JP2010188303A - 放熱媒体塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】定量的な塗布厚さで放熱ユニットの表面に放熱媒体を塗布することができる放熱媒体塗布装置を提供する。
【解決手段】放熱ユニット１３の表面に放熱媒体１２を塗布するための放熱媒体塗布装置１であって、フレーム２と、フレーム２に支持され、かつ放熱ユニット１３の表面を露出するための開口部４を有するマスク３と、フレーム２に往復移動可能に取り付けられたスキージフレーム６と、スキージフレーム６に対して昇降可能に取り付けられ、かつマスク３と接する部分の幅が開口部４よりも広く形成されたスキージ８と、スキージ８をマスク３に当接するように付勢するスキージ用ばね１０とを備えている。スキージ８は、スキージフレーム６とともに移動することにより開口部４上を通過するよう構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、放熱媒体塗布装置に関し、特に、被塗布対象物の表面にマスクを用いて放熱媒体を塗布するための放熱媒体塗布装置に関するものである。

放熱ユニットに対してグリースやコンパウンドなどの放熱媒体を塗布する手法としては、クリームはんだ印刷またはコーティング剤の塗布において使用される方法を流用した手法が主流である。具体的な放熱媒体を塗布する手法としては、マスクを用いたスクリーン印刷、ディスペンサ塗布、刷毛塗りなどがある。

たとえば、特開２００８−５３３３０号公報には、マスクを用いたスクリーン印刷によって放熱媒体を塗布する装置が開示されている。この公報には、パワー半導体素子を保持する機構と、当該保持機構部を定位置へ移動させる機構と、パワー半導体素子にサーマルコンパウンドを均一に塗布するための開口形状を有するメタルマスクと、メタルマスクを固定したマスク枠を上昇下降させる機構と、マスク枠を下降限界位置で固定する機構とを備えたサーマルコンパウンド塗布装置が記載されている。この塗布装置では、開口形状を有するメタルマスク上に置かれたサーマルコンパウンドが印刷スキージによりパワー半導体に塗布される。

特開２００８−５３３３０号公報

上記のマスクを用いたスクリーン印刷、ディスペンサ塗布や刷毛塗りでは、作業者の経験や感覚に頼るところが大きい。そのため放熱媒体の塗布厚さを定量的に管理することは難しい。したがって、放熱媒体の塗布厚さについて、安定的に品質を確保することは難しい。放熱媒体の塗布厚さが均一でない場合には、放熱ユニットと電子部品などとが実装された際に、放熱ユニットと電子部品などとの間に隙間が生じる。これにより電子部品などの破損につながるという課題がある。

上記の公報に記載の塗布装置においては、メタルマスクが下降限界位置で固定され、メタルマスクとパワー半導体とが接触した状態で、メタルマスクの開口部からサーマルコンパウンドが印刷スキージによりパワー半導体に塗布される。しかしながら、印刷仕上がりに影響を与える印刷方向や印圧（印刷スキージに加えられる力）を制御する機構がないため、塗布厚さなどの放熱媒体の塗り具合（品質）に関しては、塗布を行う作業者の経験などに依存するところが依然として大きい。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、定量的な塗布厚さで放熱ユニットの表面に放熱媒体を塗布することができる放熱媒体塗布装置を提供することである。

本発明の放熱媒体塗布装置は、被塗布対象物の表面に放熱媒体を塗布するための放熱媒体塗布装置であって、フレームと、フレームに支持され、かつ被塗布対象物の表面を露出するための開口部を有するマスクと、フレームに往復移動可能に取り付けられたスキージフレームと、スキージフレームに対して昇降可能に取り付けられ、かつマスクと接する部分の幅が開口部よりも広く形成されたスキージと、スキージをマスクに当接するように付勢する付勢部材とを備えている。スキージは、スキージフレームとともに移動することにより開口部上を通過するよう構成されている。

