JP2010177505A - 半導体集積回路及びそのレイアウト方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】メモリセルアレイ等の矩形セルを正方形に配置した半導体集積回路及びそのレイアウト設計方法を提供する。
【解決手段】それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルが、第一矩形セルの長辺と第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、第二矩形セルの長辺と第三矩形セルの短辺が矩形枠の第二辺に内接し、第三矩形セルの長辺と第四矩形セルの短辺が矩形枠の第三辺に内接し、第四矩形セルの長辺と第一矩形セルの短辺が矩形枠の第四辺に内接するように配置されたレイアウトパターンを有する。
【選択図】図5
【解決手段】それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルが、第一矩形セルの長辺と第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、第二矩形セルの長辺と第三矩形セルの短辺が矩形枠の第二辺に内接し、第三矩形セルの長辺と第四矩形セルの短辺が矩形枠の第三辺に内接し、第四矩形セルの長辺と第一矩形セルの短辺が矩形枠の第四辺に内接するように配置されたレイアウトパターンを有する。
【選択図】図5
Description
本発明は、半導体集積回路及びそのレイアウト方法に関する。特に、メモリセルアレイなど矩形のセルを配置した半導体集積回路及びそのレイアウト設計方法に関する。
従来、プロセッサなど、ロジック系LSIチップは、正方形、またはそれに近い形状をしている。これに対し、メモリ系LSIチップは、長方形となっていることが多い。一般に、チップ形状が長方形になっていくことは、正方形のチップ形状に比べ、端の方のプロセス変動が起こりやすく、温度による変形など、強度的にも弱く、製品の歩留まり低下の原因となり好ましくない。また、MCPなどチップを積層する場合で、長方形チップと正方形チップを積層する場合、正方形チップは各辺方向に均等に反りが生じるのに対し、長方形チップは長辺方向に強く反りが生じるため、積層チップ間の強い接触により応力が集中する箇所ができることがある。その具体例が図1である。図1は長方形チップの上に正方形チップを積層した際の応力の分布である。(a)上面概観図に示すような位置関係で、1の長方形チップ上に2の正方形チップが積層されている。(a)の点線で囲んだ箇所の応力分布が(b)であり、さらに、上側チップ2を(c)に、下側チップ1を(d)に、個別に示してある。下側チップ1に関する(d)から明らかなように、上側チップのエッジ部分と下側チップの表面との接触箇所において、応力が集中している。この応力は下側チップのクラックや特性劣化の要因となる。また、DRAMを組み込むタイプのチップでは、DRAMブロックは大きな面積を占める場合が多く、DRAMブロックが長方形の場合、図2に示すように、ともに組み込まれるロジックブロックの配置を左右するばかりか、チップの1辺の長さやチップの横縦比を決定する。以上のように、メモリ全体の概形が長方形しか取れない場合は、様々な不利益がある。
特許文献1には、図3に示すように、アスペクト比が1:2の半導体基板2の主表面を3行3列の9個の領域に等分割し、中央領域以外の各領域にアクペクト比が1:2のサブアレイ3を配置し、中央領域に制御回路4及びパッド5群を設けることが記載されている。特許文献1によれば、アスペクト比が1:2のサブアレイ3を8個配置する場合にも、アクペクト比が1:2のパッケージに高い有効比率で収容できると記載されている。
特許文献2には、図4に示すように、4MビットのDRAMを構成すると考えた場合、メモリセルアレイ2A〜2Hに示すように各メモリセルアレイの大ブロックの大きさを、1Mビットの3/4の大きさ(768kbit)で構成し、1Mビットの1/4の大きさ(256kbit)であるメモリセルアレイの小ブロック1A〜1Hを大ブロック2A〜2Hのビット線の伸長方向に隣接して配置することにより大容量のDRAMメモリでも正方形に近づけるようなチップ形状の半導体集積回路装置を提供することが記載されている。
以下の分析は本発明において与えられる。特許文献1はサブアレイ3を3行3列に配置することにより、元のサブアレイと同一形状の全体形状を得ているが、元々正方形でなかったセルを正方形に配置することはできない。また、特許文献2では、変則的な並べ替えを行っているので、デコーダ回路なども含めて、アレイ構成の変更が多くなることが予想される。
