JP2010085385A - 回転円板の偏心測定方法、ロータリーエンコーダ及び回転体制御装置 - Google Patents

回転円板の偏心測定方法、ロータリーエンコーダ及び回転体制御装置 Download PDF

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Abstract

【課題】偏心量の測定を正確に行うことができ、かつ測定時間の短縮も実現したロータリ
ーエンコーダを提供することを目的とする。
【解決手段】測定体の回転軸に連結する連結部3を中心部に、スケール2を周縁部に形成
した回転円板1と、回転円板に光を照査する投光手段、スケールを介した通過光又は反射
光を検出する光検出手段と、光検出手段の検出結果に基づいて前記回転円板の回転状態を
検出する回転検出手段と、を備え、回転円板は、前記スケールと同心の円パターン4と、
円パターン及び連結部交差もしくは接触する、3本以上の直線パターン5とを有するよう
にした。
【選択図】図1

Description

本発明は、ロータリーエンコーダに関し、特に回転円板の回転状態を検出するために回転円板上に設けた放射状スケールのスケール中心と、回転円板の回転中心との差、すなわち回転偏心量を求める手段に関するものである。
回転体の回転速度や回転量(角度)などの回転状態を検出するための手段の1つに、光電式ロータリーエンコーダがある。
光電式ロータリーエンコーダは、回転軸に連結した回転円板の周囲に例えば等間隔の透光部(反射部)と遮光部(吸収部)からなる放射状スケールを設け、このスケールに投光手段から光束を入射させ、放射状スケールからの反射光または透過光を検出手段で検出し、その検出手段からの信号を利用して回転円板の回転状態を検出するものである。
一般に、かかるロータリーエンコーダは回転円板の回転中心と放射状スケールの中心とが一致していないと、つまり、偏心していると検出精度が大きく低下する。
かかる検出精度の低下を防ぐために、回転円板の回転中心と放射状スケールの中心とを一致させればよいが、そのために、例えば特許文献1に記載のように、回転円板の回転中心と放射状スケールの加工精度を上げたり、また、特許文献2に記載のように放射状スケールの中心と回転軸の回転中心とを顕微鏡などで調整しながら取り付けるようにすればよい。
しかしながら、特許文献1に記載のように加工精度を上げれば、組み立て時や交換時の調整作業が発生せず組み立てが容易となるが、高い精度を出すために高コストとなってしまう問題がある。
また、加工のための手段(工法・工具)はもちろんのこと、加工後の検査・測定においても高い精度が要求される。
また、特許文献2に記載のように一方の回転円板を位置合わせして組み付けるようにすれば、ディスクの加工コストはあまりかからないが、組み立てや調整は容易でなく、それらの作業に時間がかかってしまう問題がある。
図17は、従来の技術における加工後の回転円板の偏心測定の一例を示す図である。
図17示す回転体100には、回転円板100をローラなどの非検出物(回転体)に取り付けるための取り付け箇所(図1の場合は、中央付近にある穴)101と、放射状スケール102が設けられている。
まず、回転円板100の回転中心を求めるため、取り付け箇所101の円周上の任意点p1の座標を測定顕微鏡等で3箇所以上測定する(図では3箇所)。
それらの座標から、回転円板の回転中心c1の座標を算出することができる。
次いで、放射状スケール102の中心を求めるため、放射状スケール102と同心に描かれた円形パターン104の円周上の任意点p2の座標を3箇所以上測定する(図では3箇所)。
それらの座標から、放射状スケールの中心の座標c2を算出することができる。先に算出した回転円板の回転中心c1と放射状スケール102の中心の座標c2を比較することで、偏心量Dが求まる。
最終的には、求められた偏心量Dが、別に定めた規格を満足しているかの確認をし、回転円板が製品としてのロータリーエンコーダに使用可能かを判断する。
特開平07−234103号公報 特開2001−227990公報
しかしながら、かかる偏心測定方法においては、精度良く測定を行うためには、まず、各測定点(p1、p2)をズレなく正確に選択しなくてはならない。そのためには、測定者の習熟や測定器の複雑な画像処理が必要になり、結果として、測定完了までの時間が長くなってしまうという問題があった。
また、測定点を測定する場合、投影機または顕微鏡を用いるが、これらの機器で拡大するとパターンがぼやけてしまい、測定点を正確に選択するのは難しく正確な偏心量の測定を行うことは難しい。