本発明の放熱媒体塗布装置によれば、スキージフレームに対して昇降可能に取り付けられたスキージをマスクに当接するように付勢する付勢部材が備えられているため、定量的な塗布厚さで放熱媒体を塗布することができる。

本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置の概略斜視図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ部材の概略正面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ部材の概略正面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ、スキージフレーム、ハンドルおよびカムを示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ、ハンドルおよびカムを示す図４のＶ−Ｖ線に沿う概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ、ハンドルおよびカムを示す図４のＶ−Ｖ線に沿う概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージ、スキージフレーム、固定蓋、スキージ用ばね、ハンドルおよびカムを示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のフレーム、マスク、スキージおよびハンドルを示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第１の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第２の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第３の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第４の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第５の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のマスク、スキージおよびハンドルの第６の状態を示す概略側面図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置において放熱媒体が放熱ユニットに塗布された状態を示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態２における放熱媒体塗布装置のブレードの概略斜視図である。 本発明の実施の形態２における放熱媒体塗布装置のブレードの概略斜視図である。 本発明の実施の形態３における放熱媒体塗布装置の保持板近傍の概略斜視図である。 本発明の実施の形態１における放熱媒体塗布装置のスキージシャフトに取り付けられたナットの近傍を示す概略正面図である。

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
最初に本発明の実施の形態１の放熱媒体塗布装置の構成について説明する。

図１を参照して、本実施の形態の放熱媒体塗布装置１は、フレーム２と、マスク３と、スキージフレーム６と、スキージ８と、付勢部材１０とを主に有している。

フレーム２は、枠体で構成されている。フレーム２の枠体の内側にマスク３が支持されている。マスク３には、開口部４が形成されている。フレーム２の上面には、互いに平行となるように間隔をあけて一組のリニアガイド５が配置されている。各リニアガイド５は同じ寸法の直方体状に形成されている。各リニアガイド５は、各リニアガイド５の対向する面がフレーム２の枠体の内側面と面一になるように配置されている。

一組のリニアガイド５の上面上には、一組のスキージフレーム６が載置されている。一組のスキージフレーム６は、各スキージフレーム６の外側に配置された凸部２０の下面が各リニアガイド５の上面と接するように載置されている。これにより、スキージフレーム６は、リニアガイド５の上面に沿って往復移動可能に構成されている。固定蓋１４は、各スキージフレーム６の上部に取り付けられている。各スキージフレーム６の間にはスキージ８が昇降可能に装着されている。

スキージ８は、２つのスキージ部材８１、８２からなっている。スキージ部材８１、８２は、リニアガイド５の延在方向に並んで配置されている。隣り合うスキージ部材８１、８２は、後述のとおり、ハンドル７の操作により交互に昇降するように構成されている。スキージ部材８１、８２の上面には、それぞれ３つのスキージシャフト１９が固定されている。

各スキージシャフト１９は、スキージ部材８１、８２の昇降にあわせて固定蓋１４に形成されたスキージシャフト１９を収容するための穴の中を昇降するように構成されている。各スキージシャフト１９の周りにはそれぞれスキージ用ばね（付勢部材）１０が、スキージ部材８１、８２の上面と固定蓋１４の下面との間に取り付けられている。スキージ８のマスク３と当接する部分にはブレード９が形成されている。スキージ用ばね１０は、ブレード９をマスク３に当接するように付勢するように構成されている。この当接するようにとは、放熱媒体１２を介して当接していてもよい。ブレード９の幅は、マスク３の開口部４の幅よりも広く形成されている。

スキージ用ばね１０がブレード９をマスク３に付勢することによる押圧は、調整することが可能であってもよい。たとえば、スキージ用ばね１０をばね定数の違うばねに取り替えることにより押圧を調整することができる。

また、たとえば、図１９に示すように、スキージシャフト１９にナット９１などを取り付けて、ナット９１の位置を調節することによりスキージ用ばね１０を伸縮させて押圧を調整することができる。つまり、スキージ用ばね１０が、各スキージシャフト１９に取り付けられたナット９１の上面と固定蓋１４の下面との間に取り付けられている。各スキージシャフト１９の外周面にはナット９１と螺合するためのねじが形成されている。そして、ナット９１を回転させてナット９１の位置を調整（図中矢印Ｋ方向）することによってスキージ用ばね１０を伸縮させることにより押圧が調整される。

