JP2010101687A - コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プランジャー1を螺進退可能に収め入れ支持させるスリーブ2と、前進位置にこのプランジャー1を付勢により位置づける付勢手段3とを備えてなる。プランジャー1の前記螺進退は、プランジャー1の軸線方向xに螺旋状に連続すると共にプランジャー1の軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャー1の一部を切除して形成された螺旋状案内面1cに、スリーブ2の一部につけた凹みによりスリーブ2内に突き出された凸部2cを接触させることでなされるようになっている。この凸部2cが、螺旋状案内面1cに面的に接触する頂部面2dを有すると共に、螺旋状案内面1cの幅よりもこの頂部面2dの幅が小さくなるようにしてある。
【選択図】図4
Description
プランジャーの前記螺進退は、プランジャーの軸線方向に螺旋状に連続すると共にプランジャーの軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャーの一部を切除して形成された螺旋状案内面に、スリーブの一部につけた凹みによりスリーブ内に突き出された凸部を接触させることでなされるようになっており、
この凸部が、螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあるものとした。
実験例:プランジャー(以上に説明したプランジャー1と実質的に同一の構造のもの)は、ベリリウム銅よりなる基材に銅の層をメッキにより施し次いでニッケルの層をメッキにより施し、さらにその表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。スリーブ(以上に説明したスリーブ2と実質的に同一の構造)は、外層を金とした金とリン青銅とのクラッドパイプよりなる基材の表面にメッキにより金又は金合金の層を形成させてなる。
プランジャーの径 0.28mm
スリーブの外径 0.40mm
スリーブの内径 0.29mm
スリーブの金メッキの層の厚さ 1.8μm
比較例:実験例におけるスリーブに金メッキを施していない他は、実験例と構成は同一である。
図8に示される構成を備えた試験装置を利用して、実験例と比較例の試験を行った。図中符号1の駆動装置のヘッドにマウントされた図中符号2のコンタクトプローブを図中符号3の基板に断続的にコンタクトさせる。実験例も比較例も同一条件で基板にコンタクトさせる。基板とコンタクトプローブとの間に0.3mmの空間を開けた基準位置から基板側を1.5mm上昇させてそのプランジャーを1.2mm螺退させる。この上昇速度は、5mm/secとした。基板の一つのポイントへの一万回のコンタクトが終了したときに、基板を載置したステージを移動させ次のポイントへのコンタクトをなすようにして、かかる一万回のコンタクトを50回行った。符号4の抵抗測定器とコンタクトプローブ及び基板とを導線で接続して各コンタクト毎に抵抗値(Ω)を測定した。
1a 接触端
1c 螺旋状案内面
2 スリーブ
2c 凸部
2d 頂部面
3 付勢手段
x 軸線方向
Claims (4)
- 一端を検査対象物の電極への接触端とした丸棒状をなすプランジャーと、このプランジャーを螺進退可能に収め入れ支持させるスリーブと、このプランジャーの接触端側をスリーブから突き出させた前進位置にこのプランジャーを付勢により位置づける付勢手段とを備えてなるコンタクトプローブであって、
プランジャーの前記螺進退は、プランジャーの軸線方向に螺旋状に連続すると共にプランジャーの軸線を中心とする仮想の円の接線に平行をなすようにしてプランジャーの一部を切除して形成された螺旋状案内面に、スリーブの一部につけた凹みによりスリーブ内に突き出された凸部を接触させることでなされるようになっており、
この凸部が、螺旋状案内面に面的に接触する頂部面を有すると共に、螺旋状案内面の幅よりもこの頂部面の幅が小さくなるようにしてあることを特徴とするコンタクトプローブ。 - プランジャーが螺旋状案内面の形成された導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成されていると共に、スリーブが導電性材料よりなる基材の表面に金メッキを施して構成されていることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- スリーブの凸部の頂部面の隅部がアール状をなすように構成してあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 付勢手段を、スリーブ内に収められてバネ一端をプランジャーの他端に接しさせた圧縮コイルバネとすると共に、このバネのバネ一端側がバネ端末に近づくに連れてこのバネの外径を細めるように成形されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
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JP2008271943A JP2010101687A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | コンタクトプローブ |
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JP2008271943A JP2010101687A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | コンタクトプローブ |
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JP2010101687A true JP2010101687A (ja) | 2010-05-06 |
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JP2008271943A Pending JP2010101687A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2010101687A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2008
- 2008-10-22 JP JP2008271943A patent/JP2010101687A/ja active Pending
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