JP3088866U - 検査用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気信号の減衰を防止し、安定した検査が行
なえるようにした検査用プローブを提供する。 【解決手段】 先端側プランジャー１２の先端部１２ｂ
の突起１２ｃを、被検査部品１５の端子１５ａ上のはん
だバンプ１５ｂに接触させると、該先端側プランジャー
１２はスプリング１３ｃを押圧しながら後端側プランジ
ャー１３に接続される。そして、前記端子１５ａの電気
信号は、前記先端側プランジャー１２から前記後端側プ
ランジャー１３のスプリング１３ｃ及び接触部１３ｂを
介して、検査装置に伝達される。このとき、前記スプリ
ング１３ｃの全長が短く、かつ該スプリング１３ｃと前
記接触部１３ｂが一体に形成されいるので、その間の接
触抵抗を無くすことができ、電気信号の減衰を防止し、
前記端子１５ａの電気信号を検査装置へ確実に伝達し
て、被検査部品の正確な検査を行なわせることができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、チップ部品、ＬＳＩ、ＬＣＤ等の電子部品の端子から電気信号を取 出して電気的な検査をする際に用いる検査用プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】

チップ部品、ＬＳＩ、ＬＣＤ等の電気的特性を検査する検査装置において、該 検査装置と被検査部品の端子部との接触を確保するための検査用プローブとして 、例えば、図３に示すようなピン接触型の検査用プローブが提案されている。

【０００３】 図３に示すように、この検査用プローブ１は、スリーブ４の内部に装着された スプリング２と、スリーブ４の両端部に位置するように装着された先端側プラン ジャー３（被検査部品と接触するプランジャー）と後端側プランジャー５（検査 装置に接触するプランジャー）とにより構成されている。

【０００４】 前記スプリング２は、例えば、硬鋼線により直径φが０．１５ｍｍ、長さｌが ３〜５ｍｍの円筒形状に形成され、その線材の断面形状は、例えば、幅ｗが０． １０ｍｍ、厚さｔが０．０２ｍｍの細長い四辺形に形成されている。また、該ス プリング２の一端には、被検査部品の端子と接触させる前記先端側プランジャー ３が、他端には、信号を取出すための前記後端側プランジャー５が、それぞれ、 例えば、かしめ接合により接合され、該先端側プランジャー３と後端側プランジ ャー５は、該スプリング２を介して電気的に導通している。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、被検査部品の電気的特性の検査は、先端側プランジャー３を被検査 部品の端子に接触させ、後端側プランジャー５を検査装置に接触させて行なう。 そして、先端側プランジャー３で取出した高周波電流からなる微弱な電気信号を 、スプリング２を介して後端側プランジャー５に伝達し、該後端側プランジャー ５から検査装置に該電気信号を伝達する。このとき、前記スプリング２は、前述 のように、細い硬鋼線で形成され、その長さｌが３〜５ｍｍと長くインピーダン スが大きいため、先端側プランジャー３で取出した電気信号が検査用プローブ１ 内で減衰してしまうことがあった。

【０００６】 また、被検査部品から検査装置までの間の接触、接合個所における接触抵抗も 電気信号の減衰の原因になっている。即ち、被検査部品の端子と先端側プランジ ャー３の接触部、該先端側プランジャー３と前記スプリング２の接続（接合）部 、該スプリング２と前記後端側プランジャー５の接続（接合）部、該後端側プラ ンジャー５と検査装置との接触部など、接触部の数が多く、それらの各接続個所 で接触抵抗が発生している。

【０００７】 また、例えば、同一の検査装置に配設される検査用プローブ１であっても、ス プリング２、先端側プランジャー３及び後端側プランジャー５の機械的な寸法に は、バラツキがあり、それらの表面の性状（例えば、面粗さ、酸化膜の厚さ等） にもバラツキがある。従って、該スプリング２と該各プランジャー３、５とを同 じ作業条件でかしめ接合しても、その接合部における接触抵抗にバラツキが発生 する。

【０００８】 そこで、本考案は、電気信号の減衰の要因を減らし、被検査部品の電気信号を 確実に検査装置へ伝達することができる検査用プローブを提供することを目的と する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