なお、スキージシャフト１９は、固定蓋１４を貫通して昇降するように構成されていてもよい。

また、シャフト１５がベース１８に支持されている。シャフト１５は、フレーム２の四隅に昇降方向に形成された孔に挿通するように嵌合している。フレーム用圧縮ばね１６は、シャフト１５を取り囲むようにフレーム２の下面とベース１８の上面との間に取り付けられている。フレーム用圧縮ばね１６は、フレーム２を昇降方向に付勢支持している。フレーム２には昇降装置１７が取り付けられている。

ベース１８上には、被塗布対象物である放熱ユニット１３が載置されている。放熱ユニット１３は、その表面の塗布領域１１をマスク３の開口部４にあわせて載置されている。

図２を参照して、スキージ部材８１の内側の上面における両端部側に２つのカムフォロア２１が形成されている。図３を参照して、スキージ部材８２の内側の上面における中央部側に２つのカムフォロア２２が形成されている。図２および図３を参照して、カムフォロア２１とカムフォロア２２とは同じ長さに形成されている。

図４を参照して、スキージ部材８１、８２の両側面には、三角形状の凸部２３が形成されている。一方、スキージフレーム６の内側面には、スキージ部材８１、８２の両側面の凸部２３を案内するための三角形状の凹部２４が２つ形成されている。各スキージフレーム６は裏板２５の両端部に固定されている。各スキージフレーム６は、スキージ部材８１、８２において両側面の凸部２３を除いた部分の幅と同等の間隔をあけて配置されている。

スキージ部材８１、８２は、それらの両側面の三角形状の凸部２３がスキージフレーム６の三角形状の凹部２４に図中矢印Ａに示すように上方から挿入されて、スキージフレーム６に装着されている。この構成により、スキージ部材８１、８２はスキージフレーム６から外れることなく、スキージフレーム６の三角形状の凹部２４に沿って昇降可能となる。なお、スキージ部材８１、８２に形成されているブレード９は、スキージ部材８１、８２を間に挟むようにそれぞれ対向するスキージ部材８１、８２の外側面に形成されている。

スキージフレーム６にはハンドル７が回転可能に設置されている。ハンドル７は、一組のスキージフレーム６を貫通する軸部を有している。ハンドル７の軸部には、カム３１、３２が取り付けられている。カム３１は、カムフォロア２１を押圧するようにカムフォロア２１の下に配置されている。カム３２は、カムフォロア２２を押圧するようにカムフォロア２２の下に配置されている。

図５および図６を参照して、カム３１、３２はそれぞれ嵌合部３３および曲線部（湾曲部）３４を有している。カム３１、３２は、嵌合部３３がハンドル７の軸部の周方向にずれた位置関係となるようにハンドル７の軸部に固定されている。図５は、図１のようにスキージ部材８１が下方に位置し、スキージ部材８２が上方に位置している状態を示している。この状態では、スキージ部材８２のカムフォロア２２は、カム３２の嵌合部３３と嵌合することによってカム３２に支持されている。一方、スキージ部材８１はカム３１に接していない。スキージ部材８１は、ブレード９がマスク３（図１参照）に接することによりマスク３に支持されている。

図６は、図５とは逆に、スキージ部材８１が上方に位置し、スキージ部材８２が下方に位置している状態を示している。この状態では、スキージ部材８１のカムフォロア２１は、カム３１の嵌合部３３と嵌合することによってカム３１に支持されている。一方、スキージ部材８２はカム３２に接していない。スキージ部材８２は、ブレード９がマスク３（図１参照）に接することによりマスク３に支持されている。

