部333用于承载晶圆110，连接部334与第一驱动器331连接，第一驱动器331用于驱使承托盘332进行伸缩运动，承托部333的至少部分能够伸入第二料盒350内，上下料装置300还包括第二驱动器360，第二驱动器360安装于第一主体310，第二驱动器360用于驱使第二料盒350沿竖直方向运动。

通过承托部333对晶圆110的底部进行承托，并在第一驱动器331的驱动下伸入第二料盒350内，从而使得晶圆110能够跟随承托盘332的运动插入对应的容置槽351内，并在晶圆110插入容置槽351后，第二驱动器360驱使第二料盒350在竖直方向上向上运动，以使得晶圆110与容置槽351的槽壁抵持并脱离承托盘332的抵持，承托盘332在第一驱动器331的驱使下收缩并脱离第二料盒350，进行下一晶圆110的下料操作。由于承托盘332仅需在晶圆110的底部对晶圆110进行承托即可，因此承托盘332的体积相对于真空吸盘机械手和夹爪机械手更小，能够有效减少可能与第二料盒350发生的干涉，真空吸盘机械手或夹爪机械手在第二料盒350外空旷的空间将晶圆110放置于承托盘332上即可。

具体的，第一驱动器331和第二驱动器360能够选择为本领域常规的直线驱动电机或者直线驱动气缸。需要说明的是，竖直方向指的是垂直于水平面的方向。

进一步的，参照图2，为了减少晶圆110脱离容置槽351的几率，上下料装置300还包括限位杆370，限位杆370固定于第一主体310，限位杆370沿竖直方向延伸，限位杆370设置于第二料盒350与连接部334之间，限位杆370用于限制晶圆110脱离容置槽351的运动。第二料盒350在第二驱动器360的驱使下沿竖直方向运动时，限位杆370与第二料盒350的相对位置也在不断变化，当晶圆110插设于容置槽351后，第二驱动器360驱使第二料盒350在竖直方向上向上运动至限位杆370遮挡容置槽351的槽口，从而使得晶圆110发生脱离容置槽351的运动时，会于限位杆370抵持，进而减少晶圆110脱离容置槽351的几率。且由于限位杆370仅遮挡第二料盒350上部插设了晶圆110的容置槽351，因次不会对第二料盒350下部未装载晶圆110的容置槽351的装载操作产生影响。

作为上述方案的另一方面的改进，参照图3和图4，晶圆检测组件210包括第一承载台211，第一承载台211用于承载晶圆110，测试装置200还包括顶升组件230，顶升组件230用于对第一承载台211上的晶圆110进行顶升；下料组件330还包括第三驱动器336，第三驱动器336与承托盘332连接，第三驱动器336用于驱使承托盘332旋转，承托盘332设置有第一避让槽335，第一避让槽335用于避让顶升组件230。

晶圆检测完成后，顶升组件230将晶圆110进行顶升，以使得晶圆110的底部具有较大的活动空间，承托部333在第三驱动器336的驱使下旋转至承托部333与第一承载台211的连线在第一驱动器331的驱动方向上，承托部333在第一驱动器331的驱使下伸入晶圆110的底部，顶升组件230回缩解除对晶圆110的抵持，晶圆110落至承托部333上。承托部333在第一驱动器331的驱使下回缩，并在第三驱动器336的驱使下旋转至与第二料盒350对准，之后再第一驱动器331的驱使下将晶圆110插设于容置槽351内，完成对晶圆110的取料和放料操作。通过设置顶升组件230对晶圆110进行顶升，并设置第三驱动器336驱使承托盘332旋转，使得承托盘332能够实现对晶圆110的取料操作，不需要额外设置真空吸盘机械手等其他机械手对晶圆110进行取料，减少了机械手的数量，并降低了晶圆测试系统100的成本。

