JP6916447B2 - 半導体装置の搬送装置、これを備えた半導体装置の検査システムおよび半導体装置の搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置の搬送装置、これを備えた半導体装置の検査システムおよび半導体装置の搬送方法に関する。

回転テーブルに形成された複数の保持部に対して発光装置等の電子部品を搬入し、回転テーブルを回転させることで、電子部品を所望の方向へ搬送する搬送方法および搬送装置が用いられている。

例えば、特許文献１には、ワークを間欠搬送する回転テーブルと、回転テーブルと一体的に回転しながらワークを保持する保持ユニットと、保持ユニットに保持されたワークを処理テーブル上に移載するために保持ユニットを下降させ、かつ処理テーブル上に保持されたワークを保持ユニット上に移載するために保持ユニットを上昇させる昇降駆動ユニット等を備えたワーク移載装置について開示されている。

国際公開第２００９／１１００７２号

しかしながら、上記従来のワーク移載装置では、以下に示すような問題点を有している。

すなわち、上記公報に開示された装置構成では、回転テーブルによって周方向に移動していたワークを、回転テーブルの面に対して略垂直な上下方向に移動させ、処理テーブル上へ移載する際に、搬送されるワークに対して、接触応力が付与されるおそれがある。

本発明の課題は、搬送される半導体装置に対して応力を付与することなく所望の方向へ搬送することが可能な半導体装置の搬送装置、これを備えた検査システムおよび半導体装置の搬送方法を提供することにある。

本発明に係る半導体装置の搬送装置は、半導体装置の側面の検査を行うために、半導体装置を所定の方向へ搬送する搬送装置であって、第１搬送部と、第２搬送部と、保持部とを備えている。第１搬送部は、半導体装置を略水平方向に沿って搬送する。第２搬送部は、第１搬送部による搬送面とは異なる高さ位置に設けられた半導体装置の検査位置へ、半導体装置を略鉛直方向に沿って搬送する。保持部は、第２搬送部に設けられており、半導体装置を保持する。第１搬送部は、第２搬送部に設けられた保持部に対して、第１搬送部による搬送面と略同じ高さ位置に設けられた所定の受け渡し位置において、半導体装置を受け渡す。保持部は、半導体装置の底面に当接する第１面と、半導体装置の側面に近接する第２面とを少なくとも有している。

本発明に係る半導体装置の搬送装置によれば、搬送される半導体装置に対して応力を付与することなく所望の方向へ搬送することができる。

本発明の一実施形態に係る発光装置の搬送装置を含む検査システムの構成を示す平面図。 図１の搬送装置に含まれる回転テーブルの構成を示す平面図。 図１の搬送装置によって搬送される発光装置の構成を示す斜視図。 図１の搬送装置における発光装置の受け渡し位置における回転テーブルと昇降部との位置関係を示す斜視図。 （ａ）および（ｂ）は、図１の搬送装置における発光装置の受け渡し位置および検査位置における発光装置の搬送状態を示す側面図。 図１の搬送装置に含まれる昇降部の構成を示す側面図。 図１の搬送装置による発光装置の搬送方法の流れを示すフローチャート。 本発明の他の実施形態に係る搬送装置に含まれる昇降部の構成を示す側面図。

本発明の一実施形態に係る発光装置（半導体装置）２０の搬送装置１０を含む検査システム１について、図１〜図７を用いて説明すれば以下の通りである。

なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。また、以下の説明では必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及びそれらの用語を含む別の用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が制限されるものではない。

＜発光装置２０の検査システム１＞
本実施形態の発光装置２０の検査システム１は、例えば、側面発光（サイドビュー）タイプの発光装置２０の発光面２１の検査を行うシステムであって、図１に示すように、検査装置５と、搬送装置１０とを備えている。

検査装置５は、搬送装置１０によって、所定の検査位置Ｐ１まで搬送されてきた発光装置２０の発光面２１の検査を実施するための撮像部（カメラ）５ａを含む装置であって、撮像部によって撮影された画像を用いて、発光面２１の異常の有無を判定する。

