JPH06139981A - 電子ビーム絞り装置 - Google Patents
電子ビーム絞り装置Info
- Publication number
- JPH06139981A JPH06139981A JP4285676A JP28567692A JPH06139981A JP H06139981 A JPH06139981 A JP H06139981A JP 4285676 A JP4285676 A JP 4285676A JP 28567692 A JP28567692 A JP 28567692A JP H06139981 A JPH06139981 A JP H06139981A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- electron beam
- thermal expansion
- electron
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、電子顕微鏡に用いる電子ビーム絞り
に係り、その目的は、熱膨張より絞りが穴位置変化によ
る電子光学系の軸じれを防止し、安定した像観察が可能
な電子顕微鏡に用いる電子ビーム絞り装置を提供するこ
とにある。 【構成】電子ビーム絞り板を二つ折りにするだけの簡単
な構造で、電子ビーム絞り板１６の熱膨張分のΔＬと、
補正板１７の熱膨張分ΔＬが同じ変化量で方向が逆とな
るため、結果として絞り穴の変化量を相殺することが可
能となる。 【効果】電子ビーム絞りの熱膨張による、絞り位置の変
化を防ぐことができ、軸ずれのない安定した像観察が可
能となる。
に係り、その目的は、熱膨張より絞りが穴位置変化によ
る電子光学系の軸じれを防止し、安定した像観察が可能
な電子顕微鏡に用いる電子ビーム絞り装置を提供するこ
とにある。 【構成】電子ビーム絞り板を二つ折りにするだけの簡単
な構造で、電子ビーム絞り板１６の熱膨張分のΔＬと、
補正板１７の熱膨張分ΔＬが同じ変化量で方向が逆とな
るため、結果として絞り穴の変化量を相殺することが可
能となる。 【効果】電子ビーム絞りの熱膨張による、絞り位置の変
化を防ぐことができ、軸ずれのない安定した像観察が可
能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に於て熱膨
張により、絞りの穴位置がずれ軸ずれを起こすことを補
正した、電子顕微鏡のビーム絞りに関する。
張により、絞りの穴位置がずれ軸ずれを起こすことを補
正した、電子顕微鏡のビーム絞りに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子顕微鏡の電子ビーム装置は、
電子ビームが絞りに衝突した時に生ずる、コンタミネー
ションと呼ばれる炭化物の堆積を抑制するため、絞りを
加熱し、長時間絞り表面を清浄に保つことができるよう
になっている。
電子ビームが絞りに衝突した時に生ずる、コンタミネー
ションと呼ばれる炭化物の堆積を抑制するため、絞りを
加熱し、長時間絞り表面を清浄に保つことができるよう
になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の加熱絞り装置
は、実使用状態に於て、加熱開始から定温になるまでの
昇温過程で、絞りの熱膨張によって、絞り穴を貫通する
電子ビームに対して絞り穴位置のドリフトが生じ、軸ず
れが起こるため、定温に達するまでは絶えず絞り位置の
補正を行っていた。
は、実使用状態に於て、加熱開始から定温になるまでの
昇温過程で、絞りの熱膨張によって、絞り穴を貫通する
電子ビームに対して絞り穴位置のドリフトが生じ、軸ず
れが起こるため、定温に達するまでは絶えず絞り位置の
補正を行っていた。
【０００４】しかし、絞りが定温になるまでの間は、絞
り穴位置のドリフトが像の伸び縮みや非点量の変化とな
って現れるため容易に精彩な像観察及び測定ができなか
った。
り穴位置のドリフトが像の伸び縮みや非点量の変化とな
って現れるため容易に精彩な像観察及び測定ができなか
った。
【０００５】本発明は、昇温過程での熱膨張による絞り
の位置ずれをなくしたことによって、容易に像観察がで
きる電子顕微鏡に於ける電子ビーム絞り装置を提供する
ことを目的とする。
の位置ずれをなくしたことによって、容易に像観察がで
きる電子顕微鏡に於ける電子ビーム絞り装置を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、この様な問題
点を解決する手段として、一枚板の絞り板を折りまげ、
二つ折りの構造とし、上下絞りの熱膨張を相殺すること
により達成できる。
点を解決する手段として、一枚板の絞り板を折りまげ、
二つ折りの構造とし、上下絞りの熱膨張を相殺すること
により達成できる。
【０００７】
【作用】上記した構成により図２に示す、加熱された下
側の絞り(補正板)１７は、Ａ方向にΔＬ熱膨張し、また
上側の絞り(電子ビーム絞り板)１６は、その反対方向に
ΔＬ熱膨張する。結果として熱膨張分ΔＬを互いに打ち
消すことになる。このため電子ビーム２の貫通する絞り
穴１８の絶対位置は変化しないことになり、絞りの加熱
過程に於て、絞り穴の絶対位置を保持することができ
る。よって、電子ビーム２に対して熱膨張で生ずる絞り
穴１８のずれが防止でき、軸ずれのない、安定した試料
観察が可能となる。
側の絞り(補正板)１７は、Ａ方向にΔＬ熱膨張し、また
上側の絞り(電子ビーム絞り板)１６は、その反対方向に
ΔＬ熱膨張する。結果として熱膨張分ΔＬを互いに打ち
消すことになる。このため電子ビーム２の貫通する絞り
穴１８の絶対位置は変化しないことになり、絞りの加熱
過程に於て、絞り穴の絶対位置を保持することができ
る。よって、電子ビーム２に対して熱膨張で生ずる絞り
穴１８のずれが防止でき、軸ずれのない、安定した試料
観察が可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図３により説明す
る。
る。
【０００９】図３により電子銃１より照射された電子ビ
ーム２は、第１陽極３と第２陽極４に引き出され、ビー
ムモニター絞り５，収束レンズ６，対物電子ビーム絞り
７，対物レンズ８を通過し、試料９に照射される。偏向
コイル１０により電子ビーム２を走査して、試料９から
発生した二次電子１１を、二次電子検出器１２で捕え、
増幅器及び制御回路１３を通してＴＶモニター１４に表
示される。
ーム２は、第１陽極３と第２陽極４に引き出され、ビー
ムモニター絞り５，収束レンズ６，対物電子ビーム絞り
７，対物レンズ８を通過し、試料９に照射される。偏向
コイル１０により電子ビーム２を走査して、試料９から
発生した二次電子１１を、二次電子検出器１２で捕え、
増幅器及び制御回路１３を通してＴＶモニター１４に表
示される。
【００１０】図２に示すように、補正板１７は熱膨張し
Ａ方向に伸びるが、同じ材質を用いた電子ビーム絞り板
１６は、逆方向に同じ量だけ熱膨張するので、結果的に
