JP2010153053A - イオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン源は、プラズマ容器の外側で、フィラメントの両端を保持するフィラメント保持具と、このフィラメント保持具を支持固定する基台と、フィラメント保持具と基台との間を介在して接続する介在部材と、を有する。フィラメント保持具と介在部材とが接続される第1の接続位置から、フィラメント保持具のフィラメントの保持位置に至る第1の方向を定め、さらに、介在部材と基台が接続される第2の接続位置から、第1の接続位置に至る方向を第2の方向を定めたとき、第2の接続位置は、第1の面で分割される2つの側のうち第1の接続位置のある側にあり、第2の方向を第1の方向に射影した成分は、第1の方向と反対の向きを向いている。
【選択図】 図4
Description
図8に示すように、プラズマ容器100内にフィラメント102が設けられ、プラズマ容器100の壁面には、プラズマ容器100内で生成されたプラズマをイオンビームBとして引き出すスリット開口104が設けられている。プラズマ容器100の外側には、図9に示すように、フィラメント102を保持するフィラメントクランプ106と、フィラメントクランプ106を、絶縁材108を介して固定する基台110と、プラズマ容器100を基台108に支持固定するための支持部材112と、プラズマ容器100内に磁場を形成する磁極114,116と、が設けられている。
プラズマ容器100は、図10に示すように、フィラメント102を設けるための一対の貫通孔を有する板部材116およびスリット開口104を有する板部材117の他、板部材118,119を有して、直方体形状に構成されている。
また、フィラメント102がプラズマ容器100の貫通孔を通る部分には絶縁材は設けられない。これは以下の理由による。すなわち、プラズマ容器100の内壁面、フィラメント102あるいはプラズマ容器100の周辺の部材には、導電性膜が堆積しやすく、プラズマ容器(アノード)100の貫通孔を通るフィラメント(カソード)102の周りに絶縁材を設けた場合、上記絶縁材の表面を導電性膜が覆い、フィラメント102とプラズマ容器100とが導通する可能性があるからである。
すなわち、イオン源は、
(A)プラズマを生成するための壁面に覆われて内部空間を形成するプラズマ容器と、
(B)前記プラズマ容器に設けられた一対の貫通孔を通して前記内部空間に設けられ、通電加熱されて熱電子を放出する、中間部が折り返された線状のフィラメントと、
(C)前記プラズマ容器の外側に設けられ、前記一対の貫通孔を通した前記フィラメントの両端を保持するための棒状の把持部分を有する一対のフィラメント保持具と、
(D)前記一対のフィラメント保持具のそれぞれを支持固定するための基台と、
前記一対のフィラメント保持具のそれぞれと前記基台との間を介在して接続する介在部材と、を有する。
このとき、
(E)前記一対のフィラメント保持具それぞれと前記介在部材とが接続される第1の接続位置から、前記一対のフィラメント保持具それぞれの前記フィラメントの保持位置に至る第1の方向を定め、さらに、前記介在部材と前記基台が接続される第2の接続位置から、前記第1の接続位置に至る第2の方向を定め、前記一対の貫通孔を前記内部空間からみて、前記一対の貫通孔の壁面上の開口部を結ぶ線分を略垂直二等分する第1の面を定めたとき、前記第2の接続位置は、前記第1の面で分割される2つの側のうち、前記第1の接続位置のある側にあり、前記第2の方向を前記第1の方向に射影した成分は、前記第1の方向と反対の向きを向いている。
前記一対のフィラメント保持具の前記棒状の把持部分は、前記棒状の把持部分の間隔が前記貫通孔から遠ざかるにつれてハの字状に広がるように設けられ、前記第2の接続位置は、前記第1の接続位置に比べて、前記第1の面に近い。
このとき、前記第2の接続位置の前記第1の面までの距離は、前記第1の接続位置の前記第1の面までの距離の0%以上40%以下であることが好ましい。
前記一対の貫通孔を前記内部空間からみて、前記一対の貫通孔の壁面上の開口部間を結ぶ線分に略平行であって、前記第1の面に直交し、前記第1の接続位置を通る、第2の面を仮想したとき、前記第2の接続位置は、前記第2の面で2等分される2つの領域のうち、前記フィラメントの保持位置のある側に設けられている。