本発明の1つの側面による半導体集積回路は、それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルが、前記第一矩形セルの長辺と前記第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、前記第二矩形セルの長辺と前記第三矩形セルの短辺が前記矩形枠の第二辺に内接し、前記第三矩形セルの長辺と前記第四矩形セルの短辺が前記矩形枠の第三辺に内接し、前記第四矩形セルの長辺と前記第一矩形セルの短辺が前記矩形枠の第四辺に内接するように配置されたレイアウトパターンを有する。
また、本発明の他の側面による半導体集積回路のレイアウト設計方法は、それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルを、前記第一矩形セルの長辺と前記第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、前記第二矩形セルの長辺と前記第三矩形セルの短辺が前記矩形枠の第二辺に内接し、前記第三矩形セルの長辺と前記第四矩形セルの短辺が前記矩形枠の第三辺に内接し、前記第四矩形セルの長辺と前記第一矩形セルの短辺が前記矩形枠の第四辺に内接するように配置する。
本発明によれば、任意の縦横比を有する矩形セルを正方形または正方形に近い形状に配置した半導体集積回路が得られる。さらに、このようにしてできた略正方形状のパーツを組み合わせれば矩形セルを任意の縦横比に配置した半導体集積回路が得られる。
本発明の実施形態について、必要に応じて図面を参照して説明する。なお、実施形態の説明において引用する図面及び図面の符号は実施形態の一例として示すものであり、それにより本発明による実施形態のバリエーションを制限するものではない。
本発明の一実施形態の半導体集積回路は、例えば図6に示すように、それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セル([1]〜[4])が、第一矩形セル[1]の長辺51と第二矩形セル[2]の短辺52が矩形枠(53、56、59、62)の第一辺53に内接し、第二矩形セル[2]の長辺54と第三矩形セル[3]の短辺55が矩形枠の第二辺56に内接し、第三矩形セル[3]の長辺57と第四矩形セル[4]の短辺58が矩形枠の第三辺59に内接し、第四矩形セル[4]の長辺60と第一矩形セル[1]の短辺61が矩形枠の第四辺62に内接するように配置されたレイアウトパターンを有する。すなわち、同一形状の矩形セル([1]〜[4])が矩形枠に内接するように配置され、図5(b)のように、矩形セル[1]と矩形セル[3]が矩形セル[2]と矩形セル[4]に接して配置されていれば、必然的に、矩形枠は正方形になる。また、図10(b)の様に、矩形セル[1]と矩形セル[3]が矩形セル[2]と矩形セル[4]に対して等間隔を置いて配置されている場合(図10(b)において、隙間Δが互いに等しい場合)にも矩形枠は正方形になる。たとえば、図18に示すように、4つの矩形セルの中央に制御回路等配置する場合に、中央に配置する回路の形状によっては、X軸方向とY軸方向の矩形セル間の間隔が異なるために、正確には、正方形にならない場合も考えられるが、元の矩形セルが細長い場合にも容易に正方形に近い形にレイアウトできる。なお、矩形セルはそれぞれ独立したセルであっても、図5(a)や図19(a)のように大きなセルアレイの一部をそれぞれ同一形状になるように切り出したものでもよい。
また、本発明の一実施形態の半導体集積回路は、例えば図5(b)、図10(b)に示すように、第一乃至第四矩形セルが互いに重ならないように配置されているものである。一般的には、セルは重複しないように配置する。しかし、セルの周辺部が互いに重複しても特に問題とならない場合は、その様にレイアウトしてもよい。その場合は、重複している幅が互いに等しくなるように配置すれば、正方形にレイアウトできる。
また、本発明の一実施形態の半導体集積回路は、例えば図18に示すように、矩形枠の中央には、第一乃至第四矩形セル([1]〜[4])を制御する制御回路が配置されている。矩形セルの長辺と短辺との長さには、差があるので、中央部には、隙間(中庭)が生じる。その隙間に矩形セルを制御する制御回路を配置することができる。また、中央部に制御回路を配置することにより、制御回路から各矩形セルまでの距離を等しくできるので、制御回路と各矩形セルとのスキューも低減することができる。
また、本発明の一実施形態の半導体集積回路は、例えば図19、図21に示すように、第一乃至第四矩形セル([1]〜[4])を配置した矩形枠が一列又は行列状に複数配置されている。矩形枠を複数組み合わせることにより、より大きな正方形に配置することや任意の縦横比を有する矩形に配置することができる。
