JP2010143672A - ワーク搬送方法と装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 回路基板上に実装するチップ部品などの微細なワークを確実に連続搬送することができるとともに、操作も簡易であるワーク搬送方法と装置を、より低価格で実現する。
【解決手段】 ワークを吸着保持するための多数の吸気孔３１が周面部に等間隔に開口する円板状の立設された分離供給ドラム１０により、フィーダにより整列供給されるワークを１個ずつ分離して供給する。分離供給ドラム１０から移載されるワークを吸着保持するための吸気孔６１が周面部に等間隔に開口する円板状の立設された搬送ドラム６０を、分離供給ドラム１０に対して４５°の交叉角θをもって分離供給ドラム１０の下方に近接して配設して、分離供給ドラム１０から移載されたワークを搬送ドラム６０により搬送する。
【選択図】 図１

Description

本発明はワーク搬送方法と装置に関する。より詳しくは、回路基板上に実装するチップ部品などの微細なワークを移動させながら外観検査や特性試験等を行う場合に用いられるワーク搬送方法と装置であって、ワークを損傷させたり破壊することなく連続搬送することができるとともに、操作も簡易であるワーク搬送方法と装置を、より低価格で提供せんとするものである。

従来より用いられているワーク搬送装置の構成例を、図１１に示し説明する。ここで、図１１は、この従来例の構成を概略的に示す正面図であり、説明を簡単にするため、装置各部を支持する支持部材の図示は、省略している。

図１１において、１００ａおよび１００ｂは、垂直方向において近接して立設されたステンレス鋼製の円板状の扁平なホイルである。これらのホイル１００ａ，１００ｂの構成は同一であり、下方のホイル１００ａは図面上で時計方向に、上方のホイル１００ｂは反時計方向に、図示されてはいないパルス・モータの駆動により、それぞれ所定の同一の回転角度で同期して回転する。

この同期して回転する各ホイル１００ａ，１００ｂの周縁部には、ワークを吸着して保持するための、Ｖ字状溝に形成された多数の吸着部１０１ａ，１０１ｂが、それぞれ等間隔に歯車状に設けられている。この吸着部１０１ａ，１０１ｂの底部には、ここでは図示されてはいない吸気孔が開口している。吸着部１０１ａ，１０１ｂにより吸着保持されるワークのサイズは、例えば、1.0mm×0.5mm×0.5mm、0.6mm×0.3mm×0.3mmである。

そこで、このように構成されたワーク搬送装置により、ワークを搬送させる場合は、まず、下方のホイル１００ａの最下点である位置Ｐ１において、ワークをホイル１００ａに供給する。すなわち、図１２（ａ）に示すように、フィーダ（図示せず）により供給されるワーク２００が、ガイド１１０にガイドされてホイル１００ａ最下点の下方の位置まで移動すると、吸着部１０１ａ底部に開口している吸気孔１０２ａを介する吸気により、ガイド１１０上のワーク２００は、吸着部１０１ａのＶ字状溝に嵌合するようにして吸着保持される。

その後、吸着部１０１ａに吸着保持されたワーク２００は、回転するホイル１００ａにより、上方に向けて搬送される。そして、図１２（ｂ）に示すように、ホイル１００ａの最上点の位置Ｐ２（図１１）まで達すると、吸気孔１０２ａを介する吸気が解除される。同時に、図１２（ｃ）に示すように、上方のホイル１００ｂの吸着部１０１ｂ底部に開口する吸気孔１０２ｂを介する吸気により、ワーク２００は、上方のホイル１００ｂの吸着部１０１ｂに吸着保持されて上方のホイル１００ｂに移載する。その後は、回転するホイル１００ｂにより上方に向けて搬送され、所定の位置に達すると、装置より排出される。