次に、図５および図６を参照して、カム３１、３２によりスキージ部材８１、８２が交互に昇降する動作について説明する。ハンドル７が回転することにより、ハンドル７の軸部に固定されたカム３１、３２が回転する。図５に示す状態でハンドル７を反時計回りに回転することにより、スキージ部材８２のカムフォロア２２は、カム３２の嵌合部３３から外れる。そして、スキージ部材８２のカムフォロア２２は、カム３２の曲線部３４により押圧されながら下降する。

それと同時に、カム３１とカム３２とはそれぞれの嵌合部３３がハンドル７の回転方向に互いにずれた位置関係となるようにハンドル７の軸部に固定されているため、スキージ部材８１のカムフォロア２１は、カム３１の曲線部３４により押圧されながら上昇する。そして、カムフォロア２１がカム３１の嵌合部３３と嵌合することにより、スキージ部材８１が上方に位置する。この状態では、スキージ部材８２のカムフォロア２２は、カム３２とは接していないので、スキージ部材８２は、ブレード９がマスク３（図１参照）に接することによりマスク３に支持されて下方に位置している。

次に、図７を参照して、スキージ部材８１、８２がスキージ用ばね１０により、下方向に付勢される動作について説明する。図７は、図１のようにスキージ部材８１が下方に位置し、スキージ部材８２が上方に位置している状態を示している。

図７に示すように、この状態では、スキージ部材８１の上面と固定蓋１４の下面との間にスキージ用ばね１０が設置されている。そのため、スキージ部材８１は、スキージ用ばね１０の付勢力により下方向（図中矢印Ｂ方向）に付勢される。これにより、スキージ部材８１の自重に加えて、スキージ用ばね１０の付勢力により、マスク３にスキージ部材８１のブレード９が押圧される。

なお、図６に示すように、スキージ部材８１が上方に位置し、スキージ部材８２が下方に位置している状態では、スキージ部材８２がスキージ用ばね１０の付勢力により下方向（図７中矢印Ｂ方向）に付勢される。これにより、スキージ部材８２の自重に加えて、スキージ用ばね１０の付勢力により、マスク３にスキージ部材８２のブレード９が押圧される。

次に、図１を参照して、放熱媒体塗布装置１によって放熱媒体１２が塗布される動作について説明する。

図１に示すように、放熱ユニット１３がベース１８上に載置される。この際、放熱ユニット１３の表面の塗布領域１１にマスク３の開口部４が位置合わせされる。次に、昇降装置１７によってフレーム２がシャフト１５に沿って下降され、マスク３の下面が放熱ユニット１３の表面に接触する。

なお、昇降装置１７は、たとえば手動、モータ駆動、エア駆動によりフレーム２を昇降する。このとき、シャフト１５のフレーム用圧縮ばね１６の付勢力により、上下方向に移動可能なスキージ部材８１を除き、フレーム２、マスク３、リニアガイド５、スキージフレーム６、スキージ部材８２、ハンドル７、固定蓋１４およびカム３１、３２の自重が支えられる。これにより、放熱ユニット１３にはそれらの自重による荷重がほぼかかることがない。

そして、ハンドル７が操作されることにより、スキージ８のスキージ部材８１が上昇し、スキージ部材８２が下降する。スキージ８のスキージ部材８２がマスク３の上面にスキージ部材８２の自重およびスキージ用ばね１０の付勢力による一定の圧力で押圧する状態が維持される。こうして、マスク３に対して位置合わせされた放熱ユニット１３の表面に沿って、スキージ８をマスク３の上面から押し当てることが可能となる。これにより、マスク３上をスキージ８が移動中、常に一定の荷重を与えながらスクリーン印刷をすることが可能となる。

以下に塗布工程における一連の作業について説明する。図８に示すようにスキージ部材８１がマスク３に接し、かつスキージ部材８１の前方にマスク３の開口部４が位置する状態からスキージングが開始される。なお、図８は、見やすくするため、フレーム２、マスク３、ハンドル７およびスキージ８のみを記載している。また、図９〜図１４は、見やすくするため、マスク３、ハンドル７およびスキージ８のみを記載している。