また、本発明の一実施形態の半導体集積回路は、例えば図11乃至図18に示すように、第一乃至第四の矩形セル(図18のA bank〜D bank)が、メモリセルアレイであり、矩形枠の中央には各メモリセルアレイの制御回路(A〜D bank controller、I/O controller)が配置されている。メモリの容量が2のべき乗ビットの容量であっても、一般的に、正方形にレイアウトすることは困難である場合があるが、本発明によれば、メモリ容量を4分割すれば、容易に正方形または略正方形にレイアウトできる。
また、本発明の一実施形態の半導体集積回路は、第一乃至第四の矩形セル([1]〜[4])が、ヒューズ回路であり、矩形枠の中央にはヒューズ回路の制御回路が配置されている。ヒューズ回路には、デコーダ回路やヒューズが切断されているか否かを検出する読み出し回路が必要であるが、これらの回路を矩形枠の中央部に配置することもできる。
また、半導体集積回路のレイアウト設計方法は、図6に示すようにそれぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セル([1]〜[4])を、第一矩形セル[1]の長辺51と第二矩形セル[2]の短辺52が矩形枠(53、56、59、62)の第一辺53に内接し、第二矩形セル[2]の長辺54と第三矩形セル[3]の短辺55が矩形枠の第二辺56に内接し、第三矩形セル[3]の長辺57と第四矩形セル[4]の短辺58が矩形枠の第三辺59に内接し、第四矩形セル[4]の長辺60と第一矩形セル[1]の短辺61が矩形枠の第四辺62に内接するように配置する。上記レイアウト方法によれば、矩形セルの形状が、どのような長辺と短辺の比率を持っていたとしても容易に、正方形又は略正方形の矩形枠の中に配置することができる。
また、半導体集積回路のレイアウト設計方法は、図5(a)、(b)、図10(b)に示すように、大きなセルアレイ31を4つにした分割したセルアレイ([1]〜[4])を生成し、4つに分割したセルアレイを第一乃至第四の矩形セル([1]〜[4])として配置する。メモリセルアレイ等の行列上に配置されたセルアレイは、行の数、列の数がそれぞれ2の倍数であれば、比較的容易に同一形状の4つのセルアレイに分割することができる。この4つに分割したセルアレイを第一乃至第四の矩形セルとして配置することができる。分割の方法は、図5(a)に示す行、列をそれぞれ2分割する方法の他、行を4分割、列を4分割するものであってもよい。以下、実施例に即し、図面を参照して詳しく説明する。
図5は、本発明の一実施例による矩形セルのレイアウト構成を示す平面図である。図5(a)は並べ替える前のセルアレイのレイアウト図である、図5(a)では、多数のセルがアレイ状に長方形にレイアウトされている。これをX軸、Y軸方向にそれぞれ2分割することにより、全体を[1]〜[4]に4分割し、図5(b)では、分割したセルアレイ[1]〜[4]を、縦向き、横向き、縦向き、横向きと回転させて配置する。すると、横A=(a+b)/2、縦B=(a+b)/2となるため、横縦比A/Bはaやbの値によらず1となる。すなわち、どのような形状の長方形でも、正方形状に再配置できる。
この配置について図6を用いてもう少し詳しく説明する。4分割したセルアレイを[1]〜[4]とすると、4分割したセルアレイ[1]〜[4]は、破線で示す矩形枠(53、56、59、62)の中にレイアウトされる。さらに、セルアレイ[1]〜[4]をそれぞれ第一矩形セル〜第四矩形セルとすると、第一矩形セル[1]の長辺51と第二矩形セル[2]の短辺52が矩形枠の第一辺53に内接し、第二矩形セル[2]の長辺54と第三矩形セル[3]の短辺55が矩形枠の第二辺56に内接し、第三矩形セル[3]の長辺57と第四矩形セル[4]の短辺58が矩形枠の第三辺59に内接し、第四矩形セル[4]の長辺60と第一矩形セル[1]の短辺61が矩形枠の第四辺62に内接するように配置される。この矩形枠は、矩形セルの長辺と短辺が、図5(b)のように同一線上に重なるように、配置されるか、図10(b)のようにX軸方向とY軸方向の間隔Δを等しくすれば、必然的に矩形枠は正方形になる。
さらには、この正方形の矩形枠に配置された図形は、図7に示すような、中心点に対する回転対称性を有する。すなわち、図7(a)を、時計回りに90°回転させると図7(b)となり、反時計回りに90°回転させると図7(c)となるが、図7(a)の要素(矩形セル)である[1]、[2]、[3]、および[4]は、順に90°ずつ回転しているだけの同じ矩形(長方形)であるため、図7(a)〜(c)は、要素の番号が違うだけの、同じ図形となる。図7(a)〜(c)の図形の持つ特性は、図7(d)に示す、中心点を中心に4方向に関して互いに対称な、4回対称な図形に集約される。
