JP2010161197A - 積層構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる積層構造体は、半導体膜15、ゲート絶縁膜12、ソース電極17、及びドレイン電極18を有するものである。ゲート絶縁膜12は、半導体膜15下において、半導体膜15の端から徐々に膜厚が薄くなるテーパー部を有する。ソース電極17及びドレイン電極18は、半導体膜15上において、半導体膜15のパターンからはみ出さないように形成され、半導体膜15端からの距離が0以上0.3um以下である。
【選択図】図1
Description
まず、図1を参照して、積層構造体の一例である薄膜トランジスタ(TFT)について説明する。TFTは、TFT基板に用いられる。TFT基板は、例えばTFTがアレイ状に設けられたTFTアレイ基板である。図1は、TFT基板の構成を示す断面図である。ここでは、TFTの一例として、ボトムゲート型(逆スタガ型)のTFTについて説明する。
14 オーミックコンタクト膜、15 半導体膜、16 チャネル部、
17 ソース電極、18 ドレイン電極、19 パッシベーション膜、
20 コンタクトホール、21 画素電極、30 エッチングチャンバー、
31 誘電体窓、32 コイルユニット、33 高周波電源、34 下部電極、
35 基板、36 高周波電源、37 エッチングガス、38 排気口、
40 第2の金属膜、41 フォトレジスト
Claims (13)
- 半導体膜と、
前記半導体膜下において、前記半導体膜の端から徐々に膜厚が薄くなるテーパー部を有する下地膜と、
前記半導体膜上において、前記半導体膜のパターンからはみ出さないように形成され、前記半導体膜の端からの距離が0以上0.3um以下である導電膜を備える積層構造体。 - 前記下地膜において、テーパー部下端における膜厚が、テーパー部上端における膜厚の1/4以上7/8以下であることを特徴とする請求項1に記載の積層構造体。
- 前記半導体膜の端から前記テーパー部の下端までの距離が0.3um以上1.5um以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層構造体。
- 前記導電膜は、Mo、W、Cr、Al、及びTiのうち、いずれか1つを主成分とする薄膜、若しくはこれらの積層膜であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の積層構造体。
- 下地膜、半導体膜、及び導電膜を順次成膜する工程と、
第1のエッチング条件による前記導電膜の上層のエッチング中に、前記半導体膜、及び前記下地膜がエッチングされ、前記半導体膜が、前記導電膜のパターンからはみ出さないようにパターニングされ、前記下地膜が、前記半導体膜の端から徐々に膜厚が減少するテーパー部を有するようにパターニングされる工程と、
第1のエッチング条件によるエッチング工程後、第2のエッチング条件により、前記上層がエッチングされて残った前記導電膜をエッチングして除去し、前記導電膜が前記半導体膜のパターンからはみ出さないようにパターニングされる工程とを有する積層構造体の製造方法。 - 第2のエッチング条件は、前記第1のエッチング条件と比較して、前記導電膜の前記半導体膜に対する選択比が高く、かつ前記導電膜の前記下地膜に対する選択比が高いことを特徴とする請求項5に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記第2のエッチング条件によるエッチング工程では、前記半導体膜のチャネル部となる領域上の前記導電膜がエッチングされ、前記半導体膜が露出し、
前記第2のエッチング条件によるエッチング工程後、前記露出した半導体膜をエッチングし、前記チャネル部を形成する工程とを備える請求項5又は6に記載の積層構造体の製造方法。 - 前記下地膜、前記半導体膜、及び前記導電膜を順次成膜する工程後、前記導電膜上に、薄膜部及び厚膜部を有するレジストを形成する工程と、
前記薄膜部及び厚膜部を有するレジストをマスクとして、前記半導体膜及び前記導電膜をエッチングする工程とをさらに備え、
前記薄膜部をアッシングさせて、前記チャネル部上の前記導電膜を露出させ、前記第1のエッチング条件によるエッチング工程を行うことを特徴とする請求項7に記載の積層構造体の製造方法。 - 前記薄膜部及び厚膜部を有するレジストを形成する工程では、グレートーンマスク又はハーフトーンマスクを用いることを特徴とする請求項8に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記第2のエッチング条件によるエッチング工程後では、前記半導体膜の端から前記導電膜の端までの距離が0um以上0.3um以下となるようにパターニングされることを特徴とする請求項5乃至9のいずれか1項に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記第2のエッチング条件によるエッチング工程後では、前記下地膜において、テーパー部下端における膜厚が、テーパー部上端における膜厚の1/4以上7/8以下となるようにパターニングされることを特徴とする請求項5乃至10のいずれか1項に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記第2のエッチング条件によるエッチング工程後では、前記半導体膜の端から前記テーパー部の下端までの距離が0.3um以上1.5um以下となるようにパターニングされることを特徴とする請求項5乃至11のいずれか1項に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記導電膜は、Mo、W、Cr、Al、及びTiのうち、いずれか1つを主成分とする薄膜、若しくはこれらの積層膜であることを特徴とする請求項5乃至12のいずれか1項に記載の積層構造体の製造方法。
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