図1は、本発明のイオン源の一実施形態であるイオン源1の、プラズマ生成部分を説明する図である。イオン源1は、均一、あるいは所望の電流密度分布を有するイオンビームを生成し、処理対象基板に不純物質を注入するイオン注入装置の一部として用いられる。
イオン源1は、プラズマ容器10と、フィラメント12と、スリット開口14と、磁極24,26と、リペラー30と、電極38,40と、各種電源32,34,42,44を、有する。この他に、後述するように、イオン源1は、プラズマ容器10やフィラメント12を固定支持するための各部材を有する(図2参照)。
プラズマ容器10内の圧力は、図示されない原料ガス供給部より、ガス供給孔を通してガスGが供給されることにより直接的に調整される。さらに、プラズマ容器10を内包する図示されない真空容器と排気装置を用いて間接的に調整され、一定の圧力に保たれる。
プラズマ容器10とリペラー30は、プラズマPより隔離された位置において、図示されない絶縁材により固定されている。しかも、リペラー30は、フィラメント12と一定の空間を保って接触せず、電気的に絶縁されている。プラズマ容器10およびフィラメント12は、後述する基台20に支持固定されている。
このようなフィラメント12は、直線状の線材を曲げ加工して製作される。上記形状のフィラメント12の製作方法は安価に製作できる点で有効である。フィラメント12は、プラズマPに晒されて磨耗し細くなって破断されるため、イオン源の運用寿命を長くするために太くするが、曲げ加工を容易にする点では3mm程度より細くするのが好ましい。従来より知られている中間部分を折り返して巻き、さらに、巻き込んだ部分を直角に折り曲げるフィラメント構造(線材の回転方向が2方向ある構造)は複雑であるため、コンパクトに製作することは難しい。フィラメント12は、540度回転するように巻かれて折り返された単純な構造であるが、それでも寸法精度は粗い。このため、フィラメント12は、正確な位置に設置し、フィラメントクランプ16により両端を正確な位置で固定支持することは難しい。したがって、製品差異として微妙に寸法が異なるフィラメント12に応じて自在に取り付け位置を微調整して取り付けられることが必要である。このため、後述するように、図2に示すようなフィラメントクランプ16を用いてフィラメント12の取り付け位置を微調整できる構成になっている。
螺旋運動を行う熱電子はガスGの分子に衝突する。これにより、ガスGが電離し、電離したイオンと熱電子が更に、フィラメント12及びリペラー30とプラズマ容器10内の電場により加速される。これにより、プラズマPが生成され維持される。
フィラメントクランプ16は、絶縁部材18を介して緩和部材19とボルト等により固定することで接続され、緩和部材19は、基台20とボルト等により固定することで接続される。
フィラメントクランプ16は、導電性部材で構成された、フィラメント12の両端を保持する一対のクランプ部材である。フィラメントクランプ16は、プラズマ容器10の壁面に設けられた一対の貫通孔を通してプラズマ容器10の外側に出たフィラメント12の両端を保持する棒状の把持部分を備える。この棒状の把持部分は、ハの字状を成し、フィラメント12が通る一対の貫通孔から遠ざかるにつれて、棒状の把持部分の間隔が広がるようになっている。フィラメントクランプ16は、絶縁材18および緩和部材19を介して基台20に固定されている。
緩和部材19は、フィラメントクランプ16の加熱によりフィラメントクランプ16が膨張してフィラメント12が受けようとする応力を、緩和部材19自らの膨張により緩和し抑制するように機能する金属製材料からなる部材である。このように、緩和部材19が、フィラメント12に作用する応力を緩和し抑制するように機能するために、フィラメントクランプ16と緩和部材19との接続位置に対して、緩和部材19と基台20との接続位置がオフセットされている。この点は後ほど詳述する。
基台20は、図示されない真空容器とプラズマ容器10とに接し、主として、電極38,40およびプラズマ容器10の面36の相対的位置関係を正確に保つために用いられる。
