JP2010188241A - ガス精製方法 - Google Patents
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
【解決手段】10ppm以下の不純物を含む二酸化炭素を炭素膜モジュール1のガス供給口3から第1の空間9に導入する。二酸化炭素は、中空糸状炭素膜2aを透過し、第2の空間10を経て透過ガス排出口4から導出される。不純物が濃縮された二酸化炭素は未透過ガス排出口4から排出される。これにより、不純物濃度がppbオーダーの超高純二酸化炭素が得られる。
【選択図】図1
Description
請求項1にかかる発明は、10ppm以下の不純物を含む二酸化炭素を分子ふるい作用を持つ炭素膜を用いて精製するガス精製方法である。
また、炭素膜は既存の有機高分子膜に比べて分離性能に優れているので、10ppm以下の不純物を含むガスを効率良く精製することが可能である。さらに、炭素膜を中空糸状に成形することで、平膜状、螺旋巻状と比べて、膜モジュールをコンパクトに設計することができる。
図1において、符号1は炭素膜モジュールを示す。この炭素膜モジュール1は、密閉容器6とこの密閉容器6内に設けられた炭素膜ユニット2とから概ね構成されている。
図2は、図1に示す炭素膜モジュールにおけるA−A'断面図であり、密閉容器6内における樹脂壁7の表面構造を図示している。樹脂壁7には、中空糸状炭素膜2a・・・の開口部が形成されている。
ついで、二重管構造の中空糸紡糸ノズルの周縁部環状口から前記製膜原液を、同紡糸ノズルの中央部円状口から前記溶媒を、それぞれ同時に凝固液中に押し出し、中空糸状に成形し、有機高分子膜を製造する。次に、得られた有機高分子膜を不融化処理後に炭化させて炭素膜とする。
ここで、分子ふるい作用とは、ガスの分子径と分離膜の細孔径の大きさにより、分子径の小さいガスと分子径の大きいガスが分離される作用である。
これらのうち、二酸化炭素よりも低沸点成分である水素、酸素、窒素、アルゴン、及び吸着剤で簡単に除去される水分は高純度への精製過程で簡単に除去されるが、メタン及びエタンは比較的沸点が高く、不活性な成分であるので、高純度の精製過程においても残りやすい。
なお、本発明法では差し当たってこれらの成分を除去することで高純度な二酸化炭素を超高純度な二酸化炭素にすることが可能となる。
メタン、エタンを含む二酸化炭素が炭素膜モジュール1のガス供給口3から連続的に供給され、第1の空間9に流れ込む。第1の空間9から中空糸状炭素膜2a・・・を選択的に透過する二酸化炭素は、中空糸状炭素膜2a・・・の内側を通り、第2の空間10へ流入し、透過ガス排出口4より導出される。
第1の空間9から中空糸炭素膜2a・・・を透過しなかったメタン、エタンは、未透過ガス排出口5より排出される。その結果、二酸化炭素中のメタン、エタン濃度は低くなる。
また、酸素、窒素、アルゴンに関しても、酸素は0.346nm、窒素は0.364nm、アルゴンは0.34nmで二酸化炭素よりも分子径が大きいので、透過側のこれらの成分濃度は低くなる。
なお、炭素膜の細孔径は、炭化時の焼成温度を変えることで調整することができる。
また、透過ガス排出口4が真空設備などに接続していれば、透過側の圧力が低くなり、精製効率をより高めることができる。本発明の場合、加圧器などを使用せずとも、ボンベなどの容器に充填された高純度ガスを減圧器で所定の圧力に調整し、炭素膜モジュール1へ供給することで、高純度ガスを超高純度ガスに精製することが可能である。
密閉容器6の一方の端部に掃引ガス供給口8を設け、掃引ガス(sweep gas)として炭素膜の透過側、すなわち掃引ガス供給口8から供給することで、不純物の透過を促進することができる。掃引ガスには、ガス供給口3からメタン、エタンが含まれていないもしくは十分に低減された超高純度の二酸化炭素が用いられる。
実施例1では、図1に記載の炭素膜モジュールを用いて、高濃度の不純物を含むガスの精製を行った。
炭素膜モジュールの仕様は、以下の通りであった。中空糸状炭素膜チューブ外径:0.375mm、中空糸状炭素膜チューブ長さ:122mm、中空糸状炭素膜チューブ本数:37本、中空糸状炭素膜チューブ総表面積:53.152cm2。中空糸状炭素膜は、ポリフェニレンオキサイド(PPO)を原料とした有機高分子膜を製膜し、炭化させることで製造した。
(b) メタン、エタンを不純物として含む二酸化炭素6.4sccmを炭素膜モジュールに供給し、透過ガス中のメタン、エタンの体積濃度を測定した。
比較例1では、有機高分子膜モジュールを用いて、低濃度の不純物を含むガスの精製を行った。
この有機高分子膜モジュールは、炭素膜の代わりに有機高分子膜を使用したことを除いては、図1に記載の炭素膜モジュールと同型であった。
有機高分子膜モジュールの仕様は、以下の通りであった。中空糸状有機高分子膜チューブ外径:0.658mm、中空糸状有機高分子膜チューブ長さ:123mm、中空糸状有機高分子膜チューブ本数:37本、中空糸状有機高分子膜チューブ総表面積:81.07cm2。中空糸状有機高分子膜は、ポリフェニレンオキサイド(PPO)を原料とした有機高分子膜を製膜し、製造した。
(b) メタン、エタンを不純物として含む二酸化炭素10.7sccmを有機高分子膜モジュールに供給し、透過ガス中のメタン、エタンの体積濃度を測定した。
比較例2では、孔径0.3nmのモレキュラーシーブスを充填した充填カラム用いて、低濃度の不純物を含むガスの精製を行った。充填カラムの仕様は、以下の通りであった。カラム内径:10.2mm、カラム長さ:100mm、でモレキュラーシーブス充填量:4.1g。
モレキュラーシーブスはカラムに充填後、窒素を1リットル/minで流通しながら、200℃で1時間、350℃で2時間、加熱処理して、10時間以上かけて常温に戻した状態のものを使用した。
比較例3では、ニッケル触媒を担持したアルミナ触媒を充填した充填カラム用いて、低濃度の不純物を含むガスの精製を行った。充填カラムの仕様は、以下の通りであった。カラム内径:10.2mm、カラム長さ:100mm、でアルミナ触媒充填量:5.8g。アルミナ触媒はカラムに充填後、窒素を1リットル/minで流通しながら、180℃で3時間、加熱処理して、10時間以上かけて常温に戻した状態のものを使用した。
比較例4では、ニッケル触媒を担持したアルミナ触媒を充填した充填カラム用いて、低濃度の不純物を含むガスの精製を行った。このアルミナ触媒は、加熱処理時に酸素を添加したことを除いては、比較例3と同様であった。充填カラムの仕様は、以下の通りであった。カラム内径:10.2mm、カラム長さ:100mm、でアルミナ触媒充填量:5.8g。アルミナ触媒はカラムに充填後、窒素を1リットル/min、酸素を0.01リットル/minで流通しながら、180℃で3時間、加熱処理して、10時間以上かけて常温に戻した状態のものを使用した。
Claims (2)
- 10ppm以下の不純物を含む二酸化炭素を分子ふるい作用を持つ炭素膜を用いて精製するガス精製方法。
- 前記炭素膜が中空糸状または管状である請求項1に記載のガス精製方法。
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