JP2010177457A - インプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、基材フィルム2の一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層31を形成し、基材フィルム2の幅方向両端側に硬化性樹脂薄膜層31の厚みtより高いナーリング加工の高さhを有するナーリング加工2aを施した後、ロール体に巻き取ってインプリント用のロール状転写フィルムを製造する。
【選択図】図3
Description
なお、本明細書での微細なパターンとは、微細凸凹形状からなる細線パターン及び図形パターンにおいて、1つの細線幅及び図形寸法が、約数十nm〜約数百μm程度のパターンを指す。
特許文献2には、基材フィルム上に、紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂組成物をチューブ式塗布装置で塗布し、ドクターナイフで塗布面を均一に形成し、ロール状成形型を用いて樹脂に凹凸形状を形成し、凹凸形状を形成した樹脂層を硬化させた後、凹凸形状が表面に形成された樹脂成形品を前記成形型から剥離することにより、基材フィルム上に紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂の硬化物からなる凹凸形状が表面に形成されている樹脂成形品の製造方法が開示されている。
特許文献3には、ポリマー溶液を、シートのパターン形状に対応する微細凹凸のパターン形状が形成された走行ベルト上に塗布して該走行ベルト上に塗布膜を形成し、前記走行ベルトの水平走行中に前記塗布膜を乾燥・固化させて前記走行ベルトのパターン形状を塗布膜に転写させた後、前記走行ベルトから塗布膜を剥離することにより、シート面に微細凸凹のパターン形状が形成されたパターンシートを製造する方法が開示されている。
特許文献4には、連続走行している帯状可撓性のシート状体の表面に放射線硬化樹脂液を塗布し塗布層を形成し、回転する凹凸ローラに巻き掛け、前記塗布層に前記凹凸ローラ表面の凹凸を転写し、放射線を照射し前記塗布層を硬化させ、凹凸ローラから剥離させる剥離工程とを含む凹凸状シートの製造方法が開示されている。
請求項5に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項3または4に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項6に係る発明は、前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項9に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項7または8に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項13に係る発明は、光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項10ないし12のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項14に係る発明は、前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが2次元配置されてなることを特徴とする請求項10ないし13のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項3に係る発明によれば、請求項2に係る発明の効果に加えて、カバーフィルムを貼り合わせてエネルギー線を照射することで、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、硬化を十分に行うことができる。
請求項5に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項6に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項8に係る発明によれば、遮蔽パターンの形成方法は必要とする遮蔽性能、コスト、カバーフィルムとの相性等を満たす方法であれば、上記種々の方法を自由に選択できる。
請求項9に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項10〜14に係る発明によれば、インプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができる。
図1は、本発明の第1の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。すなわち透明基材2を製造装置に供給する基材供給部1と、前記透明基材2に硬化性樹脂組成物を塗布する塗布装置3と、硬化性樹脂組成物中に有機溶媒等が含まれる場合、それを揮発除去する乾燥装置4と、透明基材2の両端部へナーリング加工を施すナーリング形成装置5と、加工されたインプリント用転写フィルムを巻き取る巻取り部6とから構成される製造装置を用いてロール状転写フィルムが製造される。
特に前記基材のうち、耐熱性、紫外線透過性、及び価格の面から、ポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
また、前記透明基材2の裏面(硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面)に剥離処理がなされていることが好ましい。これにより、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
塗布装置3により、透明基材2の片面に硬化性樹脂薄膜層(塗布膜)が形成される。塗布装置3で塗布した直後の硬化性樹脂組成物は、未硬化でかつ液状であり、塗布に適した流動性を有する。
硬化性樹脂組成物は、紫外線、電子線、熱線等のエネルギー線により重合する重合性化合物を含有する。
例えば、300nm〜400nmの範囲内の紫外線に対して硬化性を有する紫外線硬化性樹脂材料としては、重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)および離型剤(C)を含有するものが好ましい。
重合性化合物(A)としては、例えば、アクリル単量体、ウレタン(メタ)アクリレートやエポキシ(メタ)アクリレートのモノマーやオリゴマーを用いることができる。また、紫外線硬化性樹脂組成物の塗布液中には、反応希釈剤、光重合開始剤などを添加することが好ましい。
(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、下記の化合物が挙げられる。
1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等のジ(メタ)アクリレート。
トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタアエリスリトールトリ(メタ)アクリレート等のトリ(メタ)アクリレート。
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のその他の(メタ)アクリレート。
前記(メタ)アクリルアミド類としては、例えば、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−エチル(メタ)アクリルアミド、N−プロピル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブチルアクリル(メタ)アミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−(2−メトキシエチル)(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ベンジル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリロイルモルホリン、ジアセトンアクリルアミドなどが挙げられる。具体的な商品名としては、ビームセット371(荒川化学工業社製)等が挙げられる。
これらアクリル単量体は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
アセトフェノン系光重合開始剤:アセトフェノン、p−(tert−ブチル)1’,1’,1’−トリクロロアセトフェノン、クロロアセトフェノン、2’,2’−ジエトキシアセトフェノン、ヒドロキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2’−フェニルアセトフェノン、2−アミノアセトフェノン、ジアルキルアミノアセトフェノン等。
ベンゾイン系光重合開始剤:ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール等。
ベンゾフェノン系光重合開始剤:ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、メチル−o−ベンゾイルベンゾエート、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ヒドロキシプロピルベンゾフェノン、アクリルベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン等。
チオキサントン系光重合開始剤:チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ジメチルチオキサントン等。