以上のようにして上下２つのホイル１００ａ，１００ｂによりワーク２００が搬送される過程において、ワーク２００の外観検査であれば、図１３（ａ）に示すワーク２００の６面Ａ〜Ｆについて、傷や汚れなどの有無を検査するために、カメラにより撮像が行われる。すなわち、ワーク２００の４つの面Ａ〜Ｄについては、図１３（ｂ）に示すように、下方のホイル１００ａによりワーク２００が搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された４つのカメラ（図示せず）により撮像され、そのうちの２つの面Ａ，Ｄについては破線の各矢印が示す方向から、他の２つの面Ｂ，Ｃについては紙面に垂直の方向からそれぞれ撮像する。

これに対して、ワーク２００の残りの２つの面Ｅ，Ｆについては、図１３（ｃ）に示すように、上方のホイル１００ｂにより搬送されている過程において、所定の位置にそれぞれ配置された２つのカメラにより、破線の各矢印が示す方向からそれぞれ撮像することになる。

図１１に示した従来例によると、２つのホイル１００ａ，１００ｂを垂直方向において近接して立設する構成を用いているので、占有面積を狭小にすることができるという利点がある。しかしながら、この従来例には、つぎのような解決すべき課題がある。

第１に、上下２つのホイル１００ａ，１００ｂにおける吸着部１０１ａ，１０１ｂのＶ字状溝は、微細なワーク２００に応じて微細に形成しなければならず、精緻な加工精度が要求される。そのため、ホイル１００ａ，１００ｂは、高価格なものとなる。また、Ｖ字状溝の微細加工にも限界がある。近時は、ワーク２００のサイズが、0.4mm×0.2mm×0.2mmであるような場合もあり、このようなサイズに応じた加工精度を確保することが困難である。

第２に、下方のホイル１００ａから上方のホイル１００ｂに、ワーク２００を確実に移載させるためには、図１４（ａ）に示すように、各ホイル１００ａ，１００ｂ双方の吸着部１０１ａ，１０１ｂが、１点鎖線で示す基準位置Ｓで正対向するようにしなければならない。しかし、そのための駆動系の調整は、各ホイル１００ａ，１００ｂの加工精度の良否と相俟って必ずしも容易ではない。図１４（ｂ）に示すように、各吸着部１０１ａ，１０１ｂの位置調整が不整であると、ずれた各ホイル１００ａ，１００ｂ間に、ワーク２００が噛み込まれて、傷付いたり破壊されてしまうことになる。

第３に、ワークの形状によっては、図１４（ｃ）に示すように、各吸着部１０１ａ，１０１ｂが正対向しないように調整しなければならない場合もある。しかし、この調整も正対向させる場合と同様に必ずしも容易ではなく、調整が不整であれば、ワーク２０１は、傷付いたり破壊されてしまう。

第４に、サイズが異なる別のワーク２００を搬送しようとする場合において、そのワーク２００のサイズが、各吸着部１０１ａ，１０１ｂ間の間隔を変えることによって対処し得るときは、各ホイル１００ａ，１００ｂの配設位置を調整し直すことになる。しかし、サイズが異なる毎に、その都度、調整し直さなければならないという煩わしさを伴う。しかも、その調整も必ずしも容易ではない。また、その間は装置の作動を停止せざるを得ず、良好な作業性が得難いことになる。

第５に、異なるサイズのワーク２００が、各吸着部１０１ａ，１０１ｂ間の間隔を変えることによっては対処することができない場合には、サイズが異なる毎に、そのサイズに適合した別のホイル１００ａ，１００ｂを用いなければならない。しかし、ホイル１００ａ，１００ｂは、高価格であることから、異なるワーク２００のサイズにそれぞれ適合する複数のホイル１００ａ，１００ｂを用意しなければならないことは、ワーク２００の外観検査、特性試験などにおけるコスト増を招いてしまうことになる。また、ホイル１００ａ，１００ｂを交換する毎に、必ずしも容易ではない配設位置の調整をし直さなければならないことになる。

第６に、ワーク２００のサイズが大きく、したがって重量が大きい場合は、下方のホイル１００ａから上方のホイル１００ｂに移載する際、ワーク２００を確実に吸引することができず、ワーク２００をホイル１００ｂから落下させてしまうことがある。ワーク２００を落下させてしまえば、落下したワーク２００は、不良品として使用することができないことになる。以上のような解決すべき様々な課題が、図１１に示した従来例にはあった。