撮像部５ａは、検査位置Ｐ１の近傍に配置されており、検査位置Ｐ１へ搬送されてきた発光装置２０の発光面２１を含む画像を撮影する。

検査位置Ｐ１は、後述する回転テーブル（第１搬送部）１１による搬送面よりも鉛直方向において異なる位置、具体的には、上方に配置されている。そして、検査位置Ｐ１では、その近傍に配置された検査装置５の撮像部５ａによって、発光装置２０の側面に配置された発光面２１（図３参照）を含む画像が撮影される。

＜搬送装置１０＞
搬送装置１０は、検査装置５によって所定の検査位置Ｐ１まで発光装置２０を搬送する装置であって、図１に示すように、回転テーブル（第１搬送部）１１、搬入装置１２、搬出装置１３、昇降部（第２搬送部）１５、保持部１６、および吸引部１７を備えている。

回転テーブル（第１搬送部）１１は、図１および図２に示すように、回転軸１１ｂを中心にして回転可能な略円板状の部材であって、その外周部分に形成された複数の凹部１１ａにおいて、複数の発光装置２０を保持した状態で周方向へ間欠搬送する。また、回転テーブル１１は、所定の隙間を介して、凹部１１ａの上方に配置された円板状の板状部材１１ｃを有している。

また、回転テーブル１１は、導電性の低い材料（例えば、ガラスエポキシ等）によって成形されている。これにより、後述する発光装置２０の発光面２１の検査において、回転テーブル１１が検査に悪影響を及ぼしてしまうことを防止することができる。

凹部１１ａは、図１および図２に示すように、発光装置２０を保持した状態で略水平方向に沿って搬送するために、略円板状の回転テーブル１１の外周部分に沿って等角度間隔で複数形成されている。そして、凹部１１ａには、径方向に沿って発光装置２０が出し入れされる。

回転軸１１ｂは、図１に示すように、略円板状の回転テーブル１１の中心に設けられており、モータ等の回転駆動源から駆動力を受けて、回転テーブル１１を時計回りに回転させる。これにより、回転テーブル１１の凹部１１ａにおいて保持された発光装置２０を略水平方向に沿って搬送することができる。

板状部材１１ｃは、図１および図２に示すように、凹部１１ａにおいて保持された発光装置２０の上面の少なくとも一部を覆うように近接した位置に固定配置されており、検査装置５の撮像部５ａの近傍に配置された検査位置Ｐ１の付近に形成された切欠き部１１ｃａを有している。

切欠き部１１ｃａは、図２に示すように、円板状の板状部材１１ｃの外周部分の一部を切り欠くようにして形成されている。これにより、板状部材１１ｃと干渉することなく、回転テーブル１１による発光装置２０の搬送面よりも上方に配置された検査位置Ｐ１へ、発光装置２０を移動させることができる。

なお、板状部材１１ｃは、回転テーブル１１の回転時にも回転しない。このため、切欠き部１１ｃａは、平面視において検査位置Ｐ１の近傍に常時配置される。

ここで、搬送装置１０によって搬送される発光装置２０は、側面に発光面２１が設けられた、いわゆる側面発光タイプの半導体装置であって、例えば、図３に示すように、略直方体形状を有している。そして、本検査システム１では、発光装置２０の側面の発光面２１の発光検査を実施するために、搬送装置１０によって、所定の検査位置Ｐ１へ発光装置２０を搬送する。

搬入装置１２は、後述する発光面２１の検査が行われる発光装置２０を、間欠回転する回転テーブル１１の凹部１１ａに対して１個ずつ搬入する装置であって、図１に示すように、回転テーブル１１の外周に近接する位置に配置されている。そして、搬入装置１２は、図１に示すように、所定の搬入位置Ｐ０において、径方向外側から回転テーブル１１の凹部１１ａに対して発光装置２０を搬入する。

搬出装置１３は、後述する発光面２１の検査が終了した発光装置２０を、回転テーブル１１の凹部１１ａから１個ずつ搬出する装置であって、図１に示すように、回転テーブル１１の外周に近接する位置に配置されている。そして、搬出装置１３は、図１に示すように、所定の搬出位置Ｐ３において、回転テーブル１１の凹部１１ａから径方向外側に向かって発光装置２０を搬出する。