また、長辺と短辺の長さが異なる矩形セル[1]〜[4]を図10(a)のように短辺と長辺が接するように配置すれば、中央には、矩形セルが配置されないスペースができる。各矩形セルの制御回路をこの中央のスペース(以下、中庭と呼ぶ)に配置することができるが、制御回路が中庭に収まりきらない場合は、図10(b)のように、矩形セルを間隔を置いて配置することにより、制御回路を中庭に収めることができる。この場合、レイアウト平面をXY平面と考えた場合、X軸方向の間隔とY軸方向の間隔が等しければ、4つの矩形セルを配置する矩形枠も正方形になる。また、X軸方向の間隔ΔとY軸方向の間隔Δが等しくない場合であっても、矩形枠の辺の長さA、Bに対して間隔Δが小さければ、ほぼ正方形に配置できる。
次に、矩形セル[1]〜[4]がそれぞれメモリセルアレイである場合についてそのレイアウトを詳しく説明する。図11乃至図14は本発明に適用できるDRAMセルのレイアウトの一例である。
図11は、Fを加工寸法とした場合、8F^2の面積で構成されるメモリセルを示す。ここでFの定義はF=(パターン幅+パターン間隔)/2である。図11(a)はレイアウト図で、セル容量がビット線の上方に形成される、いわゆるCOB(Capacitor Over Bitline)構造をイメージして、描いてある。4本のワード線WL0〜WL3の4本が縦方向に、3本のビット線BL0、BL0’、BL1が横方向に、互いに隣接する配線と最小ピッチである2Fを保ちながら配線されている。その中の点線領域が1セルユニットに相当する。すなわち、点線領域を、平行移動や反転や回転の操作をしながら敷き詰めると、メモリセルアレイ全体を再構成できる。なお、1セルを規定するユニットの取り方は種種あるが、以下で説明しやすいように、ここでは、当該ワード線1本と、当該ビット線(線対)1本(対)と、当該セル1個を含むものを1セルユニットとした。点線領域は、当該セル容量と接続するセルコンタクト0.5個と、当該ビット線BL0’と接続するビット線コンタクト0.5個と、これらコンタクトを、当該ワード線WL2をゲートとして導通させる、セルトランジスタ1個と、隣接セル容量と接続するセルコンタクト0.5個と、隣接ビット線BL0を0.5本と、隣接ビット線BL1を0.5本含む。ここで0.5は隣接セルと共有していることを意味する。以上、意味を考慮しながら合計すると、1セルユニットは、当該セル容量1個と、当該セルトランジスタ1個と、当該ワード線1本と、当該ビット線1本と、隣接ビット線1本を含むことになる。この隣接ビット線は、1セルユニットのなかではセル容量を持たないが、回路的には当該ビット線とともに差動増幅に用いられる対線の片方となる。以上を回路図に翻訳したのが図11(b)である。このように1セルユニットは、ワード線1本とビット線2本(ビット線対1対)を含むので、ワードピッチ2F、ビットピッチ4Fの形状を持ち、面積は8F^2となる。この形状では折り返し形ビット線構成が可能で、ノイズ耐性を大きくできるので、ノイズ耐性を重視したい場合に用いる。
図12は、6F^2の面積で構成されるメモリセルのうち、ワードピッチ3F、ビットピッチ2Fのものを示す。図12(a)はレイアウト図で、COB構造をイメージして描いてある。ワード線がWL0〜WL3の4本、ダミー2本、合計6本、ビット線が、BL0、BL1の2本、伸びており、その中の点線領域が1セルユニットに相当する。点線領域は、当該セル容量と接続するセルコンタクト1個と、当該ビット線BL1と接続するビット線コンタクト0.5個と、これらコンタクトを、当該ワード線WL3をゲートとして導通させる、セルトランジスタ1個と、隣接ダミーワード線dummyを0.5本含む。意味を考慮しながら合計すると、1セルユニットは、当該セル容量1個と、当該セルトランジスタ1個と、当該ワード線1本と、当該ビット線1本と、隣接ダミーワード線0.5本を含むことになる。このダミーワード線はワード線2本に1本の割合で存在することになるので、実効的ワードピッチは3F(=6F/2)となる。以上を回路図に翻訳したのが図12(b)である。このように1セルユニットは、ワード線1本とダミーワード線0.5本とビット線1本を含むので、ワードピッチ3F、ビットピッチ2Fの形状を持ち、面積は6F^2となる。この形状では開放形ビット線構成となるが、8F^2よりメモリセルサイズを小さくできるので、面積縮小を重視したい場合に用いる。また、次に述べる、ワードピッチ2F、ビットピッチ3Fの形状も6F^2だが、どちらを使用するかの選択は、種種の要請を考慮して行う。