その他の光重合開始剤:α−アシルオキシムエステル、ベンジル−(o−エトキシカルボニル)−α−モノオキシム、アシルホスフィンオキサイド、グリオキシエステル、3−ケトクマリン、2−エチルアンスラキノン、カンファーキノン、テトラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシド、ジアルキルペルオキシド、tert−ブチルペルオキシピバレート等。
含フッ素界面活性剤としては、アニオン性含フッ素界面活性剤、カチオン性含フッ素界面活性剤、両性含フッ素界面活性剤、ノニオン性含フッ素界面活性剤のいずれであってもよい。これらの中でも、硬化性樹脂材料における相溶性と、その硬化物における分散性が良好であることから、ノニオン性含フッ素界面活性剤が特に好ましい。
カチオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルカルボン酸のトリメチルアンモニウム塩、またはポリフルオロアルキルスルホン酸アミドのトリメチルアンモニウム塩が好ましい。カチオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−121(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFC−134(商品名、スリーエム社製)、メガファックF−150(商品名、DIC社製)等が挙げられる。
両性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルベタインが好ましい。両性界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−132(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFX−172(商品名、スリーエム社製)、メガファックF−120(商品名、DIC社製)等が挙げられる。
ノニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルアミンオキサイド、またはポリフルオロアルキル・アルキレンオキサイド付加物が好ましい。ノニオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンS−145(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンS−393(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンKH−20(商品名、セイミケミカル社製)、サーフロンKH−40(商品名、セイミケミカル社製)、フロラードFC−170(商品名、スリーエム社製)、フロラードFC−430(商品名、スリーエム社製)、メガファックF−141(商品名、DIC社製)等が挙げられる。
塗布膜が薄すぎると、形状転写性が悪くなり、また、塗布膜が厚過ぎるとコスト面やロール体での経時安定性の点で不利である。
乾燥装置4は、硬化性樹脂組成物を硬化させる目的のものではなく、塗布膜は乾燥後もある程度の流動性を有し、液状ないしゲル状となっている。
本形態例の場合、ナーリング形成装置5は、図2に示すように、表面に凹凸形状が形成されたナーリング加工ロール5aと、表面が平滑な受けロール5bを備え、加工ロール5aと受けロール5bとの間に透明基材2を挟みこむことで、透明基材2の片面をナーリング加工する。なお、図示はしないが、透明基材の両面にナーリング加工ロールを設けても良い。
図3に示すように、透明基材2の幅方向(図2の左右方向)両端側の硬化性樹脂薄膜層31が形成される領域にかからない位置に、硬化性樹脂薄膜層31の厚みtより高い高さhを有するナーリング加工2aが施される。ナーリング加工部2aは、透明基材2の幅方向両端縁から若干内側に形成すると、ナーリング加工が容易になるので好ましい。余分な耳の部分は、後工程で長手方向に沿って断裁除去することもできる。
なお、本形態例では、ナーリング加工を硬化性樹脂の塗布後に行なっているが、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を行なうこともできる。
このほか、ナーリング加工ロール5aとしては、JIS B0951に規定される平目ローレット(凹凸が軸線方向に沿って形成されているもの)や綾目ローレット(凹凸が周方向に斜めに形成されているもの)、角錐状や角柱状等の微細な突起あるいは凹部が周方向及び軸線方向に離間して配列されたもの等が挙げられる。これにより、それぞれ対応する形状のナーリング加工部2aが形成される。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
図13に示すように、硬化性樹脂薄膜層31は、ロールの巻き始め及び巻き終わりの部分には形成されない。巻き取りの際、透明基材2に対し硬化性樹脂薄膜層31を内側とするか外側とするかは限定されない。いずれの場合においても、巻き始め又は巻き終わりにおいて硬化性樹脂薄膜層31が形成されていない部分の透明基材2をフィルム端末62からコア材61の周囲に1周以上余分に巻き取ることにより、硬化性樹脂薄膜層31がコア材61に接触したり外部に露出したりすることなく、該硬化性樹脂薄膜層をロール体の中に巻き込むことができる。符号63は、フィルム端末62をコア材61に貼着する接着テープ63である。
図5に示した装置は、図1に示した基材供給部1、透明基材2、塗布装置3、乾燥装置4、ナーリング形成装置5に加え、塗布膜乾燥後に塗布膜両端部を紫外線照射し、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化装置としての紫外線照射装置7を備える。また、図5の巻取り部8は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図1の巻取り部6と同様である。
光源部は、紫外線硬化性樹脂組成物を十分に硬化させる紫外線照射量を得られるものであれば高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等のランプ光源や、紫外線領域の発光ピークを持つ発光ダイオードなど自由に選択できる。
中でも紫外線硬化性樹脂組成物の硬化波長以外の波長の光を殆ど出さず、紫外線照射対象物への熱ダメージが少ない発光ダイオードタイプの光源が好適に用いられる。
操作の容易性から、紫外線硬化性樹脂と紫外線照射装置を用いることが好ましい。
図7に示すように、透明基材2の幅方向(図6の左右方向)両端側の硬化性樹脂薄膜層の硬化部32に、未硬化の硬化性樹脂薄膜層31の厚みtより高いナーリング加工の高さhを有するナーリング加工33が施される。
本形態例では、非流動性部位である硬化部32にナーリング加工を施すと、透明基材2にナーリング加工を施す場合に比べて、未硬化の硬化性樹脂薄膜層31の厚みより高いナーリング加工の高さを得やすくなり、好ましい。
なお、ナーリング加工は、硬化部32よりさらに外側の透明基材2に施すこともでき、その場合は、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を施すことも可能である。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
図9に示す装置は、図5に示した基材供給部1、透明基材2、塗布装置3、乾燥装置4、ナーリング形成装置5、紫外線照射装置7に加え、カバーフィルム10と、カバーフィルム供給部9と、前記カバーフィルム10を紫外線硬化性樹脂組成物塗布面に貼合するニップロール11と、カバーフィルム10を塗布面から剥離するバックロール12と、剥離したカバーフィルム10を巻き取る、カバーフィルム巻取り部13からなる。また、図9の巻取り部14は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図1の巻取り部6と同様である。
カバーフィルム供給部9は、カバーフィルム10が巻き取られたロール体と、ロール体を保持する軸等からなる。
このように、紫外線硬化性樹脂の上をカバーフィルム10で覆って大気との接触を断った密閉状態で紫外線を照射することにより、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、紫外線硬化性樹脂の硬化を十分に行うことができる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
なお、カバーフィルム10を貼合したまま透明基材2にナーリング加工を施す場合には、カバーフィルム10を剥離することなく、カバーフィルム10を貼合したままロール体14に巻き取ることで、次工程までの期間中、硬化性樹脂薄膜層の表面に異物等が付着することを防止できるため、製品のクリーン度をより高く保つことができる。この場合、硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつナーリング加工が施された転写フィルムが、ロール体に巻き取られる。
カバーフィルム巻取り部13は、前記剥離装置12にて剥離したカバーフィルム10をロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
巻取り部14は、上述の実施形態3の加工が施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