具体的，第三驱动器336能够选择为本领域常规的转动电机或者转动气缸。

参照图2，根据本发明的一些实施例，所述上下料装置300还包括第二驱动器360，第二驱动器360包括互相连接的第二主体361和驱动杆362，第二主体361安装于第一主体310，驱动杆362用于与第二料盒350抵持并驱使第二料盒350沿竖直方向运动。转运装置400包括固定架410和承载平台420，承载平台420连接于固定架410，承载平台420用于承载第二料盒350，承载平台420设置有第二避让槽421，上下料装置300能够运动至驱动杆362进入第二避让槽421内，且驱动杆362能够在第二避让槽421内沿竖直方向运动。驱动杆362随着上下料装置300的运动进入第二避让槽421后，第二主体361驱使驱动杆362收缩，从而使得第二料盒350随着驱动杆362在竖直方向上向下运动，当第二料盒350运动至底部与承载平台420抵持后，第二料盒350失去与驱动杆362的抵持停留在承载平台420上，从而实现第二料盒350从上下料装置300至转运装置400的转移，转移方法简单且效率高，无需另外设置机械手对第二料盒350进行转移。

进一步的，为了减小第二料盒350脱离驱动杆362或者承载平台420的几率，第二料盒350能够设置有沿竖直方向延伸的定位孔，驱动杆362和承载平台420上能够对应设置有定位块，定位块插设于定位孔内，从而限制第二料盒350与驱动杆362或者承载平台420之间的相对运动，提高第二料盒350的转运稳定性。

作为上述方案的改进，参照图1，烘烤装置600具有连通烘烤腔的入料口610，入料口610在图1中用虚线展示，在竖直方向上，入料口610与第二避让槽421相对设置，转运装置400还包括第四驱动器430，第四驱动器430安装于固定架410，第四驱动器430用于驱使第二料盒350沿竖直方向靠近或远离烘烤装置600。通过第四驱动器430驱使第二料盒350沿竖直方向运动，能够使得第二料盒350转移至承载平台420后，在第四驱动器430的驱使下从入料口610进入烘烤腔内完成墨迹的烘干操作，合理利用竖直方向上的立体空间进行烘烤装置600的位置设置，提高空间利用率。具体的，第四驱动器430能够选择为本领域常规的直线驱动电机或者直线驱动气缸。

作为上述方案的另一方面改进，参照图5至图7，转运装置400还包括第五驱动器440，第五驱动器440安装于固定架410，第五驱动器440与承载平台420连接，第五驱动器440用于驱使承载平台420转动，承载平台420设置有多个第二避让槽421，各第二避让槽421沿承载平台420的转动方向分布。通过设置多个第二避让槽421，使得承载平台420具有多个工位对多个第二料盒350进行承载，从而提高单个承载平台420的承载量，并方便对第二料盒350的流转，例如，在一些实施例中，测试装置200的测试效率较高，需要设置有多个烘烤装置600对多个第二料盒350内的晶圆110进行烘干，通过设置有多个第二避让槽421的承载平台420能够对多个第二料盒350进行缓存，并将第二料盒350旋转至操作空间较大的位置，以便转运机械手或者其他转运装置400对第二料盒350转运至烘烤装置600内，减少转运过程中所可能发生的干涉。

进一步的，参照图6，转运装置400设置有进料位460、烘烤位470、冷却位480和出料位490，沿承载平台420的转动方向，进料位460、烘烤位470、冷却位480和出料位490依次设置，第二避让槽421能够分别转动至进料位460、烘烤位470、冷却位480和出料位490的位置。上下料装置300的第二料盒350转移至承载平台420对应于进料位460的位置后，位于进料位460的第二料盒350随着承载平台420的转动移动至烘烤位470，位于烘烤位470的第二料盒350转运至烘烤装置600内进行墨迹烘干。烘干完成后的第二料盒350回归承载平台420对应于烘烤位470的位置，并随着承载平台420的转动移动至冷却位480，在烘烤位470进行烘烤和进料位460等待进料的过程中进行自然散热，减小因为热量堆积而影响晶圆110治疗的几率。晶圆110经过冷却后随着承载平台420的旋转移动至出料位490，进行晶圆110的堆叠出料。进料位460、烘烤位470、冷却位480和出料位490的设置使得晶圆110在承载平台420上的流转顺畅，各工序的节拍紧密，提高了晶圆110生产的效率。