請求項１に係る考案は、２個のプランジャー（１２、１３）とこれらのプラン ジャー（１２、１３）の間に介在するスプリングと、前記各プランジャー（１２ 、１３）とスプリングを収納するスリーブ（１１Ａ、１１Ｂ）とを有する検査用 プローブにおいて、 前記一方のプランジャー（１３）は、柱状の接触部（１３ｂ）と筒状の摺動部 （１３ａ）とからなり、該摺動部（１３ａ）に螺旋状の切込みを入れて該摺動部 （１３ａ）に前記スプリング（１３ｃ）を形成し、該スプリング（１３ｃ）と前 記接触部（１３ｂ）とが一体に形成されてなる、 ことを特徴とする検査用プローブにある。

【００１０】 請求項２に係る考案は、前記２個のプランジャー（１２、１３）の間に、前記 筒状の摺動部（１３ａ）の内側に収納され、前記一対のプランジャー（１２、１ ３）の間隔を、前記スプリング（１３ｃ）で設定される間隔より広い間隔に設定 する他のスプリング（１６）を有する、 ことを特徴とする請求項１記載の検査用プローブにある。

【００１１】 なお、括弧内の符号等は、図面と対照するためのものであり、これは、考案の 理解を容易にするための便宜的なものであり、実用新案登録請求の範囲に何等影 響を及ぼすものではない。

【００１２】

【考案の実施の形態】

以下、本考案の実施の形態を図面により説明する。なお、以下の説明において は、前記従来の技術の説明と同様に、被検査部品と対向する側を先端側、検査装 置に接触する側を後端側という。

【００１３】 図１は、本考案の第１の実施の形態に係る検査用プローブを示す縦断面図であ る。この検査用プローブ１０Ａは、円筒状のスリーブ１１Ａと、該スリーブ１１ Ａに摺動自在に嵌合し、かつ先端部が該スリーブ１１Ａの先端面から突出する先 端側プランジャー１２と、該スリーブ１１Ａに摺動自在に嵌合し、かつ後端部が 該スリーブ１１Ａの後端面から突出する後端側プランジャー１３とからなる。

【００１４】 前記スリーブ１１Ａは、円筒状に形成され、かつ先端（図１の下方）と後端（ 図１の上方）には、それぞれ内側に向けて張出すフランジ１１ａ、１１ｂにより 所要の大きさの開口部１１ｃ、１１ｄが形成されている。なお、該スリーブ１１ Ａは、断面円形からなる円筒形状が好ましいが、必ずしも円筒形状に限らず、矩 形等でもよく、筒形状であれば足りる。また、後述するプランジャーの円柱形状 も同様であり、柱状であれば足りる。

【００１５】 前記先端側プランジャー１２は、円柱状に形成され、前記スリーブ１１Ａに摺 動自在に嵌合する大径の本体１２ａと、該本体１２ａと一体に円柱状に形成され 、該スリーブ１１Ａの開口部１１ｃを摺動自在に貫通して先端側に突出し、被検 査部品１５の端子１５ａ（又は、該端子１５上に形成されたはんだバンプ１５ｂ ）と接触する小径の先端部１２ｂを有し、該先端部１２ｂの先端には、その外周 に沿って複数（図１では３個を図示）の突起１２ｃが形成されている。また、該 本体１２ａの後端側（図１の上方）には、後述するスプリングに嵌入する突起１ ２ｄが該本体１２ａと一体に形成されている。

【００１６】 前記後端側プランジャー１３は、先端部が円筒状に形成され、前記スリーブ１ １Ａに摺動自在に嵌合する大径の摺動部１３ａと、該摺動部１３ａと一体に形成 され、該スリーブ１１Ａの開口部１１ｄを摺動自在に貫通して後端側に突出し、 検査装置（図示せず）に接触する小径の接触部１３ｂとからなり、該摺動部１３ ａには、螺旋状の切込み１３ｄが加工され、該切込み１３ｄにより該スリーブ１ １Ａの先端方向に延びるスプリング１３ｃが形成され、該スプリング１３ｃの先 端は、前記先端側プランジャー１２の本体１２ａの後端面に、所定の圧力で接触 している。

