JP2010114469A - セラミック回路基板および半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属回路板3と、貫通孔4を有し、第1のロウ材2を介して両面に金属回路板3が接合されたセラミック基板1と、セラミック基板1の貫通孔4内に配置され、第2のロウ材6を介して金属回路板3に接合された金属柱5とを有しており、第2のロウ材6は、金属柱5の端部から金属回路板3に向かって広がってメニスカスを形成しているセラミック回路基板である。電流はロウ材6に設けたメニスカス中を滑らかに流れ、金属柱5と金属回路板3とのロウ材6による接合部に電流の集中が発生しにくく、局所的な発熱が少なくなるため、長期間にわたって正常かつ安定に作動させることが可能となる。
【選択図】 図1
Description
度に加熱し、ロウ材ペーストおよびロウ材を溶融させて、メタライズ金属層と金属回路板とを活性金属ロウ材を介して、および金属回路板と金属柱とを銀ロウ等のロウ材を介して接合することによって製作される。
zに達する高周波になると、従来のセラミック回路基板は金属回路板と金属柱の間にメニスカスがなく垂直に接合されているので、金属回路板から金属柱へ、あるいは金属柱から
金属回路板へ電流が流れる際に、金属板の表面や金属柱の側面の電流密度が高くなる現象により、接合された金属板の表面と金属柱の側面とのなすコーナー部分に電流が集中し、局所的にジュール発熱する。その熱が金属回路板上に半田等の接着材を介して接着固定される半導体素子等の電子部品に作用し、電子部品が高温となるため、電子部品を安定に作動させることができないという問題点を有していた。
電流が流れ込む、あるいはその逆に金属柱から金属回路板に流れ出す際に、メニスカス内を滑らかに電流が通過することができ、接合部分のコーナーに電流が集中して局所的にジュール発熱することがない。
ミック基板、2は活性金属ロウ材(第1のロウ材)、3は金属回路板、4はセラミック基板1の貫通孔、5は金属柱、6はロウ材(第2のロウ材)である。このセラミック回路基板は、セラミック基板1の上下両面に所定パターンの金属回路板3が活性金属ロウ材2を介して取着されており、同時にセラミック基板1に設けた厚み方向に貫通する貫通孔4内に金属柱5がその両端面をロウ材6を介して金属回路板3に接合されて配置されているものである。
好ましい。金属柱5がセラミック基板1の厚みより長いと、金属柱5が上下に取着された金属回路板3を突き上げてしまい、セラミック基板1と上下の金属回路板3とが良好に接合されなくなってしまう。また、セラミック基板1の厚みに対して150μmより短いと、
金属柱5に多くのロウ材6を被着させる必要がありコストアップになる他、ロウ材6を加熱溶融した際に金属柱5が上下に移動したり傾いたりして、金属柱5と金属回路板3とを良好に接合することが困難となる傾向がある。
板3から金属柱5へ大電流が流れ込む、あるいはその逆に金属柱5から金属回路板3に流れ出す際に、メニスカス内を滑らかに電流が通過することができないため、接合部分のコーナーに電流が集中し、局所的にジュール発熱する。その結果セラミック回路基板が高温になり、その熱が金属回路板上に半田等の接着材を介して接着固定される半導体素子等の電子部品に作用し、電子部品を高温として安定に作動させることが困難になるという傾向がある。
ておくことが好ましい。これは、この空間の長さが30μm未満の場合は、セラミック回路基板に熱が加わった際に、セラミック基板1と金属柱5との熱膨張係数の差によって膨張した金属柱5の外壁面がセラミック基板1の貫通孔4の内壁面を押し広げようとするのをセラミック基板1の貫通孔4の内壁面と金属柱5の外壁面との間にある空間で確実に吸収することが困難となり、金属柱5の外壁面がセラミック基板1の貫通孔4の内壁面を押し
広げてしまい、セラミック基板1にクラックや割れを発生させてしまうことがあるためである。また、この空間の長さが200μmを超えた場合は、セラミック基板1の貫通孔4に
ロウ材6付き金属柱5を挿着する際に、ロウ材6付き金属柱5が傾いてしまい金属回路板3と確実に接続できなくなることがあるためである。
膨張とセラミック基板1の熱膨張との差による熱応力がセラミック基板1の貫通孔4の周辺のマイクロクラックに作用してセラミック基板1にクラックや割れを発生させることがなくなり、また製造工程において活性金属ロウ材2が貫通孔4内に垂れ込んで、金属回路板3と金属柱5とを接合するためのロウ材6と融合してロウ材の組成が変化することがないので、金属回路板3とセラミック基板1および金属回路板3と金属柱5との接合が良好で、搭載される半導体素子等の電子部品を正常かつ安定に作動させることのできる信頼性の高いセラミック回路基板を得ることが可能となる。
置したりすると、上述した効果以外にも、ロウ材6を金属柱5の端部から金属回路板4にかけて広がるような形状のメニスカスを形成しやすくなるという効果がある。
属柱5の両端面に被着されたロウ材6を溶融せしめ、溶融した活性金属ロウ材2でセラミック基板1と金属回路板3を、ロウ材6で金属回路板3と金属柱5とを接合させる。
して40〜140μm長くしたものがよい。これは、金属柱5の長さがセラミック基板1の厚
みよりも0〜150μm短いと、前述したように金属柱5が上下に取着された金属回路板3
を突き上げることがなく、セラミック基板1とその両面の金属回路板3との良好な接合を損なうことがないからであり、また、ロウ材6付き金属柱5の長さがセラミック基板1の厚みに対して40〜140μm長いと、その両端のロウ材6が確実に上下の金属回路板3と接
触し、その後の溶融工程で金属柱5と金属回路板3とがロウ材6を介して確実に接合され、信頼性の高い電気的接合が得られるからである。
他の方法としては、ロウ材/銅板もしくはアルミニウム板/ロウ材の順で積層し、圧延加工法によって所定の厚みにしたものに打ち抜き加工法・引き抜き加工法等の金属加工法を施すことにより作製する方法がある。
2・・・・活性ロウ材
3・・・・金属回路板
4・・・・貫通孔
5・・・・金属柱
6・・・・ロウ材
Claims (3)
- 金属回路板と、貫通孔を有し、第1のロウ材を介して両面に前記金属回路板が接合されたセラミック基板と、該セラミック基板の前記貫通孔内に配置され、第2のロウ材を介して前記金属回路板に接合された金属柱とを有しており、前記第2のロウ材は、前記金属柱の端部から前記金属回路板に向かって広がってメニスカスを形成していることを特徴とするセラミック回路基板。
- 前記第2のロウ材は、前記金属柱の端部から前記金属回路板にかけて、前記金属柱の最大幅の5%以上の幅で、前記金属柱の全周にわたって広がってメニスカスを形成していることを特徴とする請求項1記載のセラミック回路基板。
- 請求項1または請求項2記載のセラミック回路基板と、該セラミック回路基板上に接着剤を介して固定された電子部品とを有することを特徴とする半導体モジュール。
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