JP2010169637A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【構成】 溝420a、420bを有する基板400と、基板400の溝420aに嵌合するプレート700aと、基板400の溝420bに嵌合し且つプレート700aよりも背高なプレート700bと、先端部510aが折り曲げられたプローブ500aと、先端部510bが折り曲げられ且つ先端部510bの先端から折り曲げ部までの長さが先端部510aの先端から折り曲げ部までの長さよりも短いプローブ500bとを備える。プレート700aには、前記先端を下方に向けてプローブ500aを各々保持する凹部710aが設けられており、プレート700bには、プローブ500a、500bの先端同士が同一高さになるように当該プローブ500bを各々保持する凹部710bが設けられている。
【選択図】 図1
Description
なお、本段落の設計変更は、段落0074で記述したプローブカードについても適応可能である。
120a、120b 第1、第2のスルーホール(第1、第2の電極)
400 ガイド基板(第1の基板)
420a、420b 第1、第2の位置決め溝
430a、430b 第1、第2の貫通孔
440 穴部
450 樹脂
500a、500b 第1、第2の プローブ
510a、510b 先端部
520a、520b 中間部
530a、530b 後端部
600 固定用樹脂
601、602 第1、第2の固定用樹脂
700a、700b 第1、第2の位置決めプレート
710a、710b 凹部
Claims (8)
- 第1面に第1、第2の位置決め溝が略平行に設けられた第1の基板と、
第1の基板の第1の位置決め溝に嵌合する第1の位置決め部材と、
第1の基板の第2の位置決め溝に嵌合し且つ第1の位置決め部材よりも背高である第2の位置決め部材と、
先端部が略L字状に折り曲げられた複数の第1のプローブと、
先端部が略L字状に折り曲げられ且つ前記先端部の先端から折り曲げ部までの長さが第1のプローブの先端部の先端から折り曲げ部までの長さよりも短い複数の第2のプローブと、
第1の基板に設けられ且つ第1、第2のプローブが接続される第1、第2の電極とを備えており、
第1の位置決め部材には、前記先端を下方に向けた状態で第1のプローブを各々保持する複数の凹部が一列で設けられており、
第2の位置決め部材には、第2のプローブの先端が第1のプローブの先端と略同一高さになるように当該第2のプローブを各々保持する複数の凹部が一列で設けられていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
第1の基板の第2面側に配置される第2の基板を更に備えており、
第1、第2の電極は、第1の基板ではなく、第2の基板に設けられており、
第1の基板には、複数の第1、第2の貫通孔が第1、第2の位置決め溝に沿って略平行に設けられており、
第1、第2のプローブの中間部が前記先端部の折り曲げ方向に対して反対方向に向けて略L字状に折り曲げられ且つ第1の基板の第1、第2の貫通孔に挿入されており、
第1、第2のプローブの後端部が第2の基板の第1、第2の電極に各々接続されることを特徴とするプローブカード。 - 第1面に設けられた位置決め溝及びこの位置決め溝に沿って略平行に各々配設された複数の第1、第2の貫通孔を有する第1の基板と、
先端部が略L字状に折り曲げられ、中間部が前記先端部の折り曲げ方向に対して反対方向に向けて略L字状に折り曲げられ且つ前記第1、第2の貫通孔に挿入された複数の第1、第2のプローブと、
第1の基板の位置決め溝に嵌合した第1の位置決め部材と、
第1の位置決め部材よりも背高であり且つ第1、第2の貫通孔に挿入された第1のプローブの中間部に当接して第1の基板の第1面上に位置決め配置される第2の位置決め部材と、
第1の基板に設けられ且つ第1、第2のプローブが接続される第1、第2の電極とを備えており、
第2のプローブの前記先端部の先端から折り曲げ部までの長さが第1のプローブの先端部の先端から折り曲げ部までの長さよりも短くなっており、
第1の位置決め部材には、前記先端を下方に向けた状態で第1のプローブを各々保持する複数の凹部が一列で設けられており、
第2の位置決め部材には、第2のプローブの先端が第1のプローブの前記先端と略同一高さになるように当該第2のプローブを各々保持する複数の凹部が一列で設けられていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項3記載のプローブカードにおいて、
第1の基板の第2面側に配置される第2の基板を更に備えており、
第1、第2の電極は、第1の基板ではなく、第2の基板に設けられており、
第1、第2のプローブの後端部が第2の基板の第1、第2の電極に各々接続されることを特徴とするプローブカード。 - 請求項2、3又は4記載のプローブカードにおいて、
第1の基板の第2面には、第1、第2の貫通孔に連通する穴部が設けられており、
第1、第2のプローブは、第1の基板の穴部に充填された絶縁性の樹脂により第1の基板に固定されることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1、2、3、4又は5記載のプローブカードにおいて、
第1、第2のプローブ及び第1、第2の位置決め部材を第1の基板の第1面上に固定する絶縁性の固定用樹脂を更に備えていることを特徴とすることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1、2、3、4、5又は6記載のプローブカードにおいて、
第1、第2の位置決め部材は、第1の基板又は半導体デバイスと略同じ熱膨張係数を有する素材で構成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項7記載のプローブカードにおいて、
第1、第2の位置決め部材は、液晶ポリマーフィルムからなることを特徴とするプローブカード。
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