図13は、6F^2の面積で構成されるメモリセルのうち、ワードピッチ2F、ビットピッチ3Fのものを示す。図13(a)はレイアウト図で、COB構造をイメージして描いてある。ワード線がWL0〜WL3の4本、ビット線が、BL0、BL1の2本、伸びており、その中の点線領域が1セルユニットに相当する。点線領域は、当該セル容量と接続するセルコンタクト0.5個と、当該ビット線BL1と接続するビット線コンタクト0.5個と、これらコンタクトを、当該ワード線WL2をゲートとして導通させる、セルトランジスタ1個と、隣接セル容量と接続するセルコンタクト0.5個を含む。意味を考慮しながら合計すると、1セルユニットは、当該セル容量1個と、当該セルトランジスタ1個と、当該ワード線1本と、当該ビット線1本を含むことになる。ビット線に関しては、ライン1本に対してスペースを2本分含むため、ビットピッチは3Fである。以上を回路図に翻訳したのが図13(b)である。このように1セルユニットは、ワード線1本とビット線1本と、さらにビット線スペースのみをもう1本分含むので、ワードピッチ2F、ビットピッチ3Fの形状を持ち、面積は6F^2となる。前に述べた通り、面積縮小を重視したい場合に用いる。
図14は、4F^2の面積で構成されるメモリセルを示す。図14(a)はレイアウト図で、ワード線とビット線の交点にセルをもつイメージで描いてある。ワード線がWL0〜WL3の4本、ビット線が、BL0、BL1の2本、伸びており、その中の点線領域が1セルユニットに相当する。点線領域は、ワード線とビット線の交点1個に相当する。1セルユニットは、当該ワード線1本と、当該ビット線1本と、その交点に工夫して配置された、当該セル容量と当該セルトランジスタを各1個含む。以上を回路図に翻訳したのが図14(b)である。このように1セルユニットは、ワード線1本とビット線1本を含むので、ワードピッチ2F、ビットピッチ2Fの形状を持ち、面積は4F^2となる。この形状は図11乃至図14で説明したセル形状の中で最小の面積を与える。現時点のDRAMでは開発中の技術となる。
以上のようにメモリセルの形状は、ノイズ耐性重視か面積縮小重視かといった、設計指針によって決まる。
次に、これら形状のメモリセルをアレイ状に配列することを考える。メモリデバイスを使用する際のアドレス情報はアドレスビットとして与えられ、それを内部で2のべき乗通りにデコードし、実アドレスとして使用するため、メモリセルの配列も2のべき乗を規則とするのが普通である。そうしないとデコードが難しくなり、回路規模も増大するからである。そこで、上で議論したメモリセルを、2のべき乗を規則とした配列で並べることを考える。図15に示すように、ワードピッチpW、ビットピッチpDのメモリセルを、横方向をビットピッチpD、縦方向をワードピッチpWとして、横方向に2^k個、縦方向に2^l個で、敷き詰めるものとする。ここで、k、lは0を含む自然数(k,l=0,1,2,...)である。すると、配列後のメモリアレイの横方向長さAおよび縦方向長さBは式(1)、式(2)のようになる。
一方、配列後のメモリアレイの容量をC[bit]としたとき、k、lに関して、式(3)の関係が成り立つ。
式(1)、式(2)より横縦比A/Bに関して、式(4)を得る。
式(3)より、k、lに関して、式(5)を得る。
式(4)より、k、lに関して、式(6)を得る。
式(5)と式(6)を連立して解くと、式(7)、式(8)を得る。
式(7)に関して、k=0,1,2,...を考慮すると、式(9)の関係式を得る。
式(9)自身、および式(9)と式(7)、式(9)と式(8)により、横縦比A/B、およびk、lを求める式、式(10)〜式(12)を得る。
例えば256Mビットのメモリデバイスの場合、C=2^28なので、式(10)から式(13)を得る。
式(13)より、256Mビットのメモリデバイスで、横縦比A/Bが1の正方形を得たければ、メモリセルの横縦比pD/pWは、式(14)を満たす必要がある。
式(14)より、pD/pW=1のときはI=14である。pD/pW=2のときはI=27/2であるが、I=0,1,2,...と、Iがゼロを含む自然数であることを考慮すると、解を持たないことになる。pD/pW=2/3やpD/pW=3/2のときも解を持たないことは明らかである。DRAMメモリセルに関して言えば、8F^2セルであればpD/pW=4F/2F=2であり、6F^2セルであればpD/pW=2F/3F=2/3あるいはpD/pW=3F/2F=3/2であり、4F^2セルであればpD/pW=2F/2F=1である。すなわち、4F^2セル以外は長方形にしかなりえない。4F^2にしても、I=14(=k=l)、すなわち、2^14×2^14の配列の場合しか正方形にならず、他は長方形となる。このようにメモリ全体の概形は長方形になりやすい。また、本計算ではメモリデバイスの特性面は何も考えていないが、これも考慮すると配列はより制限される。