図９を参照して、ハンドル７が手前方向（図中矢印Ｃの方向）に回転される。これにより、マスク３に接していたスキージ部材８１が上昇（図中矢印Ｄ方向）し、スキージ部材８２が下降（図中矢印Ｅ方向）する（第１の状態）。その結果、図１０に示すように、スキージ部材８１が上方に位置し、スキージ部材８２のブレード９がマスク３に接するように位置する（第２の状態）。

図１１に示すように、この状態から図中矢印Ｆ方向にスキージングされる（第３の状態）。ハンドル７が図中矢印Ｆ方向に引かれることにより、マスク３上をスキージ部材８２がスライドされる。その際、スキージ部材８２のブレード９の内側がマスク３上に載置された放熱媒体１２をつかみ、マスク３の開口部４に放熱媒体１２が充填される。これにより、放熱ユニット１３の表面の塗布領域１１に放熱媒体１２が塗布される。スキージ部材８２の後方にマスク３の開口部４が位置する状態で、スキージ部材８２によるスキージングが終了する。

続いて、フレーム２が上昇されて、放熱媒体１２が塗布された放熱ユニット１３が取り出される。そして、新たな放熱ユニット１３がベース１８上に載置される。その後、図１２を参照して、ハンドル７が奥方向（図中矢印Ｇ方向）に回転される。これにより、マスク３に接していたスキージ部材８２が上昇（図中矢印Ｉ方向）し、スキージ部材８１が下降（図中矢印Ｈ方向）する（第４の状態）。

その結果、図１３に示すように、スキージ部材８２が上方に位置し、スキージ部材８１のブレード９がマスク３に接するように位置する（第５の状態）。図１４に示すように、この状態から図中矢印Ｊ方向にスキージングされる（第６の状態）。ハンドル７が図中矢印Ｊ方向に引かれることにより、マスク３上をスキージ部材８１がスライドされる。その際、スキージ部材８１のブレード９の内側がマスク３上に載置された放熱媒体１２をつかみ、マスク３の開口部４に放熱媒体１２が充填される。これにより、放熱ユニット１３の表面の塗布領域１１に放熱媒体１２が塗布される。

スキージ部材８１の後方にマスク３の開口部４が位置する状態で、スキージ部材８１によるスキージングが終了する。これにより、図１５に示すように、２個目の放熱ユニット１３の塗布領域１１に放熱媒体１２が塗布される。図１５には、見やすくするために、フレーム２、マスク３、放熱媒体１２および放熱ユニット１３のみ記載されている。

上記と同様の作業が繰り返されることにより、順次載置される放熱ユニット１３の表面の塗布領域１１に放熱媒体１２が塗布される。

また、上記の作業において、１個目の放熱ユニット１３を取り出さずに同一の放熱ユニット１３に対して往復してスキージングを行うことが可能である。これにより、マスク３の開口部４への充填性能がさらに良くなり、塗布の精度が向上する。

次に、本実施の形態の放熱媒体塗布装置の作用効果について説明する。
本実施の形態の放熱媒体塗布装置によれば、マスク３の下面を放熱ユニット１３に略一定の圧力で接触させた状態で、スキージ８をスライドさせることによって、放熱媒体１２がマスク３の開口部４に充填される。これにより、放熱ユニット１３における塗布領域１１に、その表面に倣うように所定の厚さで放熱媒体１２を塗布することができる。

また、一連の塗布作業においてスキージ部材８１、８２を互い違いに昇降させることができるので、放熱媒体１２がスキージ部材８１、８２のブレード９の進行方向に対する裏側（後方）にまわりこむことがない。すなわち、１つのスキージ部材８１では前後に移動するとスキージ部材８１の向きを変えない限りスキージ部材８１のブレード９の両面に放熱媒体１２が付着する。これに対し２つのスキージ部材８１、８２を使用する場合には、それぞれのブレード９の片面を使用して放熱媒体を塗布することができる。したがって、典型的には、スキージ部材８１、８２の向きを変えなくてもそれぞれのブレード９の片面にしか放熱媒体１２が付着しない。そのため、スキージ部材８１、８２の向きを変える必要が無いので、効率的かつ安定した連続作業を行うことができる。