そこで、上記課題を解決するために、本発明はなされたものである。そのために、本発明では、つぎのような手段を用いるようにした。すなわち、チップ部品などの微細なワークを吸着保持するための多数の吸気孔が周面部に等間隔に開口する円板状の立設された第１のドラムにより、フィーダにより整列供給されるワークを１個ずつ分離して供給する。第１のドラムから移載されるワークを吸着保持するための吸気孔が周面部に等間隔に開口する円板状の立設された第２のドラムを、第１のドラムに対して所定の交叉角をもって第１のドラムドラムの下方に近接して配設して、第１のドラムから移載されたワークを第２のドラムにより搬送するようにした。

また、第１および第２のドラムとして、周縁部に等間隔に設けられ、底面にワークを吸着保持するための吸気孔が開口するコ字状に形成された多数の保持溝によりワークを保持するものを用いるようにもした。

本発明によるならば、２つのドラムを垂直方向において近接して立設することによる占有面積の狭小化という利点を有しつつ、つぎのような特有の効果が得られる。すなわち、ワークの供給および搬送に用いるドラムは、単なる円板状に形成されており、その周縁部には、図１１の従来例で用いられている各ホイルにおける吸着部のような高い加工精度が要求される溝部は設けられていない。したがって、ワークの供給用・搬送用のドラムは、必要な仕上がり精度を容易に得ることができるので、製造コストの低減化を図ることができることになる。

また、図１１に示した従来例におけるような２つのホイルの対向する吸着部の煩雑な位置調整が不要であって、操作設定が著しく簡易である。のみならず、ワークがホイル間に噛み込まれて、損傷したり破壊されたりするようなことがなく、かつ、図１１の従来例のように、ワークを吸い上げて一方のホイルから他方のホイルに移載させるのではなく、一方のドラムから他方のドラムに落下させて移載させるので、ワークの移載の確実性を確保することができ、装置としての信頼性を高めることができる。

しかも、異なるサイズ・形状のワークであっても、同一のドラムによって対応することができる範囲を広く確保することができる。すなわち、ワークのサイズ・形状が異なる毎に、その都度、別のドラムを配設し直す煩わしさを回避できることから、ワークの外観検査や特性試験などの作業性を高めることが可能となる。

さらに、ワークのサイズ・形状に応じて別のドラムに交換する必要がある場合であっても、図１１の従来例におけるような２つのホイルにおける対向する吸着部の煩雑な位置調整が不要であり、ワークの外観検査等の作業性を高めることができる。

また、ワークの外観検査の場合は、外観検査に必要な数のカメラの配置位置の自由度を確保することが可能となることから、ワークの外観検査をするための装置を設計する場合におけるフレキシビリティを得ることが可能となる。したがって、本発明によりもたらされる効果は、実用上極めて大きい。

本発明によるワーク搬送装置は、フィーダにより整列供給されるワークを１個ずつ、立設された円板状の第１のドラムの周面部に吸着保持することにより分離供給する。立設された円板状の第２のドラムを、第１のドラムに対して所定の交叉角をもって第１のドラムの下方に近接して配設して、その周面部に第１のドラムより移載されるワークを吸着保持して搬送する。以下、実施例により詳しく説明する。

本発明の一実施例の構成を、図１に示し説明する。ここで、図１（ａ）は、本実施例におけるワーク搬送装置の構成を示す正面図、図１（ｂ）は平面図であり、説明を簡単にするため、装置各部の支持部材の図示は省略している。

図１（ａ）において、１０は、円板状に形成された立設の分離供給ドラムであり、図示されてはいないフィーダにより整列供給されるワークを１個ずつ分離して、分離供給ドラム１０の下方に近接した配設された、立設の円板状の搬送ドラム６０に供給する。ワークを供給された搬送ドラム６０は、一定の時間にわたってワークを旋回移動させる。