なお、搬出装置１３は、発光装置２０の発光面２１の検査の結果に応じて、発光装置２０を、自動的に正常品と不良品とを振り分けるように搬送してもよい。

昇降部（第２搬送部）１５は、回転テーブル１１の凹部１１ａに保持された状態で略水平方向に沿って搬送されてきた発光装置２０を、図４に示すように、保持部１６によって受け渡し位置Ｐ２において受け取り、略鉛直方向に沿って搬送する。より詳細には、昇降部１５は、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、発光装置２０を保持する保持部１６ごと、略鉛直方向に沿って、上方に配置された検査位置Ｐ１へ発光装置２０を搬送するとともに、検査済みの発光装置２０を検査位置Ｐ１から受け渡し位置Ｐ２へ搬送する。

なお、保持部１６が回転テーブル１１から発光装置２０を受け取る受け渡し位置Ｐ２は、図４および図５（ａ）に示すように、回転テーブル１１による搬送面と略同じ高さ位置に配置されている。そして、搬送装置１０は、図５（ｂ）に示すように、発光装置２０を間欠搬送する回転テーブル１１の凹部１１ａから発光装置２０を受け取って、略鉛直方向上方へと持ち上げるように搬送する。

また、昇降部１５は、発光装置２０を保持する保持部１６を略鉛直方向に沿って上下に駆動するために、図６に示すように、本体部１５ａ、ソレノイド１５ｂ、およびバネ１５ｃを有している。

本体部１５ａは、略コの字形の形状を有しており、保持部１６を上下に駆動するための駆動源として機能するソレノイド１５ｂとバネ１５ｃとが取り付けられている。

ソレノイド１５ｂは、直進動作を行うプッシュプルソレノイドであって、略鉛直方向に沿って進退する軸部１５ｄが保持部１６に接続されている。軸部１５ｄは、バネ１５ｃの下方に、バネ１５ｃを支持する支持部１５ｅを有している。支持部１５ｅは、軸部１５ｄに固定されているとともに、バネ１５ｃの径よりも大きい径を有している。

そして、保持部１６において発光装置２０を保持した状態で、軸部１５ｄを延伸させるように駆動する。これにより、発光装置２０を、受け渡し位置Ｐ２から検査位置Ｐ１へと搬送することができる。そして、軸部１５ｄを延伸させることで支持部１５ｅが上昇し、バネ１５ｃは縮む。

また、ソレノイド１５ｂは、検査位置Ｐ１において発光面２１の検査を完了した発光装置２０を保持部１６において保持した状態で、軸部１５ｄを退避させるように駆動される。これにより、発光面２１の検査を完了した発光装置２０を、受け渡し位置Ｐ２から検査位置Ｐ１へと搬送することができる。そして、軸部１５ｄの退避に伴って、軸部１５ｄに固定された支持部１５ｅは下降する。これにより、バネ１５ｃは、元の位置に戻る。

バネ１５ｃは、保持部１６を鉛直方向上向きに付勢する付勢部材であって、図６に示すように、本体部１５ａの上部とソレノイド１５ｂとの間におけるソレノイド１５ｂの軸部１５ｄの外周に配置されている。

保持部１６は、上述した昇降部１５によって略鉛直方向に沿って上下に駆動される部材であって、図６等に示すように、側面視において、略コの字形（横向きの略Ｕ字形）に形成されている。そして、保持部１６は、図６等に示すように、底面（第１面）１６ａ、側面（第２面）１６ｂ、および上面（第３面）１６ｃを有している。

底面１６ａは、略コの字形の保持部１６の下部を構成する面であって、保持部１６において保持された発光装置２０の底面に当接する。

側面１６ｂは、略コの字形の保持部１６の中央部分を構成する面であって、保持部１６において保持された発光装置２０の側面に近接するように配置されている。

上面１６ｃは、略コの字形の保持部１６の上部を構成する面であって、保持部１６において保持された発光装置２０の上面に対して所定の隙間を介して配置されている。

吸引部１７は、図６等に示すように、略コの字形の保持部１６を構成する底面１６ａに設けられた２つの吸引口１７ａ，１７ｂを有している。そして、吸引部１７は、負圧を発生させることで、吸引口１７ａ，１７ｂ上において保持された発光装置２０の底面を吸引する。これにより、保持部１６において、発光装置２０を安定的に保持することができる。