具体的，第五驱动器440能够选择为本领域常规的转动电机或者转动气缸。

在一些实施例中，烘烤位470的对应位置处设置有第四驱动器430，第四驱动器430在竖直方向上驱使第二料盒350进入烘烤装置600内进行烘干，并在烘干完成后驱使第二料盒350回到烘烤位470，以随着承载平台420的转动移动至冷却位480。

为了提高晶圆110堆叠出料的效率，本申请实施例还提供了一种改进，参照图5至图7，转运装置400还包括第六驱动器450，第六驱动器450安装于固定架410，第六驱动器450用于驱使出料位490的第二料盒350沿竖直方向运动；第二料盒350的底部设置有第三避让槽352，晶圆测试系统100还包括出料装置500，出料装置500包括第七驱动器510、第八驱动器520、第三主体530、第三料盒540和传送带550，第七驱动器510安装于固定架410，第三主体530与第七驱动器510连接，第七驱动器510用于驱使第三主体530靠近或远离出料位490，第八驱动器520安装于第三主体530，第八驱动器520与第三料盒540连接，第八驱动器520用于驱使第三料盒540沿竖直方向运动，传送带550安装于第三主体530，第三料盒540设置于传送带550的一端，传送带550的另一端能够沿竖直方向在第三避让槽352内运动，传送带550用于将出料位490处的第二料盒350内的晶圆110传送至第三料盒540内。

当第二料盒350运动至出料位490时，第六驱动器450驱使第二料盒350在竖直方向上向上运动，以避免与出料装置500的干涉。随后，第七驱动器510驱使第三主体530靠近出料位490，使得传送带550与第二料盒350在竖直方向上至少部分重叠。随后，第六驱动器450驱使第二料盒350在竖直方向上向下运动，传送带550穿过第三避让槽352与晶圆110直接接触，并将接触的晶圆110传送至第三料盒540内，第三料盒540接收单个晶圆110后，第八驱动器520驱使第三料盒540在竖直方向上向下运动，以确保下一晶圆110能够叠放至前一晶圆110之上。第六驱动器450重复对第二料盒350的驱使动作，第八驱动器520重复对第三料盒540的驱使动作，直至将第二料盒350内的晶圆110均叠放至第三料盒540内。由于第三料盒540内的晶圆110是叠放的，因此，储存相同数量的晶圆110下，第三料盒540的体积会小于第二料盒350，从而使得后续运输晶圆110时，能够在相同空间内放入更多的晶圆110，提高空间利用率和运输效率。

具体的，第六驱动器450、第七驱动器510和第八驱动器520能够选择为本领域常规的直线驱动电机或者直线驱动气缸。传送带能够选择为皮带传送带或者传送辊。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.晶圆测试系统，其特征在于，包括：

多个测试装置，各所述测试装置沿第一方向排列，所述测试装置包括晶圆检测组件和标记组件，所述晶圆检测组件用于对晶圆进行检测，所述标记组件用于对晶圆的缺陷进行墨点标记；

烘烤装置，具有烘烤腔，用于烘干晶圆上的墨迹，所述烘烤装置和所述测试装置沿第一方向依次排列；

上下料装置，包括第一主体、上料组件、下料组件、第一料盒和第二料盒，所述第一主体能够沿第一方向运动，所述上料组件、所述下料组件、所述第一料盒和所述第二料盒分别安装于所述第一主体，所述第一料盒用于放置未检测的晶圆，所述上料组件用于将第一料盒内的晶圆转移至测试装置；所述第二料盒设置有多个间隔设置的容置槽，所述下料组件用于将完成墨点标记后的晶圆转移至所述容置槽内；