次に256Mビット配列の具体例として、Xアドレス:X<12:0>、Yアドレス:Y<8:0>、バンク数:4(A/B/C/D)、語構成:x16の配置例を図8に示す。なお、本図面では、簡単のため、周辺回路、Xデコーダ、Yデコーダ、及び、メモリアレイのマット分割に伴う回路領域の面積は考慮していない。図8では、横方向にYアドレスおよびDQを、縦方向にXアドレスを並べ、1バンクを構成し、この1バンクを縦横に4個配置した。メモリ全体では、横方向に16kビット、縦方向に16kビット、並べた形になる。そのため、寸法は、ワードピッチをpW、ビットピッチをpDとした場合、横16k・pD、縦16k・pWとなり、横縦比は横/縦=pD/pWになる。したがって図15のセル配置に対する横縦比は、8F^2セルであればpD/pW=4F/2F=2であり、6F^2セルであればpD/pW=2F/3F=2/3あるいはpD/pW=3F/2F=3/2であり、4F^2セルであればpD/pW=2F/2F=1である。なお、図8はpD/pW=4F/2F=2の8F^2セルの比率で描いてある。このように4F^2セル以外は長方形になる。確かに、先の議論の通りである。
しかし、本発明により、図8のメモリセルアレイをXY平面において、X軸方向、Y軸方向にそれぞれ2分割し、A bank、B bank、C bank、D bankの4つの矩形セルに分割する。それを本発明により再配置すると、図9に示すとおり、正方形に配置することができる。図9は、8F^2セルの場合であるが、6F^2セルであっても、正方形に配置することができ、従来、正方形に配置することができなかったメモリセルアレイであっても本発明によれば、正方形に配置することができる。また、図8で4箇所だったXデコーダは、図9でも4箇所のままであり、置き換えによるアレイ構成の変更も必要なくなる。これは、互いに等しい4つのアレイが、4回対称な形に配置されたことによる。なお、言うまでもないことだが、中庭の大きさが足りない場合などに、図10のように、その空間を確保するため、回転配置されているアレイ間に間隙Δを挿入することができる。
次に本発明によるメモリデバイスの構成例を、DRAMを例に、より具体的に説明する。まず、メモリアレイについて説明する。なお、これが必要というわけではないが、ここでは例として、階層化ワード線方式、かつ、共有センスアンプ方式の、8F^2セルに関するメモリアレイを、図16、図17を用いて説明する。図16で、41がメモリセルのサブアレイ(CELL)である。ここで丸印はメモリセルを示し、図示はしないが、セル容量とセルトランジスタで構成される。42がロウ選択線であるサブワード線SWLを駆動するサブワードドライバ(SWD)部であり、サブワードドライバは、メインワード線MWLと、その下位のプリデコード信号であるFXTにより、階層的に選択される。43がビット線の信号を増幅するためのセンスアンプ(SA)部であり、センスアンプ制御信号群SACにより、プリチャージ、増幅、および、上下ビット線との共有制御が制御され、カラム選択線であるYセレクトYSにより、ローカル入出力線LIOとビット線BLの接続状態が制御される。サブワードドライバ部、および、センスアンプ部は、メモリセルの書き込み及び読み出し動作の、速度や電流、メモリアレイの面積増減を考慮し、適度に繰り返される。このように、メモリアレイは、サブワードドライバ列とセンスアンプ列に囲まれたサブアレイを構成要素として持つ。図17では、このように構成されたサブアレイ(41、42および43)が、メモリセルの書き込み及び読み出し動作の、速度や電流、メモリアレイの面積増減を考慮し、さらに適度に繰り返される。メインワード線などのロウ選択線の類はXデコーダ部XDECにおいて駆動され、Yセレクトなどのカラム選択線はYデコーダ部YDECにおいて駆動される。なお、プリデコードは、XはXデコーダの下のX−preDECにおいて行われ(プリデコード信号XPD)、YはYデコーダ内に分散されたY−preDECにおいて行われる。アドレス情報はバス部(Address Bus & Data Bus & Ctrl Bus)から入手する。データに関しては、Yセレクトが1本のみ選択されるセンスアンプ群に合わせた長さにLIOを形成し、それをインタセクション部ISでMIOとつなげ、最終的にライトバッファおよびリードアンプで構成されるIOポート部(WBUF&RAMP)とつながる。そのデータはバス部(Address Bus & Data Bus & Ctrl Bus)と授受される。なお、図のように電源制御部(Voltage Source Controller)も一緒に設置するのが、DRAMの制御上、望ましい。バス部を通ってきた電源制御線郡VLTCが、X−preDEC部でバッファリングされ、XDEC部を通じて供給される。これにより、電源のバンク制御を繊細に実施でき、少消費電力化が可能となる。このようにメモリアレイは構成される。