なお、フィラメント12の個別の寸法差異に応じて、フィラメント12を弾性変形させて強引に設置すると、フィラメント12は応力を受けた状態で加熱されるため、高温クリープによる変形を起こし、フィラメント12の機能を発揮しない場合がある。このため、上述したように、フィラメントクランプ16は、一対の貫通孔を通ってプラズマ容器10の外側に出たフィラメント12の両端の位置の微調整をした後固定される。したがって、フィラメントクランプ16を上記微調整後容易に固定できるようにするために、緩和部材19とフィラメントクランプ16とをボルトで固定し接続する接続位置は、図3に示すようにフィラメント12が通る一対の貫通孔の設けられるプラズマ容器10の壁面を正面にみたとき、プラズマ容器10の幅の外側に来るように設けられている。
すなわち、図4に示すように、一対のフィラメントクランプ16それぞれと緩和部材19とが接続される接続位置Aから、一対のフィラメントクランプ16それぞれのフィラメント12の保持位置Gに至る方向Xを定め、さらに、緩和部材19と基台20が接続される接続位置Dから接続位置Aに至る方向Yを定めたとき、Y方向をX方向に射影したY方向の成分は、X方向と反対の向きを向いている。一対のフィラメント16のそれぞれが上記接続位置の位置関係を備えている。なお、接続位置は、接続される地点が2箇所ある場合、その中間位置が定められる。このように、接続位置A及び接続位置Dの位置関係を定めるのは、フィラメントクランプ16上のフィラメント12の保持位置におけるX方向の変位を緩和、抑制することにより、フィラメント12が受ける熱膨張による応力を緩和させるためである。すなわち、フィラメントクランプ16の棒状の把持部分が、接続位置Aを始点とした熱膨張によりX方向に伸びても、接続位置Dを中心として、緩和部材19も熱膨張によりY方向に伸びるので、フィラメント12の保持位置におけるX方向の変位を緩和、抑制する。
接続位置Dの面Bまでの距離は、接続位置Aの面Bまでの距離の0%以上40%以下である。すなわち、接続位置Aを通る面Bに平行な面Cを想定したとき、接続位置Dから面Cまでの距離は、面Bおよび面Cの間の距離の60〜100%である。フィラメントクランプ16と緩和部材19との間にある絶縁材18の熱伝導率が高く、緩和部材19の温度が高い場合、逆にクランプ16の温度は下がるため、上記範囲のうち緩和効果の小さい下限近くの60%程度であることが好ましい。フィラメント12の加熱が強く、イオンビームの電流量を多く設定する場合には、上記上限範囲のうち上限近くの100%程度とするのが好ましい。
このような構成により、フィラメントクランプ16が熱膨張することによるフィラメント12の両端の位置での変位の、面Eに直交する方向の成分は、緩和部材19の熱膨張による伸びによって緩和することができる。すなわち、一対のフィラメントクランプ16のそれぞれ保持位置Gにおける変位を抑制し、フィラメント16の両端の膨張による変位の差異を小さくするので、フィラメント12が受ける、面Eに直交する方向の変位を小さくすることができる。
図6中、図3に示す実施形態と同じ部材については同じ番号を付している。同じ番号を付した部材は同じ機能を有する。
図6中、図3に示す実施形態と異なる部材は、フィラメントクランプ46と、絶縁材48である。絶縁材48は、絶縁材18と同じように、フィラメント12およびフィラメントクランプ16と、基台20とが電気的に導通しないように設けられた部材であり、絶縁材18に比べて大型化している。プラズマ容器の周りに設けられる各部材には、プラズマPの生成に伴って導電性膜が堆積し易いが、絶縁材48のように大型化することにより、絶縁材48の絶縁材としての機能低下を防止でき、より長時間絶縁材としての機能を維持することができる。さらに、絶縁材48の表面をより効果的に覆うために、フィラメントクランプ46の基部を大きく設けている。この実施形態のように、大型の絶縁材48を使用し、一対のフィラメントクランプ46間の成す角度を大きくしても、緩和部材19を用いるので、フィラメント12が受ける熱膨張による応力を抑制することができる。
図7に示す実施形態では、図3に示す実施形態と同じ部材については同じ番号を付している。同じ番号を付した部材は同じ機能を有する。