本実施形態の搬送装置１０は、図１等に示すように、回転テーブル１１、昇降部１５、保持部１６を備えている。回転テーブル１１は、発光装置２０を略水平方向に沿って搬送する。昇降部１５は、回転テーブル１１による搬送面とは異なる高さ位置に設けられた検査位置Ｐ１へ、発光装置２０を略鉛直方向に沿って搬送する。保持部１６は、昇降部１５に設けられており、発光装置２０を保持する。回転テーブル１１は、保持部１６に対して回転テーブル１１による搬送面と略同じ高さ位置に設けられた所定の受け渡し位置Ｐ２において、発光装置２０を受け渡す。保持部１６は、発光装置２０の底面に当接する底面１６ａ、側面に近接する側面１６ｂを有している。

これにより、回転テーブル１１によって略水平方向に沿って搬送されてきた発光装置２０は、回転テーブル１１の搬送面と略同じ高さ位置にある受け渡し位置Ｐ２において、昇降部１５によって鉛直方向に沿って移動する保持部１６へと引き渡される。

このとき、発光装置２０の搬送方向が略直角に変化するが、回転テーブル１１の搬送面と受け渡し位置Ｐ２とが略同じ高さ位置にあるため、発光装置２０に対する応力の付与が抑制される。

そして、保持部１６において保持された発光装置２０は、昇降部１５によって、保持部１６ごと鉛直方向に沿って、上方に配置された検査位置Ｐ１へ搬送される。

これにより、略鉛直方向上向きに発光装置２０を搬送する際にも、発光装置２０に対する応力の付与を抑制することができる。

すなわち、本実施形態の搬送装置１０では、回転テーブル１１の搬送面と略同じ高さ位置にある受け渡し位置Ｐ２において保持部１６に受け渡された発光装置２０は、保持部１６の底面１６ａにのみ当接した状態を維持したまま、鉛直方向に沿って検査位置Ｐ１まで搬送される。

これにより、発光装置２０を、回転テーブル１１の搬送面とは異なる高さ位置にある所定の検査位置Ｐ１へと搬送する際に、発光装置２０に対して各種構成が接触応力等の応力を付与してしまうことを防止することができる。

この結果、搬送される発光装置２０に対して余計な応力を付与することなく所望の方向へ搬送することができる。

また、本実施形態の搬送装置１０では、保持部１６において発光装置２０を保持する際に、吸引部１７による吸引力を用いている。

これにより、発光装置２０を略鉛直方向に沿って上下に搬送する際に、保持部１６において安定的に発光装置２０を保持することができる。

さらに、吸引部１７は、保持部１６の底面１６ａに形成された２つの吸引口１７ａ，１７ｂを有している。

これにより、保持部１６の底面１６ａ上に載置された発光装置２０の底面は、２箇所からそれぞれ吸引力が付与されるため、保持部１６においてより安定的に保持される。

＜発光装置２０の搬送方法＞
本実施形態の発光装置２０の搬送方法について、図７に示すフローチャートを用いて説明すれば以下の通りである。

具体的には、図７に示すように、ステップＳ１１では、所定の搬入位置Ｐ０において、搬入装置１２が、回転テーブル１１の凹部１１ａに対して、径方向に沿って、発光装置２０を１個ずつ搬入する（図１参照）。

次に、ステップＳ１２では、回転テーブル１１が、時計回りに間欠回転しながら、略水平方向に沿って、受け渡し位置Ｐ２へと発光装置２０を搬送する（第１搬送ステップ）。

ここで、受け渡し位置Ｐ２は、回転テーブル１１の搬送面と略同じ高さ位置に配置されている。

次に、ステップＳ１３では、受け渡し位置Ｐ２へ搬送されてきた発光装置２０を、昇降部１５に設けられた保持部１６が、吸引部１７によって吸引保持する（保持ステップ）。

次に、ステップＳ１４では、昇降部１５が、保持部１６において吸引保持された発光装置２０を、略鉛直方向上方に配置された検査位置Ｐ１へ搬送する（第２搬送ステップ）。

次に、ステップＳ１５では、検査装置５の撮像部５ａが、検査位置Ｐ１に搬送された発光装置２０の発光面２１を含む画像を撮影し、発光面２１の発光検査を実施する。

ここで、発光検査において正常に点灯した発光装置２０は正常品として、点灯しなかった発光装置２０は不良品として判定される。

次に、ステップＳ１６では、昇降部１５が、検査位置Ｐ１において発光面２１の検査を完了した発光装置２０を、保持部１６において吸引保持した状態で略鉛直方向下向きに搬送する（第３搬送ステップ）。