そこで、本発明は、偏心量の測定を正確に行うことができ、かつ測定時間の短縮も実現したロータリーエンコーダを提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、請求項1の発明は、被測定体の回転軸に連結する連結部を中心部に形成し、透光部及び遮光部からなるスケールを周縁部に形成したロータリーエンコーダの回転円板の偏心測定方法において、前記スケールと同心の円パターンと、該円パターン及び前記連結部と交差もしくは接触する、3本以上の直線パターンを前記回転円板に形成し、各直線パターンと前記連結部の交点座標から算出した前記連結部の中心座標と、各直線パターンと前記円パターンの交点座標から算出した前記スケールの中心座標と、を比較することにより前記回転円板の偏心量及び偏心方向の測定を行うことを特徴とする。
また、請求項2の発明は、直線パターンの、前記円パターン及び前記連結部との交点を結んだ直線と、当該直線パターンとのズレにより前記測定の誤差を判定する請求項1に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項3の発明は、2つの直線パターン同士の角度と、当該直線パターンの前記円パターン及び前記連結部との交点を結んだ直線同士の角度のズレにより前記測定の誤差を判定する請求項1に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項4の発明は、前記回転円板に設けた直線パターンは4本とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項5の発明は、各直線パターンと前記円パターンの4つの交点うち3点を結んだ円の円周又は円中心のズレにより前記測定の誤差を判定する請求項4に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項6の発明は、各直線パターンと前記連結部の4つの交点うち3点を結んだ円の円周又は円中心のズレにより前記測定の誤差を判定する請求項4に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項7の発明は、前記4本の直線パターンのうちの2本ずつを、前記連結部を跨いで一直線状となるように形成した請求項4乃至6の何れか1項に記載の回転円板の測定方法を特徴とする。
また、請求項8の発明は、一直線状に形成された直線パターンの前記円パターンとの2つの交点を結んだ直線と、当該一直線状に形成された直線と、のズレにより前記測定の誤差を判定する請求項7に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項9の発明は、各直線パターンは破線とした請求項1乃至8の何れか1項に記載の回転円板の偏心測定方法を特徴とする。
また、請求項10の発明は、請求項1乃至9に記載の回転円板の偏心測定方法によって偏心の量及び方向を測定された回転円板と、該回転円板に光を照射する投光手段と、前記回転円板に設けたスケールを介した通過光及び反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出結果に基づいて前記回転円板の回転状態を検出する回転検出手段と、を備えたロータリーエンコーダを特徴とする。
また、請求項11の発明は、請求項10に記載のロータリーエンコーダと、前記回転円板における偏心のズレの量及び方向を記憶した記憶手段と、回転体の回転軸に取り付けた当該ロータリーエンコーダで検出された回転状態を前記ズレ量および方向によって補正する誤差補正部と、を備え、該誤差補正部によって補正された回転状態に基づいて前記回転体の回転を制御する回転体制御装置を特徴とする。
以上のように構成したので、本発明によれば、回転円板の取り付け部の円周及び回転円板上の放射スケールと同心の円形パターンと、直線のパターンとが交差しているため、測定のために拡大したときにパターンの線がぼやけてしまっても、パターン交差部の色の濃淡からエッジを精度よく判別でき、正確な測定ができる。また、直線パターンと、その両端の位置の測定点を結んだ直線の角度のズレが目視でも容易に見え、測定点の修正要否が分かる。
従って、正しい測定点を正確に測定できることで、正確に偏心量を測定することが可能となる。
以下、図面に従って本発明の実施の形態を詳細に説明する。
[第1の実施例]
