JP2010118604A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法は、樹脂封止前に、配線が形成され、電子部品17が搭載された基板10の表面のランナー部14に、マスク20を介して疎水性ガスを利用した疎水性大気圧プラズマ処理を行ってランナー部14を疎水性に改質したことを特徴する。
【選択図】図2
Description
を有することを特徴する。かかる半導体装置の製造方法は、大気圧プラズマ処理を使用するので真空チャンバを使用する真空プラズマよりも安価な表面処理を施すことができる。また、マスクを使用するので基板の表面のランナー部に高精度に疎水処理を施すことができ、樹脂封止されるべき基板表面部分の樹脂との密着性を維持することができる。更に、疎水処理を施すので基板の表面のランナー部に金メッキを施す必要がないので製造コストが低減することができる。また、疎水処理により、樹脂封止後に基板のランナー部から不要樹脂を容易に除去することができる。なお、改質ステップと、電子部品を配線基板又はリードフレームに搭載するステップの先後は問わない。
本発明は配線基板又はリードフレームの部分に応じてマスクをすることで疎水性大気圧プラズマ処理と親水性大気圧プラズマ処理を行ったが、製品により親水性大気圧プラズマ処理だけであってもよい。
14 ランナー部
14A 金メッキ部(ランナー部)
17 電子部品(半導体チップ)
20 第1マスク
30、50 大気圧プラズマ装置
24 突出部
40 第2マスク
44 凹部
Claims (7)
- マスクを介した大気圧プラズマ処理によって配線基板の表面のランナー部を疎水性に改質するステップと、
電子部品を搭載した前記配線基板を成形金型に搭載して型締めした後で前記ランナー部から溶融樹脂を注入して前記配線基板上の前記電子部品を樹脂封止するステップと、
前記配線基板の前記ランナー部から不要樹脂を除去するステップと、
を有することを特徴する半導体装置の製造方法。 - 前記ランナー部と前記不要樹脂との間には金メッキが施されていないことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記改質ステップ後に、前記電子部品を前記配線基板に搭載することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記改質ステップ前に、前記電子部品を前記配線基板に搭載することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- マスクを介した大気圧プラズマ処理によってリードフレームの表面のランナー部を疎水性に改質するステップと、
電子部品を搭載した前記リードフレームを成形金型に搭載して型締めした後で前記ランナー部から溶融樹脂を注入して前記リードフレーム上の前記電子部品を樹脂封止するステップと、
前記リードフレームの前記ランナー部から不要樹脂を除去するステップと、
を有することを特徴する半導体装置の製造方法。 - 電子部品が搭載され、樹脂封止される配線基板であって、
溶融樹脂を注入し、樹脂封止後に不要樹脂が除去されるランナー部を表面に有し、
前記ランナー部は大気圧プラズマ処理によって疎水性に改質されていることを特徴とする配線基板。 - 電子部品が搭載され、樹脂封止されるリードフレームであって、
溶融樹脂を注入し、樹脂封止後に不要樹脂が除去されるランナー部を表面に有し、
前記ランナー部は大気圧プラズマ処理によって疎水性に改質されていることを特徴とするリードフレーム。
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