次に、ステップＳ１７では、再び、受け渡し位置Ｐ２に搬送された検査済みの発光装置２０を、回転テーブル１１が受け取って時計回りに回転し、略水平方向に沿って搬出位置Ｐ３へと搬送する。

次に、ステップＳ１８では、搬出装置１３が、搬出位置Ｐ３において、発光装置２０を回転テーブル１１の凹部１１ａから取り出して搬出する。

本実施形態の発光装置２０の搬送方法では、以上のような工程により、回転テーブル１１の搬送面と略同じ高さ位置にある受け渡し位置Ｐ２において保持部１６に受け渡された発光装置２０は、保持部１６の底面１６ａにのみ当接した状態を維持したまま、鉛直方向に沿って検査位置Ｐ１まで搬送される。

これにより、発光装置２０を、回転テーブル１１の搬送面とは異なる高さ位置にある所定の検査位置Ｐ１へと搬送する際に、発光装置２０に対して各種構成が接触応力等の応力を付与してしまうことを防止することができる。

この結果、搬送される発光装置２０に対して余計な応力を付与することなく所望の方向へ搬送することができる。

［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）
上記実施形態では、保持部１６の形状として、底面１６ａ、側面１６ｂおよび上面１６ｃを含む形状、すなわち、側面視において略コの字（横向きの略Ｕ字）の形状を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、図８に示すように、底面１１６ａおよび側面１１６ｂのみを有する保持部１１６を用いて、発光装置を搬送してもよい。

（Ｂ）
上記実施形態では、側面発光（サイドビュー）タイプの発光装置２０を所定の検査位置Ｐ１へ搬送する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、上面発光（トップビュー）タイプの発光装置の側面の形状等の各種異常の有無を検査する構成であってもよい。

（Ｃ）
上記実施形態では、発光装置２０を略水平方向に沿って搬送する第１搬送部として、回転軸１１ｂを中心にして回転することで、発光装置２０を所望の方向へ搬送する回転テーブル１１を用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、略水平方向に沿って、直線状に発光装置（半導体装置）を搬送するベルトコンベア等の搬送装置であってもよい。

（Ｄ）
上記実施形態では、発光装置２０の検査位置Ｐ１が、回転テーブル１１による搬送面よりも上方に配置された構成を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、発光装置（半導体装置）の検査位置が、回転テーブル等の第１搬送部の搬送面よりも下方に配置された構成であってもよい。

（Ｅ）
上記実施形態では、保持部１６において発光装置２０を吸引保持する吸引部１７として、２つの吸引口１７ａ，１７ｂを含む構成を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、吸引部に含まれる吸引口の数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。

また、吸引口が設けられる位置としては、保持部の底面に限らず、側面等であってもよい。

（Ｆ）
上記実施形態では、保持部１６において発光装置２０を吸引保持する吸引部１７として、吸引口１７ａ，１７ｂに負圧を発生させて発光装置２０の底面を吸引保持する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、発光装置等の半導体装置を保持部において安定的に保持するための吸引部としては、負圧による吸引に限らず、磁力等の吸引力を用いてもよい。

（Ｇ）
上記実施形態では、搬送対象となる半導体装置として、発光面２１を含む発光装置２０を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、発光面を持たない各種半導体装置を搬送しながら各種検査を行う検査システム等に対して、本発明を適用してもよい。

本発明の半導体装置の搬送装置は、搬送される半導体装置に対して応力を付与することなく所望の方向へ搬送することができるという効果を奏することから、半導体装置を所望の方向へ搬送する搬送装置を含む各種システムに対して広く適用可能である。