このような分離供給ドラム１０および搬送ドラム６０は、ともにステンレス鋼からなり、図１１に示した従来例における各ホイル１００ａ，１００ｂが、同一平面上に配設されているのとは異なり、図１（ｂ）に示すように、交叉するようにして異なる平面上に配設されている。分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０との交叉角θは、本実施例では４５°である。

図１（ａ）において、分離供給ドラム１０の径は、本実施例では60mm、厚さは1.5mmであり、その周面部には、多数（例えば、５０）の吸気孔３１が等間隔に開口している。この吸気孔３１を介する吸気により、フィーダにより供給されたワークは、分離供給ドラム１０の周面部に吸着保持される。また、分離供給ドラム１０の中央部には、分離供給ドラム１０を回転させるための回転軸が挿通する中空部２０が設けられており、パルス・モータの駆動による回転軸の回転により、分離供給ドラム１０は、所定の回転角度で図面上で反時計方向に回転する。

ここで、分離供給ドラム１０に設ける吸気孔３１を、ドリルを用いた切削加工により穿設することは、分離供給ドラム１０が薄板であることから、極めて困難である。そこで、本発明では、分離供給ドラム１０は、図２（ａ）（平面図）に示すように、中板３０と、これを挟む２枚の外板４０，５０とにより形成するようにしている（中板３０と各外板４０，５０は、同一径）。

すなわち、一方の外板４０（厚さは、本実施例では0.5mm）は、図３（ａ）に示すように、その周縁からやや離れた位置に、吸気孔３１（図２（ａ））の数に応じた数の円孔４１（径は、本実施例では2.0mm）を環状に設ける。また、中央部に、分離供給ドラム１０を回転させる回転軸が挿通する円孔４２を設ける。各円孔４１，４２の穿設は、エッチング加工により行う。

中板３０（厚さは、本実施例では0.5mm）は、図３（ｂ）に示すように、上記外板４０に設けられた多数の円孔４１に対応する位置に、この円孔４１と同数かつ同一径の円孔３３を設けるとともに、この円孔３３に連通し中板３０の周縁に達するスリット３２（幅は、本実施例では0.5mm）を設ける。また、中央部に、分離供給ドラム１０を回転させる回転軸が挿通する円孔３４を設ける。スリット３２および各円孔３３，３４は、エッチング加工により形成する。

もう一方の外板５０は、図３（ｃ）に示すように、その中央部に、分離供給ドラム１０を回転させる回転軸が挿通する円孔５１のみを、エッチング加工により設ける。

以上のように構成された中板３０および２枚の外板４０，５０を、中板３０に設けた多数の円孔３３（図３（ｂ））と、一方の外板４０に設けた多数の円孔４１（図３（ａ））とが、連通するように重ね合わせて例えば熱圧着することにより、分離供給ドラム１０が形成される。その結果、図２（ｂ）（図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿う部分断面図）に示すように、中板３０に設けたスリット３２（図３（ｂ））は、２枚の外板４０，５０により挟まれることにより、平面形状が方形の吸気孔３１を形成することになる。吸気孔３１の平面形状が方形であれば、ドリルを用いた切削加工により得られるような平面形状が円形の吸気孔よりは開口面積が大きくなり、吸引力を大きくすることができるという効果が得られる。

そして、中板３０に設けた多数の円孔３３と連通する、一方の外板４０に設けた多数の円孔４１に、図示されてはいない吸気機構の吸込みヘッド部が密着して配設されることにより、破線の矢印が示すようにして吸気孔３１を介する吸気が行われることになる。

図１（ａ）において、以上のような構成の分離供給ドラム１０からワークが供給される搬送ドラム６０の径は、本実施例では120mm、厚さは3.0mmであり、その周面部には、分離供給ドラム１０に設けられた吸気孔３１と同数の吸気孔６１（図１（ｂ））が、等間隔に開口している。この搬送ドラム６０は、分離供給ドラム１０よりもサイズが大きいが、その有する吸気孔６１の数は、分離供給ドラム１０の吸気孔３１の数と同一であり、したがって、吸気孔６１間の間隔が広い。これは、吸着保持されるワーク間の間隔が広い方が、ワークの外観検査などが行い易いことを考慮したものである。

