JP2010183028A - パターン描画装置およびパターン描画方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン描画装置では、描画対象である基板の対象面上のアライメントマークが描画光の波長とは異なる波長の観察光により描画用の光学系を介して撮像部15にて撮像され、マーク像強度分布311として記憶部31に記憶される。また、パターン描画装置の記憶部31には、対象面の高さに点光源を配置した場合に撮像部15にて取得される点像強度分布313が記憶されている。マーク像強度分布311および点像強度分布313を用いて演算部32の像回復部321にて像回復が行われ、アライメントマークを示すマーク強度分布312が取得される。これにより、対象物上のアライメントマークの位置が高精度に検出される。
【選択図】図3
Description
3,3a 制御部
9 半導体基板
11 主光源
13 補助光源
15 撮像部
17 対物光学系
18 保持部
19 移動機構
31 記憶部
32 演算部
91 対象面
171 絞り
311 マーク像強度分布
311a 第1マーク像強度分布
311b 第2マーク像強度分布
312 マーク強度分布
312a 第1マーク強度分布
312b 第2マーク強度分布
313 点像強度分布
313a 第1点像強度分布
313b 第2点像強度分布
911 アライメントマーク
S11〜S15,S21〜S28,S131〜S136 ステップ
Claims (6)
- 光を照射することにより対象物にパターンを描画するパターン描画装置であって、
対象物を保持する保持部と、
パターン描画用の描画光を出射する主光源と、
前記対象物に対向するとともに前記描画光を前記対象物へと導く対物光学系と、
前記描画光とは異なる波長の観察光を出射する補助光源と、
前記対物光学系を経由して前記対象物へと導かれて前記対象物にて反射された前記観察光を前記対物光学系を介して受光することにより、前記対象物上のアライメントマークの像を示すマーク像強度分布を取得する撮像部と、
前記対象物上に点光源が配置された場合に前記撮像部にて得られる点像強度分布を記憶する記憶部と、
前記点像強度分布を用いて前記マーク像強度分布の像回復を行うことにより、前記対象物上の前記アライメントマークを示すマーク強度分布を取得し、前記マーク強度分布に基づいて前記アライメントマークの位置を検出する演算部と、
を備えることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項1に記載のパターン描画装置であって、
前記記憶部が、前記対象物上において高さ方向に異なる複数の位置に点光源を配置した場合に前記撮像部にて得られる複数の点像強度分布を記憶し、
前記演算部が、前記複数の点像強度分布を用いて前記マーク像強度分布の像回復を行うことにより複数のマーク強度分布を取得し、前記複数のマーク強度分布のうち前記アライメントマークを最も適切に示すものを特定することにより前記アライメントマークの高さを求めることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項2に記載のパターン描画装置であって、
前記複数の点像強度分布が、第1の絞り状態に対応する複数の第1点像強度分布と、前記第1の絞り状態よりも絞りを開いた第2の絞り状態に対応する複数の第2点像強度分布とを含み、前記複数の第2点像強度分布が、前記複数の第1点像強度分布よりも前記対象物上における高さ方向の間隔が小さい複数の位置に対応し、
前記撮像部が、前記第1の絞り状態に対応する第1のマーク像強度分布と、前記第2の絞り状態に対応する第2のマーク像強度分布とを取得し、
前記演算部が、
前記複数の第1点像強度分布を用いて前記第1のマーク像強度分布の像回復を行うことにより複数の第1マーク強度分布を取得し、前記複数の第1マーク強度分布のうち前記アライメントマークを最も適切に示すものを特定することにより前記アライメントマークの第1の高さを求め、
前記複数の第2点像強度分布のうち前記アライメントマークの前記第1の高さ近傍の複数の高さに対応するものを用いて前記第2の絞り状態に対応する前記第2のマーク像強度分布の像回復を行うことにより複数の第2マーク強度分布を取得し、前記複数の第2マーク強度分布のうち前記アライメントマークを最も適切に示すものを特定することにより前記第1の高さよりも精度の高い第2の高さを求めることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項2または3に記載のパターン描画装置であって、
前記対物光学系の光軸に垂直な方向に前記保持部を前記対物光学系に対して相対的に移動する移動機構をさらに備え、
前記撮像部が、前記対象物上の複数のアライメントマークを順次撮像し、
前記演算部が、前記複数のアライメントマークのそれぞれの高さを求めることを特徴とするパターン描画装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のパターン描画装置であって、
前記描画光が紫外線であり、前記観察光が可視光であることを特徴とするパターン描画装置。 - 光を照射することにより対象物にパターンを描画するパターン描画方法であって、
a)パターン描画用の描画光とは波長が異なる観察光を、対象物に対向するとともに前記描画光を前記対象物へと導く対物光学系を介して前記対象物に照射する工程と、
b)前記対象物にて反射された前記観察光を前記対物光学系を介して撮像部にて受光することにより、前記対象物上のアライメントマークの像を示すマーク像強度分布を取得する工程と、
c)前記対象物上に点光源が配置された場合に前記撮像部にて得られる点像強度分布を用いて前記マーク像強度分布の像回復を行うことにより、前記対象物上の前記アライメントマークを示すマーク強度分布を取得する工程と、
d)前記マーク強度分布に基づいて前記アライメントマークの位置を検出する工程と、
e)前記アライメントマークの前記位置に基づいて前記対物光学系に対する前記対象物の位置合わせを行う工程と、
f)前記対物光学系を介して前記描画光を前記対象物に照射することにより前記対象物にパターンを描画する工程と、
を備えることを特徴とするパターン描画方法。
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