また、フレーム用圧縮ばね１６の付勢力により、放熱ユニット１３に接触しているマスク３にフレーム２などの自重による圧力がほぼかかることがなく、マスク３の変形を抑制することができる。これらにより、放熱媒体塗布装置の長寿命化を図ることができる。

また、ブレードの幅がマスク３の開口部４より広いので、放熱ユニット１３の塗布領域１１に隙間なく放熱媒体１２を塗布することができる。また、マスク３は、メッシュ状のマスクではなく塗布領域１１が一様に開口している開口型マスクのため一様に放熱媒体１２を塗布することができる。これらにより、電子部品などを実装する際に隙間（空気層）が混入するのを防ぐことができる。よって、電子部品などが破損することを抑制することができる。

（実施の形態２）
最初に本発明の実施の形態２の放熱媒体塗布装置の構成について説明する。

図１６を参照して、本実施の形態の放熱媒体塗布装置１は実施の形態１の構成と比較してスキージ８のブレードが主に異なっている。本実施の形態の放熱媒体塗布装置１では、スキージ８のブレード５１のマスク３に当接する端部５３が断面視において１／４円形状を有している。

また、ブレード５１は、たとえばアクリル樹脂のようなマスク３よりも柔らかい材質で形成されている。このブレード５１は、透明あるいは透光性を有する材質で形成されていてもよい。図１７は、ブレード５１の底面５２の磨耗が進行した状態を示している。

なお、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態１の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態における放熱媒体塗布装置１によれば、上記の構成を有しているので実施の形態１と同様の作用効果を有している。

本実施の形態の放熱媒体塗布装置１では、ブレード５１は、マスク３より柔らかい材質のため、塗布を繰り返すことによりブレード５１の底面５２の磨耗が進行する。スキージ８のブレード５１のマスク３に当接する端部５３が断面視において１／４円形状を有しているので、ブレード５１の底面５２の磨耗が進行したとしても放熱媒体１２との接触面は曲面であるため放熱媒体１２を開口部４に導きやすく印刷仕上がりに影響がでにくくすることができる。

また、ブレード５１の底面５２の磨耗が進行したとしても、断面視において１／４円形状が消滅するまで、放熱媒体１２との接触面は曲面を保つため、ブレード５１の交換回数を減らすことができ、ブレード５１の長寿命化を図ることができる。

また、ブレード５１は、マスク３より柔らかい材質のため、マスク３が削られることが抑制される。これにより、マスク３の長寿命化を図ることができる。

また、ブレード５１が透明あるいは透光性を有する材質で形成されることにより、放熱媒体１２の量や塗布状況を容易に確認することができるので、作業性を向上することができる。

また、図１のように、スキージ８のスキージ部材８１、８２が対向して配置されている場合に、ブレード５１の曲面側を対向して配置することにより、上記の作用効果を有しながら往復して塗布することができる。これにより、放熱媒体を塗布する工程の作業性を向上させて生産性を向上することができる。

（実施の形態３）
最初に本発明の実施の形態３の放熱媒体塗布装置の構成について説明する。

図１８を参照して、本実施の形態の放熱媒体塗布装置１は、実施の形態１の構成と比較してスキージ８のブレード９に保持板６１が取り付けられている点が主に異なっている。本実施の形態の放熱媒体塗布装置１では、保持板６１がスキージ８のブレード９のマスク３に当接する端部５３の側面に設けられている。保持板６１は、マスク３に当接して移動する方向に向かって延びるように形成されている。これにより、ブレード９と保持板６１とによって囲まれた内部空間６２が形成されている。