電子ビーム絞り板１６の絞り穴１８の位置は動かない。
補正板１７には、電子ビーム２の通過を阻害しないよう
ビームパス穴１９があけられている。
Ａ方向に伸びるが、同じ材質を用いた電子ビーム絞り板
１６は、逆方向に同じ量だけ熱膨張するので、結果的に
電子ビーム絞り板１６の絞り穴１８の位置は動かない。
補正板１７には、電子ビーム２の通過を阻害しないよう
ビームパス穴１９があけられている。
【００１１】本実施例では、二つ折りの上部を電子ビー
ム絞り板１６に、下部を補正板１７にしたが、上下その
逆にしても効果は同じである。また、膨張率の異なる金
属を接合して、用いることも可能で金属の組み合わせに
よっては更に高精度な絞り穴位置補正が期待できる。
ム絞り板１６に、下部を補正板１７にしたが、上下その
逆にしても効果は同じである。また、膨張率の異なる金
属を接合して、用いることも可能で金属の組み合わせに
よっては更に高精度な絞り穴位置補正が期待できる。
【００１２】本発明によれば、電子ビーム絞り板を二つ
折りにするだけの簡単な構造で、電子ビーム絞りの熱膨
張による絞り位置の変化を防ぐことができ、軸ずれのな
い安定した像観察が可能となる。
折りにするだけの簡単な構造で、電子ビーム絞りの熱膨
張による絞り位置の変化を防ぐことができ、軸ずれのな
い安定した像観察が可能となる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、絞り温度上昇過程に於
て、熱膨張による絞り穴位置の変化による、電子光学系
の軸ずれを防止することができ安定した試料観察が可能
となる。また、装置の準備時間が大幅に短縮でき作業効
率の向上が図れる。
て、熱膨張による絞り穴位置の変化による、電子光学系
の軸ずれを防止することができ安定した試料観察が可能
となる。また、装置の準備時間が大幅に短縮でき作業効
率の向上が図れる。
【図１】従来の電子ビーム絞りの構造図を示す。
【図２】本発明の電子ビーム絞りの構造図を示す。
【図３】本発明の一実施例の構造図を示す。
１…電子銃、２…電子ビーム、３…第１陽極、４…第２
陽極、５…ビームモニター絞り、６…収束レンズ、７…
対物電子ビーム絞り、８…対物レンズ、９…試料、１０
…偏向コイル、１１…二次電子、１２…二次電子検出
器、１３…増幅器及び制御回路、１４…ＴＶモニター、
１５…ヒーター電源、１６…電子ビーム絞り板、１７…
補正板、１８…絞り穴、１９…ビームパス穴。
陽極、５…ビームモニター絞り、６…収束レンズ、７…
対物電子ビーム絞り、８…対物レンズ、９…試料、１０
…偏向コイル、１１…二次電子、１２…二次電子検出
器、１３…増幅器及び制御回路、１４…ＴＶモニター、
１５…ヒーター電源、１６…電子ビーム絞り板、１７…
補正板、１８…絞り穴、１９…ビームパス穴。
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡の加熱して用いる電子ビーム絞
りに於て、絞りを貫通する電子ビームに対して、絞り穴
の位置が熱膨張により、ずれを生じない機構を有したこ
とを特徴とする電子ビーム絞り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4285676A JPH06139981A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子ビーム絞り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4285676A JPH06139981A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子ビーム絞り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06139981A true JPH06139981A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17694613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4285676A Pending JPH06139981A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 電子ビーム絞り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06139981A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08240698A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Fujitsu Ltd | 加熱絞り、これを用いた荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム照射方法 |
| JP2010153053A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | イオン源 |
| JP2014217033A (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-17 | 株式会社ニコン | 撮像装置 |
| JP2018185962A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | 日本電子株式会社 | ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
-
1992
- 1992-10-23 JP JP4285676A patent/JPH06139981A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08240698A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Fujitsu Ltd | 加熱絞り、これを用いた荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム照射方法 |
| JP2010153053A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | イオン源 |
| JP2014217033A (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-17 | 株式会社ニコン | 撮像装置 |
| JP2018185962A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | 日本電子株式会社 | ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
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