図1は、本発明のロータリーエンコーダを構成する回転円板を示す図である。
図1において、回転円板1は、透光部2a及び遮光部2bからなる放射状スケール2、被測定体(回転体)の回転軸と連結する連結部(取り付け穴)3、放射状スケール2と同心の円パターン(同心円パターン)4と、に加えて取り付け穴3から同心円4上の点へと伸びる直線パターン5が3本形成されている。
この直線パターン5は、図1に記載のように同心円4とちょうど接触するように形成してもよいし、交差(貫通)するように形成してもよい。
なお、図1において、直線パターン5は3本形成されているが、3本以上であれば、この本数に限定されるものではない。
さらに、回転円板1の放射状スケール2、同心円パターン4、直線パターン5は、回転円板1のフォトエッチングの版を作る際に、同時に形成するものとする。
この版を用いてこれらのパターンが描かれたシートに中心穴(取り付け穴)3を開け、回転円板(以下、ディスク)の形に抜き出すが、中心穴を開ける際に同心円パターン4と中心穴3と偏り(偏心)が生じる。
この偏心の量を測定するためには、上記した従来技術と同様に、取り付け穴3上の測定点の座標から求まる取り付け穴3の中心点の座標と、同心円パターン4上の測定点の座標から求まる同心円パターン4の中心点の座標を演算・比較して、偏心量を計算する。
本発明の場合、直線パターン5の、同心円パターン4及び取り付け穴3との交点を測定点とし、これらの交点の座標をミツトヨ社製の測定顕微鏡(MFシリーズ等)、キーエンス社製の顕微鏡(VHXシリーズ等)で測定する。
図2は、複数の回転円板1について測定した各中心点座標をグラフで示す図である。
図2においては、同心円パターン4の中心点座標を基準とした、取り付け穴3の中心点座標が示されている。
このグラフから、同心円パターン、取り付け穴各中心点の距離として偏心量が求められる。
また、いずれか一本の直線パターンを基準とすることで、偏心の角度を明確に求めることも可能である。
図3は、直線パターン5と、同心円パターン4または取り付け穴3との交点付近の部分概略図であり、(a)は、回転円板上に描かれたパターン自体を示し、(b)は、それを測定顕微鏡で拡大して表示した図、(c)は、測定顕微鏡で拡大したパターンに濃淡処理を施した場合を示す図である。
図3(b)に示すように、パターンを顕微鏡で拡大すると線のエッジ部がぼやけてしまう。
例えば、回転円板の反りやゆがみを矯正するため、ガラス板などで回転円板を押えることがあるが、そのような場合に、線のエッジ部がぼやけやすい。
しかし、パターンがぼやけても、2本の線が交差・接触している交点iの部分の濃度が濃く残るため、この濃い部分を測定点として選ぶことで、正確に測定点座標の測定を行え、さらには、同心円パターンや取り付け部の中心点座標を正確に演算することができる。
また、図3(c)に示すように、(b)の表示にさらに画像処理(濃淡処理)を施すことで、交点i部分のみが画像として残るため、さらに正確に測定することが可能となる。
以上説明したように、回転円板1の取り付け部3の円周と、直線パターン5が交差しているため、円周のエッジ部を拡大したときにエッジがぼやけてしまっても、直線パターンの色の濃淡からエッジを精度よく判別できる。従来は、ぼやけた線/エッジから測定点をピックアップしていたため、誤差が大きくなりやすく、測定に熟練も要していた。
また、回転円板1上の放射状スケール2と同心円の円形パターン4と直線パターン5が交差しているため、パターンを拡大したときに線がぼやけてしまっても、パターン交差部の色の濃淡からエッジを精度よく判別できる。
このように、直線パターン5を形成することで、測定点を正確に測定してその座標を取得することが可能であるが、本発明は、さらに測定点の座標から偏心量を測定する際に生ずる測定誤差を判別し、測定点の修正の要否を判断するものである。
以下に、直線パターン5を用いることで、どのように測定誤差を判別できるかを説明する。
図4は、図1の回転円板から放射状スケールを除いて簡略化した図である。
また、図5乃至7は、測定誤差の有無を判別するための手順を示した図である。
以下、測定誤差の判別の手順を順に説明する。
まず、図5に示すように、ディスク1に形成した直線パターン5のうちの1つと、同心円パターン4との交点a(a1〜a3)をとる。ついで、直線パターン5と、取り付け穴3との交点b(b1〜b3)をとる。これらの6点が上述の測定点である。
次に、図5に示すように、手順1でとったそれぞれの交点a、bを結ぶ直線を引く。