この搬送ドラム６０の中央部には、搬送ドラム６０を回転させるための回転軸が挿通する中空部７０が設けられており、パルス・モータの駆動による回転軸の回転により、搬送ドラム６０は、分離供給ドラム１０と同一の回転角度で、かつ、同期して図面上で時計方向に回転する。なお、搬送ドラム６０も、分離供給ドラム１０と同様に、中板と、これを挟む同一径の２枚の外板とにより形成されており、その構成は、分離供給ドラム１０の構成と実質的に同一である。

つぎに、以上のように構成されたワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法について、図４ないし図８により説明する。

ワークの外観検査をする場合は、まず、図４（ａ）に示すように、矢印が示す所定の位置で、フィーダ（図示せず）によりワークを分離供給ドラム１０に供給する。すなわち、図４（ｂ）に示すように、フィーダにより整列搬送されるワーク２００を、１個ずつ分離供給ドラム１０の回転に同期して分離供給ドラム１０の吸気孔３１に向けて供給して、分離供給ドラム１０の周面部にワーク２００を順次吸着保持させる。

吸着保持されたワーク２００が、分離供給ドラム１０の回転により搬送されて、図４（ｃ）に示すように、実線の矢印が示すフィーダの供給位置から、ワーク２００の外観を撮像するために配置されたカメラ３００−１に対向する位置まで達すると、ワーク２００の６面のうちの１つの面が、カメラ３００−１により撮像される。

この場合、図５（ａ）（斜視図）に示すように、ワーク２００の面Ａが上面となるようにフィーダにより供給されたすると、ワーク２００がカメラ３００−１に対向する位置に達したときは、図５（ｂ）に示すように、面Ａは垂直面となり、その垂直面となった面Ａが、カメラ３００−１により撮像される。

その後、ワーク２００が移動して分離供給ドラム１０の最下点に達すると、図６（ａ）に示すように、吸気孔３１を介する吸気が解除されて、ワーク２００は、下方の搬送ドラム６０の周面部に移載すると同時に、搬送ドラム６０に設けられた吸気孔６１（図１（ｂ））を介する吸気により、既に撮像された面Ａを底面として吸着保持される。

このとき、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０とは、４５°の交叉角θ（図１（ｂ））をもって配設されているので、ワーク２００は、図６（ｂ）に示すように、搬送ドラム６
０の厚さ方向に対して４５°の角度をもって搬送ドラム６０の周面部に吸着保持される。

このようにして搬送ドラム６０の周面部に吸着保持されるワーク２００は、搬送ドラム６０の回転に伴って旋回移動し、図７の実線の矢印が示す位置で、吸気孔６１を介する吸気が解除され、装置より排出される。

そこで、ワーク２００が装置より排出されるまでの間において、ワーク２００が、例えば図７の破線の矢印が示す位置にあるときに、ワーク２００の既に撮像されている面Ａ以外の５つの面Ｂ〜Ｆ（図５（ａ））を撮像する。すなわち、図８（ａ）に示すように、４つのカメラ３００−２〜−５を、同一平面上に配置して、図８（ｂ）に示すワーク２００の４つの面Ｅ，Ｃ，Ｄ，Ｂを、それぞれ撮像する。また、図８（ａ）において、紙面に垂直の方向に、図示されてはいないカメラを配置して、図８（ｂ）に示すワーク２００の面Ｆを撮像する。

ここで、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０とを、図９（ａ）に示すように、図１１の従来例と同じく同一平面上に配設するならば、分離供給ドラム１０から搬送ドラム６０に移載されるワーク２００は、図９（ｂ）に示すように、搬送ドラム６０の厚さ方向に沿って吸着保持される。そのため、ワーク２００の２つの面Ｄ，Ｅは、他のワーク２００が妨げとなって撮像できないことになる。

これに対して、本発明によるワーク搬送装置では、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０とが、４５°の交叉角θをもって配設されていることから、ワーク２００の５つの面Ｂ〜Ｆを５台のカメラ３００−２〜−４により撮像することが可能となる。