続いて、上記メモリアレイを1バンクとして、4バンク構成のメモリデバイスを構成する方法を図18に示す。外部との信号の授受は中央のIO制御部I/O controllerで行われる。ここでは、入力信号の取り込み、シリアル−パラレル変換、FIFO動作、信号出力などが行われる。各バンクとの信号の授受はバンク制御部A (B,C,D) bank controllerで行われる。ここでは、I/O制御部で取り込んだ信号をバンク毎の信号として取り込みなおし、それを各バンクに渡したり、バンク固有の制御信号を各バンクに渡したり、書き込み及び読み出しデータを授受したりする。バンクの配置は、本発明の回転配置で行う。なお、バンク制御部も回転配置としたほうが、より対称性がよいので、図18ではそうしている。図18からも明らかなように、図のような構成では、本発明の4方向の対称性がバンク制御に生かされており、特にバス配線の様子が、バンク間で互いに等しくなっていることが分かる。本構成は、信号間のスキューが問題となる高速デバイスにも適している。
また、ここでの説明では、入出力パッドは中央に配置されるが、エッジパッドであっても、エッジから中央に、上層配線などでジャンパ配線を形成すれば、以後の議論は上述の通りとなる。
なお、ここでは対称性をバンク配置に持たせたが、例えば、配線の対称性のみに着目し、I/O信号を4分割し、各分割配線を4方向に伸ばす方法が考えられる。こうすれば、4方向に伸びるバス配線の厚みを1/4とできるであろう。ただし、バンクの制御は対称性を失う。このように、中庭に配置する回路については、一部の対称性を犠牲にして、面積他の特性を優先させるような配置方法であってもよい。
実施例1のように配置されたアレイを1ユニットとして、このユニットを縦横同数並べる方法がある。例えば、図19に示すように、並べ替え前の長方形を16等分し、このうち4個を、縦向き、横向き、縦向き、横向きと回転させて配置する。図19中の[1]〜[4]で構成されるユニットがそれにあたる。そして、同様に作成した[5]〜[8]、[9]〜[12]、[13]〜[16]の3ユニットとともに、図19に示すように、縦2個、横2個で並べる。すると、横A=(a+b)/2、縦B=(a+b)/2となるため、横縦比A/Bはaやbの値によらず1となる。これを一般化すると図20になる。4n^2等分されたアレイのうち4個を、縦向き、横向き、縦向き、横向きと回転させて配置する。すると、縦L横Lの正方形となる。この正方形を、縦n個、横n個で並べると、当然のことながら、縦nL横nLの正方形となる。なお、各ユニットの制御回路は実施例1のように作成するのが良い。ユニットとの情報の授受、および、異なるユニット間の通信は、上層配線などを用い、中央制御部と信号取り出し用チャネル領域、あるいは中央制御部同士に、ジャンパ配線を形成するのが良い。
実施例1のように配置された1ユニットを、縦横に適当な数配置して、所望の横縦比を得ることができる。例えば図21のように、並べ替え前の長方形を8等分し、このうち4個を、縦向き、横向き、縦向き、横向きと回転させて配置し、ユニットを作成する。図21中の[1]〜[4]、[5]〜[8]がそれに相当する。この2ユニットを横に並べると、横A=(a+2b)/2、縦B=(a+2b)/4となるため、横縦比A/Bはaやbの値によらず2となる。ユニットの通信に関しては実施例2の通りである。
また、例えばECCを内蔵する場合、データ(ECCの情報ビットに相当)の訂正に必要な冗長ビット(ECCの検査ビットに相当)を考慮するとECC動作の総単位ビットは、データ8ビットの時は冗長4ビットなので12ビット、データ16ビットの時は冗長5ビットなので21ビット、データ32ビットの時は冗長6ビットなので38ビット、データ64ビットの時は冗長7ビットなので71ビット、データ128ビットの時は冗長8ビットなので136ビットと、2のべき乗の法則から外れる。この様な場合は、従来の配置方法を取っていたのでは、正方形化はより難しくなると考えられるが、本発明によれば、矩形セル(セルアレイ)毎に冗長回路を設ければ、容易に正方形に配置することができる。
ここに述べた半導体集積回路、半導体集積回路のレイアウト方法はメモリアレイでなくても、正方形でない矩形セルを配置する場合に適用できる。例えば、ヒューズ(レーザータイプ、電気タイプとも)など、アレイ状に並ぶものに対して適用可能である。
以上、本発明を実施例に即して説明したが、本発明は上記実施例の構成にのみ制限されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
21:長方形チップ
22:正方形チップ
31:分割前のセルアレイ
41:サブアレイ
42:サブワードドライバ部
43:センスアンプ部
51:第一矩形セルの長辺
52:第二矩形セルの短辺
53:矩形枠の第一辺
54:第二矩形セルの長辺
55:第三矩形セルの短辺
56:矩形枠の第二辺
57:第三矩形セルの長辺
58:第四矩形セルの短辺
59:矩形枠の第三辺
60:第四矩形セルの長辺
61:第一矩形セルの短辺
62:矩形枠の第四辺
22:正方形チップ
31:分割前のセルアレイ
41:サブアレイ