すなわち、交点a1と交点b1、交点a2と交点b2、交点a3と交点b3とをそれぞれ直線a1−b1、a2−b2、a3−b3で結ぶ。
この場合、例えば直線a1−b1を引いた箇所で、ディスク(回転円板)1が、歪んでいたり、反っていた場合は、図6に示すように、その箇所の直線パターン5も歪んでいる
ため、顕微鏡や投影機で投影した場合、直線パターン5は曲線として映され、直線パターンと、直線a1−b1との間にズレが生じる。
直線a2−b2、直線a3−b3についてもディスクに歪みあった場合は、同様である。
このようにディスクそのものに変形等がある場合は、上記のように測定点の座標を正確に測定できたとしても、正確に偏心量を測定することができない。
しかしながら、直線a(1〜3)−b(1〜3)、直線パターン5とのズレは、測定顕微鏡や投影機によって容易に視認できる。
このことから、ディスクのゆがみやセットミスを検出することができるため、ディスクがゆがんだ状態で偏心量を測定することを防ぎ、測定誤差をなくすことができる。
また、図7に示すように、3本の直線パターン5の角度が分かっている場合は、選んだ6点から得られる3本の直線a(1〜3)−b(1〜3)の角度と、直線パターン5の理想の角度の比較を行うことができ、この角度のズレから測定誤差の有無や誤差の大きさを知ることができる。
なお、直線パターンの数を増やすほどに測定精度は向上するが、当然に計測に要する時間も増えるため、精度と時間のバランスを見て、直線パターンの数を決定すればよい。
図8は、直線パターンの別の例を示した図である。
図8に示すように、直線パターン5は、必ずしも実線である必要はなく、線の途切れた破線の形状で形成されていてもよい。
直線パターンが破線などで形成されているため、直線パターン上に他のパターンやマークが交差することがなくなるが、同心円パターン4、取り付け穴3と、交差、接触していれば、交点を正確に測定できるという効果は影響を受けない。
[第2の実施例]
次に、本発明のロータリーエンコーダにおける回転円板の第2の形態を説明する。
図9は、第2の形態の回転円板を示す図である。
図9に示すように、本実施形態では、直線パターン5を4本にしている。
直線パターン5が4本の場合は、第1の実施例の手順に加えて、まず、図9に示すように、4本の直線パターン5のそれぞれと、同心円パターン4とが交わる点c(c1〜c4)をとり、ついで、取り付け穴3と直線パターン5が交わる点d(d1〜d4)をとる。
なお、c1とd1、c2とd2、c3とd3、c4とd4は同一の直線パターン5上の2点となる。
図10は、この形態の回転円板における測定誤差の判定手順を説明する図である。
図10に示すように、同心円パターン4と直線パターン5が交わる4つの点c1〜c4を用い、これらのうちの3点を通る円を4つ描く。
すなわち、c1−c2−c3、c1−c2−c4、c1−c3−c4、c2−c3−c4を通る円を描く。
描いた4つの円のズレ、もしくは4つの円の中心のズレから、測定誤差の有無や、誤差の大きさを取得することができる。
c1〜c4の座標を測定することで、描いた4つの円の中心の位置(座標)が求まるが、4点の座標すべてが正確に測定された場合は、求めた中心点の座標はすべて一致する。
しかし、1点でも測定に誤差があれば、求めた中心点の位置は異なったものとなるため、4つの円の中心点座標を比較することで、測定誤差の有無、大きさを判定することができ、測定点の設定ミスを検出することができる。
さらに、図示していないが、同心円パターンの場合と同様に取り付け穴3と、直線パターン5が交わる4つの点d1〜d4のうちの3つを通る4つの円を描く。
すなわち、d1−d2−d3、d1−d2−d4、d1−d3−d4、d2−d3−d4を通る円を描き、これらの円のズレ、円の中心のズレから、同様に、測定誤差の有無や誤差の大きさを知ることができ、測定点の設定ミスを検出することができる。
第1の実施例のように、2点の測定点を通る直線と直線パターン5のズレの有無で誤差を確認する場合、ディスクの円周方向のズレは分かりやすいが、直線パターン方向のズレは、比較的分かりにくい。
それに対し、本実施形態のように、直線パターン5を4本にし、上記のように描いた4つの円、あるいは円の中心の一致(重なり)もしくはズレの度合いで測定誤差を確認することで、測定点の設定ミスを検出することができ、さらに測定精度の向上を図ることができる。
なお、直線パターンの数を増やすほどに測定精度は向上するが、当然に計測に要する時間も増えるため、精度と時間のバランスを見て、直線パターンの数を決定すればよい。