转运装置，用于将所述第二料盒转运至所述烘烤腔内。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述下料组件包括第一驱动器和承托盘，所述承托盘包括互相连接的承托部和连接部，所述承托部用于承载晶圆，所述连接部与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器用于驱使所述承托盘进行伸缩运动，所述承托部的至少部分能够伸入所述第二料盒内，所述上下料装置还包括第二驱动器，所述第二驱动器安装于所述第一主体，所述第二驱动器用于驱使所述第二料盒沿竖直方向运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述上下料装置还包括限位杆，所述限位杆固定于所述第一主体，所述限位杆沿所述竖直方向延伸，所述限位杆设置于所述第二料盒与所述连接部之间，所述限位杆用于限制晶圆脱离所述容置槽的运动。

4.根据权利要求2所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述晶圆检测组件包括第一承载台，所述第一承载台用于承载晶圆，所述测试装置还包括顶升组件，所述顶升组件用于对所述第一承载台上的晶圆进行顶升；所述下料组件还包括第三驱动器，所述第三驱动器与所述承托盘连接，所述第三驱动器用于驱使所述承托盘旋转，所述承托盘设置有第一避让槽，所述第一避让槽用于避让所述顶升组件。

5.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述上下料装置还包括第二驱动器，所述第二驱动器包括互相连接的第二主体和驱动杆，所述第二主体安装于所述第一主体，所述驱动杆用于与所述第二料盒抵持并驱使所述第二料盒沿竖直方向运动；所述转运装置包括固定架和承载平台，所述承载平台连接于所述固定架，所述承载平台用于承载所述第二料盒，所述承载平台设置有第二避让槽，所述上下料装置能够运动至所述驱动杆进入所述第二避让槽内，且所述驱动杆能够在所述第二避让槽内沿所述竖直方向运动。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述烘烤装置具有连通所述烘烤腔的入料口，在竖直方向上，所述入料口与所述第二避让槽相对设置，所述转运装置还包括第四驱动器，所述第四驱动器安装于所述固定架，所述第四驱动器用于驱使所述第二料盒沿竖直方向靠近或远离所述烘烤装置。

7.根据权利要求5或6所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述转运装置还包括第五驱动器，所述第五驱动器安装于所述固定架，所述第五驱动器与所述承载平台连接，所述第五驱动器用于驱使所述承载平台转动，所述承载平台设置有多个所述第二避让槽，各所述第二避让槽沿所述承载平台的转动方向分布。

8.根据权利要求7所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述转运装置设置有进料位、烘烤位、冷却位和出料位，沿所述承载平台的转动方向，所述进料位、所述烘烤位、所述冷却位和所述出料位依次设置，所述第二避让槽能够分别转动至所述进料位、所述烘烤位、所述冷却位和所述出料位的位置。

9.根据权利要求8所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述转运装置还包括第六驱动器，所述第六驱动器安装于所述固定架，所述第六驱动器用于驱使所述出料位的所述第二料盒沿竖直方向运动；所述第二料盒的底部设置有第三避让槽，所述晶圆测试系统还包括出料装置，所述出料装置包括第七驱动器、第八驱动器、第三主体、第三料盒和传送带，所述第七驱动器安装于所述固定架，所述第三主体与所述第七驱动器连接，所述第七驱动器用于驱使所述第三主体靠近或远离所述出料位，所述第八驱动器安装于所述第三主体，所述第八驱动器与所述第三料盒连接，所述第八驱动器用于驱使所述第三料盒沿竖直方向运动，所述传送带安装于所述第三主体，所述第三料盒设置于所述传送带的一端，所述传送带的另一端能够沿竖直方向在所述第三避让槽内运动，所述传送带用于将所述出料位处的所述第二料盒内的晶圆传送至所述第三料盒内。

10.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，还包括导轨，所述导轨沿所述第一方向延伸，所述第一主体还设置有导向块，所述导向块滑动连接于所述导轨。

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