以上においては、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０とを、４５°の交叉角θをもって配設する場合を例に挙げて説明した。しかし、本発明は、これに限定されるものではない。交叉角θが１０°〜８０°であれば、本発明は適用され得るものである。

また、搬送ドラム６０のサイズが分離供給ドラム１０のサイズよりも大きい場合について説明したが、本発明は、これに限られるものではない。その他にも、例えば、分離供給ドラム１０のサイズと搬送ドラム６０のサイズとが同一である場合にも、本発明は適用し得るものである。

さらに、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０にそれぞれ設ける吸気孔３１，６１の数が同一である場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。その他にも、例えば、搬送ドラム６０の径を分離供給ドラム１０の径の２倍とし、搬送ドラム６０に設ける吸気孔６１の数を分離供給ドラム１０に設ける吸気孔３１の数の２倍とするとともに、搬送ドラム６０の回転角度を分離供給ドラム１０の回転角度の２分の１とするような場合にも、本発明は適用することができるものである。

また、搬送ドラム６０の周面部に吸着保持されたワーク２００の５つの面Ｂ〜Ｆを、同時に撮像する場合について説明したが、本発明によるワーク搬送装置を用いる場合は、これに限られるものではない。例えば、ワーク２００の５つの面Ｂ〜Ｆを同時に撮像すると、各カメラ３００−２〜−５が具備するそれぞれの照明ランプの発光によってハレーションを起こすようなときは、各カメラ３００−２〜−５をそれぞれ別々の位置に配置して、ワーク２００が本装置から排出されるまでの間において、ワーク２００の５つの面Ｂ〜Ｆをそれぞれ異時的に逐次撮像するようにしてもよい。

すなわち、本発明によるワーク搬送装置によれば、外観検査用のカメラ３００−２〜−５の配置位置の自由度を確保することができることになる。その結果、ワーク２００の外観検査をするための装置の設計上のフレキシビリティを得ることが可能となる。

なお、図１に示した実施例では、分離供給ドラム１０と搬送ドラム６０との交叉角θを４５°に設定しているが、分離供給ドラム１０から搬送ドラム６０に移載するワーク２００は、搬送ドラム６０の厚さ方向に対して厳密に４５°の角度をもって吸着保持されていなくても差し支えない。厳密に４５°の角度をもって吸着保持されていなくても、カメラ３００−２〜−５によりワーク２００の各面Ｂ〜Ｆを撮像することは可能であり、得られた画像から外観検査をすることができるものである。

また、図１０（部分拡大図）に示すように、分離供給ドラム８０の周縁部に、ワーク２００を保持するための、コ字状の多数の保持溝８１を等間隔に設けるとともに、その底面８２に開口する吸気孔８３を穿設し、搬送ドラムも同様の構成とするならば、保持溝８１の底面８２は平坦であるので、ワーク２００の吸着保持の安定性を高めることが可能となる。その場合、保持溝８１の円周方向の長さを長目に設定すれば、様々なサイズのワーク２００に対応することができることになる。

このような保持溝８１は、図１１の従来例で用いられている各ホイル１００ａ，１００ｂにおける吸着部１０ａ，１０１ｂとは異なり、高い加工精度が要求されるものではない。したがって、分離供給ドラム８０および搬送ドラムの周縁部にコ字状の保持溝８１を設けるとしても、さほど分離供給ドラム８０および搬送ドラムの高価格化を招くことはないものである。

本発明の一実施例の構成を示す構成図である。 図１に示した分離供給ドラムの構成を示す構成図である。 図２に示した分離供給ドラムを構成する各外板および中板の構成を示す正面図である。 図１に示したワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法を説明するための説明図である。 図４とともに図１に示したワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法を説明するための説明図である。 図４および図５とともに図１に示したワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法を説明するための説明図である。 図４ないし図６とともに図１に示したワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法を説明するための説明図である。 図４ないし図７とともに図１に示したワーク搬送装置を用いてワークの外観検査をする方法を説明するための説明図である。 図１に示した分離供給ドラムと搬送ドラムとを同一平面上に配設した場合の難点を説明するための説明図である。 分離供給ドラムの他の構成例を示す部分拡大図である。 従来例の構成を示す正面図である。 図１１に示した位置Ｐ１の拡大図である。 ワークの外観検査を説明するための説明図である。 図１１に示した位置Ｐ２の拡大図である。