[第3の実施例]
次に、本発明のロータリーエンコーダにおける回転円板の第3の形態を説明する。
図11は、第3の形態の回転円板を示す図である。
本実施形態の回転円板でも、4本の直線パターン5を形成するが、図10に示すように、2本ずつの直線パターン5が、取り付け穴3を跨いで一直線状になるように形成している。
次に、図12に示すように、一直線状となる1組の直線パターン5と、同心円パターン4が交わる2点(e1、e3)をとり、直線e1−e3をひく。
このようにすれば、引いた直線e1−e3と、直線パターン5のズレを容易に目視できるため、点の選び直しが必要か否かの判断が的確に行うことができる。
次に、図13に示すように、直線e1−e3が引かれた状態で、今度は、取り付け穴3と、直線パターン5が交わる点(f1、f3)を直線で結ぶ(直線f1−f3)。
直線f1−f3は、図14に示すように、容易に直線パターン5とのズレが確認できる。
図12における直線e1−e3と、図13、14における直線f1−f3とは、直線パターン5との角度のズレが容易に確認できるため、測定点の選び直しが必要か否かを的確に判断することができる。
かかる方法を第1、第の2実施例における手順と組み合わせることで、さらに精度の向上を図ることができる。
また、一直線状に形成された直線パターンが定められた角度で形成されており、パターン同士の角度がわかっている場合は、理想の角度と実測値との間の差から測定誤差を検出することができる。すなわち、測定点を結んだ直線同士の角度と、直線パターン同士の角度を比較することで、測定点の修正要否がわかる。
なお、直線パターンの数を増やすほどに測定精度は向上するが、当然に計測に要する時間も増えるため、精度と時間のバランスを見て、直線パターンの数を決定すればよい。
以上、測定点の修正の要否の判断の手順について説明してきたが、いずれかの直線パターンを基準にとることで、放射状スケール2の中心と、取り付け穴3の中心のズレの方向もわかる。
図15は、本発明のエンコーダディスクを備えたロータリーエンコーダの構成を示す図である。
ロータリーエンコーダ10は、透光部及び遮光部からなる放射状スケール2を設けた回転円板1と、放射状スケールに対して、スリット15を介して光を投射する発光素子11、放射状スケール2の透光部を通過した光を受光する受光素子12、受光素子12が、光を受光したか否かの情報に基づいて回転円板1の回転状態を検出する回転検出手段14と、を備えている。
また、ローラなどの被測定物(回転体)の回転軸13が、回転円板1に設けられた取り付け穴3を介して接続されるものとする。
なお、回転円板1に、透光部及び遮光部ではなく、発光素子11からの光を反射する反射部と、吸収する吸光部を設け、反射部で反射された光を受光素子12で検知する構成にしてもよい。
この場合は、図15の場合とは異なり、受光素子12は、回転円板1に対して発光素子11と同じ側に配置する。
図16は、本発明のロータリーエンコーダを備えた回転体制御装置を示す図である。
回転体制御装置20は、電気的に接続されたモータ等の駆動部21、本発明のロータリーエンコーダ10、ロータリーエンコーダについて測定された回転円板の中心と取り付け部のズレ量(偏心量)及びズレ方向を記憶した記憶手段(ROM)24、ズレ量、ズレ方向に従って、ロータリーエンコーダ10から出力された回転円板の回転状態についての情報の角度検出誤差を補正する角度誤差補正部22と、補正された回転状態情報に従って、駆動部21を動作させる駆動信号を生成するためのドライバ23から構成されている。
ロータリーエンコーダにおける回転円板の中心と、被回転体の駆動軸との取り付け部の中心のズレ量、ズレの方向が入力されることで、角度誤差補正部22はロータリーエンコーダの角度検出誤差がどのタイミングで、どの程度発生するかがわかるので、ロータリーエンコーダが搭載される回転体制御装置にロータリーエンコーダにおける角度誤差を補正するフィードフォワード制御を行うことで、ズレによる影響を無くした回転体制御をすることが可能となる。