本実施の形態における放熱媒体塗布装置１によれば、上記の構成を有しているので実施の形態１と同様の作用効果を有している。

本実施の形態の放熱媒体塗布装置１によれば、スキージ部材８１、８２のうちブレード９および保持板６１がマスク３と接している側からは、放熱媒体１２がブレード９および保持板６１の外側に漏れ出すことが抑制される。したがって、内部空間６２に充填された放熱媒体１２が、マスク３の開口部４以外の部分に流出することが抑制される。

ブレード９および保持板６１によって囲まれた内部空間６２は、放熱媒体１２を収容する空間を兼ねている。これにより、放熱媒体１２を供給するためのディスペンサ等の付加的な放熱媒体１２の供給機構を不要とすることができる。

なお、ブレード９は、その進行方向前方に塗布材料を受入れ可能な内部空間６２を有するものであれば、図１８に示す態様に限定されない。また、ブレード９は、実施の形態２に示すようにスキージ８のブレード５１のマスク３に当接する端部５３が断面視において１／４円形状を有していてもよい。また、ブレード５１は、たとえばアクリル樹脂のようなマスク３よりも柔らかい材質で形成されていてもよい。また、ブレード５１は、透明な材質で形成されていてもよい。これにより、実施の形態２と同様の作用効果を有することができる。

また、この場合、保持板６１がたとえばアクリル樹脂のようなマスク３よりも柔らかい材質で形成されていてもよい。また、保持板６１は、透明な材質で形成されていてもよい。これにより、実施の形態２と同様の作用効果をより効果的に有することができる。

なお、本発明の放熱媒体塗布装置は、上記の各実施の形態の各構成が適時組み合わせられた構成であっても良い。

今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。

本発明は、マスクによるスクリーン印刷によって放熱ユニットに対して放熱媒体を塗布する装置に特に有利に適用され得る。

１ 放熱媒体塗布装置、２ フレーム、３ マスク、４ 開口部、５ リニアガイド、６ スキージフレーム、７ ハンドル、８ スキージ、９，５１ ブレード、１０ スキージ用ばね、１１ 塗布領域、１２ 放熱媒体、１３ 放熱ユニット、１４ 固定蓋、１５ シャフト、１６ フレーム用圧縮ばね、１７ 昇降装置、１８ ベース、１９ スキージシャフト、２１，２２ カムフォロア、２３ 凸部、２４ 凹部、２５ 裏板、３１，３２ カム、３３ 嵌合部、３４ 曲線部、５２ 底面、５３ 端部、６１ 保持板、６２ 内部空間、８１，８２ スキージ部材、９１ ナット。

Claims (5)

1. 被塗布対象物の表面に放熱媒体を塗布するための放熱媒体塗布装置であって、
   フレームと、
   前記フレームに支持され、かつ前記被塗布対象物の表面を露出するための開口部を有するマスクと、
   前記フレームに往復移動可能に取り付けられたスキージフレームと、
   前記スキージフレームに対して昇降可能に取り付けられ、かつマスクと接する部分の幅が前記開口部よりも広く形成されたスキージと、
   前記スキージを前記マスクに当接するように付勢する付勢部材とを備え、
   前記スキージは、前記スキージフレームとともに移動することにより前記開口部上を通過するよう構成されている、放熱媒体塗布装置。
2. 前記スキージは、該スキージの移動方向に並んで配置された複数のスキージ部材を含み、
   前記複数のスキージ部材の隣り合うスキージ部材を交互に昇降させるためのカムをさらに備えた、請求項１に記載の放熱媒体塗布装置。
3. 前記フレームを昇降方向に付勢支持するフレーム用圧縮ばねをさらに備えた、請求項１または２に記載の放熱媒体塗布装置。
4. 前記マスクに当接する前記スキージの端部が断面視において１／４円形状を有している、請求項１〜３のいずれかに記載の放熱媒体塗布装置。
5. 前記スキージは、前記スキージの移動方向に沿って延びている保持板を含む、請求項２〜４のいずれかに記載の放熱媒体塗布装置。

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