42:サブワードドライバ部
43:センスアンプ部
51:第一矩形セルの長辺
52:第二矩形セルの短辺
53:矩形枠の第一辺
54:第二矩形セルの長辺
55:第三矩形セルの短辺
56:矩形枠の第二辺
57:第三矩形セルの長辺
58:第四矩形セルの短辺
59:矩形枠の第三辺
60:第四矩形セルの長辺
61:第一矩形セルの短辺
62:矩形枠の第四辺
Claims (13)
- それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルが、
前記第一矩形セルの長辺と前記第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、
前記第二矩形セルの長辺と前記第三矩形セルの短辺が前記矩形枠の第二辺に内接し、
前記第三矩形セルの長辺と前記第四矩形セルの短辺が前記矩形枠の第三辺に内接し、
前記第四矩形セルの長辺と前記第一矩形セルの短辺が前記矩形枠の第四辺に内接するように配置されたレイアウトパターンを有することを特徴とする半導体集積回路。 - 前記矩形枠が正方形であることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記第一乃至第四矩形セルが互いに重ならないように配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路。
- 前記矩形枠の中央には、前記第一乃至第四矩形セルを制御する制御回路が配置されていることを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載の半導体集積回路。
- 前記第一矩形セルと第三矩形セルとがそれぞれ前記第二矩形セル及び第四矩形セルと接して配置されていることを特徴とする請求項1乃至4記載の半導体集積回路。
- 前記第一矩形セルと第三矩形セルとがそれぞれ前記第二矩形セル及び第四矩形セルと間隔をおいて配置されていることを特徴とする請求項1乃至4記載の半導体集積回路。
- 前記第一乃至第四矩形セルを配置した矩形枠が一列又は行列状に複数配置されていることを特徴とする請求項1乃至6記載の半導体集積回路。
- 前記第一乃至第四の矩形セルが、メモリセルアレイであり、前記矩形枠の中央には各メモリセルアレイの制御回路が配置されていることを特徴とする請求項1乃至7いずれか1項記載の半導体集積回路。
- 前記第一乃至第四の矩形セルが、ヒューズ回路であり、前記矩形枠の中央には前記ヒューズ回路の制御回路が配置されていることを特徴とする請求項1乃至7いずれか1項記載の半導体集積回路。
- それぞれ実質的に同一形状を有する第一乃至第四矩形セルを、
前記第一矩形セルの長辺と前記第二矩形セルの短辺が矩形枠の第一辺に内接し、
前記第二矩形セルの長辺と前記第三矩形セルの短辺が前記矩形枠の第二辺に内接し、
前記第三矩形セルの長辺と前記第四矩形セルの短辺が前記矩形枠の第三辺に内接し、
前記第四矩形セルの長辺と前記第一矩形セルの短辺が前記矩形枠の第四辺に内接するように配置することを特徴とする半導体集積回路のレイアウト設計方法。 - 前記矩形枠が正方形であることを特徴とする請求項10記載の半導体集積回路のレイアウト設計方法。
- 大きなセルアレイから4つに分割したセルアレイを生成し、前記4つに分割したセルアレイを前記第一乃至第四の矩形セルとして配置することを特徴とする請求項10又は11記載のレイアウト設計方法。
- 前記第一乃至第四の矩形セルが、メモリセルアレイであり、前記矩形枠の中央に各メモリセルアレイの制御回路を配置することを特徴とする請求項10乃至12に記載の半導体集積回路のレイアウト設計方法。
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JP2009019510A JP2010177505A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 半導体集積回路及びそのレイアウト方法 |
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JP (1) | JP2010177505A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013026514A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Sony Corp | 記憶装置およびその製造方法 |
-
2009
- 2009-01-30 JP JP2009019510A patent/JP2010177505A/ja not_active Withdrawn
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