本発明のロータリーエンコーダを構成する回転円板を示す図。 複数の回転円板1について測定した各中心点座標をグラフで示す図。 (a)〜(c)は図1における直線パターンと同心円パターンの交点付近の部分概略図。 図1の回転円板から放射状スケールを除いて簡略化した図。 測定誤差の有無を判別するための手順を示した図(その1)。 測定誤差の有無を判別するための手順を示した図(その2)。 測定誤差の有無を判別するための手順を示した図(その3)。 直線パターンの別の例を示した図。 第2の形態の回転円板を示す図。 第2の形態の回転円板における測定誤差の判定手順を説明する図。 第3の形態の回転円板を示す図。 第3の形態の回転円板における測定誤差の判定手順を説明する図(その1)。 第3の形態の回転円板における測定誤差の判定手順を説明する図(その2)。 第3の形態の回転円板における測定誤差の判定手順を説明する図(その3)。 本発明のエンコーダディスクを備えたロータリーエンコーダの構成を示す図。 本発明のロータリーエンコーダを備えた回転体制御装置を示す図。 従来の技術における回転円板の偏心測定の一例を示す図。
符号の説明
1 回転円板(ディスク)、2 放射状スケール、3 取り付け穴、4 同心円パターン、5 直線パターン、10 ロータリーエンコーダ、11 発光素子、12 受光素子、14 回転検出手段、15 スリット、20 回転体制御装置、21 駆動部、22 角度誤差補正部、23 ドライバ、100 回転円板、102 放射状スケール、104 円形パターン、a1〜a3、b1〜b3、c1〜c4、d1〜d5 交点

Claims (11)

  1. 被測定体の回転軸に連結する連結部を中心部に形成し、透光部及び遮光部又は反射部及び吸光部からなるスケールを周縁部に形成したロータリーエンコーダの回転円板におけるスケール中心と連結部中心の偏心測定方法において、
    前記スケールと同心の円パターンと、該円パターン及び前記連結部と交差もしくは接触する、3本以上の直線パターンを前記回転円板に形成し、
    各直線パターンと前記連結部の交点座標から算出した前記連結部の中心座標と、各直線パターンと前記円パターンの交点座標から算出した前記スケールの中心座標と、を比較することにより前記回転円板の偏心量及び偏心方向の測定を行うことを特徴とする偏心測定方法。
  2. 各直線パターンの、前記円パターン及び前記連結部との交点を結んだ直線と、当該直線パターンとのズレにより前記測定の誤差を判定することを特徴とする請求項1に記載の偏心測定方法。
  3. 2つの直線パターン同士の角度と、当該直線パターンの前記円パターン及び前記連結部との交点を結んだ直線同士の角度のズレにより前記測定の誤差を判定することを特徴とする請求項1に記載の偏心測定方法。
  4. 前記回転円板に設けた直線パターンは4本としたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の偏心測定方法。
  5. 各直線パターンと前記円パターンの4つの交点うち3点を結んだ円の円周又は円中心のズレにより前記測定の誤差を判定することを特徴とする請求項4に記載の偏心測定方法。
  6. 各直線パターンと前記連結部の4つの交点うち3点を結んだ円の円周又は円中心のズレにより前記測定の誤差を判定することを特徴とする請求項4に記載の偏心測定方法。
  7. 前記4本の直線パターンのうちの2本ずつを、前記連結部を跨いで一直線状となるように形成したことを特徴とする請求項4乃至6の何れか1項に記載の測定方法。
  8. 一直線状に形成された直線パターンの前記円パターンとの2つの交点を結んだ直線と、当該一直線状に形成された直線と、のズレにより前記測定の誤差を判定することを特徴とする請求項7に記載の偏心測定方法。
  9. 各直線パターンは破線としたことを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の偏心測定方法。
  10. 請求項1乃至9に記載の偏心測定方法によって偏心の量及び方向を測定された回転円板と、該回転円板に光を照射する投光手段と、前記回転円板に設けたスケールを介した通過光又は反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出結果に基づいて前記回転円板の回転状態を検出する回転検出手段と、を備えたことを特徴とするロータリーエンコーダ。
  11. 請求項10に記載のロータリーエンコーダと、
    前記回転円板における偏心のズレの量及び方向を記憶した記憶手段と、
    回転体の回転軸に取り付けた当該ロータリーエンコーダで検出された回転状態を前記ズレ量および方向によって補正する誤差補正部と、を備え、
    該誤差補正部によって補正された回転状態に基づいて前記回転体の回転を制御することを特徴とする回転体制御装置。
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