図7中、図3に示す実施形態と異なる部材は、緩和部材59である。図3に示す実施形態における緩和部材19は、一対のフィラメントクランプ16のそれぞれに設けられたものであるが、図7に示す実施形態の緩和部材59は、一対のフィラメントクランプ16に共通して基台20に接続する1つの部材である。この緩和部材59であっても、接続位置Aと接続位置Dが、図4に関して説明したような位置関係にあれば、フィラメントクランプ16の熱膨張により、フィラメント12が受ける応力を緩和し、抑制することができる。
10,100 プラズマ容器
12,102 フィラメント
14,104 スリット開口
16,46,106 フィラメントクランプ
18,48,108 絶縁材
19,59 緩和部材
20,110 基台
22,112 支持部材
24,26,114,116 磁極
32 フィラメント電源
34 アーク電源
36 面
38,40 電極
42,44 電源
116,117,118,119 板部材
Claims (8)
- イオンビームを生成するためにプラズマを生成するイオン源であって、
プラズマを生成するための壁面に覆われて内部空間を形成するプラズマ容器と、
前記プラズマ容器に設けられた一対の貫通孔を通して前記内部空間に設けられ、通電加熱されて熱電子を放出する、中間部が折り返された線状のフィラメントと、
前記プラズマ容器の外側に設けられ、前記一対の貫通孔を通した前記フィラメントの両端を保持するための棒状の把持部分を有する一対のフィラメント保持具と、
前記一対のフィラメント保持具のそれぞれを支持固定するための基台と、
前記一対のフィラメント保持具のそれぞれと前記基台との間を介在して接続する介在部材と、を有し、
前記一対のフィラメント保持具それぞれと前記介在部材とが接続される第1の接続位置から、前記一対のフィラメント保持具それぞれの前記フィラメントの保持位置に至る第1の方向を定め、さらに、前記介在部材と前記基台が接続される第2の接続位置から、前記第1の接続位置に至る第2の方向を定め、前記一対の貫通孔を前記内部空間からみて、前記一対の貫通孔の壁面上の開口部を結ぶ線分を略垂直二等分する第1の面を定めたとき、前記第2の接続位置は、前記第1の面で分割される2つの側のうち、前記第1の接続位置のある側にあり、前記第2の方向を前記第1の方向に射影した前記第2の方向の成分は、前記第1の方向と反対の向きを向いていることを特徴とするイオン源。 - 前記一対のフィラメント保持具の前記棒状の把持部分は、前記棒状の把持部分の間隔が前記貫通孔から遠ざかるにつれてハの字状に広がるように設けられ、
前記第2の接続位置は、前記第1の接続位置に比べて、前記第1の面に近い請求項1に記載のイオン源。 - 前記第2の接続位置の前記第1の面までの距離は、前記第1の接続位置の前記第1の面までの距離の0%以上40%以下である請求項2に記載のイオン源。
- 前記一対の貫通孔を前記内部空間からみて、前記一対の貫通孔の壁面上の開口部間を結ぶ線分に略平行であって、前記第1の面に直交し、前記第1の接続位置を通る、第2の面を仮想したとき、
前記第2の接続位置は、前記第2の面で2等分される2つの領域のうち、前記フィラメントの保持位置のある側に設けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載のイオン源。 - 前記一対のフィラメント保持具は、タングステン、モリブデン、およびタンタルの中から選択された金属を主成分とする合金からなり、
前記介在部材は、ステンレス合金またはアルミニウム合金からなる請求項1〜4のいずれか1項に記載のイオン源。 - 前記プラズマ容器の壁面には、イオンビームを引き出すスリット開口が設けられ、このスリット開口の壁面は、前記フィラメントを通す前記一対の貫通孔が設けられる壁面に対して対向する位置にある請求項1〜5のいずれか1項に記載のイオン源。
- 前記介在部材は、前記一対のフィラメント保持具を別々に前記基台に接続する一対の部材である請求項1〜6のいずれか1項に記載のイオン源。
- 前記介在部材は、前記一対のフィラメント保持具を共通して前記基台に接続する1つの部材である請求項1〜6のいずれか1項に記載のイオン源。
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