１ 検査システム（半導体装置の検査システム）
５ 検査装置
５ａ 撮像部（カメラ）
１０ 搬送装置（半導体装置の搬送装置）
１１ 回転テーブル（第１搬送部）
１１ａ 凹部
１１ｂ 回転軸
１１ｃ 板状部材
１１ｃａ 切欠き部
１２ 搬入装置
１３ 搬出装置
１５ 昇降部（第２搬送部）
１５ａ 本体部
１５ｂ ソレノイド
１５ｃ バネ
１５ｄ 軸部
１５ｅ 支持部
１６ 保持部
１６ａ 底面（第１面）
１６ｂ 側面（第２面）
１６ｃ 上面（第３面）
１７ 吸引部
１７ａ，１７ｂ 吸引口
２０ 発光装置（半導体装置）
２１ 発光面
１１６ 保持部
１１６ａ 底面（第１面）
１１６ｂ 側面（第２面）
Ｐ０ 搬入位置
Ｐ１ 検査位置
Ｐ２ 受け渡し位置
Ｐ３ 搬出位置

Claims (10)

1. 半導体装置の側面の検査を行うために、前記半導体装置を所定の方向へ搬送する搬送装置であって、
   前記半導体装置を略水平方向に沿って搬送する第１搬送部と、
   前記第１搬送部による搬送面とは異なる高さ位置に設けられた前記半導体装置の検査位置へ、前記半導体装置を略鉛直方向に沿って搬送する第２搬送部と、
   前記第２搬送部に設けられており、前記半導体装置を保持する保持部と、
   を備え、
   前記第１搬送部は、前記第２搬送部に設けられた前記保持部に対して、前記第１搬送部による前記搬送面と略同じ高さ位置に設けられた所定の受け渡し位置において、前記半導体装置を受け渡し、
   前記保持部は、前記半導体装置の底面に当接する第１面と、前記半導体装置の側面に近接する第２面とを少なくとも有しており、
   前記第２搬送部は、前記検査が終了した前記半導体装置を、前記第１搬送部の前記搬送面の高さ位置まで搬送し、再び、前記第１搬送部へ受け渡す、
   半導体装置の搬送装置。
2. 前記保持部は、前記半導体装置を吸引保持する吸引部をさらに有している、
   請求項１に記載の半導体装置の搬送装置。
3. 前記吸引部は、前記半導体装置を吸引する吸引口を有しており、
   前記吸引口は、前記第１面に設けられている、
   請求項２に記載の半導体装置の搬送装置。
4. 前記吸引口は、複数設けられている、
   請求項３に記載の半導体装置の搬送装置。
5. 前記保持部は、前記半導体装置の上面に対して非接触の状態で近接配置される第３面を、さらに有している、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体装置の搬送装置。
6. 前記第１搬送部は、略円板状に形成されており、複数の前記半導体装置を外周部において保持した状態で回転軸を中心に回転して、前記半導体装置を所望の方向へ搬送する、
   請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体装置の搬送装置。
7. 前記半導体装置は、側面に発光面を有している、
   請求項１から６のいずれか１項に記載の半導体装置の搬送装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の半導体装置の搬送装置と、
   前記第１搬送部の搬送面の上方に配置されており、前記検査位置の近傍に配置された検査装置と、
   を備えた半導体装置の検査システム。
9. 半導体装置の側面の検査を行うために、前記半導体装置を所定の方向へ搬送する搬送方法であって、
   第１搬送部によって、前記半導体装置を略水平方向に沿って搬送する第１搬送ステップと、
   前記半導体装置の底面に当接する第１面と前記半導体装置の側面に近接する第２面とを有する保持部によって、前記第１搬送部による搬送面と略同じ高さ位置に設けられた所定の受け渡し位置において、前記第１搬送ステップにおいて搬送されてきた前記半導体装置を受け取って保持する保持ステップと、
   第２搬送部によって、前記半導体装置を保持した状態で、前記第１搬送ステップにおける搬送面とは異なる高さ位置に設けられた前記半導体装置の検査位置へ、前記半導体装置を略鉛直方向に沿って搬送する第２搬送ステップと、
   前記第２搬送部によって、前記検査が終了した前記半導体装置を、前記第１搬送部の前記搬送面の高さ位置まで搬送し、再び、前記第１搬送部へ受け渡す第３搬送ステップと、
   を備えている半導体装置の搬送方法。
10. 前記保持ステップでは、吸引部によって、前記半導体装置を前記保持部において吸引保持する、
    請求項９に記載の半導体装置の搬送方法。
    
    

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