インプリント装置は、本発明により製造されたロール状転写フィルム16を供給するロール状転写フィルム供給部15と、表面に微細凹凸形状を持つ金属製の微細凹凸形状転写ロール17と、微細凹凸形状転写ロール17に転写フィルムを押しつけるニップロール18と、バックロール19と、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる紫外線照射装置7と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部20からなる。
透明基材2の供給部1と、塗布装置3と、乾燥装置4と、微細凹凸形状転写ロール17と、ニップロール18と、バックロール19と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部21から構成される。
紫外線硬化性樹脂組成物の成膜工程(塗布・乾燥工程)と、微細凹凸形状転写工程とが連続して設置されており、熟練した技術を要する成膜工程、及び微細凹凸形状転写工程を同時に行う必要があり、技術的な難易度が非常に高いものであった。
Claims (14)
- 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の(1)〜(3)の工程:
(1)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
(2)前記基材フィルムの幅方向両端側の前記硬化性樹脂薄膜層が形成される領域にかからない位置に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
(3)前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記基材フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。 - 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の(1)〜(4)の工程:
(1)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
(2)前記基材フィルムの幅方向両端側にエネルギー線を照射して、前記硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
(3)前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
(4)前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。 - 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の(1)〜(5)の工程:
(1)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
(2)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
(3)前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射し、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記エネルギー線を透過させて、前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成した後、前記カバーフィルムを除去する工程、
(4)前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
(5)前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。 - 前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離(リフトオフ)法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項3に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
- 前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項3または4に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
- 前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
- 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の(1)〜(5)の工程:
(1)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
(2)長さ1〜10000mの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
(3)前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射して、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
(4)前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
(5)前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。 - 前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離(リフトオフ)法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項7に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
- 前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項7または8に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
- 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成され、前記基材フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。 - 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、幅方向両端部においては硬化され、前記幅方向両端部の間である中央部においては未硬化とされた、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成されてなり、前記転写フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。 - 前記基材フィルムは、長さ1〜10000mの長尺状であって、ロール体に巻かれていることを特徴とする請求項10または11に記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
- 光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項10ないし12のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
- 前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが2次元配置されてなることを特徴とする請求項10ないし13のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009018540A JP5449789B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | インプリント用転写フィルムロール体の製造方法、およびインプリント用転写フィルムロール体 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009018540A JP5449789B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | インプリント用転写フィルムロール体の製造方法、およびインプリント用転写フィルムロール体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177457A true JP2010177457A (ja) | 2010-08-12 |
JP5449789B2 JP5449789B2 (ja) | 2014-03-19 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009018540A Active JP5449789B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | インプリント用転写フィルムロール体の製造方法、およびインプリント用転写フィルムロール体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5449789B2 (ja) |
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JP5449789B2 (ja) | 2014-03-19 |
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