【００１７】 即ち、前記スプリング１３ｃは、前記摺動部１３ａと単一の材料で一体に、該 摺動部１３ａの先端側（図１の下側）に、例えば、従来と同じ直径φが０．１５ ｍｍの筒形状に形成され、その断面形状は、幅ｗが０．１０ｍｍ、厚さｔが０． ０２ｍｍの細長い四辺形に形成されている。なお、前記スプリング１３ｃの断面 形状は、四辺形だけでなく、楕円形、台形等、適宜の形状に形成することができ る。

【００１８】 次に、前述した第１の実施の形態に係る検査用プローブ１０Ａの作用について 説明する。ＬＳＩ、ＬＣＤ等の被検査部品１５の複数（図１では１個だけ表示） の端子１５ａ上に形成されたはんだバンプ１５ｂに、それぞれ、前記検査用プロ ーブ１０Ａを近接させ、前記先端側プランジャー１２の先端部１２ｂに形成され た突起１２ｃを該はんだバンプ１５ｂに、前記スプリング１３ｃの圧力により弾 性的に接触させると共に、螺旋状の切込み１３ｄを押し潰すようにスプリング１ ３ｃを圧縮して、該端子１５ａからの電気信号をはんだバンプ１５ｂ、先端側プ ランジャー１２、後端側プランジャー１３を通して検査装置（図示せず）に入力 し、該検査装置で所定の検査を行なう。

【００１９】 このとき、前記先端側プランジャー１２の先端部１２ｂの突起１２ｃが該先端 部１２ｂの外周縁に沿って形成されているので、該先端側プランジャー１２の先 端部１２ｂの軸心ＣＰと、前記被検査部品１５の端子１５上に形成されたはんだ バンプ１５ｂの軸心ＣＢが距離ｇだけずれていても、該距離ｇが該先端部１２ｂ の直径ｄの１／２以下であれば、先端側プランジャー１２をはんだバンプ１５ｂ に確実に接触させることができる。

【００２０】 前記検査用プローブ１０Ａでは、前記スプリング１３ｃが前記後端側プランジ ャー１３の本体１３ａと単一の材料で一体に形成され、かつ強制圧力により切込 み１３ｄを押し潰した状態で電気信号の伝達を行なっているので、該スプリング １３ｃと該本体１３ａとの間には接触抵抗が発生せず、この間における前記電気 信号の減衰を無くすことができる。また、該スプリング１３ｃの長さｌを短くし て、該スプリング１３ｃのインピーダンスによる電気信号の減衰を軽減したこと と相俟って、微弱な高周波電流の電気信号でも確実に前記検査装置に伝達するこ とができ、精度よく検査を行なうことができる。

【００２１】 図２は、本考案の第２の実施の形態に係る検査用プローブを示す縦断面図であ る。この検査用プローブ１０Ｂは、前記検査用プローブ１０Ａと同様に、円筒状 のスリーブ１１Ｂと、該スリーブ１１Ｂに摺動自在に嵌合し、かつ先端部が該ス リーブ１１Ｂの先端面から突出する先端側プランジャー１２と、該スリーブ１１ Ｂに摺動自在に嵌合し、かつ後端部が該スリーブ１１Ｂの後端面から突出する後 端側プランジャー１３とを有し、かつ該先端側プランジャー１２と後端側プラン ジャー１３との間に配設されたスプリング１６からなる。

【００２２】 前記スリーブ１１Ｂは、前記スリーブ１１Ａと長さが異なるのみで、構成は同 じであり、また、前記先端側プランジャー１２と後端側プランジャー１３も、前 記検査用プローブ１０Ａと同じ構成であるので、同じ符号をつけてこれらの説明 は省略する。

【００２３】 前記スプリング１６は、直径ｄ１（例えば、コイルスプリング１３ｃの厚さｔ と略同程度）の硬鋼線で、直径φ２（スプリング１３ｃの内径φ１より小さい径 ）の円筒形状に形成されている。