符号の説明

１０ 分離供給ドラム
２０ 中空部
３０ 中板
３１ 吸気孔
３２ スリット
３３，３４ 円孔
４０ 外板
４１，４２ 円孔
５０ 外板
５１ 円孔
６０ 搬送ドラム
６１ 吸気孔
７０ 中空部
８０ 分離供給ドラム
８１ 保持溝
８２ 底面
８３ 吸気孔
１００ａ，１００ｂ ホイル
１０１ａ，１０１ｂ 吸着部
１０２ａ，１０２ｂ 吸気孔
１１０ ガイド
２００，２０１ ワーク
３００−１〜３００−５ カメラ
Ａ〜Ｆ 面
Ｓ 基準位置

Claims (4)

1. ワーク（２００）を吸着保持するための多数の第１の吸気孔（３１）が周面部に等間隔に開口する立設された円板状の第１のドラム（１０）により、フィーダにより整列供給される前記ワークを１個ずつ分離して供給し、
   前記第１のドラムに対して所定の交叉角（θ）をもって前記第１のドラムの下方に近接して配設され、前記第１のドラムより移載される前記ワークを吸着保持するための多数の第２の吸気孔（６１）が周面部に等間隔に開口する立設された円板状の第２のドラム（６０）により、前記第１のドラムより移載された前記ワークを搬送するワーク搬送方法。
2. ワーク（２００）を保持するための、底面（８２）に前記ワークを吸着保持するための第１の吸気孔（８３）が開口するコ字状に形成された多数の第１の保持溝（８１）が周縁部に等間隔に設けられた、立設された円板状の第１のドラム（８０）により、フィーダにより整列供給される前記ワークを１個ずつ分離して供給し、
   前記第１のドラムに対して所定の交叉角（θ）をもって前記第１のドラムの下方に近接して配設されるとともに、前記第１のドラムより移載される前記ワークを保持するための、底面に前記ワークを吸着保持するための第２の吸気孔が開口するコ字状に形成された多数の第２の保持溝が周縁部に等間隔に設けられた、立設された円板状の第２のドラムにより、前記第１のドラムより移載された前記ワークを搬送するワーク搬送方法。
3. ワーク（２００）を吸着保持するための多数の第１の吸気孔（３１）が周面部に等間隔に開口する、フィーダにより整列供給される前記ワークを１個ずつ分離して供給するための立設された円板状の第１のドラム（１０）と、
   前記第１のドラムに対して所定の交叉角（θ）をもって前記第１のドラムの下方に近接して配設され、前記第１のドラムより移載される前記ワークを吸着保持するための多数の第２の吸気孔（６１）が周面部に等間隔に開口する、前記第１のドラムより移載された前記ワークを搬送するための立設された円板状の第２のドラム（６０）とを具備したワーク搬送装置。
4. ワーク（２００）を保持するための、底面（８２）に前記ワークを吸着保持するための第１の吸気孔（８３）が開口するコ字状に形成された多数の第１の保持溝（８１）が周縁部に等間隔に設けられた、フィーダにより整列供給される前記ワークを１個ずつ分離して供給するための立設された円板状の第１のドラム（８０）と、
   前記第１のドラムに対して所定の交叉角（θ）をもって前記第１のドラムの下方に近接して配設されるとともに、前記第１のドラムより移載される前記ワークを保持するための、底面に前記ワークを吸着保持するための第２の吸気孔が開口するコ字状に形成された多数の第２の保持溝が周縁部に等間隔に設けられた、前記第１のドラムより移載された前記ワークを搬送するための立設された円板状の第２のドラムとを具備したワーク搬送装置。

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