JP5014197B2 - 変位量検出装置及びそれを利用した装置、変位量検出方法 - Google Patents
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Description
ここで、θは、回転中心からのスケール2の回転角度(測定対象Mの回転角度)であり、θは(θ1+θ2+θ3)/3である。θ1は、第1のヘッド1aが検出したスケール2の回転角度(第1の変位量)である。θ2は、第2のヘッド1bが検出したスケール2の回転角度(第2の変位量)である。θ2は、第3のヘッド1cが検出したスケール2の回転角度(第3の変位量)である。
2 スケール
3a、3b カウンタ
4a、4b 算出部
5 メモリ
6 異常判定部
8 演算部
10 インクリメンタルエンコーダ
Claims (5)
- 測定対象に接続されるスケールと、
前記スケールを同時に検出してパルス信号をそれぞれ出力する第1及び第2のヘッドと、
前記第1のヘッドの出力からのパルス信号のパルス数を計数する第1のカウンタと、
前記第1のカウンタが計数したパルス数から前記測定対象の変位量を算出する第1の算出部と、
前記第2のヘッドの出力からのパルス信号のパルス数を計数する第2のカウンタと、
前記第2のカウンタが計数したパルス数から前記測定対象の変位量を算出する第2の算出部と、を有し、
前記第1の算出部が算出した変位量と前記第2の算出部が算出した変位量とに基づいて前記測定対象の変位量を検出する変位量検出装置において、
前記測定対象をある量変位させたときに前記第1の算出部が算出した第1の変位量と前記第2の算出部が算出した第2の変位量とを格納するメモリと、
前記メモリに前記第1及び第2の変位量を格納した後、前記第1の算出部が前記第1の変位量と一致する又は近傍の変位量を算出したときに前記第2の算出部が算出した変位量と前記メモリに格納された前記第2の変位量との差が許容範囲外であると判断した場合に異常である旨を出力する異常判定部と、
を有することを特徴とする変位量検出装置。 - 前記スケールは前記測定対象とともに回転するスケールであり、
前記スケールの中心に関して(360/n)°間隔で配置されたn個のヘッドと、
前記n個のヘッドを用いて得られた前記スケールのn個の回転量を平均することによって前記測定対象の回転量を算出する演算部と、
を有し、前記n個のヘッドが前記第1及び第2のヘッドを備えることを特徴とする請求項1に記載の変位量検出装置。 - 前記測定対象としてのモータ軸を有するモータと、
前記モータ軸の回転量を検出する請求項1又は2に記載の変位量検出装置と、
前記変位量検出装置の検出結果に基づいて前記モータの駆動を制御するモータ制御部と、
を有することを特徴とするモータ位置決め装置。 - 前記測定対象としてのモータ軸を有するモータと、
前記モータ軸の回転量を検出する請求項1又は2に記載の変位量検出装置と、
前記モータの前記モータ軸に接続され、レーザーからのレーザー光を案内する光学部材と、
前記変位量検出装置の検出結果に基づいて前記モータの駆動を制御するモータ制御部と、
を有することを特徴とするレーザー加工装置。 - 測定対象に接続されるスケールを同時に検出する第1及び第2のヘッドを用いて得られる各変位量に基づいて前記測定対象の変位量を検出する変位量検出方法において、
前記測定対象をある量変位させたときに得られる第1の変位量と第2の変位量とを予め記憶するステップと、
その後、前記第1のヘッドを用いて得られる変位量が前記第1の変位量と一致する又は近傍の変位量を算出したときに前記第2のヘッドを用いて得られる変位量と前記第2の変位量との差が許容範囲外である場合に異常と判定するステップと、
を有することを特徴とする変位量検出方法。
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