【００２４】 そして、前記スプリング１６は、前記スプリング１３ｃをガイドとして、前記 先端側プランジャー１２と後端側プランジャー１３の間に位置するように配設さ れ、該先端側プランジャー１２の本体１２ａの後端面と後端側プランジャー１３ のスプリング１３ｃの先端面との間に、間隙Ｇを形成するように、該先端側プラ ンジャー１２と後端側プランジャー１３を付勢している。

【００２５】 次に、前述した第２の実施の形態に係る検査用プローブ１０Ｂの作用について 説明する。前記検査用プローブ１０Ａと同様に、被検査部品（図示せず）の端子 に、該検査用プローブ１０Ｂの先端側プランジャー１２の先端部１２ｂに形成さ れた突起１２ｃを当接させ、さらに該検査用プローブ１０Ｂを該被検査部品側に 移動させると、該被検査部品に当接し移動を阻止された該先端側プランジャー１ ２は、スプリング１６を圧縮しながら前記スリーブ１１Ｂ内を後端側プランジャ ー１３側へ相対移動する。

【００２６】 そして、前記先端側プランジャー１２の本体１２ａの後端面が、前記スプリン グ１３ｃの先端面に当接すると、該スプリング１３ｃを圧縮して、該先端側プラ ンジャー１２とスプリング１３ｃとの間に所要の接触圧を発生させる。該先端側 プランジャー１２とスプリング１３ｃの接触により、前記第１の実施の形態と同 様に、該先端側プランジャー１２からスプリング１３ｃを通して前記後端側プラ ンジャー１３の本体へ電気信号を流す回路が形成される。

【００２７】 従って、前記第２の実施の形態によれば、先端側プランジャー１２の移動距離 を長くすることができ、前記被検査部品に反り等が合っても先端側プランジャー １２を被検査部品の端子に確実に接触させることができる。しかも、前記第１の 実施の形態における検査用プローブ１０Ａと同様に、微弱な高周波電流の電気信 号でも確実に前記検査装置に伝達することができ、被検査部品の検査を精度よく 行なうことができる。

【００２８】 なお、上記各実施の形態においては、後端側プランジャー１３にスプリング１ ３ｃを形成する場合について説明したが、該スプリング１３ｃを先端側プランジ ャー１２に形成しても同様の作用、効果を奏することができる。

【００２９】

【考案の効果】

請求項１に係る考案によると、一方のプランジャーに、スプリングを一体に形 成したので、スプリングとプランジャーとの接合個所を減らすことができ、スプ リングのインピーダンスやスプリングとプランジャーの接合部における接触抵抗 を小さくして、微弱な高周波の電気信号を確実に検査装置に伝達することができ 、検査装置において正確な検査を行なうことができる。

【００３０】 請求項２に係る考案によると、上記プランジャーに一体に形成したスプリング に加え、他のスプリングを介在したので、プランジャーのストロークを自由に設 定することができ、検査用プローブの利用範囲を拡大することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す縦断面図。

【図２】本考案の第２の実施の形態に係る検査用プロー
ブを示す縦断面図。

【図３】従来の検査用プローブの縦断面図。

【符号の説明】

１０Ａ・１０Ｂ…検査用プローブ １１Ａ・１１Ｂ…スリーブ １２…先端側プランジャー １３…後端側プランジャー １３ａ…摺動部 １３ｂ…接触部 １３ｃ…スプリング １３ｄ…切込み １６…スプリング

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２個のプランジャーとこれらのプランジ
   ャーの間に介在するスプリングと、前記各プランジャー
   とスプリングを収納するスリーブとを有する検査用プロ
   ーブにおいて、 前記一方のプランジャーが、柱状の接触部と筒状の摺動
   部とからなり、該摺動部に螺旋状の切込みを入れて前記
   スプリングとなし、該スプリングと前記接触部が一体に
   形成されてなる、 ことを特徴とする検査用プローブ。
2. 【請求項２】 前記２個のプランジャーの間に、前記筒
   状の摺動部の内側に収納され、前記一対のプランジャー
   の間隔を、前記スプリングで設定される間隔より広い間
   隔に設定する他のスプリングを有する、 ことを特徴とする請求項１記載の検査用プローブ。